Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

88 Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií VUT v BrněObrázek 11.9: Obrázek 9 . 2.5: Kalibrační křivky odezvy SnO2 senzoru vyrobeného solgeltechnologií na CO (pro koncentrace 500ppb až 10 000ppm, s CH 4 jako interferujícímplynem) a odezvy na NO2.Tlustovrstvé senzory na bázi SnO 2 mají dostatečnou citlivost a rychlou odezvu,malou teplotní závislost, dlouhou životnost, vynikající odolnost proti vibracím a nárazům,jednoduchý řídící obvod a dlouhodobou teplotní stabilitu. Jmenovitá spotřeba senzoru bývámenší než 15mW, jmenovité napětí kolem 5V [26]. Používají se v aplikacích jako detekceúniku plynů, CO alarm, čističky vzduchu, automobilové čističky vzduchu a pro základnívědecké výzkumy.Impedimetrické senzoryTento druh senzorů vyhodnocuje více než jeden parametr výstupní charakteristiky. Uchemických senzorů je velmi dobře známa půlkruhová charakteristika impedancev komplexní rovině která je společná všem chemickým senzorů. Obrázek 11.10 představujecharakteristiku jedné elektrody v kapalném roztoku a obsahuje navíc lineární část se sklonem45° prezentovanou difúzí iontů k elektrodě. Elektrický model této impedance ukazuje dobřeObrázek 11.11 a obsahuje kapacitu dvojvrstvy C DL , která vzniká přímo u povrchu elektrody,odporem přenosu náboje iont-elektroda R CT a reálný odpor roztoku R TOTAL mezi elektrodami.Toto jsou lineární parametry. Warburgova impedance Z W představuje nelineární chování azávisí na elektrochemické ději, ke kterému na převodníku dochází. Od ní se převážně volímetoda měření a vyhodnocení měřené veličiny.