21.01.2015 Views

I BÖLMƏ OPTO NANOELEKTRONİKA - Bakı Dövlət Universiteti

I BÖLMƏ OPTO NANOELEKTRONİKA - Bakı Dövlət Universiteti

I BÖLMƏ OPTO NANOELEKTRONİKA - Bakı Dövlət Universiteti

SHOW MORE
SHOW LESS

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.

Fizikanın müasir problemləri VI Respublika konfransı<br />

Аморфные трехкомпонентные сплавы<br />

nk − Si x Cx:<br />

H получались из газовых<br />

смесей SiH 4 , CH 4 , H 2 . Водород добавлялся в следующих соотношениях:<br />

[PH 3 /SiH 4 +CH 4 ]H 2 =1/20 для n-типа пленок<br />

[B 2 H 6 /SiH 4 +CH 4 ]H 2 =1/10 для p-типа пленок.<br />

Используя анализ полуширины рентгеновских линий (дифракционным пикам<br />

отражения от плоскостей , и рассчитывался средний размер<br />

кристаллитов (б), который для пленок с площадью 95нм 2 и легированных фосфором<br />

при мощности высокочастотного разряда W2f=250Вт и температуры подложки<br />

T S =600 0 C и ее значение составлял 12нм.<br />

Расстояние рентгеновского излучения от плоскостей кристаллической<br />

решетки кремния, угловые положения пиков 2θ p, их высота Yp и полуширина (2θ )<br />

для пленок легированных и нелегированных пленок различаются.<br />

Предполагая, что производная Jp⋅(2 0 ) пропорциональна объему нанокристаллической<br />

фазы Xc, определялся ее объем в пленках nk − Si1−<br />

x Cx:<br />

H после их<br />

осаждения.<br />

Полученные результаты показывают, что в свежеосажденных нелегированных<br />

пленках нанокристаллическая фаза в аморфной сетке составляет 70% от всего объема<br />

пленки.<br />

Для пленок nk − Si1−<br />

x Cx:<br />

H легированных фосфором ( PH 3 ) весь объем<br />

кристаллитов в пленке составляет 50%, при легировании бором он составляет 30%<br />

соответственно. Подобные же результаты наблюдаются также для плоскостей и<br />

кристаллической решетки кремния.<br />

1−<br />

ЛИТЕРАТУРА<br />

1. Хрупко-пластическая релаксация напряжений несоответствия в системе<br />

Si ( 001) / Si − xGex . Мартовицкий В.П., Кривобок В.С.Ж. «Экспериментальная и<br />

теоретическая физ.». 2011. Т.140, №2. С. 330-349.<br />

2. Структура и оптическая характеристики нанокристаллического карбида –<br />

кремния, заключенных в матрицах оксида алюминия. Bonifoulen A., Edely M., Kassiba<br />

A., Physica B. 2011, v.406. № 3. C. 4500-4504.<br />

3. Изучение и перспективы наноструктурированных солнечных элементов. Peng<br />

Yingcai, Jiang Zirang, Wang Fend, Ma Lei, Lai Jianzhang. Micronanoelectron. Technal.<br />

2011. V.48. № 8. C.481-488.<br />

ВЛИЯНИЕ ЛЕГИРОВАНИЯ АТОМАМИ РЕДКОЗЕМЕЛЬНОГО<br />

ЭЛЕМЕНТА ДИСПРОЗИЯ НА ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ<br />

СВОЙСТВА ТВЕРДОГО РАСТВОРА Bi 0,7 Sb 1,3 Te 2 , 93 Se 0,07<br />

Б.Ш. Бархалов, Р.Ю. Алиев, Р.А. Исмайылова<br />

Институт Физики НАН Азербайджана, Баку, Азербайджан<br />

E-mail: bbarhal@mail.ru

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!