液态光致抗蚀刻及图形转移工艺

液 态 光 致 抗 蚀 刻 及 图 形 转 移 工 艺引 言 :PCB 制 造 工 艺 (Technology) 中 , 无 论 是 单 、 双 面 板 及 多 层 板 (MLB), 最 基 本 、 最 关 键 的 工 序 之一 是 图 形 转 移 , 即 将 照 相 底 版 (Art-work) 图 形 转 移 到到 敷 铜 箔 基 材 上 。 图 形 转 移 是 生 产 中 的 关 键 控 制 点 ,也 是 技 术 难 点 所 在 。 其 工 艺 方 法 有 很 多 , 如 丝 网 印 刷 (Screen Printing) 图 形 转 移 工 艺 、 干 膜 (Dry Film)图 形 转 移 工 艺 、 液 态 光 致 抗 蚀 剂剂 (Liquid Photoresist) 图 形 转 移 工 艺 、 电 沉 积 光 致 抗 蚀 剂剂 (ED 膜 ) 制 作 工艺 以 及 镭 射 直 接 成 像 技 术 (Laser Drect Image)。 当 今 能 取 而 代 之 干 膜 图 形 转 移 工 艺 的 首 推 液 态 光 致 抗 蚀 剂剂图 形 转 移 工 艺 , 该 工 艺 以 膜 薄 , 解 析 度 (Resolution) 高 , 成 本 低 , 操 作 条 件 要 求 低 等 优 势势 得 到到 广 泛 应 用 。 本文 就 PCB 图 形 转 移 中 液 态 光 致 抗 蚀 剂剂 及 其 制 作 工 艺 进 行 浅 析 。一 . 液 态 光 致 抗 蚀 剂剂 (Liquid Photoresist)液 态 光 致 抗 蚀 剂剂 ( 简 称 湿 膜 ) 是 由 感 光 性 树 脂 , 配 合 感 光 剂剂 、 色 料 、 填 料 及 溶 剂剂 等 制 成 , 经 光 照 射 后产 生 光 聚 合 反 应 而 得 到到 图 形 , 属 负 性 感 光 聚 合 型 。 与 传 统 抗 蚀 油 墨 及 干 膜 相 比 具 有 如 下 特 点 :a) 不 需 要 制 丝 网 模 版 。 采 用 底 片 接 触 曝 光 成 像 (Contact Printig), 可 避 免 网 印 所 带 来 的 渗 透 、 污 点 、 阴影 、 图 像 失 真 等 缺 陷 。 解 像 度 (Resolution) 大 大 提 高 , 传 统 油 墨 解 像 度 为 200um, 湿 膜 可 达 40um。b) 由 于 是 光 固 化化 反 应 结 膜 , 其 膜 的 密 贴 性 、 结 合 性 、 抗 蚀 能 力力 (Etch Resistance) 及 其 抗 电 镀 能 力力 比 传统 油 墨 好 。c) 湿 膜 涂 布 方 式 灵 活 、 多 样 , 工 艺 操 作 性 强 , 易 于 掌 握 。d) 与 干 膜 相 比 , 液 态 湿 膜 与 基 板 密 贴 性 好 , 可 填 充 铜 箔 表 面 轻 微 的 凹 坑 、 划 痕 等 缺 陷 。 再 则 湿 膜 薄 可 达5~10um, 只 有 干 膜 的 1/3 左 右 , 而 且 湿 膜 上 层 没 有 覆 盖 膜 ( 在 干 膜 上 层 覆 盖 有 约 为 25um 厚 的 聚酯 盖 膜 ), 故 其 图 形 的 解 像 度 、 清 晰 度 高 。 如 : 在 曝 光 时 间 为 4S/7K 时 , 干 膜 的 解 像 度 为 75um, 而湿 膜 可 达 到到 40um。 从 而 保 证 了 产 品品 质 量 。