Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

52 Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií VUT v BrněObrázek 6.10:Průběh pole mezi elektrodami–+31 2Obrázek 6.11:Detail prstence a aktivní stínění snímače6.2 Příklady kapacitních senzorůPrvním příkladem kapacitního senzoru je kapacitní senzor teploty s bimetalovouelektrodou založený na principu změny vzdálenosti elektrod a vyrobený tlustovrstvoutechnologií (Obrázek 6.12) [9]. Druhou elektrodu kondenzátoru tvoří vodivá pasta natištěnána substrátu. Tato elektroda je zapojena do obvodu, bimetalová elektroda je na nulovémpotenciálu. Se změnou teploty dojde k prohnutí bimetalového proužku a tím i ke změněkapacity kondenzátoru. Tuto změnu následně vyhodnotí další elektrické obvody realizovanéna substrátu.bimetalový proužeksubstrátTLV elektrodaObrázek 6.12:Princip činnosti kapacitního obvodového teplotního senzoru s bimetalovýmproužkemHorní bimetalovou elektrodu lze sice do obvodu připojit (např. nakontaktovánímpomocí tenkých Au nebo Al drátků, viz. [4]), vhodnější je ale použít uspořádání se dvěmavzduchovými kondenzátory v sérii, kde bimetalový proužek tvoří společnou horní elektrodudvěma elektrodám natištěným na substrátu.