Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké uÄÂenàtechnické ...
Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké uÄÂenàtechnické ... Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké uÄÂenàtechnické ...
Mikrosenzory a mikromechanické systémy 3Seznam obrázkůOBRÁZEK 3.1: OBECNÉ ZNÁZORNĚNÍ FUNKCE SENZORU.........................................................8OBRÁZEK 3.2: VÝVOJ SENZORŮ A JEJICH NÁZVY VYJADŘUJÍCÍ NÁRŮST JEJICH SLOŽITOSTI ..10OBRÁZEK 3.3: STRUKTURA MĚŘICÍ A ŘÍDÍCÍ JEDNOTKY........................................................10OBRÁZEK 3.4: PŘÍKLADY STATICKÉ PŘENOSOVÉ CHARAKTERISTIKY....................................15OBRÁZEK 3.5: STATICKÉ PARAMETRY SENZORŮ...................................................................15OBRÁZEK 4.1: VYUŽITÍ TLV TECHNOLOGIE V NETRADIČNÍCH APLIKACÍCH (PODLEDUPONT [ 3]) 18OBRÁZEK 4.2:PROCES NANÁŠENÍ TLUSTÉ VRSTVY NA SUBSTRÁT METODOU SÍTOTISKU.......20OBRÁZEK 4.3: PRINCIP VYUŽITÍ KAPACITNÍCH SENZORŮ ......................................................24OBRÁZEK 4.4:TLUSTOVRSTVÝ SENZOR PRO MĚŘENÍ VLHKOSTI S INTEGROVANÝMI OBVODYPRO ZPRACOVÁNÍ SIGNÁLU (ASTABILNÍ KLOPNÝ OBVOD PŘEVÁDÍ ZMĚNU ODPORU VRSTVYNA ZMĚNU FREKVENCE).....................................................................................................89OBRÁZEK 4.5: PRINCIP ODPOROVÉHO SNÍMAČE POLOHY ......................................................24OBRÁZEK 4.6: ODPOROVÝ CERMETOVÝ SENZOR STAVU PALIVA (DUPONT) .........................38OBRÁZEK 4.7: POLEM URYCHLENÁ ČÁSTICE INERTNÍHO PLYNU ...........................................25OBRÁZEK 4.8: PŘEMĚNA NEUTRÁLNÍHO ATOMU NA KLADNÝ IONT.......................................26OBRÁZEK 4.9: KATODOVÉ NAPRAŠOVÁNÍ ............................................................................26OBRÁZEK 4.10:PRINCIP SMĚROVÁNÍ ČÁSTIC VLIVEM ELEKTRICKÉHO (E) A MAGNETICKÉHO(B) POLE 27KATODA S MAGNETRONEM A VYTVOŘENÉ PLAZMA...................................27OBRÁZEK 4.11:OBRÁZEK 4.12:VYTVOŘENÍ TOČIVÉHO POLE ČÁSTIC PRO KONCENTRACI PLAZMY DOSTŘEDU HLAVICE ...............................................................................................................27OBRÁZEK 4.13: VAKUOVÉ DEKOMPOZIČNÍ NAPAŘOVÁNÍ ...................................................28OBRÁZEK 4.14: PŘÍKLAD VYTVOŘENÍ TENKOVRSTVÉHO ODPORU ......................................33OBRÁZEK 4.15: PŘÍKLAD LEPTÁNÍ JÁMY DO SI ZA POUŽITÍ MASKY.....................................34OBRÁZEK 5.1: NÁHRADNÍ ELEKTRICKÉ SCHÉMA ODPOROVÉHO SENZORU A PŘÍVODNÍHOVEDENÍ 35OBRÁZEK 5.2: PRINCIP KONTAKTOVÉHO SENZORU A IDEÁLNÍ PRŮBĚH ZÁVISLOSTI ODPORUNA VZDÁLENOSTI KONTAKTŮ ............................................................................................36ZAPOJENÍ POTENCIOMETRU DO