プラズマエレクトロニクス分科会会報 No.48 - 応用物理学会
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プラズマエレクトロニクス 分 科 会 会 報 <strong>No.48</strong><br />
目 次<br />
2008 年 ( 平 成 20 年 ) 6 月 発 行<br />
幹 事 長 退 任 挨 拶 幹 事 長 退 任 のご 挨 拶 東 北 大 学 畠 山 力 三 1<br />
幹 事 長 就 任 挨 拶 幹 事 長 就 任 にあたって 九 州 大 学 白 谷 正 治 3<br />
寄 稿<br />
「 電 離 ガスに 関 するダイナミクスと 静 電 流 体 力 学 の 構 築 に 向 けて」 愛 知 工 業 大 学 高 村 秀 一 5<br />
第 6 回 プラズマエレクトロニクス 賞<br />
受 賞 者 の 紹 介 名 古 屋 大 学 河 野 明 廣 7<br />
「プラズマエレクトロニクス 賞 を 受 賞 して」 東 京 大 学 寺 嶋 和 夫 8<br />
研 究 室 紹 介 (その42) 佐 賀 大 学 プラズマサイエンス 研 究 室 研 究 室 佐 賀 大 学 林 信 哉 10<br />
関 連 学 会 における 研 究 活 動 の 紹 介<br />
大 気 圧 プラズマ 流 による 人 間 環 境 保 全 技 術 に 関 する 研 究 分 科 会 東 京 工 業 大 学 野 崎 智 洋<br />
東 北 大 学 佐 藤 岳 彦 13<br />
【 新 連 載 !】 学 生 のためのページ すぐに 役 立 つプラズマエレクトロニクス<br />
プラズマ 発 光 分 光 計 測 法 の 基 礎 名 古 屋 大 学 佐 々 木 浩 一 15<br />
国 際 会 議 報 告<br />
1st International Conference on<br />
Plasma Nanotechnology & Science (IC-PLANTS2008) 名 古 屋 大 学 佐 々 木 浩 一 23<br />
6th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing 大 阪 大 学 浜 口 智 志 24<br />
International Workshop on Merging State of<br />
the Art Plasma Science into New Technologies 名 古 屋 大 学 豊 田 浩 孝 25<br />
Gaseous Electronics Conference 2007 (GEC2007) 京 都 大 学 斧 高 一 26<br />
国 内 会 議 報 告<br />
第 25 回 プラズマプロセシング 研 究 会 (SPP-25) 山 口 大 学 福 政 修 28<br />
第 1 回 名 古 屋 大 学 プラズマナノ 工 学 スクール 名 古 屋 大 学 佐 々 木 浩 一 30<br />
第 22 回 光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会 防 衛 大 学 明 石 治 朗<br />
室 蘭 工 業 大 学 佐 藤 孝 紀 31<br />
2008 年 春 季 第 55 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会 シンポジウム 報 告 京 都 大 学 江 利 口 浩 二 32<br />
2008 年 春 季 第 55 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会 合 同 セッションD 名 古 屋 大 学 豊 田 浩 孝 34<br />
2008 年 春 季 第 55 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会 合 同 セッションF 武 蔵 工 業 大 学 平 田 孝 道 35<br />
2008 年 度 ( 平 成 20 年 度 )プラズマエレクトロニクス 分 科 会 幹 事 名 簿 37<br />
2008 年 度 ( 平 成 20 年 度 )プラズマエレクトロニクス 分 科 会 幹 事 役 割 分 担 40<br />
2008 年 度 ( 平 成 20 年 度 )プラズマエレクトロニクス 分 科 会 関 連 の 各 種 世 話 人 41<br />
平 成 19 年 度 後 期 および 平 成 20 年 度 前 期 活 動 報 告 42<br />
行 事 案 内<br />
2008 年 秋 季 大 69 回 応 用 物 理 学 会 学 術 講 演 会 シンポジウム 京 都 大 学 江 利 口 浩 二 50<br />
International Congress on Plasma Physics (ICPP2008) 九 州 大 学 佐 藤 浩 之 助 51<br />
第 2 回 プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール 名 古 屋 大 学 上 坂 裕 之 52<br />
61st Gaseous Electronics Conference 2008 (GEC2008) 名 古 屋 大 学 堀 勝 54<br />
i
第 19 回 プラズマエレクトロニクス 講 習 会 産 業 技 術 総 合 研 究 所 布 村 正 太 56<br />
30th International Symposium on Dry Process (DPS 2008) 名 古 屋 大 学 関 根 誠 57<br />
IUMRS International Conference in Asia 2008 名 古 屋 大 学 高 井 治 58<br />
プラズマ 科 学 シンポジウム2009(PSS-2009)<br />
/ 第 26 回 プラズマプロセシング 研 究 会 (SPP-26) 名 古 屋 大 学 高 井 治 61<br />
掲 示 板<br />
第 7 回 プラズマエレクトロニクス 賞 公 募 会 告 62<br />
プラズマエレクトロニクス 関 連 会 議 日 程 63<br />
編 集 後 記 66<br />
ii
幹 事 長 退 任 のご 挨 拶<br />
東 北 大 学 大 学 院 工 学 研 究 科 畠 山 力 三<br />
2006 年 4 月 に 河 野 明 廣 前 幹 事 長 の 後 任 として<br />
就 任 し 本 年 2008 年 3 月 までの 2 年 間 の、 基 礎 ・<br />
応 用 の 有 機 的 連 携 を 重 視 するプラズマエレクト<br />
ロニクス 分 科 会 幹 事 長 の 大 任 を 何 とか 終 え、 無 事<br />
退 任 させて 戴 きました。これも 偏 に、 節 原 裕 一 ・<br />
大 岩 徳 久 両 副 幹 事 長 、 及 び 幹 事 各 位 の 献 身 的 なご<br />
尽 力 、 並 びに 分 科 会 会 員 の 皆 様 方 、 学 会 事 務 局 の<br />
伊 丹 様 のご 協 力 の 賜 物 でございます。この 場 を 借<br />
りて 厚 く 御 礼 申 し 上 げます。<br />
この2 年 間 の 大 きなトピックスとしては 先 ず、 応<br />
用 物 理 学 会 講 演 会 におけるプラズマエレクトロ<br />
ニクス 分 野 の 講 演 はこれまで「 放 射 線 ・プラズマ<br />
エレクトロニクス」 大 分 類 の 一 部 として 行 われて<br />
参 りましたが、2008 年 春 季 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講<br />
演 会 よりプラズマエレクトロニクス 分 野 が 新 し<br />
い 大 分 類 として 独 立 し、 大 分 類 番 号 8「プラズマ<br />
エレクトロニクス」が 発 足 したことであります。<br />
大 分 類 への 昇 格 は、 当 分 科 会 の 前 身 であるプラズ<br />
マエレクトロニクス 研 究 会 が 発 足 した1985 年 か<br />
ら 数 えて23 年 を 経 てのことであり、 長 年 にわたる<br />
大 先 輩 諸 氏 並 びに 本 分 科 会 会 員 の 皆 様 の 地 道 な<br />
ご 努 力 の 積 み 重 ねの 賜 物 と 感 謝 申 し 上 げます。ま<br />
た、2007 年 「 応 用 物 理 」 創 刊 75 周 年 記 念 事 業 の 一<br />
環 として、アカデミックロードマップ(ARM)「(プ<br />
ラズマ・)プロセス 技 術 」の 作 成 に2 年 近 くに 亘<br />
り 取 り 組 み、それを 一 先 ず 完 成 させたことであり<br />
ます。 当 分 科 会 におけるこの 活 動 は、2005 年 まで<br />
実 施 してきました「プラズマ 応 用 技 術 の 将 来 ビジ<br />
ョン 研 究 会 」を 発 展 的 に 解 消 し、ARMを 通 してプ<br />
ラズマエレクトロニクス 分 野 が 目 指 すべき 領 域 、<br />
果 たす 役 割 を 明 確 化 し、 独 自 の「 将 来 ビジョン」<br />
を 創 成 し 広 く 発 信 していくという 観 点 で 企 画 さ<br />
れたものであります。 実 際 には、 関 根 誠 ARM 作 成<br />
委 員 長 の 下 に 幹 事 が 中 心 となり 検 討 を 行 い、 計 測<br />
技 術 、 制 御 技 術 、シミュレーション・モデリング<br />
技 術 、Si・ 無 機 系 製 膜 技 術 、 有 機 ・C 系 製 膜 技 術 、<br />
微 細 加 工 技 術 の6テーマについて、 横 軸 に2030 年<br />
までの 年 代 、 縦 軸 にはシーズ 等 基 礎 研 究 ・ 生 産 応<br />
用 技 術 開 発 ・ 製 品 応 用 アウトプットから 成 るサブ<br />
及 びマインマップを 作 成 しました。 第 三 には、<br />
2006 年 に 第 13 回 を 迎 えた 主 に 大 学 院 生 を 対 象 に<br />
した「プラズマエレクトロニクスサマースクー<br />
ル」に 幕 を 閉 じ、 我 が 国 古 来 の 寺 子 屋 講 座 と 受<br />
講 者 参 加 型 の 人 材 育 成 プログラムの 構 築 、 及 び<br />
更 なるプラズマプロセス 研 究 ネットワーキン<br />
グの 進 展 を 目 的 に、 学 生 並 びに 若 手 研 究 者 を 対<br />
象 として「 第 1 回 プラズマエレクトロニクスイ<br />
ンキュベーションホール」を2007 年 に 新 たにス<br />
タートしました。これにより、 企 業 の 中 堅 技 術<br />
者 を 主 対 象 とした「プラズマエレクトロニクス<br />
講 習 会 」との 相 補 性 が 更 に 明 確 化 されました。<br />
一 方 、 当 分 科 会 の 中 核 事 業 「プラズマプロセシ<br />
ング 研 究 会 」につきましては、2006 年 度 大 阪 開<br />
催 では、 前 年 の 松 島 での 国 際 会 議 との 合 同 会 議 の<br />
勢 いに 乗 り、 参 加 者 ・ 講 演 件 数 において 過 去 最 大<br />
規 模 となりました。また、 続 く 山 口 での 2007 年<br />
度 開 催 では 第 25 回 の 節 目 に 相 応 しい 発 足 当 初 か<br />
らの 歴 史 的 経 緯 を 含 む 内 容 の 特 別 講 演 も 成 され、<br />
これも 地 方 開 催 としては 最 大 規 模 の 盛 会 となり<br />
ました。2010 年 には 米 国 の 気 体 放 電 現 象 とその 応<br />
用 に 関 わる 基 礎 研 究 に 主 眼 を 置 く 会 議 (Gaseous<br />
Electronics Conference, GEC)との 共 同 開 催 を 予 定<br />
しており( 日 本 側 組 織 委 員 長 ・ 堀 勝 名 大 教 授 )、<br />
当 研 究 会 における 近 年 の 一 連 の 上 昇 気 運 の 流 れ<br />
で 臨 み 大 盛 会 を 期 待 しております。<br />
さて、2 年 前 の 幹 事 長 就 任 時 に、 第 3 期 科 学 技<br />
1
術 基 本 計 画 で 唱 えられている“ 産 学 官 連 携 の 深<br />
化 ”、すなわち、 産 業 界 の 参 画 による 先 端 融 合 イ<br />
ノベーション 創 出 拠 点 の 形 成 について、 産 業 界 と<br />
密 接 な 協 働 のもとに 運 営 ・ 活 動 が 成 されています<br />
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 関 連 研 究 活 動<br />
が、これに 関 わるほどに 深 化 しているかどうか 非<br />
常 に 気 になるところであります、と 述 べさせて 戴<br />
きました。 現 状 では 確 かな 答 えを 提 示 する 状 況 に<br />
至 っておりませんが、 前 述 の ARM 報 告 書 の 内 容<br />
はこれに 呼 応 するポテンシャルを 有 しているこ<br />
とを 強 くアピールしており、 例 えば 大 気 圧 やマイ<br />
クロプラズマ、アトム・ナノ、バイオ、 自 己 組 織<br />
化 等 のキーワードに 代 表 される 領 域 におけるプ<br />
ラズマプロセス 技 術 には 今 後 に 多 いに 期 待 した<br />
い 所 存 であります。また、 会 員 の 増 員 を 強 く 意 識<br />
しつつプラズマエレクトロニクス 分 科 会 活 動 の<br />
挑 戦 的 課 題 を 皆 様 と 共 に 模 索 していきたい 所 存<br />
でございます、とも 述 べさせて 戴 きましたが 言 う<br />
は 易 しで、 幾 ばくかの 工 夫 をしつつも 実 際 の 会 員<br />
数 は 現 状 維 持 というところで 心 残 りの 感 がござ<br />
います。<br />
最 後 になりましたが、 益 々の 応 用 の 拡 がりを 見<br />
せつつある 当 該 分 野 の 基 礎 及 び 応 用 に 携 わる 研<br />
究 者 ・ 技 術 者 に、 研 究 推 進 に 必 須 の 交 流 の 場 を 提<br />
供 すべくプラズマエレクトロニクス 分 科 会 が、 新<br />
進 気 鋭 の 白 谷 正 治 新 幹 事 長 のもと 今 後 一 層 発 展<br />
されますことを 祈 念 致 しまして、 幹 事 長 退 任 のご<br />
挨 拶 とさせて 戴 きます。<br />
2
幹 事 長 就 任 にあたって<br />
九 州 大 学 大 学 院 システム 情 報 科 学 研 究 院 白 谷 正 治<br />
この 度 , 大 変 光 栄 にも 平 成 20,21 年 度 のプ<br />
ラズマエレクトロニクス 分 科 会 の 幹 事 長 を 仰 せ<br />
つかりました。 分 科 会 と 分 科 会 会 員 の 皆 様 のため<br />
に 全 力 を 尽 くしますので,よろしくお 願 い 申 し 上<br />
げます。<br />
分 科 会 の 運 営 につきましてはこれまでの 良 き<br />
伝 統 を 受 け 継 ぎつつ,さらなる 活 性 化 を 進 め, 産<br />
業 を 念 頭 においたプラズマの 基 礎 と 応 用 に 関 す<br />
る 研 究 の 世 界 的 中 心 でありつづけるように 努 力<br />
いたします。<br />
春 季 及 び 秋 季 応 用 物 理 学 会 は、プラズマ 応 用 に<br />
関 する 研 究 発 表 が 行 われる 国 内 最 大 の 学 会 であ<br />
り、プラズマの 発 生 ・ 制 御 ・ 計 測 及 び 応 用 技 術 に<br />
関 する 6 つのセッションの 他 、 薄 膜 ・ 表 面 、 非 晶<br />
質 、ビーム 応 用 などの 他 の 分 科 会 との 3 つの 合 同<br />
セッションと 特 定 テーマに 絞 ったシンポジウム<br />
が 開 催 されます。 応 用 物 理 学 会 の 講 演 分 類 の 15<br />
中 13 までがデバイスや 材 料 等 の 出 口 を 中 心 に 構<br />
成 されており, 唯 一 プラズマのみが 作 製 技 術 でま<br />
とめられています。さらに,プラズマ 応 用 技 術 は,<br />
プラズマ 以 外 の 14 大 分 類 のほぼ 全 てに 使 用 され<br />
ており, 極 めて 広 範 なデバイスと 材 料 に 関 わる 分<br />
野 横 断 技 術 として 発 展 しています。 特 に, 当 分 科<br />
会 に 貢 献 されてきた 京 都 大 学 の 橘 先 生 が 代 表 と<br />
なり 推 進 された 特 定 領 域 『プラズマを 用 いたミク<br />
ロ 反 応 場 の 創 成 とその 応 用 』で, 橘 先 生 を 初 めと<br />
する 関 係 者 が 様 々な 新 しい 試 みを 行 った 結 果 , 新<br />
しいプラズマ 応 用 が 創 成 されたり,マイクロプラ<br />
ズマの 発 生 と 応 用 に 関 する 講 演 数 が 大 幅 に 増 え<br />
るなど, 当 分 科 会 にも 非 常 に 良 い 効 果 が 現 れてい<br />
ます。 春 の 応 用 物 理 学 会 のシンポジウムで 世 界 に<br />
先 駆 けて 得 られた 素 晴 らしい 成 果 の 一 端 が 紹 介<br />
されたのは 記 憶 に 新 しいところです。<br />
また, 畠 山 前 幹 事 長 のもとで 名 古 屋 大 学 の 関 根<br />
先 生 を 中 心 にかなりの 労 力 を 費 やしてプラズ<br />
マ・プロセス 関 連 のアカデミックロードマップが<br />
まとめられ,http://www.jsap.or.jp/jsap75/academic_<br />
roadmap.html に 公 表 されています。 今 後 の 研 究 展<br />
開 を 考 えるうえで 参 考 になるものと 思 います。<br />
さて 本 年 度 より, 会 員 へのサービス 充 実 を 目 指<br />
して, 次 の3つの 新 しい 試 みを 開 始 しました。こ<br />
れらを 積 極 的 に 御 活 用 いただきますようにお 願<br />
いいたします。<br />
1) 春 ・ 秋 の 学 術 講 演 会 において, 少 し 以 前 の 重<br />
要 な 仕 事 を 御 講 演 いただく, 分 科 内 総 合 講 演 を 継<br />
続 的 に 企 画 いたします。 関 連 分 野 の 日 本 の 重 要 論<br />
文 がきちんと 引 用 される 一 助 になることも 期 待<br />
しております。<br />
2) 深 い 議 論 を 行 う 場 を 提 供 するプラズマ 新 領 域<br />
研 究 会 を 年 3 回 程 度 開 催 いたします。 本 企 画 は,<br />
1プラズマに 関 連 する 新 しい 研 究 領 域 の 創 成 ,2<br />
若 手 研 究 者 の 育 成 ,3 地 方 での 議 論 の 場 の 提 供 を<br />
意 図 して 企 画 しております。 出 来 るだけ, 異 分 野<br />
の 研 究 者 を 招 待 して 十 分 な 議 論 が 行 える 場 を 提<br />
供 いたします。<br />
3) 学 生 および 初 学 者 へのサービスとして, 分 科<br />
会 会 報 に「すぐに 役 立 つプラズマエレクトロニク<br />
ス」の 連 載 を 行 います。 分 科 会 ではインキュベー<br />
ションホールや 講 習 会 で 教 育 ・ 講 習 の 場 を 提 供 し<br />
ておりますが,これらに 参 加 できない 会 員 の 方 々<br />
にも 役 立 つものと 期 待 しております。<br />
さらに,2010 年 10 月 4 日 から 10 月 8 日 まで<br />
ICRP とGECの 共 催 の 国 際 会 議 をパリの Maison de<br />
La Chimie で 開 催 する 準 備 を 開 始 しました。 多 く<br />
の 会 員 の 方 々が 参 加 することが 成 功 の 必 要 条 件<br />
ですので, 少 し 先 のこととなりますが,よろしく<br />
3
お 願 い 申 し 上 げます。<br />
白 藤 副 幹 事 長 , 藤 原 副 幹 事 長 , 幹 事 の 方 々, 学<br />
会 事 務 局 ( 特 にプラズマエレクトロニクス 分 科 会<br />
担 当 の 伊 丹 様 )の 御 協 力 のもとに, 会 員 の 皆 様 に<br />
十 分 なサービスを 提 供 すべく 努 力 していきます。<br />
御 提 案 やコメント 等 は, 私 をはじめ 幹 事 の 方 々に<br />
お 知 らせ 頂 ければ 幸 いです。 一 方 では, 幹 事 の<br />
方 々は 貴 重 な 個 人 の 時 間 と 労 力 を 自 発 的 に 分 科<br />
会 の 運 営 に 御 提 供 いただいていることも 御 理 解<br />
いただけたらと 存 じます。<br />
最 後 になりますが, 活 力 ある 分 科 会 でありつづ<br />
けるためには, 個 々の 会 員 の 優 れた 研 究 と 学 会 等<br />
での 活 発 な 議 論 が 基 本 です。 会 員 の 皆 様 と 協 力 し<br />
ながら, 分 科 会 の 発 展 に 尽 力 しますので,よろし<br />
くお 願 い 申 し 上 げます。<br />
4
寄 稿<br />
電 離 ガスに 関 するダイナミクスと 静 電 流 体 力 学 の 構 築 に 向 けて<br />
愛 知 工 業 大 学 工 学 部 電 気 学 科 高 村 秀 一<br />
編 集 担 当 の 方 々より 寄 稿 文 を 書 きなさいとい<br />
うご 要 請 に 対 して、 簡 単 に「はい」と 答 えてしま<br />
った 後 、 期 限 が 迫 ってきて 苦 しんでいるところで<br />
す。 昨 年 3 月 に 定 年 を 迎 えたこともあり、これま<br />
でのプラズマ・ 放 電 科 学 を 振 り 返 ると 共 に、 定 年<br />
後 愛 工 大 に 奉 職 したのを 機 に、 今 後 の 展 望 につい<br />
て 勝 手 な 私 見 を 述 べることによって、 本 責 務 を 果<br />
たしたい。<br />
金 沢 大 学 工 学 部 在 学 中 に 固 体 物 性 に 興 味 を 抱<br />
き、 関 連 の 解 説 書 など 読 みあさっている 中 で、 久<br />
保 亮 五 、 永 宮 健 夫 両 先 生 編 集 の「 固 体 物 理 の 歩 み」<br />
( 岩 波 書 店 、1962 年 )の 中 で 永 宮 先 生 が、 将<br />
来 的 に 多 体 問 題 の 重 要 性 を 指 摘 されていたこと<br />
が、 以 後 の 小 生 の 科 学 に 対 する 考 え 方 に 大 きく 影<br />
響 を 与 えた。 縁 あって 名 古 屋 大 学 工 学 研 究 科 に 修<br />
士 課 程 の 院 生 として 入 ることができ、これがプラ<br />
ズマ 理 工 学 研 究 の 出 発 点 となった。プラズマ 物 理<br />
の 学 術 体 系 の 美 しい 光 の 影 で、 名 大 で 研 究 者 の 多<br />
かった「 放 電 」の 分 野 を 横 目 で 見 ながらここに 深<br />
くはいることはなかった。 浅 学 のため、 経 験 的 で<br />
現 象 論 のみが 放 電 の 姿 として 見 えてしまったた<br />
めである。<br />
イオン 波 や 低 域 混 成 波 などのプラズマ 波 動 に<br />
のめり 込 んでいったが、 一 方 で 所 属 する 山 本 賢<br />
三 ・ 奥 田 孝 美 両 先 生 の 合 同 研 究 室 における 主 要 課<br />
題 である 核 融 合 プラズマに 次 第 に 強 く 惹 かれて<br />
いった。エネルギー 問 題 に 対 する 意 識 が 背 景 にあ<br />
ることは 今 もって 変 わらない。 電 子 が 主 体 となる<br />
プラズマより、イオンが 絡 む 波 動 を 対 象 にしたの<br />
も、 核 融 合 から 近 い 位 置 にいたいという 思 いの 反<br />
映 であった。 早 くより 奥 田 先 生 は 磁 気 ダイバータ<br />
の 重 要 性 に 気 づき、いろいろなアイデアを 考 えら<br />
れていたようである。そのような 環 境 の 下 、プラ<br />
ズマ 波 動 研 究 が 一 段 落 した 後 、 境 界 領 域 プラズマ<br />
や 周 辺 プラズマの 将 来 的 重 要 性 を 直 感 的 に 強 く<br />
予 感 した。これが 国 際 熱 核 融 合 実 験 炉 計 画 (ITER)<br />
関 連 活 動 に 参 画 する 契 機 となった。ダイバータ・<br />
SOL 物 理 やプラズマ 熱 ・ 粒 子 制 御 に 関 する 課 題 は<br />
学 術 的 にも 研 究 者 の 知 的 好 奇 心 を 強 く 刺 激 した。<br />
ITER の 概 念 設 計 活 動 (CDA)に 際 しては 間 接 的<br />
に、そして 工 学 設 計 活 動 (EDA)では 物 理 R&D<br />
活 動 には 可 能 な 限 りその 会 合 に 出 席 した。 国 際 ト<br />
カマク 物 理 活 動 (ITPA)となってからも 微 力 なが<br />
ら ITER Physics Basis (1999)や 昨 年 完 成 した<br />
Progress in the ITER Physics Basis (2007)にも 寄<br />
与 させてもらった。 昨 年 10 月 に ITER 機 構 が 正<br />
式 に 発 足 したことは 私 にとっても 大 変 うれしい<br />
ことであった。<br />
プラズマ- 壁 相 互 作 用 (PWI)が 大 学 の 講 座 規<br />
模 での 研 究 でも 核 融 合 に 関 わることを 可 能 なら<br />
しめたのではと 思 う。そこでは 低 温 反 応 性 プラズ<br />
マにおけるプラズマ- 表 面 相 互 作 用 (PSI)と 学<br />
問 的 に 共 通 の 側 面 が 多 くあることも 強 く 認 識 し、<br />
両 者 の 連 携 を 訴 えた。この 状 況 は 今 も 変 わらない<br />
のではないかと 考 えているが 如 何 であろうか。<br />
さて、プラズマ 物 理 のめざましい 発 展 は 高 温 炉<br />
心 プラズマや 宇 宙 プラズマを 舞 台 に 花 咲 いてい<br />
った。もちろん 反 応 性 プラズマにおいても 然 りで<br />
あろう。そういう 中 で 将 来 に 向 けてもう 少 し 別 の<br />
舞 台 がないであろうかと 思 案 していた。 折 しも 名<br />
大 工 学 研 究 科 複 合 専 攻 として 小 生 の 所 属 するエ<br />
ネルギー 理 工 学 専 攻 の 将 来 像 を 議 論 する 中 で、 化<br />
学 工 学 との 接 点 ・ 異 分 野 融 合 という 視 点 から「プ<br />
ラズマ 支 援 燃 焼 」に 注 目 し、 調 査 すると 共 に 一 部<br />
5
研 究 が 開 始 された。これはプラズマ 理 工 学 の 新 し<br />
いフロンティアの 一 つとして 育 っていって 欲 し<br />
いと 期 待 している。 一 方 で 大 気 圧 高 周 波 誘 導 熱 プ<br />
ラズマの 生 成 において、 点 火 に 至 るダイナミクス<br />
として、ストリーマの 生 成 ・ 合 体 が 高 速 カメラで<br />
捉 えられ、 放 電 現 象 として 興 味 深 い 話 題 を 提 供 す<br />
ることができた。 上 層 大 気 圏 におけるスプライト<br />
放 電 の 下 部 でも 同 様 の 現 象 が 見 い 出 されており、<br />
この 方 面 の 分 野 との 関 わりという 展 開 も 生 まれ<br />
てきている。これらにおける 共 通 点 は 大 気 圧 ある<br />
いはそれに 近 い 環 境 下 の 現 象 である。 大 学 院 で 放<br />
電 の 横 を 通 り 過 ぎてしまった 小 生 にはここへ 回<br />
帰 する 定 めにあったのかもしれない。<br />
愛 知 工 業 大 学 に 移 ってからは、 静 大 の 神 藤 先 生<br />
のご 協 力 を 得 て、 大 気 圧 マイクロ 波 放 電 プラズ<br />
マ・ジェットの 生 成 に 取 り 組 み 始 めて 今 に 至 って<br />
いる。 多 くの 卒 研 生 と 共 に 高 速 カメラでジェット<br />
の 動 きを 撮 像 し、 図 らずも 彼 らはアルゴンプラズ<br />
マ・ジェットにおいて 螺 旋 状 の 構 造 を 見 いだし、<br />
動 作 ガスがヘリウムでは 脈 動 現 象 を 発 見 した。こ<br />
れらは 私 にとっては 学 生 教 育 の 冥 利 に 尽 きるこ<br />
とであった。 螺 旋 構 造 の 伝 搬 については 流 体 力 学<br />
の 専 門 家 との 共 同 研 究 により、 速 度 剪 断 層 に 現 れ<br />
る 乱 流 の 発 展 結 果 であることがわかってきた。ヘ<br />
リウムの 場 合 の 挙 動 については 未 解 明 である。ま<br />
た、ヘリウム 放 電 点 火 の 際 には 放 電 構 造 分 岐 や 遷<br />
移 過 程 も 見 いだされ、これらが、「 電 離 ガスの 静<br />
電 流 体 力 学 」として 発 展 していく 出 発 点 になるの<br />
ではないかと 希 望 を 持 っている。<br />
期 を 同 じくして、 京 大 の 岸 本 泰 明 先 生 が 放 電 に<br />
おける 爆 発 現 象 に 注 目 され、 雷 放 電 や 前 述 のスプ<br />
ライトそしてエンジンの 着 火 過 程 等 において 共<br />
通 に 観 測 される 放 電 ダイナミクスを 素 過 程 から<br />
数 値 シミュレーションで 再 現 すること 等 を 通 し<br />
て 新 しい 放 電 物 理 の 構 築 を 掲 げられ、 研 究 会 やシ<br />
ンポジウムを 精 力 的 に 企 画 され、 議 論 を 発 展 させ<br />
つつある。ここにいたって「 放 電 」は 新 しい 息 吹<br />
を 吹 き 込 まれつつあり、 実 に 新 鮮 な 響 きを 与 えて<br />
いると 感 ずるのは 私 だけであろうか。<br />
最 近 大 気 圧 グロー 放 電 がその 非 平 衡 性 と 反 応<br />
性 から 関 連 特 集 が 応 用 物 理 学 会 誌 やプラズマ・ 核<br />
融 合 学 会 誌 で 取 りあげられている。しかしプラズ<br />
マ 生 成 の 手 法 や 応 用 面 に 力 点 が 置 かれているの<br />
は 世 の 要 請 なのであろう。 理 論 やモデリングに 関<br />
わる 面 が 少 ないのは 残 念 ことである。 山 本 賢 三 先<br />