e) 以 前前 使 用 干 膜 常 出 现 的 起 翘 、 电 镀 渗 镀 、 线 路 不 整 齐 等 问 题 。 湿 膜 是 液 态 膜 , 不 起 翘 、 渗 镀 、 线 路 整齐 , 涂 覆 工 序 到到 显 形 工 序 允 许 搁 置 时 间 可 达 48hr, 解 决 了 生 产 工 序 之 间 的 关 联 矛 盾 , 提 高 了 生 产效 率 。f) 对 于 当 今 日 益 推 广 的 化化 学 镀 镍 金 工 艺 , 一 般 干 膜 不 耐 镀 金 液 , 而 湿 膜 耐 镀 金 液 。

g) 由 于 是 液 态 湿 膜 , 可 挠 性 强 , 尤 其 适 用 于 挠 性 板 (Flexible Printed Board) 制 作 。h) 湿 膜 由 于 本 身 厚 度 减 薄 而 物 d 料 成 本 降 低 , 且 与 干 膜 相 比 , 不 需 要 载 体 聚 酯 盖 膜 (Polyester Cover sheet)和和 起 保 护 作 用 的 聚 乙 烯 隔 膜 (Polyettylene Separator Sheet), 而 且 没 有 象 干 膜 裁 剪剪 时 那 样 大 的 浪 费 , 不需 要 处 理 后 续 废 弃 薄 膜 因 此 , 使 用 湿 膜 大 约 可 以 节 约 成 本 每 平 方 米 30~50%。i) 湿 膜 属 单 液 油 墨 容 易 存 贮 保 管 , 一 般 放 置 温 度 为 20±2℃, 相 对 湿 度 为 55±5%, 阴 凉 处 密 封 保 存 ,贮 存 期 (Storage Life):4~6 个 月 。j) 使 用 范 围 广 , 可 用 作 MLB 内 层 线 路 图 形 制 作 及 孔 化化 板 耐 电 镀 图 形 制 作 , 也 可 与 堵 孔 工 艺 结 合 作 为 掩孔 蚀 刻 图 形 抗 蚀 剂剂 , 还 可 用 于 图 形 模 板 的 制 作 等 。但 是 , 湿 膜 厚 度 (Thickness) 均 匀匀 性 不 及 干 膜 , 涂 覆 之 后 的 烘 干 程 度 也 不 易 掌 握 好 增 加 了 曝 光 困 难 . 故操 作 时 务 必 仔 细 。 另 外 , 湿 膜 中 的 助 剂剂 、 溶 剂剂 、 引 发 剂剂 等 的 挥 发 , 对 环 境 造 成 污 染 , 尤 其 是 对 操 作 者 有 一定 伤 害 。 因 此 , 工 作 场 地 必 须 通 风 良 好 。目 前前 , 使 用 的 液 态 光 致 抗 蚀 剂剂 , 外 观 呈呈 粘 稠 状 , 颜 色 多 为 蓝 色 (Blue)。 如 : 台 湾 精 化化 公 司 产 GSP1550、台 湾 缇 颖 公 司 产 APR-700 等 , 此 类 皆 属 于 单 液 油 墨 , 可 用 简 单 的 网 印 方 式 涂 覆 , 用 稀 碱 水 显 影 , 用 酸 性 或弱 碱 性 蚀 刻 液 蚀 刻 。液 态 光 致 抗 蚀 剂剂 的 使 用 寿 命命 (Lifespan): 其 使 用 寿 命命 与 操 作 环 境 和和 时 间 有 关 。 一 般 温 度 ≤25℃, 相 对湿 度 ≤60%, 无 尘 室 黄 光 下 操 作 , 使 用 寿 命命 为 3 天 , 最 好 24hr 内 使 用 完 。二 . 液 态 光 致 抗 蚀 剂剂 图 形 转 移液 态 光 致 抗 蚀 剂剂 工 艺 流 程 :上 道 工 序 → 前前 处 理 → 涂 覆 → 预 烘 → 定 位 → 曝 光 → 显 影 → 干 燥 → 检 查 修 版 → 蚀 刻 或电 镀 → 去 膜 → 交 下 工 序1. 前前 处 理 (Pre-cleaning)前前 处 理 的 主 要 目 的 是 去 除 铜 表 面 的 油 脂 (Grease)、 氧 化化 层 (Oxidized Layer)、 灰 尘 (Dust) 和和 颗 粒 (Particle)残 留 、 水 分 (Moisture) 和和 化化 学 物 质 (Chemicals) 特 别 是 碱 性 物 质 (Alkaline) 保 证 铜 (Copper) 表 面 清 洁

