Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

44 Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií VUT v BrněNTC-2114 2125 10 k 1 k – 100 kNTC-2115 2500 100 k 10 k – 1 MNTC-2116 3100 1000 k 100 k – 10 MObrázek 5.9: Závislosti odporu na teplotě u NTC termistorových past série NTC-2100firmy ESL. Platí pro rezistor 1mm x 1mm a tloušťku natištěné zasušené vrstvy 25 mm, [5].5.6 Odporové senzory vlhkostiU odporových senzorů vlhkosti je možnost jak přímého tak nepřímého měření.Přímé měření se využívá pro pevné a sypké látky, kdy se systémem elektrod změří vodivostlátky, která je závislá na její vlhkosti. K měření se užívá střídavé napětí. Tato metoda jevýhodná pro měření vlhkosti dřeva, obilí, textilu apod. Tyto senzory patří více do chemickýchsenzorů (Kapitola 11), kde jsou podrobněji popsány.Nepřímé měření je měření, kdy je měření vlhkosti převedeno na měření teploty, rozdíluteplot nebo polohy. Nejčastější jsou pro plyny dvě metody – psychometrická a hygrometrická.Psychometrická metoda využívá rozdílu teplot mezi mokrým a suchým teploměrem, z níž lzeusoudit vlhkost plynu. Hygrometrická metoda je založena na schopnosti některých látekudržovat svoji vlhkost v rovnováze s vlhkostí okolních vzduchu. Změny vlhkosti jsoupřeváděny na změny odporového článku. Podmínkou této metody je vratnost děje.5.7 Odporové senzory zářeníOdporové senzory záření se v polovodičové oblasti dělí na senzory bez PN přechodu(fotorezistory) a na senzory s PN přechodem (fotodiody, fototranzistory).Fotorezistory jsou jednou ze základních elektronických součástek. Jsou to odporovésenzory založené na změně vodivosti polovodiče působením elektromagnetického záření(nejčastěji světelného). Rozlišuje se kladný a záporný fotoelektrický vodivostní jev (kladný –zvětšení vodivosti, záporný – zmenšení vodivosti). U používaných polovodičů se využívákladný fotoelektrický vodivostní jev. Ten je způsoben generací volných nosičů náboje vlivemabsorbované energie. Senzor je často konstrukčně řešen nanesením vrstvy fotocitlivéhomateriálu (např. sirník kademnatý) na podložku a opatřené dvojicí napařených kovovýchkontaktů. Pro dosažení maximální účinnosti je citlivá vrstva navržena do tvaru meandru a je