生 にそのような 話 を 申 し 上 げたところ、 後 日 、 管<br />
内 低 気 圧 グロー 放 電 陽 光 柱 と 自 由 空 間 のアーク<br />
柱 の 中 間 に 位 置 する 大 気 中 のグロー 放 電 ( 陽 光<br />
柱 )に 関 する 先 生 単 名 の 論 文 「 器 壁 のない 放 電 陽<br />
光 柱 の 理 論 I,II」 電 気 工 学 論 文 集 (1951)、pp.87-98<br />
のコピーが 送 られてきた。モデリングによる 統 一<br />
理 論 の 提 案 であった。 十 分 理 解 はできていないが、<br />
このような 力 強 い 解 析 は 最 近 少 なくなってしま<br />
ったのではないか。 大 気 圧 放 電 が 応 用 面 のみなら<br />
ず 学 問 体 系 として 発 展 していくことを 切 に 願 う<br />
ばかりである。このような 原 稿 をいったん 書 き 終<br />
わった 土 曜 日 に 東 北 大 学 理 学 部 福 西 研 出 身 で、 岸<br />
本 研 にてポスドクをやり、4 月 から 名 大 の STE 研<br />
のポスドクをやっている 平 木 さんが 愛 工 大 の 小<br />
生 の 研 究 室 を 訪 れてくれて、ストリーマやリーダ<br />
の 要 素 シミュレーションを 開 始 した 様 子 を 話 し<br />
てもらったときには 因 縁 めいた 喜 びを 感 じてし<br />
まった。<br />
誤 解 を 顧 みず、 勝 手 な 私 見 を 披 露 して 大 変 恐 縮<br />
ですが、プラズマエレクトロニクス 分 科 会 の 特 に<br />
若 い 会 員 諸 君 に 少 しでも 参 考 になれば 望 外 の 喜<br />
びです。<br />
6
第 6 回 プラズマエレクトロニクス 賞<br />
受 賞 者 の 紹 介<br />
名 古 屋 大 学 河 野 明 廣<br />
第 6 回 プラズマエレクトロニクス 賞 に 関 しまし<br />
て、 応 募 論 文 4 編 につき、 同 賞 選 考 委 員 会 にて、<br />
プラズマエレクトロニクス 分 野 における 研 究 の 独<br />
創 性 、 学 術 的 あるいは 工 業 的 価 値 、およびその 発<br />
展 性 につきまして 慎 重 に 審 議 をいたしました。そ<br />
の 結 果 、 下 記 のとおり、1 編 の 研 究 論 文 を 対 象 に<br />
表 彰 を 行 うことを 決 定 いたしました。また, 本 表<br />
彰 において,2008 年 春 季 第 55 回 応 用 物 理 学 関 係<br />
連 合 講 演 会 期 間 中 の 3 月 29 日 に 表 彰 式 が 行 われ<br />
ました。なお、 本 年 度 のプラズマエレクトロニク<br />
ス 賞 選 考 委 員 会 は、 下 記 の 委 員 をもって 構 成 され<br />
ました。<br />
委 員 長 河 野 明 廣 ( 名 古 屋 大 学 )<br />
副 委 員 長 畠 山 力 三 ( 東 北 大 学 )<br />
委 員 節 原 裕 一 ( 大 阪 大 学 )<br />
委 員 大 岩 徳 久 ( 東 芝 セミコンダクター 社 )<br />
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 が 主 催 する 研 究<br />
会 ・ 国 際 会 議 等 での 発 表<br />
会 議 名 : 第 6 回 反 応 性 プ ラ ズ マ 国 際 会 議 /<br />
第 23 回 プラズマプロセシング 研 究 会<br />
論 文 名 : Deposition of carbon system by using<br />
non-equilibrium plasmas generated in supercritical<br />
fluid<br />
著 者 名 : Takaaki Tomai, Hirotake Kubo, Ken Katahira,<br />
Yoshiki Shimizu, Takeshi Sasaki,<br />
Naoto Koshizaki and Kazuo Terashima<br />
受 賞 者 ( 受 賞 対 象 論 文 の 著 者 )<br />
寺 嶋 和 夫 ( 東 京 大 学 ), 笘 居 高 明 ( 東 京 大 学 )<br />
片 平 研 ( 東 京 大 学 ), 久 保 宏 丈 ( 東 京 大 学 )<br />
清 水 禎 樹 ( 産 業 技 術 総 合 研 究 所 )<br />
佐 々 木 毅 ( 産 業 技 術 総 合 研 究 所 )<br />
越 崎 直 人 ( 産 業 技 術 総 合 研 究 所 )<br />
記<br />
受 賞 対 象 論 文<br />
論 文 名 : Carbon materials syntheses using dielectric<br />
barrier discharge microplasma in supercritical<br />
carbon dioxide environments<br />
雑 誌 名 : The Journal of Supercritical Fluids 41<br />
(2007) 404-411<br />
著 者 名 : Takaaki Tomai, Ken Katahira, Hirotake<br />
Kubo, Yoshiki Shimizu, Takeshi Sasaki,<br />
Naoto Koshizaki, Kazuo Terashima<br />
受 賞 理 由<br />
受 賞 者 らは、 気 体 と 液 体 の 中 間 状 態 である 超 臨<br />
界 流 体 における 放 電 現 象 に 着 目 し、その 環 境 下 で<br />
のマイクロプラズマの 生 成 と 物 性 の 研 究 を 世 界 に<br />
先 駆 けて 推 進 してきた。 本 論 文 では、 超 臨 界 流 体<br />
CO 2 マイクロプラズマを 誘 電 体 バリア 放 電 によっ<br />
て 発 生 し、 新 材 料 プロセシングを 意 図 して、 放 電<br />
環 境 の 高 圧 力 化 と 低 温 化 により、 分 子 の 密 度 増 大<br />
と 揺 動 増 強 並 びにクラスター 化 が 促 進 される CO 2<br />
の 臨 界 点 近 傍 において、 優 先 的 にナノカーボンが<br />
合 成 されることを 初 めて 見 出 した。これらは、 圧<br />
力 領 域 、 温 度 領 域 、 空 間 領 域 における 新 たなプラ<br />
ズマ 応 用 の 方 向 性 を 切 り 拓 く 意 欲 的 ・ 独 創 的 な 試<br />
みであり、プラズマエレクトロニクス 分 野 の 発<br />
展 に 貢 献 するところが 大 きいと 期 待 される。<br />
7
プラズマエレクトロニクス 賞 を 受 賞 して<br />
東 京 大 学 新 領 域 創 成 科 学 研 究 科 寺 嶋 和 夫<br />
このたびは 第 6 回 プラズマエレクトロニクス 賞<br />
を 賜 り、 共 同 研 究 者 ( 受 賞 者 )である 東 京 大 学 ・<br />
寺 嶋 研 究 室 の 笘 居 高 明 博 士 ( 現 ;カリフォルニア<br />
大 バークレー 校 )、 片 平 研 氏 ( 現 ;ソニー 九 州 )、<br />
久 保 裕 丈 氏 ( 現 ;AT カー 二 ―)、 産 業 技 術 総 合 研<br />
究 所 ・ 越 崎 グループの 清 水 禎 樹 博 士 、 佐 々 木 毅 博<br />
士 、 越 崎 直 人 博 士 ともども、たいへんな 栄 誉 なこ<br />
とと 心 から 喜 ぶとともに、 本 賞 の 運 営 に 関 わられ<br />
た 関 係 の 先 生 方 に 感 謝 する 次 第 です。また、 歴 代<br />
の 本 賞 を 受 賞 されたご 高 名 の 先 生 方 のお 名 前 のリ<br />
ストを 見 るにつけ、たいへん 身 が 引 きしまる 思 い<br />
であり、 今 後 のさらなる 飛 躍 を 目 指 し、 一 層 の 努<br />
力 の 覚 悟 を 新 たにしております。<br />
この 研 究 は、16 年 前 、 寺 嶋 がスイス・バーゼル<br />
大 学 固 体 物 理 研 究 所 でのサバテイカル 中 に 構 想 し<br />
ました“ 微 小 空 間 (ナノスペース)でのプラズマ<br />
科 学 技 術 の 創 成 ”( 図 1をご 参 考 に)の 一 環 として<br />
進 めてきました“ 超 臨 界 流 体 プラズマ 科 学 技 術 の<br />
創 成 “の 研 究 のなかの、 臨 界 点 近 傍 での 物 質 合 成<br />
の 特 異 性 について 議 論 したものです。 超 臨 界 流 体<br />
のように 数 百 気 圧 にも 達 する 高 気 圧 環 境 下 で、 一<br />
般 に 数 百 ℃ 以 下 の 臨 界 温 度 程 度 の 温 度 の 非 平 衡 プ<br />
ラズマを 発 生 するためには、” 微 小 空 間 プラズマ 技<br />
術 “が 欠 かすことのできない 基 盤 技 術 になってい<br />
ます。この 技 術 を 駆 使 し、1 時 間 以 上 もの 安 定 的<br />
なプラズマの 発 生 を 行 い、 臨 界 点 近 傍 で、カーボ<br />
ンナノチューブなどのカーボンナノ 物 質 を 難 反 応<br />
性 物 質 である 二 酸 化 炭 素 CO 2 を 原 料 にして 室 温<br />
合 成 に 成 功 し、その 密 度 揺 らぎと 関 連 付 けたもの<br />
が 本 論 文 であります。<br />
超 臨 界 流 体 とは、 物 質 固 有 の 臨 界 点 以 上 の 温<br />
度 ・ 圧 力 状 態 にある 物 質 状 態 であり、 巨 視 的 には<br />
液 相 と 気 相 の 中 間 状 態 を 示 し、 高 密 度 、 高 拡 散 性 、<br />
高 溶 解 度 を 有 することから、 抽 出 、 廃 棄 物 処 理 、<br />
ナノ 物 質 ・ 構 造 作 製 など、 多 岐 の 渡 る 分 野 におい<br />
て、その 応 用 研 究 ・ 実 用 化 が 進 められてきました。<br />
これらの 優 れた 反 応 プロセス 特 性 は、 超 臨 界 流 体<br />
中 のミクロな 流 体 構 造 、 分 子 クラスタリングに 起<br />
因 しており、さらに 臨 界 点 付 近 においては、 分 子<br />
間 力 と 熱 運 動 の 拮 抗 により、ピコ 秒 のタイムスケ<br />
ールで 分 子 同 士 が 集 合 ・ 離 散 を 繰 り 返 すことで、<br />
密 度 揺 らぎが 生 じるため、プロセス 反 応 速 度 や 反<br />
応 選 択 率 の 増 大 といったプロセス 反 応 の 特 異 性 が<br />
現 れることが 知 られています。<br />
このように、 微 視 的 には、 液 相 的 なクラスター<br />
構 造 と 気 相 的 な 単 分 子 構 造 とが 局 所 的 に 共 存 する、<br />
“ナノ 空 間 での 気 液 混 合 相 ”ともいえる 超 臨 界 流<br />
体 中 でのプラズマは、まさに、 近 年 、 東 北 大 学 の<br />
畠 山 力 三 先 生 、 名 古 屋 大 学 の 高 井 治 先 生 らが 精 力<br />
的 に 研 究 を 進 められている 液 相 プラズマ(ソリュ<br />
ーションプラズマ)の 空 間 的 な 極 限 状 態 であり、<br />
21 世 紀 ナノテク 時 代 にふさわしい“ 新 規 の 液 相<br />
プラズマ”と 位 置 づけられています。<br />
図 1 微 小 空 間 (ナノスペース)プラズマの 研 究 は、バー<br />
ゼル 大 学 Guentherod 先 生 の 研 究 室 、とりわけ、 共 同 研 究<br />
者 である L.Howald 博 士 ( 現 ;Nanosurf AG)の 有 する 走 査<br />
トンネル 顕 微 鏡 (SPM) 技 術 を 駆 使 してのスタートでした。<br />
写 真 は 右 から SPM の 発 明 者 の 一 人 である Ch.Gerber 博<br />
士 ( 元 IBM チューリッヒ; 現 バーゼル 大 学 客 員 教 授 )、 寺<br />
嶋 研 究 室 ・ 博 士 3 年 生 ・ 野 間 由 里 さん、 宮 副 裕 之 さん。<br />
野 間 さんの 手 には、 本 研 究 のもとになった 世 界 で 最 初 に<br />
原 子 像 を 観 察 した SPM 装 置 ( 撮 影 ;バーゼル 大 学 にて)。<br />
8
また、 上 智 大 学 の 岡 崎 幸 子 先 生 、 小 駒 益 弘 先 生 が<br />
世 界 に 先 駆 けて 新 しい 道 を 切 り 開 かれた 我 が 国 が<br />
誇 る 大 気 圧 非 平 衡 プラズマを 端 緒 にして 発 展 を 続<br />
ける、 高 密 度 媒 質 プラズマの 新 たな 局 面 を 開 くも<br />
のとしても、プラズマ 科 学 技 術 の 立 場 から 皆 様 方<br />
に 期 待 していただいています。<br />
さらにまた、 物 質 科 学 一 般 の 立 場 からも、<br />
1イオン 性 の 固 体 の 科 学 である“ 固 体 イオニクス”、<br />
2イオン 性 の 液 体 の 科 学 である“ 液 体 イオニクス”、<br />
3イオン 性 の 気 体 の 科 学 である“ 気 体 イオニクス”、<br />
(まさにプラズマ!)に 続 く、<br />
4 第 4 の 物 質 相 である 超 臨 界 流 体 ( 釈 明 !プラズ<br />
マのご 専 門 の 皆 様 の 前 で 恐 縮 ですが、 物 質 科 学 的<br />
には 固 体 、 液 体 、 気 体 に 続 く 物 質 の 相 図 に 載 って<br />
いる 第 4 の 状 態 はプラズマではなく 超 臨 界 流 体 と<br />
なっています)のイオン 科 学 として 位 置 づけられ、<br />
現 在 、” 超 臨 界 流 体 プラズマ“と 私 どもが 名 付 けて<br />
いる 本 状 態 が、” 超 臨 界 流 体 イオニクス“として 広<br />
く 認 知 され、 広 義 の 意 味 でのイオン 科 学 (あるい<br />
は 電 気 化 学 )の4 大 分 野 の 中 の 一 つとして 物 質 科<br />
学 の 一 般 的 な 教 科 書 に 記 述 される 日 を 目 指 して、<br />
微 力 ではございますが 貢 献 できれば 幸 いです。<br />
2 年 間 ものスイスでのサバテイカル 生 活 をお 許<br />
し 戴 き、わけもわからない 研 究 に 耳 を 傾 け、 貴 重<br />
なご 助 言 を 戴 きました 東 京 大 学 の 吉 田 豊 信 先 生 に<br />
深 く 感 謝 いたします。また、Father of Microplasma<br />
と 呼 ばれ、 長 年 にわたり、ご 指 導 いただいてきま<br />
した 京 都 大 学 の 橘 邦 英 先 生 には、ただただ 感 謝 す<br />
るばかりでお 礼 の 言 葉 も 尽 きません。その 他 、 応<br />
用 物 理 学 会 をはじめとする 各 種 の 学 会 、 研 究 会 を<br />
通 じて 多 くの 先 生 方 、 会 社 の 皆 様 のご 教 授 、ご 援<br />
助 を 戴 きましたこと 心 より 感 謝 いたします。さら<br />
にまた、 伊 藤 剛 仁 博 士 ( 現 ; 大 阪 大 学 )をはじめ<br />
とする 本 研 究 の 礎 を 築 いてくださった 歴 代 の 寺 嶋<br />
研 究 室 の 学 生 の 皆 さんにもお 礼 申 し 上 げます。<br />
さて、 東 京 大 学 の 工 学 系 研 究 科 から 現 在 の 新 領<br />
域 創 成 科 学 研 究 科 に 移 り、 寺 嶋 研 究 室 を 本 格 的 に<br />
立 ち 上 げてから 早 くも 10 年 が 過 ぎようとしてい<br />
ます。さらなるプラズマ 科 学 技 術 の“ 新 領 域 ”の<br />
開 拓 を 研 究 室 の 使 命 として 研 究 に 励 んでおります。<br />
その 新 しい 研 究 領 域 の 一 つとして、 私 どもが“ク<br />
ライオプラズマ”と 呼 ぶ、 超 臨 界 流 体 プラズマと<br />
並 んで、 精 力 的 に 研 究 を 進 めている 新 規 のプラズ<br />
マを 僭 越 ながらご 紹 介 し、 結 びとさせていただき<br />
ます。<br />
従 来 より、 極 低 温 下 におけるイオンや 電 子 、 活<br />
性 種 の 振 る 舞 いを 調 べるため、 極 低 温 雰 囲 気 での<br />
プラズマの 発 生 ・ 診 断 に 関 する 研 究 がなされてき<br />
ました。しかしながら、それらは 液 体 窒 素 や 液 体<br />
ヘリウム 温 度 (77K,4K) 付 近 のみに 焦 点 を 当 てたも<br />
のであり、 室 温 から 連 続 的 に 極 低 温 まで 温 度 を 変<br />
化 ・ 制 御 させている 研 究 、また、プロセスなどへ<br />
の 応 用 研 究 は 殆 ど 皆 無 でありました。このような<br />
背 景 のもと、 私 どもの 研 究 室 では 従 来 の、1 熱 プ<br />
ラズマ( 数 千 ~ 数 万 K)、2 低 温 プラズマ( 室 温 ~<br />
数 千 K)に 続 く、ガス 温 度 を 室 温 から 室 温 以 下 ( 現<br />
在 は5K まで)まで 連 続 的 に 変 化 ・ 制 御 させた 第<br />
3のガス 温 度 領 域 のプラズマである、クライオプ<br />
ラズマ 研 究 に 着 手 しております。 今 後 、 従 来 のプ<br />
ラズマとは 異 なるクライオプラズマ 特 有 の 物 性 発<br />
現 ( 図 2をご 参 照 )と、 熱 的 損 傷 が 鍵 となるバイ<br />
オマテリアルなどへの 新 規 プロセス 応 用 を 期 待 し<br />
ております。このプラズマの 発 生 にもまた、 超 臨<br />
界 流 体 プラズマと 同 様 に、 比 表 面 積 の 大 きさから<br />
環 境 適 合 性 ( 親 和 性 )が 非 常 に 高 いという 特 長 を<br />
有 する 微 小 空 間 プラズマの 技 術 が 十 二 分 に 駆 使 さ<br />
れております。 今 後 の 展 開 が 楽 しみです。<br />
これからも、 一 層 の、ご 指 導 、ご 鞭 撻 のほど、<br />
宜 しくお 願 い 申 し 上 げます。<br />
図 2クライオ DBD プラズマの 放 電 形 態 のガス 温 度 依 存 性<br />
9
研 究 室 紹 介<br />
佐 賀 大 学 ・ 大 学 院 工 学 系 研 究 科<br />
プラズマサイエンス 研 究 室 林 信 哉<br />
1. はじめに<br />
研 究 室 紹 介 の 原 稿 依 頼 をお 受 けして 記 事 を 書 き<br />
つつあるのですが, 私 の 研 究 室 は 正 式 な 研 究 室 で<br />
はなく,2, 3 の 研 究 室 から 構 成 される 講 座 内 から<br />
プラズマに 興 味 がある 学 生 が 集 まり 研 究 している<br />
といった 状 態 です.よって, 研 究 室 と 言 うよりも<br />
研 究 グループとご 理 解 下 さい.<br />
2. 研 究 グループの 様 子<br />
平 成 20 年 度 の 本 研 究 グループの 構 成 は, 教 員 1<br />
名 , 修 士 課 程 学 生 3 名 , 学 部 生 5 名 です. 年 々グ<br />
ループ 内 の 学 生 数 が 増 加 してしまい 賑 やかなのは<br />
良 いのですが, 少 人 数 の 頃 のフットワークが 失 わ<br />
れないよう 気 を 付 けております. 筆 者 が 九 州 大 学<br />
大 学 院 総 合 理 工 学 研 究 科 ( 河 合 研 究 室 )に 在 籍 中<br />
していた 間 , 研 究 内 容 だけでなく 研 究 のスタイル<br />
や 研 究 室 の 運 営 についても 多 くのことを 見 て 参 り<br />
ました.その 雰 囲 気 を 本 研 究 グループでも 醸 し 出<br />
せるよう 心 掛 けております. 学 生 には 常 々 自 由 に<br />
研 究 しなさいと 言 い 聞 かせています.そのため 筆<br />
者 は, 学 生 の 実 験 装 置 等 の 要 求 に 右 往 左 往 しなが<br />
ら 日 々 多 くの 時 間 を 割 いて 研 究 環 境 の 整 備 を 行 っ<br />
ているのですが, 学 生 にはどうも 七 人 の 小 人 が 夜<br />
中 にやってくれている 程 度 にしか 思 われていない<br />
ようです.<br />
極 放 電 チェンバーもあります. 直 線 性 の 良 いきれ<br />
いなラングミュアプローブ 特 性 と 0.5eV 程 度 の<br />
低 電 子 温 度 は 熱 陰 極 放 電 ならではのものです.こ<br />
れらの 放 電 およびプラズマを 研 究 テーマに 応 じて<br />
使 い 分 けています.これらの 装 置 は 殆 ど 全 てデス<br />
クトップサイズで, 言 わばテーブルマジック 的 な<br />
雰 囲 気 です. 必 要 に 応 じて 企 業 やフィールドへ 装<br />
置 一 式 をトランクに 入 れて 出 かけることも 可 能 で<br />
す. 現 在 はプラズマの 応 用 研 究 がメインになって<br />
おり,プラズマ 源 や 診 断 装 置 と 同 時 に FTIR やタ<br />
ンパク 質 分 析 器 といった 分 析 機 器 も 充 実 させるよ<br />
うにしております. 実 験 室 については, 学 科 内 の<br />
手 狭 な 実 験 室 に 加 えて, 本 学 医 学 部 のプラズマ 滅<br />
菌 用 研 究 室 および 共 同 研 究 企 業 にも 真 空 容 器 その<br />
他 の 実 験 機 器 を 設 置 して 実 験 を 行 っております.<br />
4. 研 究 テーマについて<br />
以 下 に 簡 単 に 研 究 テーマについて 説 明 いたしま<br />
す. 現 在 の 研 究 は, 医 療 応 用 , 環 境 応 用 ,および<br />
宇 宙 利 用 といった 応 用 研 究 が 主 になっています.<br />
【 医 療 応 用 】<br />
・ 酸 素 高 周 波 プラズマを 用 いた 医 療 器 材 の 滅 菌<br />
従 来 の 医 療 用 滅 菌 器 は 主 に 高 温 高 圧 水 蒸 気 やエ<br />
チレンオキサイドガスを 用 いたものであり, 材 料<br />
3. 研 究 設 備 について<br />
主 力 の 実 験 装 置 として, 内 径 6~8 インチ 程 度<br />
の 小 型 の 真 空 チェンバーが 数 台 と,プラズマ 生 成<br />
用 電 源 として RF 電 源 ,マイクロ 波 電 源 等 を 使 用<br />
しております( 殆 どがネット 通 販 の 中 古 品 です).<br />
一 人 もしくは 二 人 程 度 で 扱 うには 丁 度 良 い 大 きさ<br />
です.また, 大 気 圧 放 電 用 に 高 電 圧 電 源 や 各 種 電<br />
極 系 を 揃 えています. 加 えて, 私 の 学 生 時 代 から<br />
のテーマであるプラズマ 波 動 実 験 用 として, 熱 陰<br />
Fig. 1 医 療 器 材 滅 菌 器 用 水 プラズマの 様 子 .<br />
10
適 合 性 や 健 康 被 害 等 の 安 全 性 の 点 で 難 点 がありま<br />
した.このような 滅 菌 法 に 替 わり, 通 電 中 のみ 活<br />
性 酸 素 種 による 滅 菌 能 力 を 発 揮 する 酸 素 / 水 プラ<br />
ズマ 滅 菌 器 を 開 発 しています(Fig.1). 本 研 究 は<br />
プラズマと 言 うよりも 医 療 機 器 の 開 発 であり, 最<br />
終 的 には 薬 事 法 申 請 なるものが 控 えており, 生 物<br />
学 から 医 療 機 器 学 および 電 磁 波 適 合 性 の 知 識 も 必<br />
要 となる 非 常 に 学 際 的 な 研 究 です. 研 究 するほど<br />
に, 様 々な 知 識 が 広 く 浅 くついていきます. 本 滅<br />
菌 法 で 特 許 を 取 得 し, 大 学 TLO を 通 して 企 業 へ<br />
技 術 移 転 しております.<br />
・マイクロ 波 トーチプラズマによる 高 速 滅 菌 法 .<br />
高 温 高 圧 水 蒸 気 滅 菌 器 やエチレンオキサイドガ<br />
ス 滅 菌 器 , 加 えて 開 発 中 のプラズマ 滅 菌 器 でさえ<br />
も 滅 菌 時 間 が 数 時 間 から 1 日 と 大 変 長 いのです<br />
が, 病 院 の 手 術 室 等 では 医 療 器 材 の 緊 急 な 滅 菌 が<br />
必 要 な 場 合 があります.このような 医 療 器 材 の 高<br />
速 滅 菌 に 対 応 するために, 高 密 度 でラジカルを 生<br />
成 可 能 なトーチプラズマを 用 いた 滅 菌 方 法 を 開 発<br />
しています.また 本 方 法 の 食 品 産 業 への 応 用 も 検<br />
討 しており, 琉 球 大 学 の 米 須 先 生 と 共 同 で 研 究 を<br />
進 めています.<br />
・ 細 管 内 放 電 によるカテーテル 内 滅 菌 の 試 み.<br />
医 療 器 材 の 中 でも, 狭 空 構 造 を 持 つカテーテル<br />
等 のチューブは, 現 在 でも 効 果 的 な 滅 菌 法 が 開 発<br />
されていないのが 実 状 です. 本 来 プラズマも, 狭<br />
空 物 へ 進 入 するもしくは 狭 空 内 で 発 生 させるのは<br />
困 難 です. 本 研 究 では, 細 管 内 にプラズマを 生 成<br />
することにより,イオンもしくはラジカルにより<br />
滅 菌 を 行 うことを 目 的 としています.Fig.2 は,<br />
内 径 2mm, 長 さ 1m のシリコンチューブ 内 に 生 成<br />
した 空 気 プラズマです. 細 管 内 のプラズマと 言 え<br />
ばネオン 管 があるのですが,カテーテルは 大 変 柔<br />
軟 性 がありネオン 管 と 同 じようには 行 きません.<br />
何 かしらの 柔 軟 な 発 想 でカテーテル 内 部 の 滅 菌 を<br />
成 功 させたいと 思 っています.<br />
・ 酸 素 プラズマ・ラジカルとタンパク 質 ・アミノ 酸 ・ 多 糖<br />
類 との 相 互 作 用 .<br />
近 年 , 狂 牛 病 や 羊 スクレイピーといった 恐 ろし<br />
い 病 気 が 人 間 にも 現 れ 始 めています.その 原 因 物<br />
質 である 異 常 型 プリオンタンパク 質 は 焼 却 以 外 に<br />
効 果 的 な 滅 菌 方 法 が 存 在 しないのが 現 状 です.そ<br />
のためプリオン 不 活 化 が 不 十 分 な 医 療 器 材 が 使 用<br />
されること,もしくはプリオン 病 の 診 断 ・ 治 療 が<br />
後 手 にまわることで, 将 来 的 にプリオン 病 が 医 原<br />
病 として 蔓 延 する 可 能 性 が 指 摘 されています.こ<br />
のような 事 態 を 防 止 するために,プラズマやラジ<br />
カルを 用 いたプリオンの 分 解 除 去 法 を 模 索 してお<br />
ります. 実 験 では,プリオン 代 替 物 質 として 同 様<br />
な 二 次 構 造 を 持 つアルブミンを 用 いて,ベータシ<br />
ートの 分 解 を 観 測 します. 一 方 , 点 滴 の 輸 液 等 に<br />
混 入 し 高 い 生 物 活 性 のためショック 症 状 を 引 き 起<br />
こすエンドトキシンもプリオンと 同 様 に 不 活 化 が<br />
困 難 な 物 質 です.グラム 陰 性 桿 菌 の 細 胞 壁 に 存 在<br />
するリポ 多 糖 類 であり 滅 菌 過 程 等 で 細 胞 が 破 壊 さ<br />
れることにより 放 出 されるエンドトキシンは, 耐<br />
熱 性 ・ 耐 薬 性 が 高 く, 現 在 のところフィルタリン<br />
グが 除 去 法 として 用 いられていますが, 数 ppm で<br />
生 物 活 性 を 発 現 させるエンドトキシンの 完 全 な 除<br />
去 は 困 難 です.そこで,プラズマを 用 いてエンド<br />
トキシンを 不 活 化 する 方 法 の 開 発 を 試 みています.<br />
ちなみに,エンドトキシンの 測 定 にはカブトガニ<br />
の 血 液 (リムルス 試 験 )を 用 います. 放 電 ・プラ<br />
ズマの 研 究 でカブトガニを 使 うことになるとは 全<br />
く 予 想 外 でした. 本 研 究 は 医 学 部 の 中 央 材 料 部 や<br />
農 学 部 と 共 同 で 行 っています.<br />
Fig. 2 内 径 2mm のシリコンチューブ 内 放 電 .<br />
11
【 環 境 応 用 】<br />
・ 大 気 圧 放 電 による 二 酸 化 炭 素 や 炭 化 水 素 の 分 解 .<br />
急 速 に 地 球 温 暖 化 が 全 世 界 の 問 題 となりました.<br />
我 々は, 温 室 効 果 ガスである 二 酸 化 炭 素 とメタン,<br />
フロンをターゲットとして 沿 面 放 電 による 分 解 ・<br />
再 資 源 化 を 試 みています(Fig.3).その 際 に 分 解<br />
率 の 目 標 値 は25% 程 度 として 消 費 エネルギー 効 率<br />
も 考 慮 することにより, 実 質 的 にも 温 室 効 果 が 低<br />
減 可 能 なシステムの 構 築 を 行 っております. 実 用<br />
化 を 考 慮 に 入 れて, 外 的 環 境 の 変 化 に 対 して 常 に<br />
安 定 した 放 電 が 得 られやすい 沿 面 放 電 を 採 用 しま<br />
した. 本 研 究 は, 経 済 産 業 省 のエコ・イノベーシ<br />
ョン 創 出 事 業 の 一 環 として 進 めています.<br />
Fig.3 大 気 圧 ストリーマコロナ 放 電 の 様 子 .<br />
・マイクロ 波 トーチプラズマによる 温 室 効 果 ガス 分 解<br />
および 再 資 源 化 .<br />
大 ガス 流 量 での 放 電 に 適 したトーチプラズマを<br />
用 いて, 例 えば 低 濃 度 メタンの 排 出 源 である 畜 舎<br />
等 の 固 定 排 出 源 に 対 応 可 能 な 温 室 効 果 ガス 分 解<br />
