Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

Mikrosenzory a mikromechanické systémy 511y2xObrázek 6.9:34-kvadrantový kapacitní snímač4Kapacitní snímače využíváme především v těch aplikacích, kde se uplatňujejednoduchost jejich konstrukce, malá hmotnost elektrod a další jejich přednosti. Nevýhodouje nutnost kompenzace parazitního vlivu spojovacího kabelu. Jelikož kapacita snímače závisína jeho rozměrech, mohou změny rozměrů snímače způsobené teplotou zapříčinit přinevhodné konstrukci snímače značné chyby měření. Pomocí kapacitních snímačů se měřípředevším poloha (geometrické rozměry), tlaková síla, tlak, krouticí moment, hladina,vlhkost, zrychlení analýzy plynů, atd. Technologie využívaná pro výrobu mechanických částíkapacitních senzorů řadíme do oblasti mikromechanizovaní popsané v kapitole 12.a) pro měření polohyb) pro měření zrychleníPro dobrou linearitu charakteristiky musí být dodrženo homogenní pole mezielektrodami. Toto nebývá splněno na okrajích elektrod jak demonstruje Obrázek 6.10. Z tohodůvodu je u jedné elektrody vyroben stínicí prstenec, který při vhodném spojení s jednouelektrodou homogenizuje pole mezi elektrodami (viz. Obrázek 6.11). Budou-li páry 1,2 nebo2,3 na stejném potenciálu kapacita se nezmění, pole bude homogenní a parazitní kapacity naokrajích jsou potlačeny.