I BÖLMƏ OPTO NANOELEKTRONİKA - Bakı Dövlət Universiteti

Fizikanın müasir problemləri VI Respublika konfransı
Слои пористого кремния были получены методом химического травления на
полированных с обеих сторон монокристал-лических подложках Si с p- типом
проводимостью, удельным сопротивлением от 10 Ом·см. В качестве травителя был
выбран раствор плавиковой, азотной и уксусной кислот HF:HNO 3 :CH 3 COOH. Площадь
обрабатываемой поверхности составляла 1 см 2 . Химическое травление проводилось
при комнатной температуре и естественном освещении.
Все полученные образцы ПК проявляли видимую фотолюминесценцию (ФЛ)
при комнатной температуре. Возбуждение
проводилось при длине волны 320 нм. На
Рис.1 показаны спектры ФЛ после 4-х дней
выдержки в воздухе. Образцы ПК отличаются
временем травления после начала реакции: 1 –
1.5 мин, 2 – 9 мин, 3 – 30 мин и 4 – 45 мин. Как
видно из рисунка, с увеличением времени
травления положение максимума ФЛ
смещается незначительно – сначала с 1.81 эВ в
1.84 эВ, а затем обратно в 1.81 эВ. При этом
максимальная интенсивность наблюдается для
образцов, в которых реакция продолжалась
9мин.
Для всех полученных образцов также
были исследованы спектры возбуждения
фотолюминисценции (СВЛ) на максимальной
длине ФЛ. Максимум спектров СВЛ
изменяется немонотонно в зависимости от
времени травления. Сначала максимум
увеличивается от 3.88 эВ до 4 эВ, а затем
уменьшается до 3.76 эВ. Так как все
исследуемые образцы ПК были тонкими
Рис.2. Зависимости (I PLE hν) 1/2 от hν
пористого кремния сформированные
за различные времена травления и их
экстрополяция в низкоэнергетическом
крыле
(d