システムの 構 築 を 行 っています.マイクロ 波 を 用<br />
いることにより, 高 効 率 かつ 耐 久 性 の 高 いシステ<br />
ムが 可 能 です.また, 温 室 効 果 ガスの 分 解 だけで<br />
なく 再 資 源 化 可 能 な 物 質 への 変 換 を 試 みています.<br />
本 研 究 も 琉 球 大 学 と 共 同 で 実 施 しています.<br />
【 宇 宙 関 係 】<br />
・ 高 電 圧 交 流 電 源 イオンエンジンの 開 発 および 航 跡<br />
場 の 観 測<br />
最 近 では, 各 地 域 で 独 自 の 小 型 衛 星 を 開 発 する<br />
プロジェクトが 盛 んになりました. 九 州 でも 大 学<br />
間 で Q-SAT という 計 画 が 進 んでおります. 近 い<br />
将 来 には 数 十 cm 立 方 程 度 のピギーバック 衛 星 な<br />
らぬピギーバック 宇 宙 往 還 機 が 実 現 されるでしょ<br />
う.そのためには 小 型 の 推 進 装 置 が 必 要 となりま<br />
す. 現 在 我 々は 主 推 進 用 ではなく 姿 勢 制 御 用 とし<br />
て, 瞬 時 に 点 火 ・ 噴 射 可 能 なイオンスラスタを 開<br />
発 しています. 同 時 に,イオンの 中 和 過 程 および<br />
推 進 性 能 に 関 わると 考 えられる 航 跡 場 のプラズマ<br />
の 様 子 ( 揺 動 等 )を 実 験 的 に 調 べております.<br />
5. おわりに<br />
大 変 こじんまりとした 研 究 環 境 ですので, 少 々<br />
不 便 を 感 じることも 度 々ありますが, 小 回 りの 効<br />
く 研 究 ・ 教 育 環 境 は 大 変 魅 力 的 です. 今 後 も, 刻 々<br />
変 化 する 時 流 を 見 据 えて,プラズマエレクトロニ<br />
クス 分 野 に 貢 献 できる 研 究 を 行 いたいと 思 います.<br />
12
関 連 学 会 における 研 究 活 動 の 紹 介<br />
日 本 機 械 学 会 環 境 工 学 部 門<br />
大 気 圧 プラズマ 流 による 人 間 環 境 保 全 技 術 に 関 する<br />
研 究 分 科 会<br />
東 京 工 業 大 学 大 学 院 工 学 研 究 科 野 崎 智 洋<br />
東 北 大 学 流 体 科 学 研 究 所 佐 藤 岳 彦<br />
1.はじめに<br />
日 本 機 械 学 会 環 境 工 学 部 門 の 分 科 会 として, 平<br />
成 19 年 度 ,20 年 度 の2 年 間 にわたり「 大 気 圧 プ<br />
ラズマ 流 による 人 間 環 境 保 全 技 術 に 関 する 研 究 分<br />
科 会 」を 発 足 させた。 現 在 , 主 査 ・ 佐 藤 岳 彦 ( 東<br />
北 大 学 ), 幹 事 ・ 滝 田 ( 東 北 大 学 )を 代 表 として,<br />
50 名 の 委 員 ( 企 業 9 名 , 大 学 ・ 研 究 所 41 名 )か<br />
ら 構 成 されており, 年 3 回 の 研 究 会 および 分 科 会<br />
をとおして 人 事 交 流 と 情 報 交 換 の 場 を 提 供 してい<br />
る。ここでは 紙 面 を 借 りてこれまでの 活 動 の 報 告<br />
と 今 後 の 活 動 を 紹 介 する。<br />
2. 分 科 会 趣 旨<br />
本 分 科 会 は, 大 気 圧 プラズマ 流 を 利 用 して, 人<br />
間 を 取 り 巻 く 環 境 の 保 全 に 関 する 技 術 を, 機 械 ,<br />
電 気 , 化 学 , 材 料 ,バイオなどの 工 学 領 域 を 横 断<br />
的 に 融 合 し, 学 術 分 野 から 産 業 分 野 までを 包 括 す<br />
ることで 飛 躍 的 に 発 展 させることを 目 的 としてい<br />
る。これにより, 自 動 車 , 船 舶 , 燃 焼 機 器 ,ごみ<br />
焼 却 などによる 大 気 汚 染 物 質 や 海 ・ 河 川 ・ 湖 の 汚<br />
染 物 質 の 浄 化 , 温 室 効 果 ガスや VOC の 排 出 削 減<br />
処 理 , 病 原 微 生 物 の 殺 菌 ,プラズマ 医 療 , 各 種 プ<br />
ロセスのエネルギー 効 率 の 向 上 , 廃 棄 物 からの 資<br />
源 回 収 , 半 導 体 や 金 型 などの 表 面 処 理 やクリーニ<br />
ングの 乾 式 化 ,プラズマ 溶 射 ,アーク 溶 融 , 材 料<br />
プロセス,プラズマ 燃 焼 促 進 , 液 中 プラズマなど,<br />
学 術 分 野 のシーズと 産 業 分 野 のニーズ,そして 横<br />
断 的 な 各 分 野 間 の 情 報 交 換 により, 大 気 圧 プラズ<br />
マ 流 の 応 用 技 術 を 積 極 的 に 社 会 へ 還 元 することを<br />
目 指 している。<br />
3.これまでの 主 な 活 動 報 告<br />
平 成 19 年 度 は,7 月 6 日 ,7 日 両 日 に 第 1 回 分<br />
科 会 を 東 北 大 学 流 体 科 学 研 究 所 で 開 催 したのを 皮<br />
切 りに, 合 計 3 回 の 分 科 会 を 企 画 した。 第 1 回 分<br />
科 会 では, 東 北 大 学 ・ 寒 川 誠 二 教 授 による「 高 精<br />
度 プラズマプロセスが 拓 く 先 端 ナノデバイス」を<br />
はじめ 6 件 の 特 別 講 演 を 企 画 した。 第 2 回 分 科 会<br />
は 11 月 15 日 ,16 日 大 阪 府 立 大 学 で, 第 3 回 分 科<br />
会 は 平 成 20 年 3 月 14 日 ,15 日 東 北 大 学 流 体 科 学<br />
研 究 所 で 行 われ, 有 害 物 質 の 分 解 をはじめとする<br />
環 境 浄 化 技 術 や 医 療 応 用 など 幅 広 いテーマで 講 演<br />
が 企 画 された。なお, 講 演 プログラムの 詳 細 はイ<br />
ンターネットに 公 開 しているので 参 照 されたい<br />
[1]。また, 日 本 機 械 学 会 流 体 力 学 部 門 ニューズレ<br />
ターに「 大 気 圧 プラズマ 流 」と 題 して 特 集 号 を 企<br />
画 し[2], 低 温 プラズマ 応 用 5 件 , 熱 プラズマ 応 用<br />
4 件 について 研 究 紹 介 記 事 を 掲 載 した。<br />
4. 今 後 の 活 動 報 告<br />
平 成 20 年 度 も3 回 の 分 科 会 を 企 画 している。ま<br />
ず 第 4 回 目 となる 分 科 会 は, 日 本 機 械 学 会 2008<br />
年 度 年 次 大 会 ( 於 横 浜 国 立 大 学 )の 先 端 技 術 フォ<br />
ーラム「 大 気 圧 プラズマ 流 による 人 間 環 境 保 全 技<br />
術 」として 実 施 する[3]。プログラム( 案 )は 次 の<br />
通 りである。 興 味 をもたれる 皆 様 には 是 非 会 場 ま<br />
で 足 を 運 んでいただきたい。なお, 第 5 回 , 第 6<br />
回 分 科 会 は,それぞれ 東 京 工 業 大 学 ( 大 岡 山 キャ<br />
ンパス:11 月 7 日 ,8 日 ), 東 北 大 学 ( 流 体 科 学 研<br />
究 所 :1 月 ~3 月 頃 )にて 開 催 される 予 定 である。<br />
13
日 本 機 械 学 会 2008 年 度 年 次 大 会<br />
先 端 技 術 フォーラムプログラム( 案 )<br />
日 時 :2008 年 8 月 4 日 ( 月 )13:00~17:20<br />
場 所 : 横 浜 国 立 大 学<br />
( 神 奈 川 県 横 浜 市 保 土 ヶ 谷 区 常 盤 台 79-1)<br />
13:00-13:40 野 崎 智 洋 ( 東 京 工 業 大 学 )「 反 応 性 大<br />
気 圧 プラズマ 流 が 拓 く 先 進 ナノテクノロジー」<br />
13:40-14:20 安 藤 康 高 ( 足 利 工 業 大 学 )「 大 気 アー<br />
クジェット 放 電 プラズマジェット CVD による 機 能 性 材<br />
料 の 創 成 」<br />
14:30-15:10 中 谷 達 行 (トーヨーエイテック㈱)「プラ<br />
ズマ 表 面 処 理 技 術 の 冠 動 脈 ステントへの 応 用 」<br />
5.おわりに<br />
本 研 究 分 科 会 は, 平 成 21 年 3 月 に 開 催 される 分<br />
科 会 をもって 終 了 する 予 定 である。 分 科 会 の 活 動<br />
に 興 味 を 持 たれた 方 は, 佐 藤 岳 彦 ( 東 北 大 学 ・ 流<br />
体 科 学 研 究 所 :sato@ifs.tohoku.ac.jp),または 滝 田<br />
謙 一 ( 同 ・ 大 学 院 工 学 研 究 科 :takita@cc.mech.tohoku.<br />
ac.jp)までお 問 い 合 わせ 下 さい。<br />
文 献<br />
[1] 分 科 会 ホームページ<br />
http://www.ifs.tohoku.ac.jp/nishiyama-lab/PSCD360_<br />
new.html<br />
[2] 日 本 機 械 学 会 流 体 力 学 部 門 ニューズレター<br />
http://www.jsme-fed.org/newsletters/<br />
[3] 日 本 機 械 学 会 2008 年 度 年 次 大 会<br />
15:10-15:50 田 原 充 ( 大 阪 府 立 産 業 技 術 総 合 研 究<br />
所 )「プラズマ CVD 法 による 高 分 子 表 面 への DLC 膜<br />
の 形 成 」<br />
16:00-16:40 浦 山 卓 也 (㈱アドテックプラズマテクノ<br />
ロジー)「 大 気 圧 マイクロ 波 プラズマシステムの 医 療<br />
応 用 」<br />
16:40-17:20 佐 伯 登 (㈱パール 工 業 ), 大 久 保 雅<br />
章 ( 大 阪 府 立 大 学 )「 大 気 圧 低 温 プラズマによるテフ<br />
ロン 表 面 処 理 と 新 材 料 創 成 」<br />
14
【 新 連 載 !】 学 生 のためのページ<br />
すぐに 役 立 つプラズマエレクトロニクス<br />
プラズマ 発 光 分 光 計 測 法 の 基 礎<br />
名 古 屋 大 学 佐 々 木 浩 一<br />
15
国 際 会 議 報 告<br />
1st International Conference on<br />
Plasma Nanotechnology & Science (IC-PLANTS2008) 報 告<br />
名 古 屋 大 学 佐 々 木 浩 一<br />
名 古 屋 大 学 プラズマナノ 工 学 研 究 センターでは,<br />
2008 年 3 月 13 日 および 14 日 に, 名 古 屋 大 学 IB<br />
大 講 義 室 において, 第 1 回 プラズマナノ 科 学 技 術<br />
に 関 する 国 際 会 議 (1st International Conference on<br />
Plasma Nanotechnology & Science; IC-PLANTS2008<br />
( 主 催 : 名 古 屋 大 学 工 学 研 究 科 附 属 プラズマナノ<br />
工 学 研 究 センターおよび 名 古 屋 産 業 科 学 研 究 所 ,<br />
共 催 : 日 比 科 学 技 術 振 興 財 団 , 協 賛 : 応 用 物 理 学<br />
会 東 海 支 部 ))を 開 催 しました。 本 稿 では, 本 国 際<br />
会 議 の 概 要 に 関 して 報 告 させていただきます。<br />
プラズマナノ 工 学 研 究 センターは,プラズマナ<br />
ノ 工 学 の 世 界 的 研 究 拠 点 を 形 成 すること,ナノテ<br />
クノロジー・ 材 料 分 野 の 戦 略 的 基 幹 技 術 であるプ<br />
ラズマ 技 術 の 研 究 開 発 を 行 うこと,および, 産 学<br />
連 携 ・ 人 材 養 成 並 びに 国 際 連 携 を 推 進 することを<br />
目 的 に, 名 古 屋 大 学 工 学 研 究 科 附 属 として 2006<br />
年 10 月 に 発 足 した 新 しい 研 究 センターです。 本 研<br />
究 センターの 設 立 に 関 しては, 既 に, 本 誌 45 号<br />
(2006 年 12 月 発 行 )に 紹 介 させていただきまし<br />
た。 本 国 際 会 議 は,プラズマナノ 工 学 研 究 センタ<br />
ーの 目 的 に 沿 い,プラズマを 用 いたナノテクノロ<br />
ジーとその 基 礎 科 学 に 関 する 最 新 の 研 究 成 果 や 将<br />
来 動 向 に 関 して 議 論 すること,および, 国 内 外 の<br />
主 要 研 究 者 間 および 組 織 間 の 連 携 を 強 めることを<br />
目 的 に,2008 年 から 新 しく 組 織 されました。<br />
当 日 は, 国 内 外 の 著 名 な 研 究 者 による 17 件 の 招<br />
待 講 演 に 加 え, 一 般 講 演 として 49 件 のポスター 発<br />
表 が 行 われ, 韓 , 独 , 仏 , 中 , 蘭 , 日 の6 国 より<br />
総 勢 129 名 の 参 加 者 との 間 で 活 発 な 議 論 がなされ<br />
ました。また, 今 回 は 特 に, 大 規 模 集 積 回 路 のナ<br />
ノ 製 造 プロセスにおける「 揺 らぎ」(プロセス 結 果<br />
のばらつき)の 問 題 に 焦 点 をあてた 特 別 セッショ<br />
ンが 企 画 されました。 本 国 際 会 議 の 詳 細 なプログ<br />
ラムは http://www.plasma.engg.nagoya-u.ac.jp/IC-<br />
2008/)に 掲 載 されていますので, 是 非 ご 覧 くださ<br />
い。<br />
図 1 IC-PLANTS2008 の 様 子<br />
IC-PLANTS2008 では, 学 生 の 研 究 発 表 を 奨 励 し<br />
たことにより, 我 が 国 はもちろん 韓 国 などの 学 生<br />
からも 多 数 の 発 表 があり, 若 手 研 究 者 育 成 の 観 点<br />
からも 大 変 有 意 義 な 国 際 会 議 となりました。また,<br />
3 月 13 日 の 夜 には, 名 古 屋 大 学 内 において 懇 親 会<br />
が 開 催 され, 国 際 間 および 産 学 間 の 連 携 強 化 がな<br />
されました。<br />
IC-PLANTS は, 今 後 も 毎 年 , 名 古 屋 大 学 プラズ<br />
マナノ 工 学 研 究 センターを 中 心 に 企 画 ・ 運 営 され<br />
ていく 予 定 であり, 次 回 は 2009 年 1 月 22 日 およ<br />
び 23 日 に 名 古 屋 大 学 において 開 催 されます。 皆 様<br />
のご 参 加 をお 待 ちしております。<br />
23
国 際 会 議 報 告<br />
6th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing 報 告<br />
大 阪 大 学 浜 口 智 志<br />
表 記 の 会 議 ( 第 6 回 日 欧 プラズマプロセス 共 同<br />
シンポジウム:JSPP2008)が、 去 る 2008 年 4 月<br />
21 日 ( 月 )から 23 日 ( 水 )の3 日 間 、 沖 縄 県 宜<br />
野 湾 市 にある 沖 縄 コンベンションセンターで 開 催<br />
された。 本 会 議 は、プラズマによる 各 種 化 学 反 応<br />
プロセスに 関 する 物 理 ・ 化 学 の 基 礎 を 学 術 的 に 解<br />
明 することを 目 的 とする 国 際 会 議 で、 今 回 は 特 に、<br />
大 気 圧 プラズマによるプラズマプロセスの 基 礎 過<br />
程 の 研 究 を 特 別 テーマとして 取 り 上 げた。 特 別 テ<br />
ーマ 以 外 では、 例 年 同 様 、プラズマの 基 礎 ・ 応 用<br />
に 関 する 幅 広 い 分 野 の 講 演 が 行 われた。<br />
この 会 議 は、 第 一 回 が 2003 年 7 月 にストック<br />
ホルム 大 学 で 開 催 され、その 後 、 東 京 (2004 年 )、<br />
Podbanske(スロベニア、2005 年 )、 富 士 吉 田 (2006<br />
年 )、ベオグラード(セルビア、2007 年 )と 開 催 され<br />
て 今 日 に 至 っている。 例 年 参 加 者 数 を 50-60 名 程<br />
度 に 限 り、 参 加 者 の 間 の 議 論 や 交 流 を 積 極 的 に 奨<br />
励 している。 今 回 の 出 席 者 も 約 70 名 で、そのうち<br />
海 外 からの 参 加 者 が 約 20 名 程 度 であった。 会 議 開<br />
催 日 前 日 の 20 日 ( 日 ) 夕 方 にはレセプション、ま<br />
た 21、22 日 の 両 日 は 夕 食 会 、 最 終 日 23 日 の 午 後<br />
には、 首 里 城 と 沖 縄 県 立 博 物 館 ・ 美 術 館 を 訪 ねる<br />
観 光 も 開 催 され、 会 議 場 外 でも、 出 席 者 同 士 の 親<br />
睦 を 深 める 機 会 が 多 く 提 供 された。<br />
会 議 の 学 術 プログラムは、 橘 邦 英 ・ 京 都 大 学 教<br />
授 の 特 別 講 演 に 始 まり、その 後 、シミュレーショ<br />
ン、プラズマ 診 断 、 大 気 圧 プラズマ、 半 導 体 プロ<br />
セス、プラズマのナノ・バイオテクノロジーや 核<br />
融 合 応 用 、 原 子 分 子 基 礎 過 程 など 各 種 のテーマに<br />
関 して 口 頭 ・ポスター 発 表 が 行 われた。 最 後 のセ<br />
ッションでは、 本 学 術 分 野 の 発 展 に 研 究 者 コミュ<br />
ニティーがどう 貢 献 できるかなど、 研 究 協 力 の 将<br />
来 像 について 話 し 合 い、 全 日 程 の 幕 を 閉 じた。<br />
今 回 の 会 議 は、 慶 応 大 学 グローバル COE プロ<br />
グラム「アクセス 空 間 支 援 基 盤 技 術 の 高 度 国 際 連<br />
携 」および 大 阪 大 学 工 学 研 究 科 附 属 原 子 分 子 イオ<br />
ン 制 御 理 工 学 センターの 主 催 、また、( 社 ) 応 用 物<br />
理 学 会 、( 社 ) 日 本 物 理 学 会 、( 社 )プラズマ・ 核<br />
融 合 学 会 の 協 賛 で 開 催 され、さらに、Air Force<br />
Office of Scientific Research, Asian Office of<br />
Aerospace Research and Development<br />
(AFOSR/AOARD), カシオ 科 学 振 興 財 団 、 東 京 エ<br />
レクトロン( 株 )( 以 上 、 五 十 音 順 )から 財 政 的 援<br />
助 も 得 た。 会 議 の 詳 細 は 今 でもホームページ<br />
http://www.camt.eng.osaka-u.ac.jp/EU-JAPAN/ に<br />
掲 載 されている。<br />
図 1: 会 議 中 の 風 景 。<br />
24
国 際 会 議 報 告<br />
International Workshop on Merging State of<br />
the Art Plasma Science into New Technologies 報 告<br />
名 古 屋 大 学 豊 田 浩 孝<br />
International workshop on merging state-of- the-art<br />
plasma science into novel technologies が 5 月 14~16 日<br />
の 3 日 間 の 日 程 でオランダのアイントホーヘン 市 内<br />
にて 開 催 された。 本 会 議 の 報 告 の 前 に、 本 会 議 の 開<br />
催 母 体 である International Plasma COE Network につ<br />
いて 説 明 をさせていただく。International Plasma COE<br />
Network は 2004 年 4 月 、 名 古 屋 大 学 において 進 めら<br />
れていた Plasma-Nano COE の 拠 点 リーダー、 菅 井 秀<br />
郎 教 授 ( 現 : 中 部 大 学 )のご 尽 力 により、 世 界 のプラ<br />
ズマ 応 用 に 関 する 6 研 究 機 関 等 (CAPST (Korea),<br />
CPS (The Netherlands), CPST, SFB 591 (Germany), INP<br />
(Germany), LPCM (France), PlasMAC (Ireland),<br />
Plasma-Nano (Japan)が 設 立 に 合 意 してスタートした<br />
ものである。その 後 、 本 Plasma COE Network には<br />
2006 年 に HTPL(USA), IMIP(Italy), NPN(UK)が、 本 年<br />
2008 年 は APCoE(Australia) が 新 たに 加 わり 現 在 の<br />
ネットワーク 組 織 を 形 成 している。また、 本 Plasma<br />
COE Network が 開 催 するワークショップの 第 1 回 は<br />
2004 年 に 名 古 屋 大 学 において 開 催 され、その 後 第 2<br />
回 ワークショップを 2006 年 にドイツ、ポツダム 市 に<br />
て 開 催 し、 今 回 に 至 っている。 本 Plasma COE Network<br />
は 隔 年 で 国 際 ワークショップを 開 催 するほか、<br />
ホームページを 開 設 し 研 究 情 報 交 換 やポスドクポス<br />
トの 情 報 交 換 等 をおこなっている。なお、 本 COE<br />
Network に つ い て は ホ ー ム ペ ー ジ<br />
http://www.plasma-coe.org/も 参 照 されたい。<br />
今 回 のワークショップは、 各 ネットワークメンバ<br />
ー 機 関 等 から 2~3 名 程 度 が 講 演 をおこない、 研 究 の<br />
トピックや 各 機 関 の 活 動 状 況 の 報 告 がおこなわれた。<br />
日 本 からは、 名 古 屋 大 学 河 野 明 廣 先 生 、 関 根 誠 先<br />
生 、 佐 々 木 浩 一 先 生 および 豊 田 が、また 九 州 大 学 か<br />
ら 白 谷 正 治 先 生 が 出 席 した。 河 野 先 生 は 研 究 トピッ<br />
ク 講 演 とともに、 一 昨 年 に 名 古 屋 大 学 に 設 立 された<br />
プラズマナノ 工 学 研 究 センターの 概 要 について 説 明<br />
をおこなった。また、 本 年 度 から 名 古 屋 大 学 プラズ<br />
マナノ 工 学 研 究 センターにおいて 実 施 される 日 本 学<br />
術 振 興 会 「 若 手 研 究 者 インターナショナルトレーニ<br />
ングプログラム」の 紹 介 をおこなった。 他 の 参 加 各<br />
機 関 からもそれぞれ 数 名 程 度 の 参 加 者 があり、<br />
30~40 名 程 度 のコンパクトな 規 模 で 自 由 な 雰 囲 気 の<br />
中 で 研 究 討 論 をおこなうとともに、さらなる 活 性 化<br />
に 向 けた 各 機 関 の 活 動 状 況 に 耳 を 傾 けていた。なお、<br />
アイントホーヘングループの 大 御 所 Schram 先 生 も<br />
本 会 議 に 出 席 しており、 会 議 を 楽 しんでおられた。<br />
アイントホーヘン 工 科 大 学 にはヨーロッパにおけ<br />
るプラズマ 応 用 の 一 大 研 究 グループがあり 国 際 会 議<br />
等 もしばしば 開 催 されていることから、 本 稿 をご 覧<br />
の 中 にも 訪 問 された 方 も 多 数 おみえになると 思 われ<br />
る。 市 内 や 大 学 の 雰 囲 気 については 割 愛 をさせてい<br />
ただくが、 最 近 (?)の 情 報 としてアイントホーヘン 工<br />
科 大 学 CPS のグループは 新 しい 建 屋 への 一 部 装 置<br />
の 移 設 も 終 えている。 本 ワークショップでは 研 究 室<br />
見 学 もおこなったが、 非 常 に 整 った 環 境 で 研 究 を 進<br />
めているように 見 受 けられた。<br />
なお、 今 会 議 では Chairman として 本 Plasma COE<br />
Network を 2 年 間 運 営 してきたルール 大 学 ボッフム<br />
校 Uwe Czarnetzki 教 授 は 退 任 し、Open University の<br />
Nick Braithwaite 教 授 が 新 Chairman として、 今 後 2<br />
年 間 運 営 に 携 わることが 合 意 された。また、2 年 後<br />
のワークショップは 成 均 館 大 学 Han 先 生 を 中 心 とし<br />
たグループにより 韓 国 で 開 催 されることとなってい<br />
る。<br />
最 後 に、 本 ワークショップ 開 催 の 一 部 は 日 本 学 術<br />
振 興 会 日 本 学 術 振 興 会 「 若 手 研 究 者 インターナシ<br />
ョナルトレーニングプログラム」の 支 援 を 得 たもの<br />
であり、 関 係 各 位 に 感 謝 申 し 上 げます。<br />
25
国 際 会 議 報 告<br />
60st Gaseous Electronics Conference 2007 報 告<br />
第 60 回 気 体 エレクトロニクス 会 議<br />
(GEC2007)<br />
名 古 屋 大 学 斧 高 一<br />
第 60 回 気 体 エレクトロニクス 会 議 (60th Gaseous<br />
Electronics Conference、 略 称 GEC) が、 昨 年 秋 、2007<br />
年 10 月 2 日 ~5 日 にわたり、 米 国 バージニア 州 ・アー<br />
リントン (Arlington) において 開 催 された。GEC は、<br />
米 国 物 理 学 会 (APS) の 原 子 分 子 光 学 物 理 分 科<br />
(DAMOP) と 関 係 して 毎 年 開 催 される 会 議 であり、 原<br />
則 として 米 国 内 で 開 催 される ( 米 国 外 開 催 はこれまで<br />
カナダとアイルランドの 2 回 )。 応 用 物 理 学 会 は、1998<br />
年 秋 に、 第 4 回 反 応 性 プラズマ 国 際 会 議 /ICRP-4 を<br />
GEC と 合 同 で 米 国 ハワイ 州 で 開 催 した。 米 国 内 会 議 と<br />
はいえ 参 加 国 は 多 彩 で、 実 質 的 な 国 際 会 議 といえる<br />
( 例 年 4 割 程 度 が 米 国 外 からの 参 加 者 )。 会 議 の 実 質 的<br />
な 運 営 にあたる GEC Executive Committee (ExComm)<br />
は、 現 在 12 名 で 構 成 され、 米 国 8 名 、 欧 州 2 名 、アジ<br />
ア・オセアニア 2 名 (うち 日 本 から 1 名 /2005~2007<br />
年 斧 , 2007 年 ~2009 年 名 大 ・ 堀 先 生 ) である。GEC<br />
のトッピクスは、 気 体 放 電 現 象 およびその 応 用 にかか<br />
わる 基 礎 研 究 に 主 眼 が 置 かれている。とはいえ、 近 年<br />
は、 高 気 圧 非 平 衡 プラズマや、 環 境 ・ナノテクノロジ<br />
ー・バイオテクノロジーにかかわるプラズマの 基 礎 ・<br />
応 用 研 究 もクローズアップされ、 基 礎 と 応 用 、 新 と 旧<br />
の 研 究 テーマを 調 和 した 運 営 がなされている。<br />
2007 年 の GEC は、 参 加 者 数 260 名 ( 米 国 外 から 106<br />
名 、うち 日 本 から 25 名 ) で、Arranged session とよば<br />
れる 下 記 の21の 重 点 領 域 が 設 けられて2セッション 並<br />
行 で 進 行 された。( 参 加 者 数 はこれまで、2006 年 /コ<br />
ロンバス 261 名 、2005 年 /サンノゼ 248 名 、2004 年<br />
/アイルランド265 名 、2003 年 /サンフランシスコ349<br />
名 。)<br />
Plasma Sources<br />
Plasma Combustion and Chemistry<br />
Plasma Propulsion<br />
Laser and Air Plasmas<br />
Plasma Diagnostics I, II<br />
High Pressure Arcs<br />
Micro and Dielectric Barrier Discharge<br />
Lightning Plasmas<br />
Capacitively Coupled Plasmas<br />
Electronegative Plasmas<br />
Plasma-Surface Interactions<br />
Materials Processing in Low Pressure<br />
Plasmas I, II<br />
Plasma Applications for Nanotechnology<br />
Biological and Emerging Applications of Plasmas<br />
Electron-Atom Collisions<br />
Electron-Molecule Collisions<br />
Electron Impact Ionization<br />
Electron Attachment and Recombination<br />
Electrons and Positrons: Transport and Anihilation<br />
さらに 3 つのポスターセッション、1 つの GEC<br />
Foundation talk を 含 め、 全 体 で 26 件 の 招 待 講 演 と 230<br />
