Mikrosenzory a mikromechanickÃƒÂ© systÃƒÂ©my - VysokÃƒÂ© uÃ„ÂenÃƒÂ technickÃƒÂ© ...

More documents

Recommendations

Info

<strong>Mikrosenzory</strong> a mikromechanické systémy 89Obrázek 11.10: Impedanční charakteristika jedné elektrody v roztokuReferenčníElektrodaKovlR ROZTOKR CTC DLWObrázek 11.11: Model impedančního rozhraní elektrodyObrázek 11.12: Impedační charakteristika senzoru plynů na bázi organokovuProtože použitý materiál určuje impedanční charakteristiku lze nalézt i velmi zajimavézávislosti impedance, hlavně např. u organických látek. Obrázek 11.12 je odezvaorganokovu, zde acetylacetonát cínu. Je zřejmé, že metoda bude určovat rozdíl fází meziplynem a vzduchem při konstatním kmitočtu. Podobně i polymerní vrstvy působením měřenéveličiny (chemická látka) mění permitivitu a nebo rezistivitu polymerní hladiny. Příkladprezentuje Obrázek 11.13. Senzor využívá interdigitální strukturu elektrod. Příklademmateriálu pro kapacitní polymerní chemický senzor je polyetheruretan, který se používá např.pro detekci ethanolu [15].
90 Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií VUT v BrněObrázek 11.13: Kapacitní polymerní chemický senzor s interdigitální strukturou a spolyetherurethanovou snímací vrstvou. Vlevo odezva tohoto senzoru na přítomnost ethanolu(Research Group Göpel).V posledních letech došlo k vývoji a rozšíření polymerních hydroskopických materiálůpro senzory vlhkosti. Tato zařízení se vyznačují velkou přesností, a spolehlivostí. To vše je vespojení s minimálními náklady a prakticky nulovou údržbou předurčuje k širokému použití vtechnické praxi. Jako typický příklad kombinovaného polymerního senzoru vlhkostiimpedančního typu lze uvést senzor pro měření vlhkosti z kopolymeru z ionizovanéhomonomerního NaSS (sodík styren sulfonát) a neionizovaného monomeru HEMA(hydroxyetyl metakrylát) na substrát a poté sušení. Celý systém je realizován na jednomsubstrátu, např. s kmitočtově modulovaným výstupním signálem, viz. Obrázek 11.14 . Proteploty kolem 25°C senzor vykazuje poměrně lineární závislost na relativní vlhkosti. Teplotnízávislost je 0,5 až 0,6 %RH /°C v teplotním rozsahu mezi 10 a 50°C. Pro 90% hodnotyrelativní vlhkosti je čas odezvy 3 až 4 minuty.Obrázek 11.14: Tlustovrstvý senzor pro měření vlhkosti s integrovanými obvody prozpracování signálu (astabilní klopný obvod převádí změnu odporu vrstvy na změnufrekvence)11.1.2 Potenciometrické senzory, pH senzoryPrincip je založen na zjišťování potenciálu fázového rozhraní. Nejdůležitější propotenciometrii jsou potenciály mezi kovem a roztokem. Měříme vždy proti porovnávacístandardní elektrodě.
Page 4 and 5:
DESCRIPTIONSafety FittingsIt is not
Page 6 and 7:
Mikrosenzory a mikromechanické sys
Page 8:
Page 11 and 12:
8 Fakulta elektrotechniky a komunik
Page 14 and 15:
Page 16 and 17:
Page 18 and 19:
Page 20 and 21:
Page 22 and 23:
Page 24 and 25:
Page 26 and 27:
Page 28 and 29:
Page 30 and 31:
Page 32 and 33:
Page 34 and 35:
Page 36 and 37:
Page 38 and 39:
Page 40 and 41:
Page 42 and 43: Mikrosenzory a mikromechanické sys
Page 106: Mikrosenzory a mikromechanické sys
show all

Mikrosenzory a mikromechanickÃƒÂ© systÃƒÂ©my - VysokÃƒÂ© uÃ„ÂenÃƒÂ­ technickÃƒÂ© ...

Create successful ePaper yourself

Delete template?

Save as template?

Mikrosenzory a mikromechanickÃƒÂ© systÃƒÂ©my - VysokÃƒÂ© uÃ„ÂenÃƒÂ technickÃƒÂ© ...