度 和和 粗 糙 度 , 制 造 均 匀匀 合 适 的 铜 表 面 , 提 高 感 光 胶 与 铜 箔 的 结 合 力力 , 湿 膜 与 干 膜 要 求 有 所 不 同 , 它 更 侧 重于 清 洁 度 。前前 处 理 的 方 法 有 : 机 械 研 磨 法 、 化化 学 前前 处 理 法 及 两 者 相 结 合 之 方 法 。1) 机 械 研 磨 法磨 板 条 件 :浸 酸 时 间 :6~8s。H2SO4: 2.5%。水洗 : 5s~8s。尼 龙 刷 (Nylon Brush):500~800 目 , 大 部 分 采 用 600 目 。磨 板 速 度 :1.2~1.5m/min, 间 隔 3~5cm。水压 :2~3kg/cm2。严 格 控 制 工 艺 参 数 , 保 证 板 面 烘 干 效 果 , 从 而 使 磨 出 的 板 面 无 杂 质 、 胶 迹 及 氧 化化 现 象 。 磨 完 板 后 最 好进 行 防 氧 化化 处 理 。2) 化化 学 前前 处 理 法对 于 MLB 内 层 板 (Inner Layer Board), 因 基 材 较 薄 , 不 宜 采 用 机 械 研 磨 法 而 常 采 用 化化 学 前前 处 理 法 。典 型 的 化化 学 前前 处 理 工 艺 :去 油 → 清 洗 → 微 蚀 → 清 洗 → 烘 干去 油 :Na3PO440~60g/lNa2CO340~60g/lNaOH10~20g/l温 度 : 40~60℃微 蚀 (Mi-croetehing):

NaS2O8 170~200g/lH2SO4(98%) 2%V/V温 度 : 20~40℃经 过 化化 学 处 理 的 铜 表 面 应 为 粉 红 色 。 无 论 采 用 机 械 研 磨 法 还 是 化化 学 前前 处 理 法 , 处 理 后 都 应 立 即 烘 干 。检 查 方 法 : 采 用 水 膜 试 验 , 水 膜 破 裂 试 验 的 原 理 是 基 于 液 相 与 液 相 或 者 液 相 与 固 相 之 间 的 介 面 化化 学 作用 。 若 能 保 持 水 膜 15~30s 不 破 裂 即 为 清 洁 干 净 。注 意 : 清 洁 处 理 后 的 板 子 应 戴 洁 净 手 套 拿 放 , 并 立 即 涂 覆 感 光 胶 , 以 防 铜 表 面 再 氧 化化 。2. 涂 覆 (Coating)滚 涂 等 。涂 覆 指 使 铜 表 面 均 匀匀 覆 盖 一 层 液 态 光 致 抗 蚀 剂剂 。 其 方 法 有 多 种 , 如 离 心 涂 覆 、 浸 涂 、 网 印 、 帘 幕 涂 覆 、丝 网 印 刷 是 目 前前 常 用 的 一 种 涂 覆 方 式 , 其 设 备 要 求 低 , 操 作 简 单 容 易 , 成 本 低 。 但 不 易 双 面 同 时 涂 覆 ,生 产 效 率 低 , 膜 的 均 匀匀 一 致 性 不 能 完 全 保 证 。 一 般 网 印 时 , 满 版 印 刷 采 用 100~300 目 丝 网 抗 电 镀 的 采 用150 目 丝 网 。 