件 を 超 える 一 般 講 演 ( 口 頭 発 表 103 件 、ポスター 発 表<br />
133 件 ) が 行 われた。<br />
GEC Foundation talk は、Allis Prize Lecture と 交 互 に<br />
( 隔 年 で) 設 けられている。いずれも、 気 体 エレクトロ<br />
ニクス 分 野 のある 1 つテーマを 奥 深 くまた 斬 新 な 切 り<br />
口 でレビューすることによって、 前 者 は、 該 分 野 の 基<br />
礎 的 背 景 を 思 い 起 こさせ、さらに 新 しいアイデアを 誘<br />
発 させること、 一 方 後 者 は、GEC の 創 始 者 でもある<br />
Prof. Will Allis の 該 分 野 への 卓 越 した 貢 献 を 記 念 する<br />
こと、を 目 的 としている。2007 年 の GEC Foundation<br />
talk は、Don Madison 教 授 (University of Missouri<br />
-Rolla) により、“Why would anyone be interested in<br />
charged particles ionizing atoms and molecules ?”と 題 して<br />
行 われた。 電 子 ・イオンとガス 原 子 ・ 分 子 衝 突 による<br />
イオン 化 について、ビーム 実 験 および 量 子 論 に 基 づく<br />
衝 突 理 論 によってこれまで 理 解 が 進 んできた 事 項 につ<br />
いて、 放 電 現 象 との 関 連 にも 言 及 してレビューされた。<br />
Arranged session の 構 成 はほぼ 例 年 どおりであった。<br />
2005 年 から 設 けられた Plasma Aerodynamics and Pro-<br />
26
pulsion に 関 するセッションは、 今 回 、Plasma Combustion<br />
and Chemistry および Plasma Propulsion の 2 セ<br />
ッションに 分 割 され、Aerospace 分 野 のプラズマ・ 放<br />
電 応 用 に 関 して12 件 の 講 演 (うち 招 待 講 演 2 件 ) がな<br />
された。 高 電 圧 パルス 放 電 による 超 音 速 スクラムジェ<br />
ットエンジンの 燃 焼 制 御 、 誘 電 体 バリア 放 電 による 流<br />
れの 制 御 (プラズマアクチュエータ) に 関 する 講 演 が<br />
増 えている。<br />
プラズマプロセス ( 薄 膜 形 成 、 表 面 改 質 、 微 細 加 工 、<br />
微 粒 子 など) にかかわる 分 野 は、プラズマ 源 ・プラズ<br />
マ 診 断 やプラズマ 表 面 相 互 作 用 の 基 礎 から、CVD、エ<br />
ッチング、ナノ 粒 子 ・チューブ・ウォール 形 成 などの<br />
応 用 も 含 めて、 例 年 どおり 活 発 で、 多 くの 講 演 発 表 が<br />
行 われた。プラズマのナノテクノロジーへの 応 用 に 関<br />
する 招 待 講 演 では、プラズマ CVD によるカーボンナ<br />
ノウォールの 形 成 とその 次 世 代 電 子 デバイスへの 応 用<br />
( 名 大 ・ 堀 先 生 ) が 取 り 上 げられた。 低 圧 プラズマプロ<br />
セシングでは、フルオロカーボンプラズマによる<br />
SiO2/Si 高 選 択 性 エッチングが 取 り 上 げられ、ビーム 実<br />
験 (Ar+イオンビーム/C5F8, C4F8, CF2) による 基 礎<br />
過 程 研 究 ( 名 大 ・ 豊 田 先 生 ) に 関 する 招 待 講 演 があっ<br />
た。また、プラズマ 診 断 のセッションでは、レーザ 診<br />
断 (LIF や LAS) によるシース 電 場 、ラジカルの 空 間 2<br />
次 元 分 布 、 電 子 温 度 ・ 密 度 の 計 測 ( 名 大 ・ 佐 々 木 先 生 )<br />
について 招 待 講 演 があった。<br />
低 気 圧 非 平 衡 プラズマに 関 する 招 待 講 演 では、その<br />
ほか、クライオジェニック 深 掘 り RIE、 次 世 代 ナノパ<br />
ターニングのためのプラズマ・ポリマー 相 互 作 用 、プ<br />
ラズマを 用 いた 低 エネルギーイオン 打 ち 込 み、などが<br />
取 り 上 げられた。<br />
大 気 圧 / 高 気 圧 プラズマに 関 する 招 待 講 演 では、レ<br />
ーザ 誘 導 大 気 圧 放 電 チャネルの 形 成 、 揮 発 性 有 機 化 合<br />
物 (VOC) 除 去 のためのプラズマ・ 触 媒 相 互 作 用 、DC<br />
非 平 衡 大 気 圧 放 電 のためのマイクロカソード 放 電 、 大<br />
気 圧 非 平 衡 プラズマと 生 体 材 料 表 面 との 相 互 作 用 、バ<br />
イオテクノロジー 応 用 のための 大 気 圧 放 電 プラズマの<br />
モデリング、が 取 り 上 げられた。<br />
なお、GEC では、 上 に 述 べたような 応 用 分 野 の 基 礎 研<br />
究 だけでなく、 例 年 、 電 子 と 原 子 分 子 との 衝 突 の 物 理<br />
なども 含 めて、 気 体 放 電 の 基 礎 にかかわる 講 演 発 表 も<br />
多 く 行 われ、 会 議 の 基 盤 となっている。 今 回 、プラズ<br />
マ 基 礎 に 関 しては、2 周 波 励 起 CCP の 電 子 加 熱 機 構 、<br />
DC-AC ハイブリッドプラズマリアクタ、 非 平 衡 プラズ<br />
マ 計 測 におけるラングミューアプローブの 多 様 なバリ<br />
エーション、 一 方 、 原 子 分 子 衝 突 に 関 しては、 電 子 と<br />
原 子 分 子 衝 突 による 励 起 ・ 電 離 のダイナミックス、 陽<br />
電 子 輸 送 ・ 消 滅 過 程 、 低 エネルギー 電 子 と 巨 大 分 子 /<br />
DNA との 相 互 作 用 、などに 関 する 招 待 講 演 があった。<br />
また、 期 間 中 10 月 3 日 夜 には、 特 別 セッシン<br />
“Excessive Broadening of Hydrogen Balmer Lines” が 開<br />
かれ、 当 日 のポスターセッションが 終 了 した 後 、19:00<br />
~22:00 まで、10 件 の 講 演 と 議 論 が 行 われた。この 特<br />
別 セッションは、 講 演 アブストラクトもなく、GEC<br />
Special Session として、 会 議 ホームページと registration<br />
に 際 しての 1 枚 のビラで 案 内 されたものであるが、プ<br />
ラズマ 中 での 水 素 原 子 線 の 拡 がりについて、 基 礎 から<br />
応 用 まで 最 近 の 研 究 の 最 前 線 が 議 論 された。<br />
なお、2007 年 の 60th GEC の 全 講 演 のアブストラクト<br />
は、APS の Bull. Am. Phys. Soc. Vol. 52, No. 8 (October,<br />
2007) に 掲 載 されている。また 毎 年 恒 例 の Student<br />
award には、9 件 の 候 補 の 中 から、Scott Baalrud (University<br />
of Wisconsin-Madison), "Double layers at anode<br />
spots in low-pressure plasma" が 選 定 された。<br />
今 秋 の 61st GEC は、2008 年 10 月 14 日 ~17 日 に、テ<br />
キサス 州 ・ダラスで 開 催 されます (また 2009 年 秋 の<br />
62nd GEC はニューユーク 州 アルバーニの 予 定 です)。<br />
GEC は、 過 去 (1998 年 ) に ICRP と 合 同 で 会 議 開 催 し<br />
たこともあり、プラズマエレクトロニクス 分 科 会 との<br />
縁 も 密 接 です。 研 究 内 容 / 範 囲 や 研 究 に 対 する 考 え 方<br />
も、GEC とプラズマエレクトロニクス 分 科 会 では 共 通<br />
点 も 多 く、 色 々 参 考 になる 点 も 多 々あると 考 えますの<br />
で、 分 科 会 会 員 皆 様 の2008, 2009 年 のGEC、そして2010<br />
年 にフランス・パリで 開 催 予 定 の GEC2010/ICRP-7 へ<br />
のご 参 加 を 是 非 お 願 いいたします。<br />
< 追 記 > GEC の 海 外 開 催 に 関 しては、ほぼ 毎 年 候 補 が<br />
あり ( 会 議 開 催 要 請 があり)、GEC の 委 員 会 (GEC<br />
General Committee, Executive Committee) において 多 く<br />
の 議 論 がなされてきましたが、 基 本 的 に GEC が 米 国<br />
の 国 内 会 議 であることから、なかなか 実 現 しませんで<br />
した。2007 年 の 60th GEC 会 期 中 に 開 催 された 委 員 会<br />
では、フランスから GEC のフランス 開 催 が、 日 本 か<br />
ら GEC/ICRP 合 同 会 議 の 米 国 (ハワイ、 西 海 岸 ) 開 催<br />
が 提 案 さ れ 、 両 者 あ わ せ た 形 で 、 2010 年 の<br />
GEC2010/ICRP-7 パリ 開 催 が 内 諾 に 至 りました。 今 回<br />
の 日 本 からの GEC/ICRP 合 同 会 議 開 催 提 案 に 関 しま<br />
しては、プラズマエレクトロニクス 分 科 会 幹 事 会 の 了<br />
解 を 得 て、GEC2007 の 3, 4 カ 月 前 から GEC 委 員 会 委<br />
員 に 根 回 しをしましたが、その 段 階 から GEC/ICRP 合<br />
同 会 議 に 関 しては 好 印 象 の 感 触 を 得 ていました。<br />
GEC2010/ICRP-7 開 催 の 内 諾 は、ひとえに、1998 年 の<br />
合 同 会 議 GEC1998/ICRP-4 の 成 功 と、それに 引 き 続 く<br />
ICRP の 活 発 な 活 動 の 賜 といえます。<br />
27
国 内 会 議 報 告<br />
第 25 回 プラズマプロセシング 研 究 会 (SPP-25) 報 告<br />
山 口 大 学 福 政 修<br />
第 25 回 プラズマプロセシング 研 究 会 (25th<br />
Symposium on Plasma Processing)は,2008 年 1 月<br />
23 日 ( 水 ) ~ 1 月 25 日 ( 金 )の 3 日 間 にわたって, 山<br />
口 市 の 山 口 県 教 育 会 館 ( 講 演 会 場 )とゆ~あいプ<br />
ラザ 山 口 県 社 会 福 祉 会 館 (ポスター 会 場 )におい<br />
て 開 催 されました。ISPC(2007 年 8 月 ),AEPSE<br />
(2007 年 9 月 ) 等 の, 内 容 的 には 本 シンポジウム<br />
と 密 接 に 関 連 する 国 際 会 議 が 国 内 にて 開 催 された<br />
後 でもあり, 今 回 25 回 目 という 節 目 の 年 の 本 シン<br />
ポジウムの 盛 り 上 がりはどうかと, 多 少 心 配 して<br />
おりました。ところが, 結 果 は 総 参 加 者 数 234 名<br />
( 一 般 :137 名 , 学 生 :97 名 ), 講 演 総 数 170 件 ( 特<br />
別 講 演 , 指 定 テーマ 講 演 各 2 件 , 口 頭 発 表 及 びポ<br />
スター 発 表 166 件 )ということで, 地 方 都 市 で<br />
の SPP 単 独 開 催 としては 講 演 件 数 , 参 加 者 とも 多<br />
く, 懇 親 会 にも 80 名 以 上 の 方 々のご 参 加 をいただ<br />
き, 盛 会 にて 無 事 終 了 の 運 びとなりました。この<br />
分 野 の 底 力 ・ 層 の 厚 さを 実 感 させられた 次 第 です。<br />
本 シンポジウムは,プラズマ 物 理 ・プラズマ 化<br />
学 の 研 究 者 をはじめ, 原 子 ・ 分 子 物 理 , 薄 膜 ・ 表<br />
面 の 物 理 ・ 化 学 , 電 子 工 学 など 多 分 野 の 研 究 者 が<br />
一 堂 に 会 して,プロセシングプラズマの 基 礎 科 学<br />
の 解 明 ・その 制 御 と 応 用 技 術 の 開 発 等 ,プラズマ<br />
を 接 点 とする 境 界 分 野 の 成 果 発 表 ・ 討 論 を 行 うと<br />
共 に, 新 たな 問 題 点 の 発 掘 や, 新 しいプロセシン<br />
グの 可 能 性 を 追 求 することが 目 的 です。 我 が 国 で<br />
開 催 されているプラズマプロセシングに 関 するシ<br />
ンポジウムでは 最 も 伝 統 ある 会 議 の 一 つとなって<br />
います。<br />
シンポジウムでは,プラズマ 応 用 技 術 に 関 わる<br />
基 礎 的 研 究 は 勿 論 のこと, 次 世 代 の 応 用 技 術 と 目<br />
されているナノテクノロジー 分 野 (ナノ 粒 子 ,ナ<br />
ノ 構 造 物 質 ,ナノ 加 工 ),バイオテクノロジー 分 野 ,<br />
環 境 応 用 分 野 もスコープに 加 え, 総 合 的 な 議 論 が<br />
できるように 企 画 しました。また、 次 世 代 を 担 う<br />
大 学 院 生 等 の 人 材 育 成 の 観 点 より, 第 一 線 で 活 躍<br />
する 著 名 な 研 究 者 を 招 待 して, 今 回 も「 特 別 講 演 」<br />
と「 指 定 テーマ 講 演 」が 開 催 されました。<br />
今 回 の 特 別 講 演 では, 初 日 に「プラズマ 研 究 の<br />
基 礎 から 応 用 への 40 年 ~ 次 世 代 に 託 す 夢 」と 題 し<br />
て 京 都 大 学 の 橘 邦 英 先 生 ,2 日 目 には「カーボン<br />
ナノチューブの 気 相 合 成 と 応 用 研 究 における 最 近<br />
のトピックス」と 題 して 大 阪 大 学 の 中 山 喜 萬 先 生<br />
に 御 講 演 をいただきました。さらに, 指 定 テーマ<br />
講 演 では,「 非 平 衡 プラズマ 化 学 反 応 による 水 素<br />
合 成 とエネルギーシステムへの 応 用 」と 題 して 東<br />
京 工 業 大 学 の 岡 崎 健 先 生 ,そして「ソリューショ<br />
ンプラズマ・プロセシング」と 題 して 名 古 屋 大 学<br />
の 高 井 治 先 生 に 御 講 演 をいただきました。<br />
一 般 講 演 では, 以 下 のテーマを 設 定 して, 口 頭<br />
発 表 ならびにポスター 講 演 を 合 せて 166 件 の 御 講<br />
演 をいただきました。 各 セッションにおいて,プ<br />
ラズマプロセシングを 接 点 とした 議 論 が 活 発 に 行<br />
われました。また, 学 際 領 域 のシンポジウムである<br />
特 徴 から,プラズマ 分 野 を 専 門 としない 研 究 者 によ<br />
る 研 究 発 表 ・ 討 論 も 行 われたことも 大 きな 成 果 であ<br />
ったといえます。<br />
1) プロセシングプラズマの 発 生 ・ 制 御<br />
2) プロセシングプラズマの 診 断 ・ 計 測 ・モニ<br />
タリング<br />
3) プロセシングプラズマにおける 素 過 程 ・モ<br />
デリング<br />
4) プラズマによるエッチング(ゲートスタッ<br />
ク,ダマシン,MEMS など)<br />
5) プラズマによる 薄 膜 形 成 ( 絶 縁 体 , 導 電 体 ,<br />
半 導 体 , 金 属 ,Low-k,High-k, 配 線 材 料 ,<br />
透 明 導 電 膜 など)<br />
6) プラズマによる 表 面 改 質 ( 酸 化 , 窒 化 ,イ<br />
オン 注 入 ,クリーニングなど)<br />
7) 大 気 圧 ・マイクロプラズマの 基 礎 と 応 用<br />
8) プラズマ 応 用 技 術<br />
8-1) ナノテクノロジー(ナノ 構 造 物 質 [ 炭 素<br />
系 , 窒 化 物 系 ],ナノ 粒 子 など)<br />
8-2) バイオテクノロジー(バイオチップ, 殺<br />
菌 ・ 滅 菌 など)<br />
8-3) 環 境 応 用<br />
28
8-4) 光 応 用 ・ 発 行 デバイス 用 プラズマ<br />
8-5) フラットパネルディスプレー・ジャイア<br />
ントエレクトロニクス<br />
9) 上 記 以 外 のプラズマプロセシング<br />
今 回 のシンポジウム 開 催 にあたりまして, 山 口<br />
大 学 教 育 研 究 後 援 財 団 , 山 口 大 学 工 学 部 , 応 用 物<br />
理 学 会 中 国 四 国 支 部 ,( 財 ) 中 国 電 力 技 術 研 究 財 団 ,<br />
( 財 ) 中 部 電 力 基 礎 技 術 研 究 所 より 開 催 助 成 金 を<br />
賜 り,さらに 予 稿 集 への 企 業 広 告 として 計 8 社 ,<br />
寄 付 金 として 計 1 社 にご 協 力 いただきました。 上<br />
記 の 財 団 , 企 業 各 社 等 の 大 いなる 御 好 意 によって<br />
本 シンポジウムを 開 催 することができましたこと<br />
について, 厚 く 御 礼 申 し 上 げます。<br />
最 後 に, 本 シンポジウムを 滞 りなく 開 催 できま<br />
したのは, 企 画 立 案 から 広 報 , 講 演 ・ 参 加 募 集 ,<br />
プログラム 作 成 , 各 種 出 版 ,さらには 当 日 の 運 営<br />
に 携 わっていただいた 現 地 実 行 委 員 の 先 生 方 , 分<br />
科 会 担 当 幹 事 の 先 生 方 ,ならびに 学 生 アルバイト<br />
の 諸 氏 の 献 身 的 な 御 尽 力 の 賜 物 です。 此 処 に 深 甚<br />
なる 感 謝 の 意 を 申 し 上 げます。<br />
29
国 内 会 議 報 告<br />
第 1 回 名 古 屋 大 学 プラズマナノ 工 学 スクール<br />
「 先 端 プラズマ 計 測 の 基 礎 と 応 用 」 報 告<br />
名 古 屋 大 学 佐 々 木 浩 一<br />
名 古 屋 大 学 プラズマナノ 工 学 研 究 センターでは,<br />
2008 年 1 月 17 日 に, 名 古 屋 大 学 野 依 記 念 学 術 交<br />
流 館 において, 先 端 プラズマ 計 測 の 基 礎 と 応 用 を<br />
テーマとする 第 1 回 プラズマナノ 工 学 スクールを<br />
開 催 しました。 本 稿 では,このスクールの 概 要 に<br />
関 して 報 告 させていただきます。<br />
プラズマナノ 工 学 研 究 センターは,プラズマナ<br />
ノ 工 学 の 世 界 的 研 究 拠 点 を 形 成 すること,ナノテ<br />
クノロジー・ 材 料 分 野 の 戦 略 的 基 幹 技 術 であるプ<br />
ラズマ 技 術 の 研 究 開 発 を 行 うこと,および, 産 学<br />
連 携 ・ 人 材 養 成 並 びに 国 際 連 携 を 推 進 することを<br />
目 的 に, 名 古 屋 大 学 工 学 研 究 科 附 属 として 2006<br />
年 10 月 に 発 足 した 新 しい 研 究 センターです。 本 研<br />
究 センターの 設 立 に 関 しては, 既 に, 本 誌 45 号<br />
(2006 年 12 月 発 行 )に 紹 介 させていただきまし<br />
た。 若 手 研 究 者 養 成 および 社 会 人 教 育 は 本 研 究 セ<br />
ンターの 重 要 なミッションの 一 つであり,プラズ<br />
マナノ 工 学 スクールは,この 目 的 に 沿 って 今 後 も<br />
毎 年 開 催 の 予 定 です。<br />
プラズマプロセス 技 術 はブラックボックス 的 で<br />
あると 言 われますが,その 一 因 はプラズマの 計 測<br />
が 容 易 でないことにあります。 名 古 屋 大 学 では,<br />
これまで,プラズマ 計 測 技 術 に 関 する 先 駆 的 な 研<br />
究 が 行 われてきており, 第 1 回 プラズマナノ 工 学<br />
スクールでは,プラズマ 計 測 技 術 をテーマに 取 り<br />
上 げました。スクールのプログラムは 表 のとおり<br />
です。プラズマに 関 して 最 も 基 本 的 な 電 子 パラメ<br />
ータの 計 測 技 術 ,プラズマプロセスで 最 も 重 要 な<br />
ラジカル 密 度 の 計 測 技 術 ,および,プラズマと 相<br />
互 作 用 する 表 面 の 分 析 技 術 まで, 多 岐 にわたる 計<br />
測 技 術 を 網 羅 的 に 取 り 上 げました。また,ラング<br />
ミュアプローブ 法 や 発 光 分 光 法 のような 基 盤 的 計<br />
測 技 術 からレーザー 応 用 技 術 のような 先 端 的 計 測<br />
技 術 までを 解 説 し,これからプラズマ 計 測 を 始 め<br />
ようとする 学 生 等 にとってはもちろん,これまで<br />
用 いていた 計 測 技 術 を 更 新 してより 高 い 精 度 や 分<br />
第 1 回 プラズマナノ 工 学 スクール<br />
「 先 端 プラズマ 計 測 の 基 礎 と 応 用 」<br />
プログラム<br />
題 目 講 師<br />
発 光 分 光 計 測 技 術 および LIF<br />
計 測 技 術<br />
プローブ 計 測 ・ 質 量 分 析 技 術<br />
光 散 乱 によるプラズマ 診 断<br />
吸 収 分 光 計 測 技 術<br />
表 面 入 射 正 負 イオンの 計 測 評<br />
価 技 術<br />
機 能 性 薄 膜 ・ 表 面 評 価 技 術<br />
佐 々 木 浩 一<br />
豊 田 浩 孝<br />
河 野 明 廣<br />
堀 勝<br />
林 俊 雄<br />
高 井 治<br />
解 能 を 求 めたり,これまで 計 測 できなかった 量 を<br />
計 測 したいと 希 望 する 研 究 者 ・ 技 術 者 にも 役 立 つ<br />
内 容 としました。<br />
当 日 は, 一 般 :42 名 および 学 生 :49 名 の 参 加 者<br />
が 得 られ, 講 師 等 を 含 んで 合 計 100 名 が 参 加 する<br />
盛 会 となり, 質 疑 応 答 も 活 発 に 行 われました。ま<br />
た,スクール 終 了 後 は 名 古 屋 大 学 内 において 懇 親<br />
会 を 開 催 し, 特 に,これからプラズマ 技 術 を 導 入<br />
されようとしている 企 業 の 方 と 講 師 との 間 で 有 意<br />
義 な 産 学 交 流 がなされました。<br />
本 スクールのテキスト(118 ページ)の 残 部 は<br />
有 償 にてお 分 けしておりますので,ご 希 望 の 方 は<br />
http://www.plasma.engg.nagoya-u.ac.jp/school2008/<br />
をご 覧 の 上 お 申 し 込 みください。なお, 次 回 のプ<br />
ラズマナノ 工 学 スクールは 2008 年 11 月 21 日 に 名<br />
古 屋 大 学 において 開 催 の 予 定 です。たくさんの 方<br />
のご 参 加 をお 待 ちしております。<br />
30
国 内 会 議 報 告<br />
第 22 回 光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会 報 告<br />
防 衛 大 学 校 明 石 治 朗<br />
室 蘭 工 業 大 学 佐 藤 孝 紀<br />
光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会 は、 第 20 回 ( 愛 媛 大 学 )<br />
および 第 21 回 ( 神 奈 川 大 学 )と 地 方 と 首 都 圏 との<br />
間 で 交 互 の 開 催 となり、 第 22 回 は 名 古 屋 工 業 大 学<br />
( 共 通 23 号 館 4 階 共 10 教 室 )での 開 催 となった。<br />
開 催 日 は 当 初 、 平 成 19 年 12 月 6 日 ( 木 )、7 日 ( 金 )の2<br />
日 間 と 案 内 されたが、 募 集 テーマ「 新 光 源 、 一 般<br />
光 源 および 放 電 プラズマ 光 源 の 基 礎 ・ 応 用 」への<br />
講 演 申 込 が1 日 の 日 程 に 収 まる 件 数 であったため、<br />
12 月 7 日 ( 金 )のみの 開 催 となった。<br />
同 研 究 会 は 昨 年 より、 応 用 物 理 学 会 プラズマエ<br />
レクトロニクス 分 科 会 (PE 分 科 会 )と、 照 明 学 会<br />
光 の 発 生 ・ 関 連 システム 研 究 専 門 部 会 (LS 部 会 )<br />
ならびに 光 放 射 の 応 用 ・ 関 連 計 測 研 究 専 門 部 会<br />
(AR 部 会 )、 電 気 学 会 光 応 用 ・ 視 覚 技 術 委 員 会<br />
(LAV 委 員 会 )の3 学 会 4 組 織 による 共 催 で 開 催<br />
されており、 今 後 もこの4 組 織 による 共 催 が 続 く<br />
見 通 しである。<br />
本 研 究 会 は、 汗 ばむ 陽 気 の 中 お 昼 過 ぎから 講 演<br />
者 ・ 参 加 者 が 集 い 始 め、13 時 より 開 催 された。 今<br />
回 は 本 稿 末 に 示 した5 件 の 発 表 と 件 数 ではさびし<br />
いものとなった。 発 表 の 主 な 内 容 は「PDP 放 電 お<br />
よびMgO 薄 膜 」、「プラズマ 光 源 」、「 大 気 圧 グロー<br />
放 電 」に 関 するもので、 実 験 とモデリングの 両 面<br />
から 熱 心 な 議 論 がなされた。なお、 参 加 人 数 は 講<br />
演 者 を 含 め、 計 11 名 であった。<br />
事 後 の 資 料 請 求 ・ 問 合 せ 先 は、「 第 22 回 光 源 物 性<br />
とその 応 用 研 究 会 資 料 」が 照 明 学 会 事 務 局 、「 光 応<br />
用 ・ 視 覚 研 究 会 資 料 (2007 年 12 月 7 日 )」が 電 気 学<br />
会 事 務 局 である。<br />
なお、 本 研 究 会 の 発 表 は 科 学 技 術 振 興 機 構<br />
(JST)のデータベースに 登 録 されることとなっ<br />
ており、 発 表 毎 の 要 旨 の 提 供 を 求 められている。<br />
また、 今 後 の 研 究 会 開 催 については、 年 々 講 演<br />
者 、 参 加 者 が 減 少 しているため、 光 源 の 研 究 その<br />
ものに 限 らず、 光 源 を 用 いた 計 測 に 関 する 研 究 な<br />
ど 応 用 面 での 講 演 を 増 やすことが 重 要 ではないか<br />
と 考 えられる。<br />
最 後 になるが、 今 回 の 研 究 会 実 施 に 当 たって、<br />
会 場 提 供 ・ 準 備 について 名 古 屋 工 業 大 学 の 小 田 昭<br />
紀 先 生 と 同 研 究 室 の 学 生 諸 氏 より、そして 資 料 集<br />
印 刷 の 手 配 については 電 気 学 会 事 業 サービス 課 よ<br />
り、 多 大 なるご 協 力 をいただいたことに 関 して 謹<br />
んで 御 礼 申 し 上 げたい。<br />
第 22 回 光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会 講 演 題 目 ・ 著 者<br />
PE-07-01/LS-07-01/AR-07-06/LAV-07-07<br />
「 無 水 銀 蛍 光 ランプの 開 発 」<br />
神 野 雅 文 、 戸 田 幸 伸 、 竹 田 征 史 、 平 碆 三 明 、<br />
海 部 真 司 、 本 村 英 樹<br />
( 愛 媛 大 学 大 学 院 理 工 学 研 究 科 電 子 情 報 工 学 専<br />
攻 )<br />
PE-07-02/LS-07-02/AR-07-07/ LAV-07-08<br />
「MgO 薄 膜 の 二 次 電 子 放 出 係 数 の 検 討 」<br />
鈴 木 進 、 伊 藤 晴 雄 ( 千 葉 工 業 大 学 )<br />
PE-07-03/LS-07-03/ AR-07-08/ LAV-07-09<br />
「プラズマディスプレイ 放 電 特 性 に 及 ぼす<br />
O2 添 加 の 影 響 」<br />
平 野 芳 邦 、 村 上 由 紀 夫 (NHK 放 送 技 術 研 究 所 )<br />
小 田 昭 紀 ( 名 古 屋 工 業 大 学 )<br />
PE-07-04/LS-07-04/AR-07-09/LAV-07-10<br />
「DBDXeエキシマランプ 放 電 における 均 一 放 電<br />
の 可 能 性 について」<br />
明 石 治 朗 ( 防 衛 大 学 校 )<br />
小 田 昭 紀 ( 名 古 屋 工 業 大 学 )<br />
酒 井 洋 輔 ( 北 海 道 大 学 )<br />
PE-07-05/LS-07-05/AR-07-10/ LAV-07-11<br />
「 大 気 圧 ・ 直 流 Heグロー 放 電 の 流 体 モデリング」<br />
小 田 昭 紀 、 木 村 高 志 ( 名 古 屋 工 業 大 学 )<br />
31
国 内 会 議 報 告<br />
2008 年 春 季 第 55 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会 シンポジウム<br />
「 液 相 プラズマ 科 学 の 研 究 課 題 と 応 用 への 展 望 」 報 告<br />
京 都 大 学 江 利 口 浩 二<br />
近 年 、 液 相 、 気 相 及 びその 境 界 でのプラズマ 応<br />
用 が、さらに 活 発 になっている。しかしながら、<br />
新 材 料 創 製 などへの 技 術 的 応 用 は 加 速 的 に 進 展 し<br />
