Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

Mikrosenzory a mikromechanické systémy 57k měřícímu obvodu, nevzorkovány a odeslány na senzorovou sběrnici. Gerování signálu prosenzory je prováděno D/A převodníkem se samotestováním. Celý systém pracujes poměrovou metodou, kde kapacita senzorů je porovnávána s kapacitou referenční. Celýsystém obsahuje i senzor teploty, jehož hodnoty lze též číst prostřednictvím sběrnice.Obrázek 6.18:Rozhraní pro kapacitní senzoryObrázek 6.19 Výstup senzoruDalšíObrázek 6.19 ukazuje výstup senzoru při změně kapacity po 0.5 pF. Celý mikrosystéminteligentního senzoru byl realizován na malé desce plošného spoje obsahující několik čipůjak ukazuje Obrázek 6.20 v porovnání s jedním americkým centem.Obrázek 6.20 Inteligentní kapacitní senzor