Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké uÄÂenàtechnické ...
Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké uÄÂenàtechnické ...
Mikrosenzory a mikromechanické systémy - Vysoké uÄÂenàtechnické ...
- No tags were found...
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
<strong>Mikrosenzory</strong> a mikromechanické systémy 99pohybu, jako senzor rychlosti, zrychlení, senzory pozice, gyroskop apod. Jako převodníky sepotom u těchto senzorů využívá kapacitní metody, tedy kapacitní senzory MEMSPříklady akčních a snímacích členů podle [30], [31] ukazuje Obrázek 12.2.Obrázek 12.2: Příklady akčních a snímacích členů MEMS podle [30], [31]