ているが、そのような 場 におけるプラズマの 生<br />
成 ・ 反 応 メカニズムの 科 学 的 理 解 は 未 だ 十 分 でな<br />
い。そこで 今 回 、プラズマエレクトロニクス 分 科<br />
会 では、 液 相 を 中 心 とする 反 応 場 でのプラズマ 生<br />
成 過 程 、 気 相 の 発 生 、また、 気 相 ・ 液 相 界 面 の 反<br />
応 、 生 成 種 の 振 る 舞 いなどの 原 理 ・ 研 究 課 題 につ<br />
いて 議 論 するとともに、 液 相 プラズマの 応 用 技 術<br />
についてその 展 望 を 議 論 する 機 会 を 提 供 すること<br />
を 目 的 として、 本 シンポジウムを 開 催 した。 各 応<br />
用 分 野 で 活 躍 されている 先 生 方 に、 液 相 プラズマ<br />
の 基 礎 ( 様 々なプラズマ 源 に 関 する 生 成 過 程 、 反<br />
応 過 程 など)、 気 相 - 液 相 界 面 を 反 応 場 とする 種 々<br />
のプラズマ 源 による 材 料 合 成 、 加 工 ・ 改 質 など、<br />
幅 広 い 分 野 への 様 々な 液 相 プラズマの 応 用 例 を 講<br />
演 いただき、その 課 題 などを 参 加 者 とともに 概<br />
観 ・ 共 有 した。 参 加 者 はおおよそ 150 名 程 度 であ<br />
った。<br />
液 相 プラズマ 科 学 のニーズ( 今 回 の 企 画 の 趣 旨 )<br />
についての 江 利 口 からのイントロダクトリートー<br />
クに 続 き、7 名 の 講 演 者 から、 基 礎 から 応 用 につ<br />
いて 最 前 線 での 研 究 内 容 について 興 味 深 い 話 題 が<br />
示 された。<br />
まず、 京 都 大 学 の 橘 邦 英 先 生 から、 種 々の 液 相<br />
プラズマ 反 応 場 の 構 成 についての 説 明 が 示 された<br />
後 、 十 分 に 解 明 されていない 液 相 プラズマの 科 学<br />
的 理 解 には、 制 御 された 系 ( 単 純 化 された 系 )で<br />
の 実 験 、モデリングが 重 要 である、との 話 があっ<br />
た。また、 一 例 として、メッシュ 構 造 を 用 いたプ<br />
ラズマ 発 生 例 とその 機 構 について 示 された 後 、 実<br />
はそこには 未 だ 理 解 できていない 部 分 が 多 く、プ<br />
ラズマ 発 生 機 構 の 解 明 ・ 理 解 が 今 後 重 要 である、<br />
との 話 があった。 続 いて、 東 北 大 学 の 畠 山 力 三 先<br />
生 から、 正 負 完 全 電 離 状 態 のイオン 液 体 を 用 いた<br />
プラズマ 反 応 場 の 取 り 組 みを 中 心 に、シース 構 造<br />
の 重 要 性 、 電 荷 移 動 の 機 構 解 明 が、 今 後 の 重 要 な<br />
研 究 テーマであるとの 話 があった。 会 場 からはシ<br />
ース 構 造 について 質 問 があり、 液 相 プラズマ 科 学<br />
の 基 礎 に 対 する 興 味 の 深 さが 伺 えた。 続 いて、 名<br />
古 屋 大 学 の 石 島 達 夫 先 生 からは、 電 極 を 必 要 とし<br />
ないスロットアンテナを、 通 常 のプロセス 装 置 と<br />
は 違 って 鉛 直 方 向 にアンテナ 面 を 配 置 した 構 成 で<br />
の 実 験 例 が 示 された。 液 中 でのバブルの 発 生 とバ<br />
ブルの 運 動 、プラズマの 形 成 については、 会 場 か<br />
らの 質 問 と 同 様 、 当 該 装 置 の 構 成 がもたらす、そ<br />
れらの 物 理 (プラズマ 発 生 、 成 長 過 程 など)は 興<br />
味 深 いものであった。その 後 、 休 憩 を 挟 み、 液 相<br />
プラズマの 応 用 例 についての 講 演 が 続 いた。 名 古<br />
屋 大 学 の 高 井 治 先 生 からは、ソリューションプラ<br />
ズマという 先 駆 的 コンセプトのもとで 研 究 を 推 進<br />
されてきた 多 くのテーマの 中 で、ソリューション<br />
プラズマの 場 における 金 ナノ 粒 子 合 成 についての<br />
話 があった。また、 液 相 での 反 応 粒 子 数 の 多 さの<br />
利 点 を 活 かしたソリューションプラズマの 多 くの<br />
応 用 例 を 概 観 いただいた。 続 いて、 東 京 大 学 の 寺<br />
嶋 和 夫 先 生 からは、 超 臨 界 状 態 +プラズマという<br />
切 り 口 で、 新 しい 材 料 創 製 についての 話 があった。<br />
超 臨 界 状 態 でのプラズマによる 反 応 を 利 用 すれば、<br />
カーボンナノワイヤが 半 ば 自 己 整 合 的 にある 方 向<br />
に 成 長 する 機 構 の 例 が 示 された。 会 場 からは、 同<br />
様 のナノ 構 造 をつくることが 簡 単 ではなく、その<br />
理 由 を 尋 ねる 質 問 もあり、 液 相 プラズマプロセス<br />
の 科 学 的 理 解 の 必 要 性 が 議 論 された。 続 いて、 熊<br />
本 大 学 の 秋 山 秀 典 先 生 からは、 水 中 でのパルスパ<br />
ワーによるプラズマ 放 電 メカニズムについての 話<br />
の 後 、 引 き 続 き、 液 相 プラズマプロセスの 応 用 例<br />
の1つとして、“アオコ”の 処 理 ( 湖 沼 浄 化 )の 説<br />
明 があった。さらに 実 際 に 利 用 されている 本 処 理<br />
装 置 の 変 遷 ( 小 型 化 )についての 話 があった。 消<br />
費 電 力 についての 質 問 もあったが、システムが 太<br />
32
陽 電 池 を 用 いている 点 からも、 外 部 電 力 供 給 は 不<br />
要 である、という 点 を 強 調 されていた。 最 後 に、<br />
愛 媛 大 学 の 野 村 信 福 先 生 からは、ダイアモンド 生<br />
成 から 発 展 した 先 生 自 身 のプラズマの 研 究 経 歴 を<br />
元 にユーモアを 交 え、 環 境 を 考 慮 しながらのプラ<br />
ズマとの 取 り 組 みが 示 された。また、トルエンを<br />
例 に、 液 相 プラズマを 利 用 した 反 応 例 が 示 された。<br />
会 場 からは、CO2 削 減 の 可 能 性 や 水 素 の 取 り 出 し、<br />
などについての 質 問 もあった。<br />
今 回 のシンポジウムの 狙 いは、できるだけ 多 く<br />
の 研 究 者 にプラズマに 親 しんでもらう( 興 味 を 持<br />
ってもらう)ことも1つの 目 的 とした。 例 えば、<br />
最 後 にお 話 しいただいた 愛 媛 大 学 の 野 村 信 福 先 生<br />
は、 日 本 応 用 物 理 学 会 以 外 の 分 野 でも 大 変 活 躍 さ<br />
れており、 本 シンポジウムに 参 加 ・ 講 演 いただい<br />
た。プラズマが 幅 広 い 分 野 で 活 躍 していることも<br />
再 認 識 できた。また、プラズマ 分 野 外 の 筆 者 の 知<br />
人 からは、“プラズマがこんな 分 野 にも 積 極 的 に 応<br />
用 されているとは 知 らなかった。 面 白 かった。”と<br />
いう 評 価 をもらうこともできた。<br />
しかしながら 一 方 で、プラズマに 携 わってきた<br />
研 究 者 にとっては、 現 状 、 液 相 プラズマの 理 解 が<br />
未 だ 不 十 分 であること、 多 くの 応 用 例 があるが 何<br />
故 そのような 現 象 が 起 きるのか?についてはわか<br />
っていないこと、など、 多 くの 未 解 決 の 課 題 が 再<br />
認 識 された 場 であったと 思 われる。 多 くの 研 究 者<br />
が、<br />
(1) 液 相 プラズマの 応 用 例 を 概 観 でき、<br />
(2) 未 だ 液 相 プラズマの 科 学 的 理 解 が 十 分 で<br />
ないことを 再 認 識 でき、<br />
そして<br />
(3) 何 がわかっていて 何 がわかっていないの<br />
か? 何 が 問 題 点 なのか?など 研 究 開 発 課 題 を 整 理<br />
でき、<br />
さらに、 結 果 として、 本 シンポジウムが 課 題 解<br />
決 への 方 向 付 けの 場 となる 機 会 となったのであれ<br />
ば、 企 画 者 の 一 人 として 幸 いである。<br />
33
国 内 会 議 報 告<br />
2008 年 春 季 第 55 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会<br />
合 同 セッション D「プラズマ CVD の 基 礎 と 応 用 」 報 告<br />
名 古 屋 大 学 豊 田 浩 孝<br />
合 同 セッション D はプラズマエレクトロニクス<br />
分 科 「1.4プラズマ 応 用 プロセス」、 薄 膜 ・ 表 面<br />
分 科 の「6.2カーボン 系 薄 膜 」および 非 晶 質 ・<br />
微 結 晶 分 科 の「14.2 プロセス 技 術 」の 共 同 企 画 に<br />
よるものであり、それぞれの 分 科 の 研 究 成 果 に 関<br />
する 情 報 を 交 換 し 合 い、 違 った 視 点 から 議 論 を 交<br />
わすことのできる 場 として 機 能 している。また、<br />
本 セッション 講 演 からは、 講 演 奨 励 賞 を 受 賞 する<br />
若 手 研 究 者 の 発 表 もあり 質 の 高 い 講 演 がおこなわ<br />
れている。 今 回 の 合 同 セッションは 講 演 会 初 日 (27<br />
日 ) 午 後 に 開 催 された。<br />
セッションは8 件 の 講 演 からなり、 最 初 に 前 回<br />
の 講 演 会 において 講 演 奨 励 賞 を 受 賞 した 岸 本 和 也<br />
氏 の 発 表 がおこなわれた。 大 気 圧 プラズマを 利 用<br />
して、Si 固 体 原 料 から 薄 膜 を 形 成 する APECT 法 を<br />
用 いることにより、 高 結 晶 性 の Si 薄 膜 を 形 成 する<br />
ことに 成 功 しており、 今 回 は 太 陽 電 池 Si 基 板 の 裏<br />
面 に 形 成 されるポイントコンタクト BSF 層 への 応<br />
用 を 目 的 として、SiO 2 /Si の 選 択 エピタキシャル<br />
成 長 を 試 みた 結 果 についての 報 告 があった。 製 膜<br />
時 間 に 対 する Si 成 長 速 度 を 下 地 基 板 に 対 して 比<br />
較 した 結 果 、SiO 2 上 においては、 初 期 製 膜 速 度 が<br />
Si のそれに 比 べて 遅 くなり、これによる Si 上 へ<br />
の 選 択 エピタキシャル 成 長 の 可 能 性 が 示 されてい<br />
た。また、B ドープ 特 性 についても 検 討 がおこな<br />
われていた。 九 州 大 学 からは、SiH 4 有 磁 場 マルチ<br />
ホロー 放 電 における 発 光 分 光 測 定 をもとに、 電 子<br />
エネルギー 分 布 関 数 における 高 エネルギー 部 の 変<br />
化 に 関 する 議 論 をおこなっていた。 特 に 磁 場 の 引<br />
火 により 電 子 エネルギー 分 布 が 変 化 し 高 エネルギ<br />
ー 電 子 が 減 少 し SiH 3 ラジカル 生 成 が 増 加 すると<br />
いう 結 果 を 示 した。また、 同 じグループからマル<br />
チホロー 放 電 プラズマにおけるクラスタ 取 り 込 み<br />
量 のガス 流 速 依 存 性 に 関 する 報 告 がなされた。ガ<br />
ス 流 に 流 される 最 小 クラスタサイズは 流 速 増 加 に<br />
ともない 小 さくなるという 事 実 をもとに、クラス<br />
タサイズ 分 布 と 流 速 による 取 り 込 みクリティカル<br />
サイズの 変 化 から、 膜 中 へのクラスタ 取 り 込 みの<br />
流 量 依 存 性 と 製 膜 速 度 依 存 性 に 関 する 議 論 がなさ<br />
れた。<br />
次 に、 微 結 晶 シリコン 膜 堆 積 に 関 連 する 2 件 の<br />
発 表 があった。 産 総 研 のグループからは、 微 結 晶<br />
シリコン 高 速 製 膜 用 の VHF プラズマ CVD 装 置 につ<br />
いて、 放 電 開 始 後 の 経 時 変 化 を 質 量 分 析 、 発 光 分<br />
析 により 測 定 した 結 果 が 示 された。ラジカル 量 、<br />
電 子 温 度 、ナノ 粒 子 量 などを 総 合 的 に 詳 細 に 調 べ<br />
ており、 今 後 の 研 究 の 発 展 が 期 待 される。また、<br />
名 古 屋 大 学 のグループからは、2mx1mのマイ<br />
クロ 波 大 面 積 プラズマ CVD 装 置 の 開 発 について 報<br />
告 があった。 導 波 管 列 を 3 列 とすることにより、<br />
メートルサイズでの 均 一 プラズマ 生 成 を 可 能 とし、<br />
また 微 結 晶 Si 膜 の 高 速 かつ 均 一 な 製 膜 が 可 能 で<br />
あることを 報 告 した。<br />
最 後 にカーボン 膜 CVD に 関 連 する 3 件 の 発 表 が<br />
あった。 九 州 大 学 のグループからは、コンビナト<br />
リアル 手 法 をプラズマプロセスへ 適 用 するという<br />
発 想 をもとに、 要 素 技 術 としてトレンチへの 有 機<br />
材 料 薄 膜 のコンフォーマル 堆 積 に 関 する 実 験 結 果<br />
が 示 された。また、 長 崎 大 学 からは 中 赤 外 領 域 に<br />
おける 多 重 内 部 反 射 赤 外 分 光 法 を 用 い、アモルフ<br />
ァス 炭 素 膜 への 水 素 ラジカル 照 射 による 水 素 引 き<br />
抜 き 効 果 に 関 する 実 験 結 果 が 報 告 され、 吸 収 スペ<br />
クトル 変 化 の 解 析 結 果 について、 議 論 がおこなわ<br />
れた。 東 大 のグループからは、ダイアモンド CVD<br />
におけるバイアス 処 理 に 関 する 発 表 があった。イ<br />
オンエネルギー 評 価 のための、シース 構 造 に 関 す<br />
るシミュレーション 計 算 結 果 も 報 告 されており、<br />
興 味 深 い 結 果 が 得 られていた。<br />
なお、 本 合 同 セッション D は 10 年 程 度 継 続 され<br />
てきたが、 合 同 セッションの 長 期 開 催 が 基 本 的 に<br />
は 認 められていない 中 、 次 回 をもって 一 旦 休 止 が<br />
予 定 されている。<br />
34
国 内 会 議 報 告<br />
2008 年 春 季 第 55 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会<br />
合 同 セッション F「カーボンナノチューブの 基 礎 と 応 用 」 報 告<br />
武 蔵 工 業 大 学 平 田 孝 道<br />
去 る 平 成 20 年 3 月 27 日 ~30 日 に、 日 本 大 学 理 工<br />
学 部 船 橋 キ ャ ン パ ス ( 千 葉 県 船 橋 市 習 志 野 台<br />
7-24-1)で 開 催 された 第 55 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講<br />
演 会 において、 合 同 セッション F「カーボンナノチュー<br />
ブの 基 礎 と 応 用 」が 開 催 された。 本 セッションは5 分 科<br />
の 合 同 企 画 として 2003 年 春 季 講 演 会 から 実 施 され、<br />
満 5 年 を 迎 えた 今 回 も、その 諸 特 性 の 解 明 及 び 応 用<br />
に 関 する 研 究 が 盛 んに 行 われている。<br />
今 回 の 発 表 件 数 は、102 件 ( 講 演 取 り 消 しも 含 む)<br />
であり、 傍 聴 者 も 連 日 100 名 前 後 であった。 内 容 の 分<br />
類 は 以 下 の 通 りである。• 合 成 ・ 成 長 ・ 配 向 32 件 ( 合<br />
成 には、プラズマ CVD 法 、 熱 CVD 法 、レーザーアブ<br />
レーション 法 、アーク 放 電 法 等 、 並 びに 形 成 機 構 解<br />
明 を 含 む。)、• ナノカーボン 類 (ナノコイル・ナノウオ<br />
ール・アークスート):10 件 、• 複 合 構 造 :5 件 、• 内 包<br />
ナノチューブ:7 件 、• 分 離 ・ 分 散 ・ 修 飾 :4 件 、• 機 械<br />
的 ・ 光 学 的 ・ 磁 性 的 物 性 評 価 :10 件 、• 電 界 放 出 特<br />
性 : 3 件 、• SEM/AFM/TEM 観 察 : 4 件 、•<br />
CNT-FET:9 件 、• バイオデバイス(センサ):5 件 、•<br />
グラフェン 関 連 :5 件 、• その 他 :8 件 。<br />
CNT の 光 学 的 評 価 については、 垂 直 配 向 SWNT<br />
の 異 常 ラマン・スペクトと 偏 光 ラマン 分 光 ( 東 大 )やそ<br />
の 場 ラマン 観 察 (NTT、 東 理 大 、 明 大 )などの 成 長 メカ<br />
ニズム 解 明 に 関 する 重 要 な 興 味 深 い 報 告 があった。<br />
さらに、PL の 空 間 分 布 測 定 によるカイラリティ 分 布 評<br />
価 ( 名 大 )などの CNT 特 性 制 御 に 寄 与 が 期 待 される<br />
報 告 もあった。また、CNT からの 蛍 光 発 光 測 定 や 近<br />
赤 外 蛍 光 スペクトルに 関 する 報 告 もあり、 光 学 測 定 の<br />
重 要 性 と 着 実 な 発 展 が 見 受 けられた。<br />
SWNT の 金 属 ・ 半 導 体 分 離 については、ゲル 電 気<br />
泳 動 による 報 告 ( 産 総 研 )が 非 常 に 興 味 深 かった。 比<br />
較 的 簡 便 な 方 法 により、 半 導 体 比 率 を 95%まで 高 め<br />
られるという 報 告 がなされた。また、ナノチューブインク<br />
( 産 総 研 )と 題 した 密 度 勾 配 遠 心 分 離 法 を 基 本 原 理 と<br />
する、 分 子 内 包 単 層 CNT の 金 属 、 半 導 体 の 高 純 度<br />
分 離 が 注 目 された。<br />
FET 応 用 に 関 しては、SWNT の 電 気 伝 導 特 性 制 御<br />
に 関 する 報 告 が 多 く、イオン 照 射 、 中 性 子 ビーム 照 射 、<br />
有 機 分 子 修 飾 、 電 極 構 造 の 工 夫 、 保 護 膜 の 堆 積 など、<br />
様 々な 手 法 とその 効 果 について 議 論 が 交 わされた。<br />
センサ 応 用 では、CNT 分 散 PMMA 薄 膜 を 用 いた 水<br />
素 ガスセンサ、CNT による 光 学 的 ガスセンシング( 産<br />
総 研 )、 微 小 流 体 制 御 された CNT 電 極 多 項 目 免 疫 セ<br />
ンサ( 阪 大 、 北 陸 先 端 大 )が 注 目 を 集 めた。<br />
非 チューブ 状 ナノカーボン 材 料 の 分 野 では、グラフ<br />
ェンへの 関 心 の 高 まりもあり、 関 連 講 演 が 比 較 的 多 く<br />
件 行 われたのが 特 徴 的 であった。 高 温 (95) 無 電 解<br />
メッキ 中 での 成 長 ( 北 大 、 寿 産 業 、SEP)、 多 層 グラフ<br />
ェンと 配 向 CNT の 複 合 構 造 形 成 ( 富 士 通 研 )が 注 目<br />
を 集 めた。また、グラフェンシートからの 電 界 放 出 ( 北<br />
大 、 産 総 研 )やナノグラフェン 素 子 における 量 子 輸 送<br />
シミュレーション( 神 戸 大 、 東 理 大 )などの 報 告 もあっ<br />
た。さらに、ナノウォールでは、メタルコンタクト、 電 極<br />
間 架 橋 などの 電 子 デバイス 応 用 に 向 けた 進 展 が 見 ら<br />
れた( 名 大 、 名 城 大 、 他 )。<br />
CNT 成 長 メカニズムに 関 して、 講 演 奨 励 賞 受 賞 記<br />
念 講 演 の 高 分 解 能 TEM その 場 観 察 ( 阪 大 )により、<br />
多 層 CNT 成 長 中 の 触 媒 は 結 晶 化 しており、その 相 が<br />
Fe 3 C であることが 明 らかにされた。また、 成 長 速 度 ( 豊<br />
田 中 研 )や 反 応 ガス 種 (MIRAI-Selete)のその 場 測 定<br />
に 関 する 報 告 があった。さらに、 分 子 動 力 学 による 計<br />
算 機 シミュレーション( 東 大 )により CNT 内 部 での 触 媒<br />
金 属 による 単 層 CNT 成 長 について 興 味 深 い 情 報 が<br />
提 供 された。いずれの 講 演 も 成 長 メカニズムに 関 する<br />
興 味 深 い 内 容 であった。また、アルコール CVD による<br />
SWNT の 合 成 において、アセチレンを 添 加 することで<br />
成 長 速 度 が 格 段 に 向 上 する( 東 大 )、MgO 基 板 を 用<br />
いることにより 2 層 CNT の 収 率 が 向 上 する( 京 工 繊<br />
大 )などの 講 演 が 注 目 を 引 いた。<br />
新 しい 試 みとして、ナノカプセル 輸 送 に 関 する 講 演<br />
35
( 阪 大 ・ 阪 府 大 )があり、 今 後 の 展 開 が 期 待 される。ナ<br />
ノ 加 工 の 進 歩 も 見 られ、 先 端 が 1 nm まで 先 鋭 化 した<br />
CNT の 作 製 に 関 する 講 演 ( 阪 大 )があった。CNT、<br />
CNF の SPM 応 用 関 連 では 磁 性 材 料 を 含 む CNF の<br />
磁 気 力 顕 微 鏡 探 針 への 応 用 が 興 味 深 かった。また、<br />
高 配 向 CNT を 高 密 度 化 した 基 板 を 用 いた MEMS デ<br />
バイスへの 応 用 ( 産 総 研 )など CNT の 機 械 的 な 特 徴<br />
を 生 かした 発 表 があり、 新 たな 展 開 に 期 待 がもてた。<br />
最 後 に、この 分 野 に 携 わる 様 々な 研 究 者 が 切 磋 琢<br />
磨 しながら 活 発 な 研 究 活 動 を 持 続 し、カーボンナノチ<br />
ューブを 含 むナノカーボン 分 野 が 更 なる 発 展 を 遂 げ<br />
ることを 願 っています。 本 報 告 を 行 なうにあたり、 秋 田<br />
成 司 ( 大 阪 府 立 大 )、 佐 藤 信 太 郎 ( 富 士 通 研 )、 種 村<br />
眞 幸 ( 名 工 大 )、 本 多 信 一 ( 阪 大 )のご 協 力 に 深 謝 い<br />
たします。<br />
36
2008( 平 成 20) 年 度<br />
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 幹 事 名 簿<br />
氏 名 住 所 ・ 電 話 所 属<br />
〒 812-8581<br />
九 州 大 学<br />
福 岡 市 西 区 元 岡 744<br />
システム 情 報 科 学 研 究 院<br />
幹 事 長 白 谷 正 治 TEL: 092-802-3733<br />
電 子 デバイス 工 学 専 攻<br />
FAX: 092-802-3734<br />
siratani@ed.kyushu-u.ac.jp<br />
〒606-8520 京 都 大 学<br />
京 都 市 西 京 区 桂<br />
国 際 融 合 創 造 センター<br />
副 幹 事 長 白 藤 立 TEL: 075-383-3052<br />
FAX: 075-383-3031<br />
shira@icc.kyoto-u.ac.jp<br />
〒 664-0005<br />
株 式 会 社 ルネサステクノロジ<br />
兵 庫 県 伊 丹 市 瑞 原 4-1<br />
生 産 本 部 技 術 開 発 統 括 部<br />
副 幹 事 長 藤 原 伸 夫 TEL: 072-787-2467<br />
プロセス 開 発 部<br />
FAX: 072-789-3023<br />
ドライエッチング 開 発 グループ<br />
fujiwara.nobuo@renesas.com<br />
〒432-8561 静 岡 大 学<br />
浜 松 市 城 北 3-5-1<br />
工 学 部 電 気 電 子 工 学 科<br />
編 集 委 員 永 津 雅 章 TEL: 053-478-1081<br />
FAX: 053-478-1082<br />
tmnagat@ipc.shizuoka.ac.jp<br />
〒229-1198 NECエレクトロニクス<br />
幹 事<br />
相 模 原 市 下 九 沢 1120<br />
プロセス 技 術 事 業 部<br />
任 期 秋 元 健 司 TEL: 042-779-9925<br />
ドライエッチ 技 術 グループ<br />
2009 年 3 月<br />
FAX: 042-771-0896<br />
takeshi.akimoto@necel.com<br />
〒606-8501 京 都 大 学<br />
京 都 市 左 京 区 吉 田 本 町<br />
大 学 院 工 学 研 究 科<br />
〃 江 利 口 浩 二 TEL: 075-753-5983/0774-38-3966 航 空 宇 宙 工 学 専 攻<br />
FAX: 075-753-5980/0774-31-8811<br />
eriguchi@kuaero.kyoto-u.ac.jp<br />
〒640-8510 和 歌 山 大 学<br />
和 歌 山 市 栄 谷 930<br />
システム 工 学 部<br />
〃 太 田 貴 之 TEL/FAX: 073-457-8184<br />
光 メカトロニクス 学 科<br />
ohta@sys.wakayama-u.ac.jp<br />
〃<br />
〃<br />
〃<br />
奥 村 智 洋<br />
上 坂 裕 之<br />
佐 藤 孝 紀<br />
〒571-8502 松 下 電 器 産 業 株 式 会 社<br />
大 阪 府 門 真 市 松 葉 町 2-7<br />
生 産 革 新 本 部<br />
TEL: 06-6905-4772<br />
生 産 技 術 研 究 所<br />
FAX: 06-6905-2600<br />
okumura.tomohiro@jp.panasonic.com<br />
〒464-8603 名 古 屋 大 学 大 学 院<br />
名 古 屋 市 千 種 区 不 老 町<br />
工 学 研 究 科<br />
TEL/FAX: 052-789-2787<br />
機 械 理 工 学 専 攻<br />
kousaka@mech.nagoya-u.ac.jp<br />
〒050-8585 室 蘭 工 業 大 学<br />
室 蘭 市 水 元 町 27-1<br />
工 学 部<br />
TEL/FAX: 0143-46-5506<br />
電 気 電 子 工 学 科<br />
ksatoh@mmm.muroran-it.ac.jp<br />
37
〃<br />
〃<br />
〃<br />
幹 事<br />
任 期<br />
2010 年 3 月<br />
〒305-8568 産 業 技 術 総 合 研 究 所<br />
つくば 市 梅 園 1-1-1 中 央 第 2<br />
太 陽 光 発 電 研 究 センター<br />
布 村 正 太 TEL: 029-861-5075<br />
FAX: 029-861-3367<br />
s.nunomura@aist.go.jp<br />
〒511-0192 富 士 通 マイクロエレクトロニクス 株 式 会 社<br />
桑 名 市 多 度 町 御 衣 野 1500<br />
三 重 工 場<br />
長 谷 川 明 広 TEL: 0594-24-9164<br />
デバイス 開 発 統 括 部<br />
FAX: 0594-24-9143<br />
第 二 プロセス 開 発 部<br />
〒857-1193 佐 世 保 工 業 高 等 専 門 学 校<br />
佐 世 保 市 沖 新 町 1-1<br />
電 気 電 子 工 学 科<br />
柳 生 義 人 TEL: 0956-34-8528<br />
FAX: 0956-34-8476<br />
yyagyu@post.cc.sasebo.ac.jp<br />
〒 980-8577<br />
東 北 大 学<br />
仙 台 市 青 葉 区 片 平 2-1-1<br />
流 体 科 学 研 究 所<br />
大 竹 浩 人 TEL/FAX: 022-217-5284<br />
流 体 融 合 研 究 センター<br />
ohtake@sammy.ifs.tohoku.ac.jp 知 的 ナノプロセス 研 究 分 野<br />
〃<br />
〒 432-8561<br />
静 岡 県 浜 松 市 中 区 城 北 3‐5‐1<br />
荻 野 明 久 TEL/FAX: 053-478-1616<br />
taogino@ipc.shizuoka.ac.jp<br />
静 岡 大 学 創 造 科 学 技 術 大 学 院<br />
ナノビジョンサイエンス 部 門<br />
〃<br />
川 田 博 昭<br />
〒599-8531 大 阪 府 立 大 学 大 学 院<br />
大 阪 府 堺 市 中 区 学 園 町 1-1<br />
工 学 研 究 科<br />
TEL: 072-254-9270<br />
電 子 物 理 工 学 分 野<br />
kawata@pe.osakafu-u.ac.jp<br />
〃<br />
〃<br />
〃<br />
〃<br />
〃<br />
〒 239-8686<br />
神 奈 川 県 横 須 賀 市 走 水 1-10-20<br />
北 嶋 武 TEL: 046-841-3810<br />
FAX: 046-844-5903<br />