此 法 受 到到 多 数 中 小 厂 家 的 欢 迎 。滚 涂 可 以 实 现 双 面 同 时 涂 覆 , 自 动 化化 生 产 效 率 高 , 可 以 控 制 涂 层 厚 度 , 适 用 于 各 种 规 格 板 的 大 规 模 生产 , 但 需 设 备 投 资 。帘 幕 涂 覆 也 适 宜 大 规 模 生 产 , 也 能 均 匀匀 控 制 涂 覆 层 厚 度 , 但 设 备 要 求 高 , 且 只 能 涂 完 一 面 后 再 涂 另 一面 , 影 响响 生 产 效 率 。光 致 涂 覆 层 膜 太 厚 , 容 易 产 生 曝 光 不 足 , 显 影 不 足 , 感 压 性 高 , 易 粘 底 片 ; 膜 太 薄 , 容 易 产 生 曝 光 过度 , 抗 电 镀 绝 缘 性 差 及 易 产 生 电 镀 金 属 上 膜 的 现 象 , 而 且 去 膜 速 度 慢 。工 作 条 件 : 无 尘 室 黄 光 下 操 作 , 室 温 为 23~25℃, 相 对 湿 度 为 55±5%, 作 业 场 所 保 持 洁 净 , 避 免 阳光 及 日 光 灯 直 射 。涂 覆 操 作 时 应 注 意 以 下 几 方 面 1) 若 涂 覆 层 有 针 孔 , 可 能 是 光 致 抗 蚀 剂剂 有 不 明 物 , 应 用 丙 酮 洗 净 且 更 换 新 的 抗 蚀 剂剂 。 也 可 能 是 空 气 中 有微 粒 落 在 板 面 上 或 其 他 原 因 造 成 板 面 不 干 净 , 应 在 涂 膜 前前 仔 细 检 查 并 清 洁 。

2) 网 印 时 若 光 致 涂 覆 层 膜 太 厚 , 是 因 为 丝 网 目 数 太 小 ; 膜 太 薄 , 那 可 能 是 丝 网 目 数 太 大 所 致 。 若 涂 覆 层厚 度 不 均 匀匀 , 应 加 稀 释 剂剂 调 整 抗 蚀 剂剂 的 粘 度 或 调 整 涂 覆 的 速 度 。3) 涂 膜 时 尽 量 防 止 油 墨 进 孔 。4) 无 论 采 用 何 种 方 式 , 光 致 涂 覆 层 (Photoimageable covercoating) 都 应 达 到到 厚 度 均 匀匀 、 无 针 孔 、 气 泡 、夹 杂 物 等 , 皮 膜 厚 度 干 燥 后 应 达 到到 8~15um。5) 因 液 态 光 致 抗 蚀 剂剂 含 有 溶 剂剂 , 作 业 场 所 必 须 换 气 良 好 。6) 工 作 完 后 用 肥 皂 洗 净 手 。3. 预 烘 (Pre-curing)预 烘 是 指 通 过 加 温 干 燥 使 液 态 光 致 抗 蚀 剂剂 膜 面 达 到到 干 燥 , 以 方 便 底 片 接 触 曝 光 显 影 制 作 出 图 形 。 此 工序 大 都 与 涂 覆 工 序 同 一 室 操 作 。 预 烘 的 方 式 最 常 用 的 有 烘 道 和和 烘 箱 两 种 。一 般 采 用 烘 箱 干 燥 , 双 面 的 第 一 面 预 烘 温 度 为 80±5℃,10~15 分 钟 ; 第 二 面 预 烘 温 度 为 80±5℃,15~20 分 钟 。 这 种 一 先 一 后 预 烘 , 使 两 面 湿 膜 预 固 化化 程 度 存 在 差 异 , 显 影 的 效 果 也 难 保 证 完 全 一 致 。 理 想的 是 双 面 同 时 涂 覆 , 同 时 预 烘 , 温 度 80±5℃, 时 间 约 20~30 分 钟 。 这 样 双 面 同 时 预 固 化化 而 且 能 保 证 双 面显 影 效 果 一 致 , 且 节 约 工 时 。