13.07.2015 Views

Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

SHOW MORE
SHOW LESS
  • No tags were found...

Create successful ePaper yourself

Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.

<strong>Mikrosenzory</strong> a mikromechanické systémy 95Obrázek 11.21: Vlevo hybridní ISFET, vpravo princip SGFETu11.2 Gravimetrické chemické senzorySenzory pracují na principu ovlivňování tuhosti pevného roztoku (aktivní vrstvy)měřenou veličinou. Senzor obsahuje dva rezonátory mezi nimiž je aktivní vrstva tvořenáchemicko-gravimetrickým převodníkem. Rezonátory je většinou tvořený dvěmadvojelektrodovými hřebínkovými systémy viz. Obrázek 11.22. Tímto prostředím se potomšíří tzv. povrchová akustická vlna, jejíž útlum lze snadno změřit, popř. najít nový rezonančníkmitočet. Jeden rezonátor tedy generuje akustické vlny, druhý slouží jako snímací. Tento typsenzoru se označuje SAW (surface acustic wave).Obrázek 11.22: Gravimetrický senzor s povrchovou akustickou vlnou11.3 Teplotní chemické senzoryTento senzor pracuje na principu měření změny teploty, která se uvolňuje při chemickéreakci měřené látky s aktivním materiálem. Mezi nejpoužívanější teplotní chemické senzorypatří senzory na bázi SnO 2 . Tento aktivní materiál je nanesen na tenký platinový drátek, kterýtvoří topný element pro vyhřívání na teplotu, při které senzor vykazuje maximální citlivost, azároveň čidlo teploty viz. Obrázek 11.23 [28] . Přítomnost určitého plynu a jeho koncentraceje určena poměrem změny teploty. Tento typ senzoru se nazývá semistor (semicoductor basedpellistor) [9].

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!