OBVODU........................................................37ZÁKLADNÍ CHARAKTERISTIKY MĚŘICÍHO POTENCIOMETRU...........................38PŘÍKLADY KONSTRUKCÍ POLOVODIČOVÝCH TENZOMETRŮ............................40OBRÁZEK 5.3:OBRÁZEK 5.4:OBRÁZEK 5.5:OBRÁZEK 5.6:TLUSTOVRSTVÝ TERMISTOR – OD TLUSTOVRSTVÉHO REZISTORU SE LIŠÍ JENTYPEM PASTY 41OBRÁZEK 5.7: TEPLOTNÍ ZÁVISLOST ELEKTRICKÉHO ODPORU CERMETOVÝCH PTCTERMISTOROVÝCH PAST ŘADY PTC-2600 (PRO REZISTOR 1MM X 1MM) VYRÁBĚNÝCHFIRMOU ELECTRO-SCIENCE LABORATORIES, INC., [ 5 ]. ....................................................42OBRÁZEK 5.8:ZÁVISLOSTI ODPORU NA TEPLOTĚ U NTC TERMISTOROVÝCH PAST SÉRIENTC-2100 FIRMY ESL. PLATÍ PRO REZISTOR 1MM X 1MM A TLOUŠŤKU NATIŠTĚNÉZASUŠENÉ VRSTVY 25 MM, [ 5 ].........................................................................................44OBRÁZEK 6.1:NÁČRT SENZORU SE ZMĚNOU PLOCHY ELEKTROD S POPISEM PARAMETRŮ.....48OBRÁZEK 6.2: NORMALIZOVANÁ CHARAKTERISTIKA SENZORU SE ZMĚNOU PLOCHYELEKTRODY 48OBRÁZEK 6.3: NÁČRT SENZORU SE ZMĚNOU PLOCHY DIELEKTRIKA S POPISEM PARAMETRŮ 48OBRÁZEK 6.4:NÁČRT SENZORU SE ZMĚNOU TLOUŠŤKY DIELEKTRIKA S POPISEM PARAMETRŮ49OBRÁZEK 6.5: CHARAKTERISTIKA SENZORU SE ZMĚNOU TLOUŠŤKY DIELEKTRIKA ..............49OBRÁZEK 6.6: NÁHRADNÍ ZAPOJENÍ KAPACITNÍHO SNÍMAČE................................................49OBRÁZEK 6.7: ZAPOJENÍ KAPACITNÍHO SNÍMAČE K MĚŘICÍMU OBVODU...............................50
4 Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií VUT v BrněOBRÁZEK 6.8: DIFERENČNÍ KAPACITNÍ SENZOR S PROMĚNNOU PLOCHOU: A) PRINCIP, B)PŘEVODNÍ CHARAKTERISTIKA ........................................................................................... 50OBRÁZEK 6.9: 4-KVADRANTOVÝ KAPACITNÍ SNÍMAČ........................................................... 51OBRÁZEK 6.10: PRŮBĚH POLE MEZI ELEKTRODAMI............................................................ 52OBRÁZEK 6.11: DETAIL PRSTENCE A AKTIVNÍ STÍNĚNÍ SNÍMAČE........................................ 52OBRÁZEK 6.12:PRINCIP ČINNOSTI KAPACITNÍHO OBVODOVÉHO TEPLOTNÍHO SENZORU SBIMETALOVÝM PROUŽKEM [1]. ......................................................................................... 52OBRÁZEK 6.13:SENZORY ATMOSFÉRICKÉHO TLAKU V ZAPOJENÍ S KAPACITNÍM PŘEVODEMZMĚNY ATMOSFÉRICKÉHO TLAKU NA ELEKTRICKÝ SIGNÁL............................................... 53OBRÁZEK 6.14:SENZOR HUMICAP, VYVINUTÝ FIRMOU VAISALA, JEHO PRINCIP ACHARAKTERISTIKY............................................................................................................ 54OBRÁZEK 6.15: KAPACITNÍ SENZOR OTISKU PRSTŮ............................................................ 54OBRÁZEK 7.1:NÁHRADNÍ ZAPOJENÍ INDUKČNOSTNÍHO SNÍMAČE SE SPOJOVACÍM VEDENÍMPRO PŘIPOJENÍ DO MĚŘICÍHO OBVODU ............................................................................... 