控 制 好 预 烘 的 温 度 (Temperature) 和和 时 间 (Time) 很 重 要 。 温 度 过 高 或 时 间 过 长 , 显 影 困 难 , 不 易 去膜 ; 若 温 度 过 低 或 时 间 过 短 , 干 燥 不 完 全 , 皮 膜 有 感 压 性 , 易 粘 底 片 而 致 曝 光 不 良 , 且 易 损 坏 底 片 。 所 以 ,预 烘 恰 当 , 显 影 和和 去 膜 较 快 , 图 形 质 量 好 。该 工 序 操 作 应 注 意 (1) 预 烘 后 , 板 子 应 经 风 冷 或 自 然 冷 却 后 再 进 行 底 片 对 位 曝 光 。(2) 不 要 使 用 自 然 干 燥 , 且 干 燥 必 须 完 全 , 否 则 易 粘 底 片 而 致 曝 光 不 良 。 预 烘 后 感 光 膜 皮 膜 硬 度 应 为HB~1H。(3) 若 采 用 烘 箱 , 一 定 要 带 有 鼓 风 和和 恒 温 控 制 , 以 使 预 烘 温 度 均 匀匀 。 而 且 烘 箱 应 清 洁 , 无 杂 质 , 以 免掉 落 在 板 上 , 损 伤 膜 面 。(4) 预 烘 后 , 涂 膜 到到 显 影 搁 置 时 间 最 多 不 超 过 48hr, 湿 度 大 时 尽 量 在 12hr 内 曝 光 显 影 。

(5) 对 于 液 态 光 致 抗 蚀 剂剂 型 号 不 同 要 求 也 不 同 , 应 仔 细 阅 读 说 明 书 , 并 根 据 生 产 实 践 调 整 工 艺 参 数 ,如 厚 度 、 温 度 、 时 间 等 。4. 定 位 (Fixed Postion)随 着 高 密 度 互 连 技 术 (HDI) 应 用 不 断 扩 大 , 解 析 度 和和 定 位 度 已 成 为 PCB 制 造 厂 家 面 临 的 重 大 挑 战 。电 路 密 度 越 高 , 要 求 定 位 越 精 确 。 定 位 的 方 法 有 目 视 定 位 、 活 动 销 钉 定 位 , 固 定 销 钉 定 位 等 多 种 方 法 。目 视 定 位 是 用 重 氮 片 (Diazo film) 透 过 图 形 与 印 制 板 孔 重 合 对 位 , 然 后 贴 上 粘 胶 带 曝 光 。 重 氮 片 呈呈 棕色 或 桔 红 色 半 透 明 状 态 , 可 以 保 证 较 好 的 重 合 对 位 精 度 。 银 盐 片 (Silver Film) 也 可 采 用 此 法 , 但 必 须 在 底片 制 作 透 明 定 位 盘 才 能 定 位 。活 动 销 钉 定 位 系 统 包包 括 照 相 软 片 冲 孔 器 和和 双 圆 孔 脱 销 定 位 器 , 其 方 法 是 : 先 将 正 面 , 反 面 两 张 底 版 药膜 相 对 对 准 , 用 软 片 冲 孔 器 在 有 效 图 形 外 任 意 冲 两 个 定 位 孔 , 任 取 一 张 去 编 钻 孔 程 式 , 就 可 以 利 用 钻 床 一次 性 钻 孔 , 印 制 板 金 属 化化 孔 及 预 镀 铜 后 , 便 可 用 双 圆 孔 脱 销 定 位 器 定 位 曝 光 。固 定 销 钉 定 位 分 两 套 系 统 , 一 套 固 定 照 相 底 版 , 另 一 套 固 定 PCB , 通 过 调 整 两 销 钉 的 位 置 , 实 现 照 相底 版 与 PCB 的 重 合 对 准 。5. 