Mikrosenzory a mikromechanickÃƒÂ© systÃƒÂ©my - VysokÃƒÂ© uÃ„ÂenÃƒÂ technickÃƒÂ© ...

More documents

Recommendations

Info

<strong>Mikrosenzory</strong> a mikromechanické systémy 9711.5 Fluorescenční chemické senzory11.6 BiosenzoryJedná se zvláštní druh senzorů, které můžou využívat převodníků na elektrickouveličinu a metod měření popsaných v předchozích kapitolách, ale liší se hlavně tím, že pracujís biologicky aktivním materiálem a tím i konstrukcí, viz Obrázek 11.25. Osahují převážněmembránu jež převádí měřenou veličinu na neelektrickou, která je poté převodníkempřevedena na veličinu elektrickou např. některým typem z předcházející nabídky. Membránusi lze představit jako síť molekul, které dokáží přijmout pouze určité molekuly a navázat je nasebe či s nimi zreagovat. Mluvíme tedy o antitěle, do kterého zapadne pouze určité tělodetekované látky.Obrázek 11.25: Principiální činnost biosenzoru
98 Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií VUT v Brně12 Mikroelektromechanické systémyCíle kapitoly: Seznámit studenty s mikroelektromechanickými systémy12.1 Obecně o mikroelektromechanických systémechMikro-Elektro-Mechanické Systémy (MEMS) je integrace mechanických elementůsenzorů či aktuátorů, jež umožňují řešení problému v podobě mikrosystému, tj. i selektronikou na křemíkový substrát pomocí mikroelektronických technologií. Zatímcoelektronické součástky jsou vytvářené sekvencemi procesů pro výrobu integrovaných obvodů(např. CMOS, Bipolární nebo BICMOS procesy), mikro-mechanické součásti jsou vytvořenépoužitím mikro-obráběcích procesů, tj. leptacích technik vyšší úrovně, které selektivněodleptávají část křemíkového plátku či kovu nebo přidávají nové strukturální vrstvy provytvoření mechanických nebo elektromechanických zařízení, Obrázek 12.1.Obrázek 12.1: Mikroelektromechanický systémMEMS slibuje způsobit převrat téměř ve všech kategoriích produktů pomocí spojenímikroelektroniky založené na křemíku s mikro-obráběcími technologie. To umožňujerealizaci kompletních systémů na čipu (systems-on-a-chip). Technologie MEMS tak dovolujevývoj SMART produktů, rozšíření výpočtové schopnosti mikroelektroniky o vnímáním akontrolními schopnostmi mikro-senzorů a mikro-aktuátorů a rozšiřování prostoru možnýchnávrhů a aplikací.Mikroelektronické integrované obvody jsou řídicí částí systému (mohou býtpovažovány za "mozky" systému) a MEMS zvětší schopnost rozhodování o snímací a akčníčást systému ("oči" a "ruce" systému). To dovolí MEMS ovládat prostředí a reagovat na jehopodměty. Senzory získávají informace z prostředí na základě měření mechanických,tepelných, biologických, chemických, optických a magnetických jevů. Elektronika pakzpracuje informaci obdrženou ze senzorů a na základě rozhodnutí řídí akční členy např.odpovídajícím posunem, umístěním, regulací, pumpováním a filtrováním, a tím ovládáprostředí pro nějaký požadovaný výsledek nebo účel. Mezi MEMS řadíme např. senzory
Page 4 and 5:
DESCRIPTIONSafety FittingsIt is not
Page 6 and 7:
Mikrosenzory a mikromechanické sys
Page 8:
Page 11 and 12:
8 Fakulta elektrotechniky a komunik
Page 14 and 15:
Page 16 and 17:
Page 18 and 19:
Page 20 and 21:
Page 22 and 23:
Page 24 and 25:
Page 26 and 27:
Page 28 and 29:
Page 30 and 31:
Page 32 and 33:
Page 34 and 35:
Page 36 and 37:
Page 38 and 39:
Page 40 and 41:
Page 42 and 43:
Page 44 and 45:
Page 46 and 47:
Page 48 and 49:
Page 50 and 51: Mikrosenzory a mikromechanické sys
Page 106: Mikrosenzory a mikromechanické sys
show all

Mikrosenzory a mikromechanickÃƒÂ© systÃƒÂ©my - VysokÃƒÂ© uÃ„ÂenÃƒÂ­ technickÃƒÂ© ...

Create successful ePaper yourself

Delete template?

Save as template?

Mikrosenzory a mikromechanickÃƒÂ© systÃƒÂ©my - VysokÃƒÂ© uÃ„ÂenÃƒÂ technickÃƒÂ© ...