I BÃLMÆ OPTO NANOELEKTRONÄ°KA - Bakı DövlÉt Universiteti
I BÃLMÆ OPTO NANOELEKTRONÄ°KA - Bakı DövlÉt Universiteti
I BÃLMÆ OPTO NANOELEKTRONÄ°KA - Bakı DövlÉt Universiteti
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Fizikanın müasir problemləri VI Respublika konfransı<br />
CУЖЕНИЕ ОПТИЧЕСКОЙ ШИРИНЫ ЗАПРЕЩЕННОЙ ЗОНЫ С<br />
УВЕЛИЧЕНИЕМ ВРЕМЕНИ ТРАВЛЕНИЯ ПРИ ХИМИЧЕСКОМ<br />
ФОРМИРОВАНИИ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ.<br />
Ф.А. Рустамов, Н.Х. Дарвишов, М.З. Мамедов, В.Э. Багиев, Е.Ю. Боброва, Х.O.<br />
Гафарова.<br />
Бакинский Государственный Университет, НИИ Физических Проблем, Отдел Физики<br />
Полупроводников, Баку, Азербайджанская Республика<br />
e-mail: farhad.rustamov@bsu.az<br />
В растворах HF/HNO 3 /CH 3 COOH, в режиме недостатка окислителя, получены<br />
латерально однородные, равномерно<br />
окрашенные слои пористого кремния.<br />
Исследованы спектры излучения и<br />
возбуждения фотолюминесценции. Показано,<br />
что несмотря на независимость положения<br />
максимума фотолюминесценции от времени<br />
травления, оптическая ширина запрещенной<br />
зоны пористого кремния уменьшается с<br />
ростом времени травления.<br />
Слои пористого кремния (ПК) получают<br />
как электрохимическим, так и чисто<br />
химическим травлением [1,2].<br />
Если при анодизации необходимые для<br />
образования слоев ПК дырки поставляются<br />
самой подложкой Si, при химическом<br />
травлении они поставляются через раствор<br />
диссоциацией молекул HNO 3 . Хотя механизм<br />
образования пористого кремния в обоих<br />
случаях идентичен, химический метод<br />
травления представляется более простым и<br />
технологичным, так как вписывается в<br />
обычный технологический цикл обработки<br />
кремниевых пластин. В этом случае достаточно<br />
окунуть пластинку в соответствующий<br />
Рис1. Спектры фотолюминесценции<br />
слоев пористого кремния сформированные<br />
за различные времена<br />
травления<br />
травительный раствор на некоторое требуемое время. Такая технология позволяет<br />
исключить необходимость нанесения омического контакта на обратную сторону<br />
пластины и проводить травление без приложения внешнего напряжения. Кроме того,<br />
при химическом методе получения ПК даже очень тонкие слои (20 – 200 нм) его<br />
обладают люминесцирующими свойствами.<br />
В данной работы было исследовано влияние времени травления на спектры<br />
излучения и возбуждения фотолюминесценции пористого кремния, полученного<br />
химическим методом травления в растворах HF:HNO 3 :CH 3 COOH в режиме недостатка<br />
окислителя.
Change language