58OBRÁZEK 8.1: PIEZOELEKTRICKÝ SNÍMAČ ........................................................................... 66OBRÁZEK 8.2: NÁHRADNÍ ELEKTRICKÉ SCHÉMA PIEZOELEKTRICKÉHO SENZORU................. 67OBRÁZEK 8.3: PRAKTICKÉ NÁHRADNÍ ELEKTRICKÉ SCHÉMA PIEZOELEKTRICKÉHO SENZORU67OBRÁZEK 8.4: PŘÍKLADY VYUŽITÍ PIEZOELEKTRICKÝCH SENZORŮ ...................................... 68OBRÁZEK 8.5: PRINCIP TERMOČLÁNKU................................................................................ 62OBRÁZEK 8.6: ZÁKLADNÍ ZAPOJENÍ KOMPENZAČNÍHO OBVODU TERMOČLÁNKU ................. 63OBRÁZEK 8.7: PLANÁRNÍ MULTI-TERMOČLÁNEK.................................................................. 64OBRÁZEK 8.8: VRSTVOVÝ PLANÁRNÍ TERMOČLÁNEK .......................................................... 65OBRÁZEK 9.1: CCD SENZOR: A) MOS KAPACITOR, B) PN PŘECHOD.................................... 74OBRÁZEK 9.2: METODA VYHODNOCOVÁNÍ ČTVEŘIC............................................................ 75OBRÁZEK 9.3: CCD ČIP KAF 4202 ...................................................................................... 75OBRÁZEK 10.1: PRINCIPIÁLNÍ STRUKTURA CHEMICKÉHO SENZORU ................................... 82OBRÁZEK 10.2:STANDARDNÍ ELEKTRODY PRO MĚŘENÍ VODIVOSTI KAPALNÝCH ROZTOKŮ:A – PRŮTOKOVÉ, B – SKLENĚNÉ S PT PRSTÝNKY, C - PT DESKOVÉ .................................. 84OBRÁZEK 10.3: PRŮBĚH POMĚRNÝCH PROUDŮ MEZI ELEKTRODAMA V PLANÁRNÍSTRUKTUŘE 84OBRÁZEK 10.4: TLUSTOVRSTVÝ SENZOR NA BÁZI SNO 2 (RESEARCH GROUP GÖPEL)VYROBENÝ SOL – GEL TECHNOLOGIÍ. ............................................................................. 84TLV SENZORY: A) 10 RŮZNÝCH HŘEBÍNKOVÝCH PT TLUSTOVRSTVÝCHČIDEL, B) SENZOR PLYNŮ – HORNÍ STRANA S ELEKTRODAMI A PŘEVODNÍKEM, C) SPODNÍSTRANA S OHŘÍVACÍM ELEMENTEM A TCR ČIDLEM .......................................................... 85OBRÁZEK 10.5:OBRÁZEK 10.6: VLEVO PRINCIP FUNKCE CHEMICKÉHO SENZORU NA BÁZI OXIDŮ KOVŮ,VPRAVO TLUSTOVRSTVÝ SENZOR NA BÁZI POLOVODIČOVÝCH OXIDŮ OD FIRMY SCIMAREC,TYP AF – 20 URČENÝ PRO DETEKCI ÚNIKU PLYNŮ............................................................. 85OBRÁZEK 10.7:VLEVO UKÁZKA ZMĚNY CITLIVOSTI SNO2 SENZORU PRO RŮZNÉ TEPLOTYPŘI PŮSOBENÍ UHLOVODÍKU, VPRAVO ČASY ODEZVY PRO 50% ZMĚNU REZISTIVITYSENZORU PŘI PŮSOBENÍ RŮZNÝCH PLYNŮ.......................................................................... 86OBRÁZEK 10.8: OBRÁZEK 9 . 2.5: KALIBRAČNÍ KŘIVKY ODEZVY SNO2 SENZORUVYROBENÉHO SOL-GEL TECHNOLOGIÍ NA CO (PRO KONCENTRACE 500PPB AŽ 10 000PPM, SCH 4 JAKO INTERFERUJÍCÍM PLYNEM) A ODEZVY NA NO2. ................................................ 87OBRÁZEK 10.9: IMPEDANČNÍ CHARAKTERISTIKA JEDNÉ ELEKTRODY V ROZTOKU.............. 88OBRÁZEK 10.10: MODEL IMPEDANČNÍHO INTERFACU ELEKTRODY ...................................... 88OBRÁZEK 10.11: IMPEDAČNÍ CHARAKTERISTIKA SENZORU PLYNŮ NA BÁZI ORGANOKOVU . 88
