Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

Mikrosenzory a mikromechanické systémy 49∆Cε1−1C ε2= , ( 6.9 )d0 d1ε1dd 2+ε2kde d d1 je tloušťka jednoho materiálu dielektrika, d d2 je tloušťka druhého materiáludielektrika, ε 1 je permitivita jednoho materiálu dielektrika a ε 2 je permitivita druhéhomateriálu dielektrika.ε 1d 1d 2dObrázek 6.4:ε 2Náčrt senzoru se změnou tloušťky dielektrika s popisem parametrů∆C/C00.30.20.1ε 1/ ε 21/1001/101/51/20 5 10 d1/d2Obrázek 6.5:Charakteristika senzoru se změnou tloušťky dielektrika• změna permitivity dielektrika – permitivity dielektrika je ovlivněna neelektrickouveličinou. To vede ke změně kapacity snímače. Předpokládá se S = konstanta,d = konstanta, ε r = f(neel.veličina) a konstantní tloušťka dielektrika.Náhradní schéma kapacitního snímače je nakresleno na Obrázek 6.6. Snímačneobsahuje jen čistou kapacitu, ale též indukčnost a odpor. Vliv parazitní indukčnosti jemožné pro většinu případů zanedbat. Odpor R iz představuje svod a dielektrické ztrátykapacitoru C, R V reprezentuje odpor elektrod a přívodů.R izCRCObrázek 6.6:Náhradní zapojení kapacitního snímače