Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké učení technické ...

Mikrosenzory a mikromechanické systémy 13• Dělení podle výrobní technologie – Senzory jsou rozděleny podle technologie výroby.Náleží sem např. senzory elektromechanické, mechanické, pneumatické, elektrické,elektronické, mikroelektronické (technologie tlustých vrstev, technologie tenkých vrstev,polovodičová technologie), elektrochemické, optoelektronické. V současnosti největšívývoj senzorů je v mikroelektronických technologiích.3.3 Základní parametry senzorůPři výběru senzoru pro určitou aplikaci stojí návrhář vždy před rozhodnutímvycházejícím z požadavků kladených na konkrétní typ senzoru. Mnohé obecné požadavkyjsou protichůdné, a proto je třeba volit kompromis – velmi často mezi cenou a přesností.Mezi obecné požadavky na vlastnosti senzorů nejčastěji patří:• jednoznačná závislost výstupní veličiny na veličině měřené• velká citlivost senzoru• vhodný průběh základních statických charakteristik• velká přesnost a časová stálost• minimální závislost na vlivech okolního prostředí (mimo vlivů měřených)• minimální zatěžování měřeného objektu• vysoká spolehlivost• velmi nízká pořizovací cena a nízké náklady na provoz• jednoduchá obsluha a údržbuVhodná závislost výstupní veličiny na veličině měřené a vhodný průběh základníchcharakteristik jsou často rozhodující požadavky návrháře na použitý senzor. Důležitécharakteristiky a typické parametry popisující základní statické a dynamické vlastnostisenzoru lze shrnout do následujícího přehledu:• Statické vlastnosti senzoru:o Statická přenosová charakteristika (kalibrační křivka) – udává vztah mezi výstupnía měřenou veličinou.o Citlivost – je definována jako sklon statické přenosové charakteristiky.o Limit detekce (práh citlivosti, dolní hranice měřícího rozsahu) - je nejnižší hodnotaměřené veličiny, která může být senzorem detekována.o Plný rozsah (horní hranice měřícího rozsahu) – je nejvyšší hodnota měřenéveličiny, která může být senzorem detekována.o Dynamický rozsah – je dán intervalem dolní a horní hranicí měřícího rozsahu, tj.mezi limitem detekce a plným rozsahemo Linearita (též chyba linearity, nelinearita nebo integrální nelinearita) – udávámaximální odchylku kteréhokoliv kalibračního bodu od odpovídajícího bodu naideální statické přenosové charakteristice.