- Page 4 and 5: DESCRIPTIONSafety FittingsIt is not
- Page 8: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 11 and 12: 8 Fakulta elektrotechniky a komunik
- Page 14 and 15: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 16 and 17: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 18 and 19: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 20 and 21: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 22 and 23: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 24 and 25: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 26 and 27: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 28 and 29: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 30 and 31: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 32 and 33: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 34 and 35: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 36 and 37: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 38 and 39: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 40 and 41: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 42 and 43: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 44 and 45: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 46 and 47: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 48 and 49: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 50 and 51: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 52 and 53: Mikrosenzory a mikromechanické sys
- Page 54 and 55: Mikrosenzory a mikromechanické sys
<strong>Mikrosenzory</strong> a mikromechanické systémy 3Seznam obrázkůOBRÁZEK 3.1: OBECNÉ ZNÁZORNĚNÍ FUNKCE SENZORU.........................................................8OBRÁZEK 3.2: VÝVOJ SENZORŮ A JEJICH NÁZVY VYJADŘUJÍCÍ NÁRŮST JEJICH SLOŽITOSTI ..10OBRÁZEK 3.3: STRUKTURA MĚŘICÍ A ŘÍDÍCÍ JEDNOTKY........................................................10OBRÁZEK 3.4: PŘÍKLADY STATICKÉ PŘENOSOVÉ CHARAKTERISTIKY....................................15OBRÁZEK 3.5: STATICKÉ PARAMETRY SENZORŮ...................................................................15OBRÁZEK 4.1: VYUŽITÍ TLV TECHNOLOGIE V NETRADIČNÍCH APLIKACÍCH (PODLEDUPONT [ 3]) 18OBRÁZEK 4.2:PROCES NANÁŠENÍ TLUSTÉ VRSTVY NA SUBSTRÁT METODOU SÍTOTISKU.......20OBRÁZEK 4.3: PRINCIP VYUŽITÍ KAPACITNÍCH SENZORŮ ......................................................24OBRÁZEK 4.4:TLUSTOVRSTVÝ SENZOR PRO MĚŘENÍ VLHKOSTI S INTEGROVANÝMI OBVODYPRO ZPRACOVÁNÍ SIGNÁLU (ASTABILNÍ KLOPNÝ OBVOD PŘEVÁDÍ ZMĚNU ODPORU VRSTVYNA ZMĚNU FREKVENCE).....................................................................................................89OBRÁZEK 4.5: PRINCIP ODPOROVÉHO SNÍMAČE POLOHY ......................................................24OBRÁZEK 