kitajima@nda.ac.jp<br />
〒 185-8601<br />
東 京 都 国 分 寺 市 東 恋 ヶ 窪 1-280<br />
小 林 浩 之 TEL: 042-323-1111 (ext. 2141)<br />
FAX: 042-327-7708<br />
hiroyuki.kobayashi.sy@hitachi.com<br />
〒 243-0198<br />
神 奈 川 県 厚 木 市 森 の 里 若 宮 3-1<br />
神 好 人 TEL: 046-240-2024<br />
FAX: 046-240-4328<br />
milabskt@aecl.ntt.co.jp<br />
〒 235-8522<br />
横 浜 市 磯 子 区 新 杉 田 町 8( 横 浜 事 業 所 )<br />
林 久 貴 TEL: 045-776-5543<br />
FAX: 045-776-4101<br />
hi-hayashi@amc.toshiba.co.jp<br />
〒 739-8530<br />
東 広 島 市 鏡 山 一 丁 目 3-1<br />
東 清 一 郎 TEL: 082-424-7655<br />
FAX: 082-422-7038<br />
sehiga@hiroshima-u.ac.jp<br />
防 衛 大 学 校<br />
電 気 情 報 学 群<br />
電 気 電 子 工 学 科<br />
日 立 製 作 所 中 央 研 究 所<br />
先 端 技 術 研 究 部<br />
601ユニット<br />
NTTマイクロシステムインテグレーション 研 究 所<br />
企 画 部<br />
株 式 会 社 東 芝 セミコンダクター 社<br />
プロセス 技 術 推 進 センター<br />
半 導 体 プロセス 開 発 第 五 部<br />
バックエンドプロセス 技 術 開 発<br />
第 二 担 当<br />
広 島 大 学 大 学 院<br />
先 端 物 質 科 学 研 究 科<br />
量 子 半 導 体 工 学 研 究 室<br />
38
〃<br />
〃<br />
〃<br />
〃<br />
〒 157-8510<br />
NHK 放 送 技 術 研 究 所<br />
東 京 都 世 田 谷 区 砧 1-10-11<br />
平 野 芳 邦 TEL: 03-5494-3246<br />
FAX: 03-5494-3278<br />
hirano.y-cq@nhk.or.jp<br />
〒243-0014 ソニー 株 式 会 社<br />
神 奈 川 県 厚 木 市 旭 町 4-14-1 半 導 体 事 業 本 部<br />
深 沢 正 永 TEL: 046-202-2756<br />
セミコンダクタテクノロジー 開 発 部 門<br />
FAX: 046-202-6034<br />
プロセス 技 術 部<br />
masanaga.fukasawa@jp.sony.com;<br />
〒 660-0891<br />
東 京 エレクトロン 技 術 研 究 所<br />
兵 庫 県 尼 崎 市 扶 桑 町 1-8<br />
RLSAエッチャー 開 発 部<br />
松 本 直 樹 TEL: 06-6487-4766<br />
FAX: 06-6487-2897<br />
naoki.matsumoto@tel.com<br />
〒 410-1231<br />
株 式 会 社 アルバック<br />
静 岡 県 裾 野 市 須 山 1220-1<br />
半 導 体 技 術 研 究 所<br />
村 山 貴 英 TEL: 0559-98-1564<br />
FAX: 0559-98-1767<br />
takahide_murayama@ulvac.com<br />
39
2008( 平 成 20) 年 度<br />
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 幹 事 役 割 分 担<br />
役 割 分 担<br />
幹 事 長 (USBキー 保 持 者 ) 白 谷 正 治 九 州 大<br />
白 藤 立<br />
藤 原 伸 夫<br />
京 都 大<br />
ルネサステクノロジ<br />
1. 分 科 会 ミーティング 小 林 浩 之 日 立 製 作 所 太 田 貴 之 和 歌 山 大<br />
2 .シンポジウム 総 合 講 演 合 同 セッショ<br />
ン<br />
3. プラズマ 科 学 シンポジウム2009/<br />
プラズマプロセシング 研 究 会<br />
SPP26<br />
○ 白 藤 立 京 都 大 上 坂 裕 之 名 古 屋 大<br />
神 好 人 NTT 奥 村 智 洋 松 下 電 器<br />
松 本 直 樹 東 京 エレクトロン ○ 江 利 口 浩 二 京 都 大<br />
東 清 一 郎 広 島 大 柳 生 義 人 佐 世 保 高 専<br />
○ 白 谷 正 治 九 州 大 長 谷 川 明 広 富 士 通<br />
荻 野 明 久 静 岡 大 奥 村 智 洋 松 下 電 器<br />
川 田 博 昭 大 阪 府 立 大 江 利 口 浩 二 京 都 大<br />
深 沢 正 永<br />
林 久 貴<br />
村 山 貴 英<br />
ソニー<br />
東 芝 セミコンダクター<br />
アルバック<br />
4. 光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会 平 野 芳 邦 NHK 佐 藤 孝 紀 室 蘭 工 大<br />
5. ミニ 研 究 会<br />
7. プラズマエレクトロニクス 講 習 会<br />
8. 会 誌 編 集 ・ 書 記<br />
副 幹 事 長<br />
6. インキュベーションホール<br />
○ 藤 原 伸 夫 ルネサステクノロジ 秋 元 健 司 NECエレクトロニクス<br />
平 野 芳 邦 NHK 長 谷 川 明 広 富 士 通<br />
東 清 一 郎 広 島 大 ○ 太 田 貴 之 和 歌 山 大<br />
大 竹 浩 人<br />
神 好 人<br />
東 北 大<br />
NTT<br />
○ 白 藤 立 京 都 大 上 坂 裕 之 名 古 屋 大<br />
北 嶋 武 防 衛 大 秋 元 健 司 NECエレクトロニクス<br />
村 山 貴 英 アルバック 布 村 正 太 産 総 研<br />
○ 藤 原 伸 夫 ルネサステクノロジ 秋 元 健 司 NECエレクトロニクス<br />
小 林 浩 之 日 立 製 作 所 長 谷 川 明 広 富 士 通<br />
林 久 貴 東 芝 セミコンダクター 奥 村 智 洋 松 下 電 器<br />
北 嶋 武 防 衛 大 布 村 正 太 産 総 研<br />
松 本 直 樹<br />
深 沢 正 永<br />
東 京 エレクトロン<br />
ソニー<br />
○ 村 山 貴 英 アルバック ○ 布 村 正 太 産 総 研<br />
大 竹 浩 人 東 北 大 柳 生 義 人 佐 世 保 高 専<br />
9. ホームページ (USBキー 保 持 者 ) 荻 野 明 久 静 岡 大 柳 生 義 人 佐 世 保 高 専<br />
10. 会 員 名 簿 北 嶋 武 防 衛 大 佐 藤 孝 紀 室 蘭 工 大<br />
11. 庶 務 大 竹 浩 人 東 北 大<br />
12. 会 計 荻 野 明 久 静 岡 大 太 田 貴 之 和 歌 山 大<br />
13. プラズマエレクトロニクス 賞 白 谷 正 治 九 州 大<br />
14. PE 懇 親 会 2008 秋 中 部 大 ○ 上 坂 裕 之 名 古 屋 大<br />
2009 春 筑 波 大 ○ 北 嶋 武 防 衛 大<br />
新 任<br />
留 任<br />
○: 取 りまとめ 役<br />
40
2008( 平 成 20) 年 度<br />
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 関 連 の 各 種 世 話 人 ・ 委 員<br />
1. 応 用 物 理 学 会 講 演 分 科 の 世 話 人 ( 任 期 :1 期 2 年 )<br />
8.1 プラズマ 生 成 ・ 制 御 八 田 章 光 ( 高 知 工 科 大 )<br />
8.2 プラズマ 診 断 ・ 計 測 松 田 良 信 ( 長 崎 大 )<br />
8.3 プラズマ 成 膜 ・ 表 面 処 理 一 木 隆 範 ( 東 京 大 )<br />
豊 田 浩 孝 ( 名 古 屋 大 ): 代 表 世 話 人<br />
8.4 プラズマエッチング 板 橋 直 志 ( 日 立 )<br />
8.5 プラズマナノテクノロジー 明 石 治 朗 ( 防 衛 大 )<br />
平 田 孝 道 ( 武 蔵 工 大 )<br />
8.6 プラズマ 現 象 ・ 新 応 用 ・ 融 合 分 野 明 石 治 朗 ( 防 衛 大 )<br />
平 田 孝 道 ( 武 蔵 工 大 )<br />
合 同 セッションD:プラズマCVD 豊 田 浩 孝 ( 名 古 屋 大 )<br />
合 同 セッションF:CNT 平 田 孝 道 ( 武 蔵 工 大 )<br />
2.「 応 用 物 理 」 編 集 委 員 (2008.4~2010.3)<br />
永 津 雅 章 ( 静 岡 大 )<br />
3. 応 用 物 理 学 会 代 議 員 (1 期 2 年 )<br />
節 原 裕 一 ( 大 阪 大 )<br />
永 津 雅 章 ( 静 岡 大 )<br />
八 田 章 光 ( 高 知 工 科 大 )<br />
豊 田 浩 孝<br />
白 藤 立<br />
( 名 古 屋 大 )<br />
( 京 都 大 ): 支 部 推 薦<br />
4.GEC 組 織 委 員 会 委 員 ( 2007.10~2009.10 )<br />
堀 勝 ( 名 古 屋 大 )<br />
5.その 他 : 本 部 理 事 河 野 明 廣 ( 名 古 屋 大 )<br />
6. 評 議 員<br />
斧 高 一 ( 京 都 大 )<br />
橘 邦 英 ( 京 都 大 )<br />
中 山 喜 萬 ( 大 阪 大 )<br />
堀 勝 ( 名 古 屋 大 )<br />
真 壁 利 明 ( 慶 應 大 )<br />
7.フェロー<br />
菅 井 秀 郎 ( 中 部 大 )<br />
橘 邦 英 ( 京 都 大 )<br />
真 壁 利 明 ( 慶 應 大 )<br />
渡 辺 征 夫 ( 九 州 電 気 専 門 学 校 )<br />
8. 名 誉 会 員 後 藤 俊 夫<br />
41
平 成 19 年 度 後 期 , 平 成 20 年 度 前 期 プラズマエレクトロニクス 分 科 会 活 動 報 告<br />
応 用 物 理 学 会 プラズマエレクトロニクス 分 科 会<br />
平 成 19 年 度 (2007 年 度 ) 第 4 回 幹 事 会<br />
日 時 : 平 成 20 年 1 月 24 日 ( 木 )12:00~14:00<br />
場 所 : 山 口 県 教 育 会 館 3F 会 議 室 Ⅰ<br />
1. 平 成 20-21 年 度 幹 事 選 挙 結 果 報 告 、 他 諸 報 告<br />
畠 山 幹 事 長 ( 東 北 大 )より、 平 成 20-21 年 度 幹<br />
事 長 及 び 幹 事 に 関 する 選 挙 結 果 報 告 が 行 われた。<br />
候 補 者 全 てが 信 任 され、 九 大 白 谷 委 員 が 次 期 幹 事<br />
長 、 京 大 白 藤 委 員 及 び( 株 )ルネサスの 藤 原 委 員<br />
が 次 期 副 幹 事 長 に 着 任 することを 決 定 した。<br />
2. 名 簿 作 成 報 告<br />
佐 藤 幹 事 ( 室 蘭 工 大 )より、2007 年 度 版 名 簿 作<br />
成 についての 報 告 が 行 われた。 応 用 物 理 学 会 事 務<br />
局 からの 要 望 で 名 簿 発 行 の 継 続 ( 次 回 以 降 )につ<br />
いて 審 議 を 行 った。 応 用 物 理 学 会 の 会 員 名 簿 発 行<br />
は 例 外 的 に 取 り 扱 われているが、 他 の 分 科 会 では<br />
個 人 情 報 保 護 の 観 点 から 廃 止 されている 現 状 が 紹<br />
介 された。 審 議 の 結 果 、 本 分 科 会 では 会 員 相 互 の<br />
交 流 の 為 、 名 簿 情 報 を 少 なくとも 幹 事 会 で 保 有 す<br />
ることを 原 則 とすることにしたが、 本 件 に 関 して<br />
は 次 回 名 簿 発 行 時 期 に 再 審 議 することとした( 申<br />
し 送 り 事 項 )。<br />
3.PE インキュベーションホールの 準 備 状 況<br />
上 坂 幹 事 ( 名 大 )より、PE インキュベーショ<br />
ンホールの 準 備 状 況 について 報 告 が 行 われた。9<br />
月 下 旬 もしくは8 月 下 旬 での 開 催 を 予 定 しており、<br />
原 則 夏 休 み 期 間 中 に 開 催 することを 確 認 した。 研<br />
究 活 性 化 資 金 を 応 用 物 理 学 会 に 一 月 末 に 申 請 する<br />
ことを 承 認 した。 現 在 、 講 師 の 先 生 方 を 調 整 中 で<br />
ある。<br />
4.アカデミックロードマップについて<br />
畠 山 幹 事 長 ( 東 北 大 )より、アカデミックロー<br />
ドマップの 作 成 ( 完 成 )について 簡 単 な 紹 介 があ<br />
った。 見 直 しの 際 、 今 回 同 様 積 極 的 に 取 り 組 むこ<br />
とを 確 認 した。<br />
5.SPP-25 の 開 催 状 況 について<br />
畠 山 幹 事 長 ( 東 北 大 )より、SPP-25 の 開 催 状<br />
況 について 簡 単 な 説 明 があった。 参 加 人 数 250 名 、<br />
発 表 件 数 170 件 程 度 であり、 盛 況 に 催 されている<br />
ことが 紹 介 された。<br />
6.PSS-2009/SPP-26 の 準 備 状 況<br />
畠 山 幹 事 長 ( 東 北 大 )より、PSS-2009/SPP-26<br />
の 準 備 状 況 について 報 告 がなされた。 学 振 153<br />
委 員 会 、プラズマ 核 融 合 学 会 及 び 本 分 科 会 の 共 同<br />
開 催 で、 今 回 は 学 振 153 委 員 会 が 持 ち 回 り 式 で<br />
イニシアティブを 取 っている。 共 同 開 催 に 当 たり、<br />
総 合 講 演 及 び 指 定 テーマ 講 演 等 のプログラム 編 集<br />
作 業 を 主 に 担 当 する PSS 側 代 表 を 選 出 する 必 要<br />
があり、 次 年 度 (2008 年 度 ) 早 期 の 幹 事 会 にて 決<br />
定 することを 確 認 した( 申 し 送 り 事 項 )。 応 用 物 理<br />
学 会 会 誌 及 びプラズマ 物 理 学 会 会 誌 に 広 告 を 載 せ<br />
ることも 確 認 した。<br />
7.PE 分 科 会 会 報 ・ 会 誌 の 新 規 内 容 吟 味 について<br />
( 例 えば 学 生 用 のページ 新 設 等 )<br />
節 原 副 幹 事 長 ( 阪 大 )より、PE 分 科 会 会 報 ・ 会<br />
誌 の 新 規 内 容 開 設 について 提 案 が 行 われた。 本 分<br />
科 会 会 誌 をより 良 い 雑 誌 にするため、 例 えばダイ<br />
ヤモンドフォーラム 等 の 雑 誌 を 参 考 にして 分 析 ・<br />
解 析 手 法 の 解 説 に 関 するページを 含 めることや、<br />
電 気 学 会 会 誌 等 を 参 考 にして 学 生 用 のページを 新<br />
設 することが 紹 介 された。また、PE 会 誌 担 当 を<br />
代 表 して 柳 生 幹 事 ( 佐 世 保 高 専 )から、インキュ<br />
ベーションホールや PE 講 習 会 のテキストを 一 部<br />
抜 粋 し 掲 載 する 案 も 提 案 された( 申 し 送 り 事 項 )。<br />
8.GEC との 比 較 における American Vacuum<br />
Society (AVS)との 関 りについて<br />
AVS・PSTD(Plasma Science & Technology<br />
Division)との 交 流 強 化 について AVS Executive<br />
Committee の 浜 口 先 生 ( 阪 大 ) から 提 案 を 受 け<br />
ていることが、 畠 山 幹 事 長 ( 東 北 大 )より 紹 介 さ<br />
れた。 本 会 組 織 として 継 続 的 に 連 携 できるかどう<br />
かを 慎 重 に 審 議 する 必 要 があり、 次 回 の 幹 事 会 以<br />
降 で 浜 口 委 員 ( 阪 大 )を 含 め 継 続 的 に 審 議 するこ<br />
とが 必 要 であるとの 合 意 に 達 した( 申 し 送 り 事 項 )。<br />
9.その 他<br />
応 物 学 会 論 文 賞 及 びプラズマエレクトロニクス<br />
賞 の 紹 介 が 行 われた。<br />
42
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 ミーティング<br />
( 兼 平 成 19 年 度 (2007 年 度 ) 第 5 回 幹 事 会 )<br />
日 時 : 平 成 20 年 3 月 29 日 ( 土 )12:00~13:00<br />
場 所 : 日 本 大 学 理 工 学 部 船 橋 キャンパス<br />
6 号 館 2F-624<br />
1. 平 成 19 年 度 活 動 報 告 , 収 支 決 算 報 告<br />
畠 山 幹 事 長 ( 東 北 大 )より, 平 成 19 年 度 活 動 の<br />
特 筆 すべきものとして,アカデミックロードマッ<br />
プ, 応 物 75 周 年 事 業 ,インキュベーションホール<br />
などが 挙 げられた。また, 佐 野 幹 事 ( 兵 庫 県 立 大 )<br />
より,2007 年 1-12 月 までの 収 支 決 算 報 告 が 円 滑<br />
に 行 われた。<br />
2. 平 成 20-21 年 度 , 幹 事 選 挙 結 果 報 告 , 新 幹 事<br />
紹 介<br />
平 成 20-21 年 度 幹 事 長 および 幹 事 に 関 する 選 挙<br />
結 果 報 告 が 行 われた 後 , 新 幹 事 より 簡 単 な 自 己 紹<br />
介 が 行 われた。<br />
3. 第 22 回 光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会 報 告<br />
明 石 幹 事 ( 防 大 )より 第 21 回 光 源 物 性 とその 応<br />
用 研 究 会 について 滞 りなく 開 催 されたことが 報 告<br />
され, 来 年 度 は 10 月 初 旬 に 室 蘭 工 大 にて 開 催 する<br />
予 定 であることが 周 知 された。<br />
本 研 究 会 にて 発 表 すると 科 学 技 術 振 興 機 構 (JST)<br />
のデータベースに 登 録 されることが 通 知 された。<br />
今 回 は 発 表 件 数 が 少 し 少 なかったため, 次 回 研 究<br />
会 での 発 表 件 数 の 増 加 にむけた 要 請 があった。 畠<br />
山 幹 事 長 ( 東 北 大 )より 光 が 関 係 するプラズマの<br />
重 要 な 研 究 会 なのでぜひ 継 続 して 盛 り 上 げて 行 き<br />
たいとのコメントがあった。<br />
4. 第 18 回 プラズマエレクトロニクス 講 習 会 報 告<br />
大 岩 副 幹 事 長 ( 東 芝 セミコン)より, 第 18 回 プ<br />
ラズマエレクトロニクス 講 習 会 の 開 催 状 況 につい<br />
て 説 明 があった。 参 加 者 が 前 年 に 比 べて 若 干 減 少<br />
したことが 懸 念 されたが, 講 習 会 に 参 加 した 方 は<br />
その 内 容 に 満 足 している 様 子 であることが 報 告 さ<br />
れた。 参 加 者 減 には 宣 伝 不 足 も 一 理 あると 思 われ<br />
るが, 内 容 も 多 岐 に 渡 っており 産 業 構 造 の 変 化 か<br />
ら 参 加 対 象 の 枠 をもっと 広 げて 積 極 的 に 宣 伝 して<br />
いくことが 大 切 であることが 次 年 度 からの 課 題 と<br />
して 示 された。 来 年 度 は 東 工 大 にて 開 催 される 予<br />
定 であることが 周 知 された。<br />
5. 会 報 No.47(2007 年 12 月 発 行 ) 報 告<br />
布 村 幹 事 ( 産 総 研 )の 代 理 として 柳 生 幹 事 ( 佐<br />
世 保 高 専 )より,2007 年 12 月 に 発 行 した 会 報 No.47<br />
の 報 告 と 感 謝 の 意 が 伝 えられた。<br />
6. 第 25 回 プラズマプロセシング 研 究 会 報 告<br />
八 田 先 生 ( 高 知 工 科 大 )より 第 25 回 プラズマプ<br />
ロセシング 研 究 会 の 開 催 状 況 について 説 明 があっ<br />
た。 畠 山 幹 事 長 ( 東 北 大 )より, 地 方 都 市 での 開<br />
催 では 過 去 最 多 の 研 究 会 であったことが 述 べられ<br />
た。<br />
7. 第 6 回 プラズマエレクトロニクス 賞 報 告<br />
畠 山 幹 事 長 ( 東 北 大 学 )より, 第 6 回 プラズマ<br />
エレクトロニクス 賞 に 寺 島 和 夫 先 生 ( 東 大 )を 始<br />
め 共 著 者 6 名 が 受 賞 されたことが 報 告 され,その<br />
受 賞 理 由 が 述 べられた。<br />
8.2008 年 春 季 応 物 関 連 連 合 講 演 会 シンポジウム,<br />
合 同 セッションについて<br />
江 利 口 幹 事 ( 京 大 )より, 本 講 演 会 (2008 年 春<br />
季 第 55 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会 )においてプ<br />
ラズマエレクトロニクス 賞 授 賞 式 およびシンポジ<br />
ウムが 開 催 されることが 報 告 された。<br />
9. 会 報 <strong>No.48</strong>(2008 年 6 月 発 行 )について<br />
柳 生 幹 事 ( 佐 世 保 高 専 )より, 会 報 <strong>No.48</strong>(2008<br />
年 6 月 発 行 予 定 )の 目 次 案 が 提 示 された。 新 しい<br />
取 り 組 みとして,プラズマエレクトロニクスに 関<br />
する 学 生 のための 記 事 の 掲 載 について 述 べられ,<br />
次 回 の 会 議 にてそのタイトルおよび 内 容 を 決 定 す<br />
ることが 確 認 された。また, 会 報 に 取 り 入 れるべ<br />
き 会 議 報 告 や 行 事 案 内 についても 提 案 があった。<br />
10. 第 2 回 プラズマエレクトロニクスインキュ<br />
ベーションホールについて<br />
上 坂 幹 事 ( 名 大 )より,9 月 24-26 日 に 開 催 さ<br />
れる 第 2 回 プラズマエレクトロニクスインキュベ<br />
ーションホールの 開 催 案 が 報 告 された。 専 門 講 座<br />
および 特 別 講 座 の 講 師 候 補 者 として 下 記 の 6 名 の<br />
先 生 方 が 提 案 され, 承 認 を 得 た。 会 告 を 応 用 物 理<br />
学 会 誌 7 月 号 に 掲 載 するために 5 月 15 日 までに 事<br />
務 局 に 提 出 しなければならないため, 次 回 幹 事 会<br />
での 会 告 案 の 審 議 が 提 案 された。また, 応 用 物 理<br />
学 会 に 申 請 した 活 性 化 支 援 金 は, 一 部 減 額 された<br />
43
ものの 16 万 円 の 援 助 を 受 けられることが 報 告 さ<br />
れた( 昨 年 度 実 績 は 20 万 円 の 援 助 であったが, 本<br />
年 は 一 律 カットの 影 響 を 受 け 減 額 となった)。<br />
第 2 回 プラズマエレクトロニクスインキュベーシ<br />
ョンホール 講 師 ( 案 )<br />
1) 専 門 講 座<br />
(1) プラズマ 生 成 の 基 礎<br />
小 田 昭 紀 先 生 ( 名 工 大 )<br />
(2) プラズマ 計 測 の 基 礎<br />
佐 々 木 浩 一 先 生 ( 名 大 )<br />
(3) プラズマエッチングの 基 礎<br />
江 利 口 浩 二 先 生 ( 京 大 )<br />
(4) プラズマ CVD の 基 礎<br />
白 藤 立 先 生 ( 京 大 )<br />
2) 特 別 講 座<br />
(1)プラズマ 研 究 者 を 志 す 若 者 へ<br />
佐 藤 徳 芳 様 ( 東 北 大 名 誉 教 授 )<br />
(2)プラズマエレクトロニクス 最 前 線<br />
西 村 栄 一 様 ( 東 京 エレクトロ<br />
ンAT 株 式 会 社<br />
技 術 担 当 チーフ<br />
エンジニア)<br />
11.2008 年 秋 季 講 演 会 のシンポジウム, 合 同<br />
セッションについて<br />
2008 年 秋 季 講 演 会 に 開 催 されるシンポジウム<br />
の 題 目 について, 江 利 口 幹 事 ( 京 大 )より, 現 在<br />
検 討 中 の 3 つの 候 補 案 が 紹 介 された。 新 たなテー<br />
マの 提 案 が 促 され, 次 回 の 幹 事 会 にてシンポジウ<br />
ムのテーマを 審 議 ・ 決 定 することが 提 案 された。<br />
その 後 は,5 月 中 旬 までに 日 程 調 整 および 事 務 局<br />
に 原 稿 の 提 出 ( 締 め 切 り 5 月 12 日 )を 行 い, 講 演<br />
者 には6 月 15 日 の 締 め 切 りに 間 に 合 うよう 依 頼 す<br />
る 予 定 である。 会 報 <strong>No.48</strong>(2008 年 6 月 発 行 予 定 )<br />
にも 掲 載 する 予 定 であることが 説 明 された。 合 同<br />
セッションの 講 演 者 に 関 しては, 候 補 者 に 内 諾 を<br />
得 ている 旨 が 報 告 された。<br />
12.アカデミックロードマップ 作 成 について<br />
アカデミックロードマップ 作 成 について 関 根 委<br />
員 長 ( 名 大 )より, 完 成 の 報 告 と 関 係 委 員 の 方 々<br />
への 感 謝 が 述 べられた。 畠 山 幹 事 長 ( 東 北 大 学 )<br />
より,アカデミックロードマップの 重 要 性 や 関 根<br />
先 生 を 始 めとする 委 員 の 方 々に 労 いの 言 葉 が 述 べ<br />
られた。<br />
13.GEC2010/ICRP-7 合 同 開 催 について<br />
GEC2010/ICRP-7 合 同 開 催 の 日 本 組 織 委 員 長<br />
である 堀 先 生 ( 名 大 )より,ハワイで 行 われた GEC<br />
と ICRP が 合 同 国 際 会 議 から 10 年 の 節 目 を 迎 えた<br />
ため,2010 年 に GEC および ICRP の 合 同 国 際 会 議<br />
をフランス パリで 開 催 することが 周 知 された。 本<br />
会 議 は 日 本 のプラズマに 関 するポテンシャルを 披<br />
露 する 絶 好 の 機 会 であるとともに 新 しい 潮 流 を 生<br />
むきっかけになって 欲 しいとの 挨 拶 があった。<br />
14.その 他<br />
(1)プラズマ 科 学 シンポジウム PSS2009/<br />
SPP-26 について<br />
プラズマ 科 学 シンポジウムの 進 行 状 況 について,<br />
節 原 副 幹 事 長 ( 阪 大 )が 分 科 会 の 窓 口 という 立 場<br />
から 簡 潔 に 説 明 された。2 月 2-4 日 にかけて 名 古<br />
屋 大 学 にてプラズマ 科 学 シンポジウム PSS2009/<br />
SPP-26 が 開 催 される 予 定 であることが 報 告 され<br />
た。 詳 細 は 6 月 の 応 用 物 理 学 会 誌 およびプラズ<br />
マ・ 核 融 合 学 会 誌 に 掲 載 する 予 定 であるため, 次<br />
回 幹 事 会 にて 次 期 委 員 を 決 定 する 際 にセッション<br />
や 招 待 講 演 について 審 議 し,6 月 までに 大 枠 を 決<br />
めるという 流 れであることが 説 明 された。<br />
(2) 合 同 セッションについて<br />
プラズマエレクトロニクスの 大 分 類 化 に 伴 い<br />
170 件 を 超 える 講 演 件 数 があったことが 豊 田 幹 事<br />
( 名 大 )より 報 告 された。 本 講 演 会 では「プラズ<br />
マ 生 成 ・ 制 御 」がポスターセッションとなり, 次<br />
回 は「プラズマ 計 測 」がポスターセッションに 当<br />
たることが 報 告 された。 合 同 セッションについて,<br />
合 同 セッション D は 約 10 年 間 に 渡 り 開 催 されて<br />
おり, 短 期 で 行 われるのが 通 例 である 合 同 セッシ<br />
ョンの 規 定 から 外 れてしまうため, 今 年 の 秋 まで<br />
は 開 催 し,それ 以 後 は 別 の 形 で 企 画 していくこと<br />
が 告 げられた。 引 き 続 き 幹 事 会 で 審 議 していくこ<br />
とが 提 案 された。<br />
(3)20 年 度 の 年 間 スケジュールについて<br />
白 谷 次 期 幹 事 長 ( 九 大 )より,20 年 度 の 年 間 ス<br />
ケジュールの 確 認 やその 修 正 が 行 われた。<br />
(4)IUMRS-ICA2008 について<br />
節 原 副 幹 事 長 ( 阪 大 )より, 高 井 先 生 ( 名 大 )<br />
主 催 の MRS のアジアにおける 国 際 会 議 である<br />
44
IUMRS-ICA2008 にて, 堀 先 生 ( 名 大 )が 代 表 を 務<br />
めているセッションの 内 容 が PE 分 科 会 と 関 わり<br />
が 深 いため 協 賛 にして 頂 きたいとの 審 議 がなされ<br />
可 決 された。<br />
応 用 物 理 学 会 プラズマエレクトロニクス 分 科 会<br />
平 成 20 年 度 (2008 年 度 ) 第 1 回 幹 事 会<br />