曝 光 (Exposuring)液 态 光 致 抗 蚀 剂剂 经 UV 光 (300~400nm) 照 射 后 发 生 交 联 聚 合 反 应 , 受 光 照 部 分 成 膜 硬 化化 而 不 被 显 影液 所 影 响响 。 通 常 选 用 的 曝 光 灯 灯 源 为 高 亮 度 、 中 压 型 汞 灯 或 者 金 属 卤 化化 物 汞 灯 。 灯 管 6000W, 曝 光 量 100~300mj/cm2, 密 度 测 定 采 用 21 级 光 密 度 表 (Stouffer21), 以 确 定 最 佳 曝 光 参 数 , 通 常 为 6~8 级 。 液 态 光 致 抗蚀 剂剂 对 曝 光 采 用 平 行 光 要 求 不 严 格 , 但 其 感 光 速 度 不 及 干 膜 , 因 此 应 使 用 高 效 率 曝 光 机 (Drawer)。光 聚 合 反 应 取 决 于 灯 的 光 强 和和 曝 光 时 间 , 灯 的 光 强 与 激 发 电 压 有 关 , 与 灯 管 使 用 时 间 有 关 。 因 此 , 为保 证 光 聚 合 反 应 足 够 的 光 能 量 , 必 须 由 光 能 量 积 分 仪 来 控 制 , 其 作 用 原 理 是 保 证 曝 光 过 程 中 灯 光 强 度 发 生变 化化 时 , 能 自 动 调 整 曝 光 时 间 来 维 持 总 曝 光 能 量 不 变 , 曝 光 时 间 为 25~50 秒 。影 响响 曝 光 时 间 的 因 素 :(1) 灯 光 的 距 离 越 近 , 曝 光 时 间 越 短 ;

(2) 液 态 光 致 抗 蚀 剂剂 厚 度 越 厚 , 曝 光 时 间 越 长 ;(3) 空 气 湿 度 越 大 , 曝 光 时 间 越 长 ;(4) 预 烘 温 度 越 高 , 曝 光 时 间 越 短 。当 曝 光 过 度 时 , 易 形 成 散 光 折 射 , 线 宽 减 小 , 显 影 困 难 。 当 曝 光 不 足 时 , 显 影 易 出 现 针 孔 、 发 毛 、 脱落 等 缺 陷 , 抗 蚀 性 和和 抗 电 镀 性 下 降 。 因 此 选 择 最 佳 曝 光 参 数 是 控 制 显 影 效 果 的 重 要 条 件 。底 片 质 量 的 好 坏 , 直 接 影 响响 曝 光 质 量 , 因 此 , 底 片 图 形 线 路 清 晰 , 不 能 有 任 何 发 晕 、 虚 边 等 现 象 , 要求 无 针 孔 、 沙 眼 , 稳 定 性 好 。 底 片 要 求 黑 白 反 差 大 : 银 盐 片 光 密 度 (Density)DMAX≥3.5,DMIN ≤0.15;重 氮 片 光 密 度 DMAX≥1.2,DMIN≤0.1。一 般 来 说 , 底 片 制 作 完 后 , 从 一 个 工 序 ( 工 厂 ) 传 送 到到 另 一 个 工 序 ( 工 厂 ), 或 存 贮 一 段 时 间 , 才 进 入黄 光 室 , 这 样 经 历 不 同 的 环 境 , 底 片 尺 寸 稳 定 性 难 以 保 证 。 本 人 认 为 制 完 底 片 应 直 接 进 入 黄 光 室 , 每 张 底片 制 作 80 多 块 板 , 便 应 废 弃 。 这 样 可 避 免 图 形 的 微 变 形 , 尤 其 是 微 孔 技 术 更 应 重 视 这 一 点 。曝 光 工 序 操 作 注 意 事 项 (1) 曝 光 机 抽 真 空 晒 匣匣 必 不 可 少 , 真 空 度 ≥90%, 只 通 过 抽 真 空 将 底 片 与 工 件 紧 密 贴 合 , 才 能 保 证 图像 无 畸 变 , 以 提 高 精 度 。