4.6: ODPOROVÝ CERMETOVÝ SENZOR STAVU PALIVA (DUPONT) .........................38OBRÁZEK 4.7: POLEM URYCHLENÁ ČÁSTICE INERTNÍHO PLYNU ...........................................25OBRÁZEK 4.8: PŘEMĚNA NEUTRÁLNÍHO ATOMU NA KLADNÝ IONT.......................................26OBRÁZEK 4.9: KATODOVÉ NAPRAŠOVÁNÍ ............................................................................26OBRÁZEK 4.10:PRINCIP SMĚROVÁNÍ ČÁSTIC VLIVEM ELEKTRICKÉHO (E) A MAGNETICKÉHO(B) POLE 27KATODA S MAGNETRONEM A VYTVOŘENÉ PLAZMA...................................27OBRÁZEK 4.11:OBRÁZEK 4.12:VYTVOŘENÍ TOČIVÉHO POLE ČÁSTIC PRO KONCENTRACI PLAZMY DOSTŘEDU HLAVICE ...............................................................................................................27OBRÁZEK 4.13: VAKUOVÉ DEKOMPOZIČNÍ NAPAŘOVÁNÍ ...................................................28OBRÁZEK 4.14: PŘÍKLAD VYTVOŘENÍ TENKOVRSTVÉHO ODPORU ......................................33OBRÁZEK 4.15: PŘÍKLAD LEPTÁNÍ JÁMY DO SI ZA POUŽITÍ MASKY.....................................34OBRÁZEK 5.1: NÁHRADNÍ ELEKTRICKÉ SCHÉMA ODPOROVÉHO SENZORU A PŘÍVODNÍHOVEDENÍ 35OBRÁZEK 5.2: PRINCIP KONTAKTOVÉHO SENZORU A IDEÁLNÍ PRŮBĚH ZÁVISLOSTI ODPORUNA VZDÁLENOSTI KONTAKTŮ ............................................................................................36ZAPOJENÍ POTENCIOMETRU DO OBVODU........................................................37ZÁKLADNÍ CHARAKTERISTIKY MĚŘICÍHO POTENCIOMETRU...........................38PŘÍKLADY KONSTRUKCÍ POLOVODIČOVÝCH TENZOMETRŮ............................40OBRÁZEK 5.3:OBRÁZEK 5.4:OBRÁZEK 5.5:OBRÁZEK 5.6:TLUSTOVRSTVÝ TERMISTOR – OD TLUSTOVRSTVÉHO REZISTORU SE LIŠÍ JENTYPEM PASTY 41OBRÁZEK 5.7: TEPLOTNÍ ZÁVISLOST ELEKTRICKÉHO ODPORU CERMETOVÝCH PTCTERMISTOROVÝCH PAST ŘADY PTC-2600 (PRO REZISTOR 1MM X 1MM) VYRÁBĚNÝCHFIRMOU ELECTRO-SCIENCE LABORATORIES, INC., [ 5 ]. ....................................................42OBRÁZEK 5.8:ZÁVISLOSTI ODPORU NA TEPLOTĚ U NTC TERMISTOROVÝCH PAST SÉRIENTC-2100 FIRMY ESL. PLATÍ PRO REZISTOR 1MM X 1MM A TLOUŠŤKU NATIŠTĚNÉZASUŠENÉ VRSTVY 25 MM, [ 5 ].........................................................................................44OBRÁZEK 6.1:NÁČRT SENZORU SE ZMĚNOU PLOCHY ELEKTROD S POPISEM PARAMETRŮ.....48OBRÁZEK 6.2: NORMALIZOVANÁ CHARAKTERISTIKA SENZORU SE ZMĚNOU PLOCHYELEKTRODY 48OBRÁZEK 6.3: NÁČRT SENZORU SE ZMĚNOU PLOCHY DIELEKTRIKA S POPISEM PARAMETRŮ 48OBRÁZEK 6.4:NÁČRT SENZORU SE ZMĚNOU TLOUŠŤKY DIELEKTRIKA S POPISEM PARAMETRŮ49OBRÁZEK 6.5: CHARAKTERISTIKA SENZORU SE ZMĚNOU TLOUŠŤKY DIELEKTRIKA ..............49OBRÁZEK 6.6: NÁHRADNÍ ZAPOJENÍ KAPACITNÍHO SNÍMAČE................................................49OBRÁZEK 6.7: ZAPOJENÍ KAPACITNÍHO SNÍMAČE K MĚŘICÍMU OBVODU...............................50
Change language