SP - UMEL - Vysoké učení technické v Brně

Návrh analogových integrovaných obvodů (BNAO) 135Příloha 2: Technologický postupKonkrétní výrobní technologie je výsledkem úspěšně ukončené etapy vývoje, který jeuzavřen výrobou prototypové série ověřovacího obvodu. Výrobní technologie je předpis,který musí obsahovat následující informace:1. Úplný technologický postup výrobních operací.2. Návrhová pravidla pro návrh masek IO.3. Hodnoty elektrických parametrů, především aktivních, ale i pasivních prvků, kteréjsou danou technologií vyrobitelné.4. Výsledky životnostních zkoušek a stanovení výtěžnosti u ověřovacího obvodu.V další části jsou uvedeny podrobnější informace o technologií HCMOS I. Na souborudále uvedených obrázků (Obr. 78.1-18 a Obr. 79) je znázorněn sled operací této technologie.Operace jsou průběžně číslovány a označeny svou specifickou zkratkou. Na obrázcích jsouschématicky znázorněny příčné řezy vertikální strukturou a pro operace maskování je zároveňuveden postupný klad po sobě následujících masek.