日 時 :2008 年 4 月 5 日 ( 土 )12:00~17:00<br />
場 所 : 東 京 工 業 大 学 田 町 キャンパス 8 階 812 号 室<br />
(5) 退 任 の 挨 拶<br />
平 成 18-19 年 度 幹 事 長 および 幹 事 による 退 任 の<br />
挨 拶 が 行 われた。<br />
1. 幹 事 自 己 紹 介<br />
幹 事 長 , 副 幹 事 長 , 二 期 目 の 幹 事 , 一 期 目 の 幹<br />
事 の 順 で 簡 単 な 自 己 紹 介 が 行 われた。<br />
2. 分 科 会 運 営 の 概 要 : 会 員 数 , 会 計 状 況 , 関 連<br />
年 間 スケジュール<br />
白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より,PE 分 科 会 に 所 属 する<br />
会 員 数 が 460 名 (2008 年 2 月 末 日 )であることが<br />
報 告 された。 会 員 数 は 分 科 会 の 活 力 を 示 すバロメ<br />
ータにもなるので 会 員 増 に 向 けた 積 極 的 な 取 り 組<br />
みの 重 要 性 が 周 知 された。また, 会 員 数 によって<br />
応 用 物 理 学 会 代 議 員 の 議 席 が 決 定 されており, 会<br />
員 数 の 多 い 分 科 会 ( 約 600 名 以 上 )では 毎 年 1 名<br />
の 議 席 , 会 員 数 の 少 ない 分 科 会 は 隔 年 の 議 席 が 与<br />
えられている。 現 在 ,PE 分 科 会 の 代 議 員 は 隔 年 で<br />
あるため, 毎 年 の 議 席 を 確 保 して 行 きたい。 会 員<br />
増 への 具 体 的 な 方 策 は, 議 案 7において 述 べられ<br />
た。 会 計 状 況 は 議 題 4にて 太 田 幹 事 ( 和 歌 山 大 )<br />
より 説 明 される。また, 年 間 スケジュールについ<br />
て 昨 年 度 のものと 対 比 しながら 説 明 があった。<br />
3. 幹 事 役 割 分 担<br />
白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より, 平 成 20 年 度 の 分 科 会<br />
幹 事 の 役 割 が 確 認 された。 新 たに PE 懇 親 会 の 担<br />
当 が 決 められ,2008 年 秋 の 中 部 大 での 講 演 会 では<br />
上 坂 幹 事 ( 名 大 ),2009 年 春 の 筑 波 大 での 講 演 会<br />
では 北 島 幹 事 ( 防 大 )が 担 当 する。また, 名 簿 の<br />
管 理 など 応 物 のサーバにアクセスする 際 に 必 須 で<br />
ある USB キー( 事 務 局 から 配 布 )の 機 能 が 説 明 さ<br />
れ,その 保 持 者 は 白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )および 荻 野<br />
幹 事 ( 静 大 )であることが 確 認 された。 会 員 に 対<br />
するメールは 幹 事 長 名 で 送 信 するため, 白 谷 幹 事<br />
長 ( 九 大 )に 依 頼 することが 周 知 された。その 他 ,<br />
平 成 20 年 度 分 科 会 関 連 の 各 種 世 話 人 ・ 委 員 が 確 認<br />
された。 堀 先 生 ( 名 大 )より,その 他 の 部 分 で 本<br />
部 理 事 以 外 にも 応 物 評 議 員 もまとめたほうが 協 力<br />
体 制 が 明 確 になるとの 意 見 が 出 され 承 認 された。<br />
45
4.プラズマエレクトロニクス 分 科 会 決 算 書 , 予<br />
算 書 の 内 訳<br />
太 田 幹 事 ( 和 歌 山 大 )より,2008 年 1-12 月 の<br />
決 算 ・ 予 算 書 が 簡 潔 に 報 告 された。 上 坂 幹 事 ( 名<br />
大 )より,HP 作 成 費 の 使 途 に 関 する 質 問 に 対 し<br />
て,SPP の 大 会 HP 作 成 に 使 用 されたもので 分 科<br />
会 HP 運 営 に 使 われたものでないとの 回 答 があっ<br />
た。また, 応 物 事 務 局 からの 通 達 として, 会 計 処<br />
理 について 領 収 書 およびアルバイト 代 に 関 する 留<br />
意 点 が 説 明 された。 特 に 注 意 する 点 として,(1) 領<br />
収 書 には 自 宅 住 所 を 記 載 すること,(2) 講 演 料 と 旅<br />
費 が 発 生 する 場 合 は 旅 費 を 含 めた 額 を 手 取 り 金 と<br />
し 源 泉 税 を 明 記 すること,(3)アルバイト 代 は 従 事<br />
した 日 数 を 示 すこと,(4) 飛 行 機 を 利 用 した 場 合 は<br />
半 券 を 応 物 事 務 局 に 送 付 すること,(5) 日 本 人 は<br />
10% 課 税 となり 日 本 人 も 含 め 外 国 に 居 住 している<br />
人 は 20%の 課 税 となること,(6) 不 明 な 点 は 応 物 事<br />
務 局 に 問 い 合 わせることが 挙 げられた。<br />
5. 分 科 会 幹 事 長 会 議 (3/28 開 催 )の 報 告<br />
白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より, 分 科 会 幹 事 長 会 議 に<br />
おいて 4 月 1 日 付 けで APEX と JJAP の 刊 行 組 織<br />
が 一 つになり 物 理 学 会 と 応 用 物 理 学 会 内 に 取 り 込<br />
まれることが 決 まったことが 報 告 された( 詳 細 は<br />
現 在 進 行 中 )。APEX が 1 月 1 日 より 刊 行 されてい<br />
るが,プラズマ 関 連 の 論 文 が 少 ないため, 投 稿 数<br />
の 増 加 および 質 の 高 い 論 文 の 投 稿 が 促 された( 現<br />
在 の 投 稿 料 は 1 ページあたり 5000 円 )。 国 際 会 議<br />
の 経 理 に 関 して, 応 物 が 財 務 を 負 う 会 議 と 負 わな<br />
い 会 議 に 分 類 することが 決 まったことが 報 告 され<br />
た。<br />
6. 会 報 <strong>No.48</strong>(2008 年 6 月 発 行 )について<br />
柳 生 幹 事 ( 佐 世 保 高 専 )より, 会 報 <strong>No.48</strong> の 目<br />
次 案 が 示 された。 今 号 より 新 連 載 が 決 まった 学 生<br />
のためのページのタイトル 候 補 が 審 議 され,「すぐ<br />
に 役 立 つプラズマエレクトロニクス」に 議 決 され<br />
た。 内 容 は,インキュベーションホール( 以 下 ,<br />
IH と 記 す)の 専 門 講 座 ・ 特 別 講 座 およびプラズマ<br />
エレクトロニクス 講 習 会 より 選 ぶことが 決 められ,<br />
掲 載 記 事 は 過 去 の 講 座 より 選 ぶことが 決 定 した。<br />
また, 読 者 の 意 見 や 掲 載 記 事 に 対 する 要 望 などを<br />
受 け 付 け, 反 映 できるように 編 者 の 連 絡 先 などを<br />
掲 載 することになった。また, 会 報 を 更 に 充 実 さ<br />
せるための 試 みとして, 第 0 回 プラズマプロセシ<br />
ング 研 究 会 を 立 ち 上 げた 経 緯 を「SPP-0 からの 四<br />
半 世 紀 ( 仮 )」という 題 目 で 当 事 者 の 先 生 方 に 執 筆<br />
して 頂 く 案 が 白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より 出 された。<br />
7. 第 2 回 プラズマエレクトロニクスインキュ<br />
ベーションホールについて<br />
上 坂 幹 事 ( 名 大 )より, 第 2 回 プラズマエレク<br />
トロニクス IH について, 専 門 講 座 および 特 別 講<br />
座 共 に 講 演 者 が 決 定 していることが 報 告 された。<br />
応 物 6 月 号 に IH 開 催 の 通 知 を 掲 載 するには 応 物<br />
事 務 局 への 原 稿 の 入 稿 は 4 月 15 日 までである。6<br />
月 号 に 掲 載 するとその 後 の 会 合 一 覧 に 掲 載 される<br />
ためなるべく 早 く 掲 載 することが 望 ましい。 分 科<br />
会 会 員 への IH の 周 知 はメールおよびチラシで 行<br />
う。 申 し 込 みの 際 は 通 例 Fax もしくはメールで 行<br />
われていたが,CGI 入 力 フォームを 使 用 すること<br />
も 可 能 であることが 確 認 された。ただし, 過 度 な<br />
アクセスの 集 中 によりエラーが 発 生 しやすいこと<br />
は 留 意 するべきである。<br />
ここで, 白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より, 会 員 数 増 加 の<br />
ための 思 索 として, 非 会 員 の IH 参 加 費 には 分 科<br />
会 年 会 費 分 の 3000 円 が 加 算 されていることを 受<br />
け,IH 参 加 申 し 込 みの 際 に 非 会 員 の IH 参 加 者 を<br />
対 象 にした 分 科 会 登 録 欄 を 設 けることが 提 案 され<br />
た。 分 科 会 会 員 になるメリットとして「 分 科 会 主<br />
催 の 行 事 へ 割 引 料 金 で 参 加 可 , 年 二 回 会 報 の 送 付 」<br />
が 挙 げられ,それを 基 軸 に 勧 誘 を 行 っていく。 昨<br />
年 の IH 参 加 者 で, 事 前 に 会 員 登 録 をしていたの<br />
は 56 人 中 15 人 であったため, 会 員 増 への 貢 献 が<br />
期 待 される。なお, 分 科 会 入 会 への 選 択 は 自 由 と<br />
する。また, 入 会 費 が 参 加 費 で 補 われるというこ<br />
とになるため, 団 体 で IH に 参 加 する 場 合 の 分 科<br />
会 での 名 義 について 議 論 されたが,これまで 通 り<br />
個 人 での 登 録 とすることが 確 認 された。 会 員 増 に<br />
向 けた 本 提 案 は,PE 分 科 会 が 主 催 する 講 習 会 や 学<br />
術 講 演 会 に 適 用 していく。<br />
8. 第 25 回 プラズマプロセシング 研 究 会 開 催 の 改<br />
善 点 について<br />
白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より, 第 25 回 プラズマプロ<br />
セシング 研 究 会 について(1) 質 問 者 が 偏 る,(2)いつ<br />
も 参 加 している 人 の 参 加 が 少 ない,(3)プラズマ 分<br />
野 外 の 参 加 者 が 少 ない,(4) 講 演 会 場 での 滞 在 時 間<br />
が 短 いという 改 善 点 が 述 べられた。 分 科 会 の 重 要<br />
行 事 である 研 究 会 の 運 営 には 随 時 これらを 考 慮 し<br />
46
ていくこと 確 認 された。 堀 先 生 ( 名 大 )より, 研<br />
究 に 対 する 興 味 のシフトは 各 分 野 の 投 稿 論 文 数 よ<br />
り 推 測 できるのではないかという 意 見 が 出 された。<br />
9.プラズマ 科 学 シンポジウム 兼 第 26 回 プラズマ<br />
プロセシング 研 究 会 について<br />
白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より,2 月 2-4 日 にかけて<br />
高 井 先 生 ( 名 大 )を 委 員 長 として 開 催 されるプラ<br />
ズマ 科 学 シンポジウム 兼 第 26 回 プラズマプロセ<br />
シング 研 究 会 (PSS2009/SPP-26)について 簡 単 な<br />
説 明 があった。5 月 初 旬 に 第 一 回 組 織 委 員 会 が 開<br />
催 されるときに 提 出 するテーマについて 議 論 され<br />
た( 申 し 送 り 事 項 )。 白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より, 高<br />
井 先 生 ( 名 大 )と 連 絡 を 取 り 合 いセッション 内 容<br />
や 招 待 講 演 などの 概 要 が 決 定 したらメールにて 幹<br />
事 に 案 内 することが 連 絡 された。<br />
10.2010 年 およびそれ 以 降 のプラズマプロセシン<br />
グ 研 究 会 について<br />
白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より,SPP-28 は 2010 年 秋<br />
に 開 催 されることが 確 認 された。また, 近 年 の SPP<br />
は 地 方 開 催 が 多 く 東 京 ・ 関 東 での 開 催 が 少 ない。<br />
SPP-27(2010 年 )は 関 東 での 開 催 が 提 案 され 議 決<br />
された。<br />
11.ミニ 研 究 会 の 企 画 について<br />
白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より, 企 画 者 の 興 味 に 沿 っ<br />
て 開 催 できる 自 由 度 の 高 い 研 究 会 として 今 年 度 よ<br />
りミニ 研 究 会 の 開 催 が 提 案 され 議 決 された。 学 会<br />
ではディスカッションが 少 なくなりがちなため,<br />
ミニ 研 究 会 ではディスカッションを 重 要 視 して 進<br />
めていく。 名 称 は「プラズマエレクトロニクス 分<br />
科 会 第 N 回 研 究 会 」(N: 回 数 )とし,それに 付<br />
随 する 研 究 会 の 小 題 は 自 由 に 設 定 できる。 参 加 費<br />
は 無 料 とし, 開 催 資 金 は 活 性 化 支 援 金 ( 年 三 回 申<br />
請 書 提 出 ;1 月 ,6 月 ,9 月 )および 分 科 会 予 算 よ<br />
り 捻 出 する。 各 幹 事 からの 意 見 として,プラズマ<br />
の 研 究 分 野 からは 離 れている 異 分 野 の 研 究 者 との<br />
関 わりができてよい( 白 藤 副 幹 事 長 ( 京 都 大 )),<br />
若 手 が 何 でも 聞 けるような 研 究 会 を 目 指 すとよい<br />
( 東 幹 事 ( 広 島 大 )), 良 い 試 み。 学 会 での 講 演 を<br />
掘 り 下 げた 研 究 会 を 目 指 すと 良 い( 大 竹 幹 事 ( 東<br />
北 大 )), 産 業 も 含 めて PE が 包 括 している 分 野 や<br />
役 立 っている 分 野 をトピックスとして 挙 げていく<br />
と 良 い( 神 幹 事 (NTT))が 挙 げられた。<br />
12.2008 年 秋 季 ( 第 69 回 ) 講 演 会 の 分 科 会 ミー<br />
ティングについて<br />
太 田 幹 事 ( 和 歌 山 大 )より,2008 年 秋 季 ( 第 69<br />
回 ) 講 演 会 の 分 科 会 ミーティングは 例 年 通 りシン<br />
ポジウム 開 催 日 の 12-13 時 に 開 催 されることが 報<br />
告 された。<br />
13.2008 年 秋 季 講 演 会 のシンポジウム 等 について<br />
江 利 口 幹 事 ( 京 都 大 )より,2008 年 秋 季 講 演 会<br />
(2008 年 9 月 2-5 日 )のシンポジウム 日 程 および<br />
テーマ 案 , 講 演 者 案 が 挙 げられ 審 議 された。パル<br />
スプラズマとバイオを 合 わせたテーマが 発 案 され<br />
たが,シンポジウムの 際 の 議 論 がパルスプラズマ<br />
のバイオへの 応 用 に 偏 ってしまい 広 がりが 見 られ<br />
ない 可 能 性 が 高 いため 分 類 したほうが 良 いという<br />
意 見 が 堀 先 生 ( 名 大 )よりが 出 された。いくつか<br />
の 候 補 の 中 からパルスプラズマを 中 心 に 据 えたテ<br />
ーマが 決 定 した。 日 程 は, 第 一 優 先 日 を 9 月 3 日 ,<br />
第 二 優 先 日 を 9 月 4 日 とし, 講 演 者 との 調 整 のう<br />
え 決 定 する。また,セッション 内 招 待 講 演 ( 講 演<br />
時 間 30 分 ~60 分 )を 開 催 することが 決 定 し, 白<br />
藤 副 幹 事 長 ( 京 都 大 )が 2008 年 秋 季 講 演 会 の 担 当<br />
であることが 確 認 された。 講 演 候 補 者 には, 引 用<br />
率 の 高 い 論 文 を 執 筆 していることや 興 味 深 い 研 究<br />
をされていることが 条 件 に 挙 げられた。<br />
応 物 でのシンポジウム 数 は 増 加 傾 向 にあるため,<br />
今 後 は「プラズマエレクトロニクス 分 科 会 企 画 シ<br />
ンポジウム」というタイトルをつけることが 提 案<br />
された。また, 白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より,シンポ<br />
ジウムのテーマ 立 案 の 際 に 重 要 な 視 点 として, 学<br />
術 的 , 分 科 会 会 員 , 異 分 野 の 研 究 者 , 企 業 の 研 究<br />
者 , 他 のシンポジウムと 比 較 して 集 客 できるテー<br />
マ( 勝 てる 企 画 )が 挙 げられ,キーワードの 提 案<br />
が 各 幹 事 に 促 された。 以 下 にシンポジウムのテー<br />
マ 立 案 に 関 するキーワードを 示 す。<br />
キーワード:パルス,バイオ, 環 境 , 洗 浄 ( 水 ,<br />
ガスなど),プラズマの 歴 史 ,シリコンプロセス<br />
(High-K・Metal Etching,Low-K ダメージ 回 復 ),<br />
医 療 ,マイクロプラズマ,パーティクル,プラズ<br />
マパラメータのモニタリング 技 術 , 光 源 ,トライ<br />
ボマイクロプラズマ,プラズマアクチュエータ,<br />
樹 脂 の 表 面 改 質 ( 機 械 特 性 (ダイヤモンド,DLC,<br />
CNT,フラーレン)), 基 礎 ( 断 面 積 ), 再 現 性 ,<br />
バラツキ, 装 置 問 題 ,CNT 応 用 , 滅 菌 ,デバイス<br />
47
ダメージ,ナノテク, 微 粒 子 ,MEMS,テープエ<br />
ッチング,プラズマ- 表 面 相 互 作 用 ,ナノ 粒 子 ,ナ<br />
ノ 薄 膜 ,クリーン 化 技 術 , 低 汚 染 , 低 パーティク<br />
ル, 低 損 傷 ( 低 ダメージ), 基 礎 , 成 膜 応 用 (CVD<br />
スパッタ),エッチング 応 用 ,アプリケーション,<br />
20nm ノード,450mm, 境 界 現 象 , 界 面 の 相 互 作<br />
用 ,3D デバイス, 農 業 , 生 活 プラズマ<br />
14. 第 23 回 光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会 について<br />
佐 藤 幹 事 ( 室 蘭 大 )より, 光 源 物 性 とその 応 用<br />
研 究 会 の 活 性 化 に 向 けて 照 明 学 会 より 大 幅 修 正 が<br />
行 われるため, 第 23 回 光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会<br />
の 開 催 日 および 開 催 会 場 の 変 更 が 報 告 された。 講<br />
演 者 と 参 加 者 の 減 少 を 受 け, 研 究 会 スタイルから<br />
シンポジウム(1-3 件 )および 一 般 講 演 という 形<br />
へ 変 更 していく 方 針 である。 現 在 ,10 月 開 催 の 予<br />
定 であり, 照 明 学 会 との 協 議 のうえ 詳 細 が 決 まり<br />
次 第 , 幹 事 長 へ 通 知 することが 周 知 された。<br />
15. 第 19 回 プラズマエレクトロニクス 講 習 会 につ<br />
いて<br />
奥 村 幹 事 ( 松 下 電 器 )より,2008 年 10 月 30-31<br />
に 東 工 大 100 年 記 念 館 にて 第 19 回 プラズマエレク<br />
トロニクス 講 習 会 が 開 催 予 定 であることが 報 告 さ<br />
れた。 聴 講 者 の 増 加 および 対 象 を 広 げるために 多<br />
岐 に 渡 るテーマ・ 誰 もが 関 心 を 持 つテーマを 取 り<br />
上 げていく 方 針 であることが 報 告 された。 白 谷 幹<br />
事 長 ( 九 大 )より, 従 来 と 違 う 企 業 を 勧 誘 してい<br />
くことが 大 切 であるため, 応 物 HP のキーワード<br />
検 索 などを 利 用 してプラズマ 関 連 講 演 を 検 索 し,<br />
今 まで 声 をかけてこなかった 企 業 をリストアップ<br />
しておくという 案 が 出 された。 学 術 講 演 会 に 参 加<br />
しているプラズマ 関 連 企 業 およびその 連 絡 先 (メ<br />
ールアドレス)のリストアップは 白 谷 幹 事 長 ( 九<br />
大 )が 担 当 するので,それ 以 外 の 方 法 でプラズマ<br />
を 使 っている 企 業 を 発 掘 していくことが 奥 村 幹 事<br />
( 松 下 電 器 )に 促 された。<br />
16.ホームページについて<br />
柳 生 幹 事 ( 佐 世 保 高 専 )より, 分 科 会 ホームペ<br />
ージについて 吉 村 前 幹 事 ( 大 阪 大 学 )より 引 継 ぎ<br />
があったことが 報 告 された。しかし, 現 時 点 にお<br />
いて 不 具 合 から 応 物 のサーバに 接 続 できていない<br />
ため, 早 急 に 原 因 を 解 明 し 情 報 をアップロードす<br />
ることが 伝 えられた。<br />
17. 会 員 名 簿 作 成 について<br />
佐 藤 幹 事 ( 室 蘭 大 )より, 分 科 会 会 員 名 簿 を 作<br />
成 しているのは PE 分 科 会 だけであり, 個 人 情 報<br />
の 観 点 から 廃 止 すべきではないかとの 提 案 を 事 務<br />
局 より 受 けていることが 報 告 された。 本 件 に 関 し<br />
て, 幹 事 会 に 参 加 している 幹 事 (22 名 )の 意 向 が<br />
調 査 され, 名 簿 を 使 用 したことがある:4 名 , 名<br />
簿 があっても 良 い:14 名 という 結 果 を 得 た。( 申<br />
し 送 り 事 項 )<br />
18.2009 年 応 物 スクールについて<br />
白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より,2009 年 応 物 スクール<br />
について 人 集 めが 出 来 る 企 画 でタイムリーに 開 催<br />
する 方 針 が 確 認 された。 随 時 , 考 えられるテーマ<br />
を 検 討 していかなくてならない。( 申 し 送 り 事 項 )<br />
19. 第 7 回 プラズマエレクトニクス 賞 について<br />
白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より, 第 7 回 プラズマエレ<br />
クトニクス 賞 の 通 知 を PE 分 科 会 会 報 6 月 号 およ<br />
び 分 科 会 HP に 掲 載 することが 報 告 された。 参 加<br />
幹 事 に 対 してプラズマエレクトニクス 賞 論 文 の 推<br />
薦 依 頼 があった。<br />
20.プラズマ 分 野 の 学 会 連 携 活 動 の 依 頼<br />
特 になし<br />
21.ICRP 開 催 準 備 状 況 報 告 と ICRP 実 行 委 員 会<br />
設 置 について<br />
GEC 委 員 および 本 分 科 会 オブザーバの 堀 先 生<br />
( 名 大 )より,GEC2010/ICRP-7 の 合 同 開 催 の 経<br />
緯 ・ 準 備 状 況 が 説 明 された。 開 催 地 をフランス パ<br />
リに 決 定 したことで,アメリカからは GEC を 中<br />
心 として,アジア 諸 国 からは ICRP を 中 心 として,<br />
ヨーロッパ 周 辺 諸 国 からは 開 催 地 域 諸 国 からのプ<br />
ラズマ 研 究 者 の 参 加 が 見 込 めることが 強 調 された。<br />
日 本 側 の 組 織 は ICRP 委 員 長 の 堀 先 生 ( 名 大 ),PE<br />
分 科 会 幹 事 長 の 白 谷 先 生 ( 九 大 ), 前 GEC 委 員 の<br />
斧 先 生 ( 京 大 ), 前 ICRP 委 員 長 の 畠 山 先 生 ( 東 北<br />
大 )を 主 要 構 成 メンバーとして 討 議 された 骨 格 を<br />
PE 分 科 会 で 検 討 した 後 ,GEC 側 に 提 案 していく<br />
方 針 であることが 報 告 された。なお,GEC 側 の 組<br />
織 委 員 長 はまだ 不 明 である(おそらく 2010 年 の<br />
GEC チェアパーソンが 就 任 すると 思 われる)。 今<br />
後 も 継 続 して ICRP と GEC の 合 同 開 催 を 行 ってい<br />
くため, 組 織 委 員 にはできれば 若 手 の 分 科 会 幹 事<br />
48
を 選 ぶ 方 針 であることが 報 告 された。<br />
また, 10 月 13-17 日 にかけて 米 国 ダラスで 開 催<br />
される GEC2008 の 開 催 日 やアブストラクト 締 め<br />
切 り(6 月 13 日 )について 分 科 会 会 員 への 案 内 が<br />
依 頼 された。なお,GEC の 招 待 講 演 者 として 相 応<br />
しい 人 の 推 薦 が 幹 事 へ 促 された。<br />
19.その 他<br />
(1)PE 分 科 会 の 会 員 増 へ 向 けて( 議 題 7 参 照 )<br />
(2) 第 14 回 プラズマ 理 工 学 国 際 会 議<br />
(ICPP2008:International Congress on Plasma<br />
Physics)のアブストラクトの 締 め 切 りが 4 月 25<br />
日 であることが 報 告 された。ICPP は,ICPIG に 並<br />
ぶ 大 きな 国 際 会 議 で 特 集 号 ( 約 300 編 )がプラズ<br />
マ 核 融 合 学 会 が 発 行 している 英 文 論 文 誌 PFR に<br />
掲 載 される。<br />
(3) 応 物 フェローの 一 般 推 薦 があれば 白 谷 幹 事<br />
長 ( 九 大 )へ 連 絡 することが 報 告 された。 今 後 は<br />
一 般 推 薦 が 廃 止 されフェローがフェローを 推 薦 す<br />
る( 年 に 2 名 )ことになる。<br />
(4)IUMRS-ICA2008 への 協 賛 ( 依 頼 側 は 会 員 に<br />
案 内 のメールを 流 すことができる)が 確 認 された。<br />
49
行 事 案 内<br />
2008 年 秋 季 第 69 回 応 用 物 理 学 会 学 術 講 演 会 シンポジウム<br />
パルスプラズマが 拓 く 新 しい 技 術<br />
~プロセスから 環 境 ・バイオまで<br />
京 都 大 学 江 利 口 浩 二<br />
現 代 社 会 において、プラズマは、 学 術 的 ・ 産 業<br />
的 側 面 からも 重 要 な 役 割 を 担 っていると 言 えます。<br />
プラズマを 記 述 する 物 理 量 としては、 密 度 ( 正 イ<br />
オン、 負 イオン、 電 子 、 中 性 粒 子 、 活 性 種 など)<br />
と 温 度 ( 電 子 、イオン、 中 性 粒 子 など)がありま<br />
す。“プラズマを 応 用 する 視 点 ”に 立 てば、それら<br />
パラメータを 最 適 化 ・ 安 定 化 ・ 制 御 することが 重<br />
要 です。さらには、 例 えば 高 性 能 微 細 デバイスの<br />
製 造 工 程 や、 機 械 部 品 の 加 工 においては、 空 間 的 ・<br />
時 間 的 にも 物 理 量 が 制 御 されていることが、 良 好<br />
でかつ 安 定 したプラズマプロセスの 実 現 には 重 要<br />
とされています。 一 方 、プラズマを 記 述 する 物 理<br />
量 は、 前 述 したガス 系 やシステムなどの 装 置 に 起<br />
因 する 要 素 やプラズマ 形 成 のためのエネルギー 投<br />
入 の 方 式 にかかわる 要 素 など、インプットするパ<br />
ラメータによって 決 定 されます。<br />
しかしながら、プラズマプロセスへの 要 求 が 多<br />
様 化 しています。そこで、 近 年 、 所 望 のプラズマ<br />
を 形 成 するため、プラズマパラメータの 時 間 的 変<br />
化 ( 過 渡 応 答 )の 違 いに 注 目 し、 最 適 化 するイン<br />
プットパラメータ(パワー)をパルス 化 したプラ<br />
ズマ 技 術 が 注 目 されています。パルスプラズマ 技<br />
術 は、 物 理 量 の 定 常 ( 平 衡 ) 状 態 ではなく、 非 定<br />
常 的 な 過 渡 現 象 、すなわち、 物 理 量 に“ 陽 ”に 現<br />
れない 過 渡 応 答 係 数 を 積 極 的 に 最 適 化 するもので<br />
す。これら 過 渡 現 象 に 注 目 することで、 低 温 化 、<br />
大 気 圧 形 成 などにメリットを 活 かしつつ、 反 応 場<br />
での 広 義 の 温 度 や 反 応 粒 子 密 度 のバランスを 最 適<br />