(2) 曝 光 操 作 时 , 若 出 现 粘 生 产 底 片 , 可 能 是 预 烘 不 够 或 者 晒 匣匣 真 空 太 强 等 原 因 造 成 , 应 及 时 调 整 预烘 温 度 和和 时 间 或 者 检 查 晒 匣匣 抽 真 空 情 况 。(3) 曝 光 停 止 后 , 应 立 即 取 出 板 件 , 否 则 , 灯 内 余 光 会 造 成 显 影 后 有 余 胶 。(4) 工 作 条 件 必 须 达 到到 : 无 尘 黄 光 操 作 室 , 清 洁 度 为 10000~100000 级 , 有 空 调 设 施 。 曝 光 机 应 具 有冷 却 排 风 系 统 。(5) 曝 光 时 底 片 药 膜 面 务 必 朝 下 , 使 其 紧 贴 感 光 膜 面 , 以 提 高 解 像 力力 。6. 显 影 (Developing)显 影 即 去 掉 ( 溶 解 掉 ) 未 感 光 的 非 图 形 部 分 湿 膜 , 留 下 已 感 光 硬 化化 的 图 形 部 分 。 其 方 法 一 般 有 手 工 显影 和和 机 器 喷 淋 显 影 。该 工 序 工 作 条 件 同 涂 覆 工 序 。

机 器 显 影 配 方 及 工 艺 规 范 Na2CO30.8~1.2%消 泡 剂剂 0.1%温 度 30±2℃显 影 时 间40±10 秒喷 淋 压 力力1.5~3kg/cm2操 作 时 显 像 点 (Breok Point Control) 控 制 在 1/3~1/2 处 。 为 保 证 显 影 质 量 , 必 须 控 制 显 影 液 浓 度 、 温 度以 及 显 影 时 间 在 适 当 的 操 作 范 围 内 。 温 度 太 高 (35℃ 以 上 ) 或 显 影 时 间 太 长 ( 超 过 90 秒 以 上 ), 会 造 成 皮膜 质 量 、 硬 度 和和 耐 化化 学 腐 蚀 性 降 低 。显 影 后 有 余 胶 产 生 , 大 多 与 工 艺 参 数 有 关 , 主 要 有 以 下 几 种 可 能 :1 显 影 温 度 不 够 ;2Na2CO3 浓 度 偏 低 ;3 喷 淋 压 力力 小 ;4 传 送 速 度 较 快 , 显 影 不 彻 底 ;5 曝 光 过 度 ;6 叠 板 。该 工 序 操 作 注 意 事 项 (1) 若 生 产 中 发 现 有 湿 膜 进 入 孔 内 , 需 要 将 喷 射 压 力力 调 高 和和 延 长 显 影 时 间 。 显 影 后 应 认 真 检 查 孔 内 是否 干 净 , 若 有 残 胶 应 返 工 重 显 。(2) 显 影 液 使 用 一 段 时 间 后 , 能 力力 下 降 , 应 更 换 新 液 。 实 验 证 明 , 当 显 影 液 PH 值 降 至 10.2 时 , 显 影液 已 失 去 活 性 , 为 保 证 图 像 质 量 ,PH=10.5 时 的 制 版 量 定 为 换 缸 时 间 。(3) 显 影 后 应 充 分 洗 净 , 以 免 碱 液 带 入 蚀 刻 液 中 。(4) 若 产 生 开 路 、 短 路 、 露 铜 等 现 象 , 其 原 因 一 般 是 底 片 上 有 损 伤 或 杂 物 。

