Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ... Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

umel.feec.vutbr.cz
from umel.feec.vutbr.cz More from this publisher
13.07.2015 Views

Mikrosenzory a mikromechanické systémy 5OBRÁZEK 10.12: KAPACITNÍ POLYMERNÍ CHEMICKÝ SENZOR S INTERDIGITÁLNÍ STRUKTUROUA S POLYETHERURETHANOVOU SNÍMACÍ VRSTVOU. VLEVO ODEZVA TOHOTO SENZORU NAPŘÍTOMNOST ETHANOLU (RESEARCH GROUP GÖPEL)........................................................89OBRÁZEK 10.13: TYPICKÉ CHARAKTERISTIKY AMPEROMETRICKÉHO SENZORU S PEVNÝMPOLYMERNÍM ELEKTROLYTEM, VLEVO ZMĚNA VOLT – AMPÉROVÉ CHARAKTERISTIKY SKONCENTRACÍ, VPRAVO ZÁVISLOST PROUD – KONCENTRACE............................................90OBRÁZEK 10.14:STRUKTURA A ZAPOJENÍ AMPEROMETRICKÉHO SENZORU S PEVNÝMPOLYMERNÍM ELEKTROLYTEM...........................................................................................90OBRÁZEK 10.15: KONSTRUKCE TLUSTOVRSTVÉ REFERENČNÍ ELEKTRODY, PROVEDENÍREFERENČNÍ A IONTOVĚ SELEKTIVNÍ ELEKTRODY A PŘÍKLAD MĚŘENÍ KONCENTRACENĚKTERÝCH TĚŽKÝCH KOVŮ V ROZTOKU PROVÁDĚNÉ TÍMTO SENZOREM (ČÁRKOVANĚ JEVYZNAČEN TEORETICKÝ PRŮBĚH). ....................................................................................92OBRÁZEK 10.16: PRINCIPIÁLNÍ SCHÉMA ISFETU .................................................................92OBRÁZEK 10.17: ŘEZ STRUKTUROU ISFETU........................................................................93OBRÁZEK 10.18: JEDNODUCHÝ ZESILOVAČ PRO ISFET A PRŮBĚH VÝSTUPNÍHO NAPĚTÍ ......93OBRÁZEK 10.19: VLEVO HYBRIDNÍ ISFET, VPRAVO PRINCIP SGFETU ................................94OBRÁZEK 10.20: PRINCIPIÁLNÍ ČINNOST BIOSENZORU..........................................................96OBRÁZEK 11.1: PRINCIP HALLOVA SENZORU .....................................................................76OBRÁZEK 11.2: PRINCIP HALLOVA SENZORU POLOHY........................................................77OBRÁZEK 11.3: CHARAKTERISTIKY SENZORU Z OBRÁZEK 11.2 ........................................77OBRÁZEK 11.4: REÁLNÁ VNITŘNÍ STRUKTURA (A) A ZAPOJENÍ (B) HALLOVA SENZORUMH1SS1 78

<strong>Mikrosenzory</strong> a mikromechanické systémy 5OBRÁZEK 10.12: KAPACITNÍ POLYMERNÍ CHEMICKÝ SENZOR S INTERDIGITÁLNÍ STRUKTUROUA S POLYETHERURETHANOVOU SNÍMACÍ VRSTVOU. VLEVO ODEZVA TOHOTO SENZORU NAPŘÍTOMNOST ETHANOLU (RESEARCH GROUP GÖPEL)........................................................89OBRÁZEK 10.13: TYPICKÉ CHARAKTERISTIKY AMPEROMETRICKÉHO SENZORU S PEVNÝMPOLYMERNÍM ELEKTROLYTEM, VLEVO ZMĚNA VOLT – AMPÉROVÉ CHARAKTERISTIKY SKONCENTRACÍ, VPRAVO ZÁVISLOST PROUD – KONCENTRACE............................................90OBRÁZEK 10.14:STRUKTURA A ZAPOJENÍ AMPEROMETRICKÉHO SENZORU S PEVNÝMPOLYMERNÍM ELEKTROLYTEM...........................................................................................90OBRÁZEK 10.15: KONSTRUKCE TLUSTOVRSTVÉ REFERENČNÍ ELEKTRODY, PROVEDENÍREFERENČNÍ A IONTOVĚ SELEKTIVNÍ ELEKTRODY A PŘÍKLAD MĚŘENÍ KONCENTRACENĚKTERÝCH TĚŽKÝCH KOVŮ V ROZTOKU PROVÁDĚNÉ TÍMTO SENZOREM (ČÁRKOVANĚ JEVYZNAČEN TEORETICKÝ PRŮBĚH). ....................................................................................92OBRÁZEK 10.16: PRINCIPIÁLNÍ SCHÉMA ISFETU .................................................................92OBRÁZEK 10.17: ŘEZ STRUKTUROU ISFETU........................................................................93OBRÁZEK 10.18: JEDNODUCHÝ ZESILOVAČ PRO ISFET A PRŮBĚH VÝSTUPNÍHO NAPĚTÍ ......93OBRÁZEK 10.19: VLEVO HYBRIDNÍ ISFET, VPRAVO PRINCIP SGFETU ................................94OBRÁZEK 10.20: PRINCIPIÁLNÍ ČINNOST BIOSENZORU..........................................................96OBRÁZEK 11.1: PRINCIP HALLOVA SENZORU .....................................................................76OBRÁZEK 11.2: PRINCIP HALLOVA SENZORU POLOHY........................................................77OBRÁZEK 11.3: CHARAKTERISTIKY SENZORU Z OBRÁZEK 11.2 ........................................77OBRÁZEK 11.4: REÁLNÁ VNITŘNÍ STRUKTURA (A) A ZAPOJENÍ (B) HALLOVA SENZORUMH1SS1 78

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!