7. 干 燥为 使 膜 层 具 有 优 良 的 抗 蚀 抗 电 镀 能 力力 , 显 影 后 应 再 干 燥 , 其 条 件 为 温 度 100℃, 时 间 1~2 分 钟 。 固 化化后 膜 层 硬 度 应 达 到到 2H~3H。8. 检 查 修 版修 版 实 际 上 是 进 行 自 检 , 其 目 的 主 要 是 : 修 补 图 形 线 路 上 的 缺 陷 部 分 , 去 除 与 图 形 要 求 无 关 的 部 分 ,即 去 除 多 余 的 如 毛 刺 、 胶 点 等 , 补 上 缺 少 的 如 针 孔 、 缺 口 、 断 线 等 。 一 般 原 则 是 先 刮刮 后 补 , 这 样 容 易 保 证修 版 质 量 。常 用 修 版 液 有 虫 胶 、 沥 青 、 耐 酸 油 墨 等 , 比 较 简 便 的 是 虫 胶 液 , 其 配 方 如 下 :虫 胶100~150g/l甲 基 紫1~2g/l无 水 乙 醇 适 量修 版 要 求 : 图 形 正 确 , 对 位 元 准 确 , 精 度 符 合 工 艺 要 求 ; 导 电 图 形 边 缘 整 齐 光 滑 , 无 残 胶 、 油 污 、 指纹 、 针 孔 、 缺 口 及 其 它 杂 质 , 孔 壁 无 残 膜 及 异 物 ;90% 的 修 版 工 作 量 都 是 由 于 曝 光 工 具 不 干 净 所 造 成 , 故操 作 时 应 经 常 检 查 底 片 , 并 用 酒 精 清 洗 晒 匣匣 和和 底 片 , 以 减 少 修 版 量 。 修 版 时 应 注 意 戴 细 纱 手 套 , 以 防 手 汗污 染 版 面 。 若 头 两 道 工 序 做 得 相 当 好 , 几 乎 无 修 版 量 , 可 省 掉 修 版 工 序 。9. 去 膜 (Strip)蚀 刻 (Etching) 或 电 镀 (Plating) 完 毕 , 必 须 去 除 抗 蚀 保 护 膜 , 通 常 去 膜 采 用 4~8% 的 NaOH 水 溶 液 ,加 热 膨 胀 剥剥 离 分 化化 而 达 到到 目 的 。 方 法 有 手 工 去 膜 和和 机 器 喷 淋 去 膜 。采 用 喷 淋 去 膜 机 , 其 喷 射 压 力力 为 2~3kg/cm2, 去 膜 质 量 好 , 去 除 干 净 彻 底 , 生 产 效 率 高 。 提 高 温 度 可增 加 去 膜 速 度 , 但 温 度 过 高 , 易 产 生 黑 孔 现 象 , 故 温 度 一 般 宜 采 用 50~60℃。过 度 。去 膜 后 务 必 清 洁 干 净 , 若 去 膜 后 表 面 有 余 胶 , 其 原 因 主 要 是 烘 烤 工 序 的 工 艺 参 数 不 正 确 , 一 般 是 烘 烤

以 上 讨 论 , 部 分 代 表 个 人 经 验 之 谈 , 总 而 言 之 , 严 格 控 制 工 艺 条 件 , 是 保 证 产 品品 质 量 的 前前 提 。 只 有 根据 各 个 公 司 的 工 艺 装 备 和和 工 艺 技 术 水 平 , 采 用 行 之 有 效 的 操 作 技 巧 及 工 艺 方 法 , 加 强 全 面 质 量 管 理 (TQM),才 能 大 大 提 高 产 品品 的 合 格 率 。目 前前 , 积 体 电 路 和和 封 装 技 术 的 迅 速 发 展 , 对 PCB 线 路 精 细 程 度 要 求 越 来 越 高 . 综 上 所 述 采 用 液 态 光致 抗 蚀 剂剂 图 形 转 移 工 艺 , 不 仅 可 以 提 高 线 路 的 制 作 精 细 度 , 而 且 可 降 低 生 产 成 本 , 还 可 利 用 原 有 设 备 , 操作 工 艺 也 易 掌 握 。 液 态 光 致 抗 蚀 剂剂 图 形 转 移 工 艺 已 成 为 适 合 高 精 度 高 密 度 要 求 的 图 形 制 作 工 艺 。 我 们 相 信 ,通 过 生 产 实 践 , 会 使 其 工 艺 更 加 完 善 。