化 する 道 が 拓 けてきました。<br />
現 在 、パルスプラズマは、プロセスプラズマか<br />
ら 環 境 ・バイオ・ 医 療 へ 広 く 応 用 されています。<br />
そこで、 今 回 、パルスプラズマの 生 成 ・ 反 応 メカ<br />
ニズムの 理 解 を 深 め、 今 後 の 展 望 ・ 新 たな 課 題 な<br />
どを 整 理 し 議 論 する 機 会 を 企 画 しました。シンポ<br />
ジウムでは、 各 分 野 で 活 躍 されている 先 生 方 をお<br />
招 きし、メカニズムから 応 用 までの 幅 広 い 議 論 が<br />
行 われます。 皆 様 におかれましては、 奮 ってご 参<br />
加 いただき、パルスプラズマ 技 術 のさらなる 応 用<br />
展 開 を 議 論 する 有 意 義 な 場 にしていただきたく、<br />
何 卒 お 願 い 申 し 上 げます。<br />
なお、 本 シンポジウムに 先 立 ち、プラズマエレ<br />
クトロニクス 賞 の 表 彰 式 (13:15~13:45)が 行 われ<br />
ます。<br />
開 催 予 定 日 時 :2008 年 9 月 3 日 ( 水 )13:45~17:20<br />
プログラム:<br />
1.「イントロダクトリートーク」(10 分 )<br />
京 都 大 江 利 口 浩 二<br />
2.「マイクロプラズマにおける 大 気 圧 ナノ 秒 パル<br />
ス 放 電 」(30 分 ) 東 工 大 石 井 彰 三<br />
3.「 大 気 圧 パルス 放 電 における 物 理 ・ 化 学 と 環 境<br />
浄 化 技 術 への 応 用 」(30 分 )<br />
首 都 大 学 東 京 栃 久 保 文 嘉<br />
4.「パルス 高 電 界 の 生 体 作 用 とその 応 用 」(30 分 )<br />
熊 本 大 勝 木 淳<br />
― 休 憩 (15 分 )―<br />
5.「パルスパワーを 用 いた 大 気 圧 プラズマの 生 成<br />
とその 応 用 」(30 分 ) 岩 手 大 高 木 浩 一<br />
6.「ハイパワーパルススパッタ(HPPS)の 特 徴 と<br />
成 膜 への 応 用 」(30 分 ) 同 志 社 大 行 村 建<br />
( 株 ) 神 戸 製 鋼 所 玉 垣 浩 、 宗 政 淳 、 沖 本 忠 雄<br />
7.「パルス 時 間 変 調 プラズマによる 超 低 損 傷 微 細<br />
加 工 プロセス~LSI プロセスからバイオとナノの<br />
融 合 プロセスに 向 けて~」(30 分 ) 東 北 大 寒 川<br />
誠 二<br />
8.「 総 括 」(10 分 )<br />
九 州 大 白 谷 正 治<br />
50
行 事 案 内<br />
International Congress on Plasma Physics 2008 (ICPP2008)<br />
第 14 回 プラズマ 理 工 学 国 際 会 議<br />
九 州 大 学 佐 藤 浩 之 助<br />
基 礎 プラズマ、 核 融 合 プラズマ、 宇 宙 プラズマ、プラズマ 応 用 等 の 幅 広 い 分 野 に 関 するプラズマ 理<br />
工 学 の 現 状 と 将 来 の 方 向 性 について 議 論 する 第 14 回 プラズマ 理 工 学 国 際 会 議 を 2008 年 9 月 8 日 ~<br />
9 月 12 日 の 日 程 で 福 岡 国 際 会 議 場 ( 福 岡 市 )にて 開 催 する 運 びとなりました。2008 年 はプラズマ 物 理<br />
や 宇 宙 ・ 核 融 合 プラズマの 研 究 活 動 が 開 始 されてから 50 年 目 に 当 たる 記 念 すべき 年 ですので、 積 極 的<br />
な ICPP2008 へのご 参 加 をよろしくお 願 いいたします。<br />
■ 開 催 日<br />
2008 年 9 月 8 日 ~9 月 12 日<br />
■ 会 場<br />
福 岡 国 際 会 議 場<br />
(〒812-0032 福 岡 市 博 多 区 石 城 町 2-1)<br />
http://www.marinemesse.or.jp/congress/<br />
■アブストラクト 締 切<br />
2008 年 4 月 25 日<br />
■ 投 稿 論 文 受 付<br />
アブストラクト 受 理 日 (2008 年 6 月 予 定 )~<br />
9 月 1 日<br />
■ 早 期 登 録 : 2008 年 7 月 31 日<br />
■ホテル 予 約 : 2008 年 7 月 31 日<br />
■ 会 議 中 登 録 : 2008 年 9 月 7 日 ~9 月 12 日<br />
■ 参 加 登 録 料<br />
2008 年 7 月 31 日 まで 2008 年 8 月 1 日 以 降<br />
一 般 50,000 円 一 般 55,000 円<br />
学 生 15,000 円 学 生 17,000 円<br />
同 伴 者 3,000 円 同 伴 者 3,000 円<br />
■シンポジウムタイトル 一 覧<br />
<br />
A. Fundamental Problems of Plasma Physics<br />
B. Magnetically Confined Plasmas<br />
C. High Energy Density Plasmas<br />
D. Space and Astrophysical Plasmas<br />
E. Plasma Applications<br />
F. Sprouting Approaches and New Trends<br />
<br />
Focused topics are organized to encourage the wide<br />
scope, interdisciplinary discussion in the following<br />
fields on ICPP2008.<br />
After reviewing all of the submitted abstracts, a sequence<br />
of correlative presentations among them is<br />
grouped and clustered together, forming a focused<br />
session (see the related explanation in the heading of<br />
Abstracts).<br />
F-A . Advanced Plasma Physics in Linear Devices<br />
F-B . Advance in Turbulence and Structure Formation<br />
Physics<br />
F-C . Laboratory-Space-Astrophysical Plasma Interrelation<br />
F-D . Frontiers of Dust Plasmas<br />
F-E . ITER-Driven Plasma Physics<br />
F-F . Edge Plasma Physics and Materials Interaction<br />
F-G . Plasma Optics and Photonics<br />
F-H . Bio/Nanotechnology Frontiers - Plasmas with<br />
Gas/Liquid Interfaces<br />
■その 他<br />
詳 細 は web サイトにてご 確 認 ください。<br />
http://www.triam.kyushu-u.ac.jp/ICPP/<br />
51
行 事 案 内<br />
第 2 回 プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール 案 内<br />
名 古 屋 大 学 上 坂 裕 之<br />
第 2 回 プラズマエレクトロニクス インキュベーションホール<br />
日 時 :2008 年 9 月 24 日 ( 水 )15:00~9 月 26 日 ( 金 )12:00<br />
場 所 :マキノパークホテル&セミナーハウス<br />
(〒520-1813 滋 賀 県 高 島 郡 マキノ 町 高 木 浜 サニービーチ 前 )<br />
Tel: 0740-28-1231,Fax: 0740-28-0806(http://www.hachikougen.co.jp/)<br />
このたび, 第 2 回 プラズマエレクトロニクスイ<br />
ンキュベーションホールを 企 画 致 しましたので 会<br />
員 の 皆 様 に 案 内 させて 頂 きます。 御 指 導 の 学 生 様<br />
などに 振 るってご 参 加 いただけます 様 お 勧 め 頂 け<br />
れば 幸 いです。<br />
内 容 :<br />
プラズマプロセス 研 究 を 始 めたばかりの 初 学 者<br />
( 学 生 ・ 若 手 研 究 者 ・ 社 会 人 技 術 者 )を 対 象 とし<br />
て, 一 流 の 講 師 陣 を 招 きプラズマプロセスへの 理<br />
解 を 深 めてもらうための4つの 専 門 講 座 を 開 講 し<br />
ます。この 専 門 講 座 では, 従 来 形 式 の 単 なる 受 身<br />
の 講 義 ではなく,ディベート 的 要 素 ( 問 答 )をも<br />
加 味 した 受 講 者 参 加 型 の 人 材 育 成 プログラムの 構<br />
築 を 目 指 しています。 講 述 内 容 そのものは, 初 学<br />
者 が 基 礎 学 理 をしっかりと 理 解 したうえで, 当 該<br />
分 野 における 最 新 科 学 の 話 題 にも 触 れられるよう<br />
に 構 成 されています。そのうえで, 海 外 経 験 , 企<br />
業 経 験 , 産 学 連 携 経 験 などの 豊 富 な 講 師 陣 からは,<br />
留 学 ・ 在 外 研 究 経 験 , 企 業 で 必 要 とされる 資 質 , 産<br />
学 連 携 のエピソードなどを 適 時 交 えた 講 義 を 頂 き,<br />
受 講 者 のプラズマプロセス 研 究 への 興 味 を 喚 起 し <br />
ます。さらにこの 専 門 講 座 に 加 えて,2つの 特 別<br />
講 座 ,ポスターセッション,レクレーションを 行<br />
います。 特 別 講 座 では, 大 学 ・ 企 業 の 一 流 研 究 " 指 <br />
導 者 "を 招 き, 当 該 分 野 の 最 新 動 向 や 指 導 者 に 必 要<br />
とされる 資 質 について 学 ぶ 機 会 を 提 供 します。ポ<br />
スターセッションやレクレーションでは, 受 講 者<br />
と 講 師 の 全 員 がお 互 いに 垣 根 なく 議 論 することで,<br />
参 加 者 間 の 人 脈 形 成 が 促 されます。<br />
【 専 門 講 座 】 ( 講 義 名 は 仮 題 , 各 1 時 間 40 分 )<br />
1 「プラズマ 生 成 の 基 礎 」<br />
小 田 昭 紀 先 生 ( 名 工 大 )<br />
2 「プラズマ 計 測 の 基 礎 」<br />
佐 々 木 浩 一 先 生 ( 名 大 )<br />
3 「プラズマエッチングの 基 礎 と 研 究 開 発<br />
・ 量 産 現 場 での 課 題 」<br />
江 利 口 浩 二 先 生 ( 京 大 )<br />
4 「プラズマ CVD の 基 礎 」<br />
白 藤 立 先 生 ( 京 大 )<br />
【 特 別 講 座 】 ( 各 1 時 間 )<br />
1 「プラズマの 魅 力 ,その 応 用 への 道 」<br />
佐 藤 徳 芳 先 生 ( 東 北 大 学 名 誉 教 授 )<br />
2 「 企 業 におけるプラズマ 研 究 ・ 応 用 の 最 前 線 」<br />
西 村 栄 一 先 生 ( 東 京 エレクトロンAT<br />
株 式 会 社 技 術 担 当 チーフエンジニア)<br />
【ポスターセッション】 (2 時 間 )<br />
参 加 者 間 の 交 流 が 深 まるよう、ポスターセッションを<br />
中 心 とする 談 話 会 を 行 います。 参 加 者 自 身 のバックグ<br />
ランドに 関 連 したもの、たとえば.....<br />
学 生 の 場 合 : 現 在 の 研 究 テーマにまつわるもの、<br />
学 部 での 卒 業 研 究 など(4 年 生 の 場 合 これから 行<br />
う 研 究 など)<br />
社 会 人 の 場 合 : 企 業 の 仕 事 にまつわるもの、 企<br />
業 ・ 自 社 製 品 のPR, 入 学 前 の 大 学 での 研 究 など<br />
であれば、 内 容 ・ 分 量 は 一 切 問 いません。 幅 0.9mx 縦<br />
1m 程 度 のボードが 用 意 されますので、あらかじめポス<br />
ターのご 準 備 をお 願 いします。また, 参 加 申 込 書 にポ<br />
スター 内 容 を 示 すキーワードを3つまでご 記 入 ください。<br />
52
キーワードを 元 にポスター 掲 示 場 所 をアレンジ 致 しま<br />
す。 本 ポスターセッションは 全 員 の 方 の 発 表 を 原 則 とし<br />
ますが、 発 表 に 支 障 がある 場 合 は 参 加 申 込 書 のポス<br />
ターセッションキーワード 欄 にその 旨 をご 記 入 ください。<br />
なお、 優 秀 はポスター 発 表 者 には 表 彰 を 行 います。<br />
【その 他 】 懇 親 会 ,レクレーション(バスフィッシ<br />
ング,マウンテンバイクツーリングなど)を 予 定<br />
しています。 本 企 画 HP に 当 日 の 詳 細 スケジュール<br />
を 記 載 しておりますので 参 考 にして 下 さい。<br />
参 加 申 込 :<br />
【 申 込 方 法 】<br />
イ ン キ ュ ベ ー シ ョ ン ホ ー ル ウ ェ ブ サ イ ト<br />
(http://annex.jsap.or.jp/plasma/PE_files/PE_SS_2008/in<br />
dex.htm)から 参 加 申 込 書 をダウンロードいただき,<br />
e-mail,FAX あるいは 郵 送 の 何 れかの 方 法 で 上 坂 まで<br />
お 申 し 込 みください。 申 込 を 受 け 次 第 , 参 加 登 録 確 認<br />
を 通 知 します。その 後 に 参 加 費 ( 下 表 参 照 )を 振 り 込 ん<br />
でください。なお, 参 加 費 の 振 り 込 みには 必 ず 個 人 名<br />
と「PEIH」という 4 文 字 のアルファベットを 記 載 してくだ<br />
さい( 例 : 木 村 さんの 場 合 “キムラ PEIH”)。 一 旦 振 り 込<br />
まれた 参 加 費 は, 原 則 として 返 却 いたしません。<br />
【 定 員 】 60 名<br />
【 申 込 締 切 】 8 月 31 日 ( 日 )<br />
【 振 込 先 】 三 井 住 友 銀 行 本 店 営 業 部 ( 本 店 でも 可 )<br />
口 座 ( 普 通 )3339808 ( 社 ) 応 用 物 理 学 会 プラズマエレ<br />
クトロニクス 分 科 会 ( 入 金 締 め 切 り 9 月 12 日 )<br />
【 問 合 せ・ 申 込 先 】<br />
〒464-8603 愛 知 県 名 古 屋 市 千 種 区 不 老 町<br />
名 古 屋 大 学 大 学 院 工 学 研 究 科 機 械 理 工 学 専 攻<br />
生 産 プロセス 工 学 グループ 上 坂 裕 之<br />
TEL(052)789-2787,FAX(052)789-2787,<br />
E-mail:pe-ih2008@ume.mech.nagoya-u.ac.jp<br />
参 加 費<br />
学 生 会 員 への 交 通 費 補 助 :<br />
下 記 の 交 通 費 補 助 の 条 件 を 満 たした 場 合 , 交 通<br />
費 補 助 金 をサマースクール 終 了 後 に 振 り 込 みます<br />
ので, 対 象 となる 方 は、 参 加 申 込 書 に 必 要 事 項 を<br />
記 入 ください。<br />
< 交 通 費 補 助 の 条 件 ><br />
学 生 会 員 若 しくは 今 回 学 生 会 員 ( 大 学 院 生 を 含<br />
む)になられた 方 で, 大 学 所 在 地 が 関 西 ( 京 阪 神 を<br />
含 む) 以 遠 又 は 関 東 ( 神 奈 川 , 東 京 は 除 く) 以 遠<br />
の 方 を 対 象 とします。ただし, 大 学 院 生 について<br />
はポスターセッションでの 発 表 を 必 須 条 件 としま<br />
す。<br />
本 企 画 の 詳 細 情 報 (ホームページ):<br />
http://annex.jsap.or.jp/plasma/PE_files/PE_SS_2008/index.htm<br />
担 当 幹 事 :<br />
校 長 : 白 藤 立 ( 京 都 大 学 )<br />
幹 事 : 布 村 正 太 ( 産 総 研 )<br />
上 坂 裕 之 ( 名 古 屋 大 学 )<br />
秋 元 健 司 (NEC エレクトロニクス)<br />
北 嶋 武 ( 防 衛 大 学 )<br />
村 山 貴 英 (アルバック)<br />
交 通 案 内 :<br />
東 京 →(JR のぞみ 新 幹 線 ,2 時 間 24 分 )→ 京 都 (JR<br />
湖 西 線 ,1 時 間 9 分 )→ 近 江 今 津 (JR 湖 西 線 ,8 分<br />
[1 駅 ])→マキノ→( 徒 歩 ,5 分 )→ 会 場<br />
* 米 原 から 北 陸 本 線 で, 米 原 → 長 浜 → 近 江 塩 津 →<br />
マキノと 至 る 方 法 もありますが, 電 車 の 接 続 が 悪<br />
い 場 合 もありますので 十 分 ご 注 意 下 さい。<br />
プラズマエレクトロニクス 分 科<br />
会 と 応 用 物 理 学 会 の 個 人 会 員<br />
応 用 物 理 学 会<br />
個 人 会 員<br />
協 賛 学 協 会 個 人 会 員 および<br />
プラズマエレクトロニクス 分 科<br />
会 の 個 人 会 員<br />
その 他<br />
一 般 40,000 円 43,000 円 48,000 円 53,000 円<br />
学 生 14,000 円 17,000 円 22,000 円 27,000 円<br />
* 応 用 物 理 学 会 賛 助 会 社 およびプラズマエレクトロニクス 分 科 会 賛 助 会 社 所 属 の 方 はそれぞれの 個 人 会 員 扱 いとさ<br />
せていただきます.** 遠 方 からの 会 員 学 生 ( 含 大 学 院 生 )に 対 して 交 通 費 の 一 部 を 補 助 する 予 定 . 詳 細 はHPをご<br />
覧 ください.*** 本 分 科 会 会 員 ( 年 会 費 3000 円 )に 同 時 入 会 いただくと, 今 回 から 会 員 価 格 で 参 加 出 来 ます. 入 会<br />
者 には, 年 2 回 の 会 報 ( 非 売 品 )や 会 員 名 簿 ( 非 売 品 ) 入 手 , 各 種 スクールへの 会 員 価 格 での 参 加 などのメリットがあ<br />
ります. 入 会 手 続 きは https://www.jsap.or.jp/jsapweb/system/do/signInSelect より 行 ってください.<br />
53
行 事 案 内<br />
61st Gaseous Electronics Conference 2008<br />
第 61 回 気 体 エレクトロニクス 会 議<br />
(GEC2008)<br />
名 古 屋 大 学 堀 勝<br />
第 61 回 GEC(Gaseous Electronics Conference)が 米 国 ダラスにて、10 月 13 日 ~17 日 に 渡 り 開<br />
催 されます(http://www.utdallas.edu/gec)。<br />
同 会 議 は、プラズマの 基 礎 を 重 視 し、 科 学 に 基 づいた 先 端 プロセスとその 応 用 まで 世 界 最 高 水 準 の<br />
発 表 がなされる 国 際 会 議 であり、プラズマエレクトロニクス 分 科 会 とも 密 接 な 関 係 を 長 年 維 持 して 参<br />
りました。 今 回 は、 日 本 からもトップレベルの 研 究 者 が 招 待 講 演 を 行 い、プラズマの 気 相 と 固 体 、 液<br />
体 表 面 の 相 互 反 応 現 象 からその 先 端 応 用 に 至 るまで 興 味 深 いセッションがアレンジされています。 昨<br />
年 度 は、 米 国 についで 日 本 からの 多 数 の 参 加 者 があり、 同 分 野 の 日 本 の 高 いレベルの 発 表 に 対 して 多<br />
くの 参 加 者 が 高 い 評 価 をするとともに、 最 終 日 まで 会 場 の 熱 気 が 続 きました。<br />
また、2010 年 10 月 4 日 ~8 日 には、 日 本 がアジアを 代 表 して 創 設 したICRP(International<br />
conference on reactive plasmas)とGECとの 合 同 国 際 会 議 (GEC2010/ICRP-7)がパリの 中 心 で 開 催 さ<br />
れることになりました。 本 会 議 は、アジア、 米 国 、 欧 州 が 初 めて 一 同 に 会 して 開 催 する 画 期 的 な 国 際<br />
会 議 になることが 期 待 され、 現 在 プラズマエレクトロ 二 クス 分 科 会 が 中 心 となって 準 備 を 始 めており<br />
ます。2 年 後 のパリでの 会 議 の 成 功 に 向 けて、 本 年 度 のGECに 日 本 から 多 くの 参 加 者 と 発 表 がある<br />
ことが 非 常 に 重 要 になっております。つきましては、 分 科 会 の 会 員 の 皆 様 が 奮 って 参 加 していただき<br />
ますよう、 心 からお 願 い 申 し 上 げます。アブストラクトおよび Student Award の 締 め 切 りは、6 月 13<br />
日 です。 多 くの 方 々が 申 し 込 んでいただきますよう、 何 卒 よろしくお 願 い 致 します。ご 不 明 な 点 等 ご<br />
ざいましたら、 分 科 会 GEC 世 話 人 ( 堀 :hori@nuee.nagoya-u.ac.jp)までご 連 絡 していただきますよ<br />
うお 願 い 致 します。<br />
■ 開 催 日<br />
2008 年 10 月 13 日 ~17 日<br />
■ 会 場<br />
The Marriott Dallas/Addison Quorum by the Galleria in<br />
Dallas, Texas<br />
(14901 Dallas Parkway Dallas, Texas 75254 USA)<br />
■アブストラクト 締 切<br />
2008 年 6 月 13 日<br />
■GEC Student Award 締 切<br />
2008 年 6 月 13 日<br />
■ 参 加 登 録 料<br />
Early ※3 After 8/15<br />
and Onsite<br />
General Registration $350 $450<br />
Student/Retiree ※1 $160 $225<br />
Single Day Registration ※2 $200 $250<br />
Banquet $50 $65<br />
※1 Student/Retiree conference registration also includes the<br />
banquet on October 16, 2008.<br />
※2 Presenters may NOT register using "Single Day Registration."<br />
※3 The early registration deadline is August 15, 2008<br />
■ホームページ<br />
http://www.utdallas.edu/gec<br />
54
■シンポジウムタイトル 一 覧<br />
1.1 Electron and photon collisions with atoms and<br />
molecules<br />
1.2 Heavy particle interactions: ion-atom,<br />
ion-molecule, neutral-neutral, other<br />
1.3 Dissociation, recombination and attachment<br />
1.4 Molecular clusters and many-body problems<br />
1.5 Computational methods for atomic and molecular<br />
processes<br />
1.6 Distribution functions and transport coefficients:<br />
electrons, ions<br />
1.7 Near-threshold collision processes<br />
1.8 Slow collisions<br />
1.9 Collisions with complex targets<br />
1.10 Ionization of atoms and molecules<br />
1.11 Other atomic and molecular collision phenomena<br />
2.1 Glows: DC pulsed, RF, microwave, inductive,<br />
others<br />
2.2 Coronas, breakdown, and sparks<br />
2.3 Capacitively coupled plasmas<br />
2.4 Inductively coupled plasmas<br />
2.5 Magnetically-enhanced plasmas: ECR, helicon,<br />
magnetron, others<br />
2.6 Dielectric barrier discharges, displays<br />
2.7 High pressure glow discharges<br />
2.8 Thermal plasmas: arcs, jets, switches, others<br />
2.9 Laser media, kinetics, and processes<br />
2.10 Lighting plasmas: glows, arcs, flat panels, novel<br />
sources, others<br />
2.11 Plasma diagnostics: optical, electrical, others<br />
2.12 Plasma chemistry: atmospheric, gas phase, surface<br />
2.13 Plasma boundaries: sheaths, boundary layers,<br />
others<br />
2.14 Dusty plasmas<br />
2.15 Negative ion plasmas<br />
2.16 Plasma instabilities<br />
2.17 Computational methods for plasmas<br />
2.18 Plasma-surface interactions<br />
2.19 Materials processing in low pressure plasmas:<br />
etching, deposition, new materials<br />
2.20 Environmental applications<br />
2.21 Treatment of textiles<br />
2.22 Biological and emerging applications of plasmas<br />
2.23 Plasma propulsion and Aerodynamics<br />
2.24 Plasma applications for nanotechnology<br />
2.25 Innovative plasma applications<br />
2.26 Other plasma topics<br />
55
行 事 案 内<br />
第 19 回 プラズマエレクトロニクス 講 習 会<br />
「プラズマプロセスの 基 礎 と 応 用 最 前 線 」<br />
‐ 多 様 化 するプラズマ 応 用 プロセスとその 制 御 ‐<br />
主 催 : 応 用 物 理 学 会 プラズマエレクトロニクス 分 科 会<br />
日 時 :2008 年 10 月 30 日 ( 木 )-31 日 ( 金 )<br />
場 所 : 東 京 工 業 大 学 ( 大 岡 山 キャンパス)<br />
百 年 記 念 館 3F フェライト 会 議 室<br />
〒152-8552 東 京 都 目 黒 区 大 岡 山 2-12-1<br />
TEL:03-5734-2098 ( 代 表 )<br />
会 場 へのアクセスおよびキャンパスマップ:<br />
http://www.titech.ac.jp/home-j.html<br />
内 容 /プログラム:<br />
プラズマプロセス 技 術 は、 低 圧 下 における 微 細<br />
加 工 、 薄 膜 堆 積 、 表 面 改 質 をはじめ、 大 気 圧 及 び<br />
液 相 中 での 洗 浄 ・ 滅 菌 等 に 欠 かすことの 出 来 ない<br />
産 業 基 盤 技 術 です。 近 年 、プラズマプロセスは 多<br />
様 化 ・ 複 雑 化 しており、 所 望 のプラズマ 生 成 とそ<br />
の 制 御 が 益 々 重 要 になってきております。このよ<br />
うな 背 景 を 踏 まえ、 本 講 習 会 では、 各 分 野 をリー<br />
ドする 一 流 の 先 生 を 招 き、プラズマプロセスの 基<br />
礎 と 応 用 に 関 する 講 義 を 行 います。プラズマの 基<br />
礎 を 勉 強 したい 学 生 からプラズマ 技 術 の 最 新 応 用<br />
に 関 心 のある 技 術 者 や 研 究 者 を 対 象 として, 本 講<br />
習 会 を 企 画 しました。<br />
10 月 30 日 ( 木 ) 10:00-17:30<br />
1.プラズマの 生 成 ・ 制 御<br />
菅 井 秀 郎 ( 中 部 大 学 )<br />
2.プラズマ 計 測<br />
赤 塚 洋 ( 東 京 工 業 大 学 )<br />
3.プラズマシミュレーション<br />
田 中 正 明 (ペガサスソフトウェア)<br />
ポスター・ショートプレゼンテーション<br />
10 月 31 日 ( 金 ) 10:00-17:00<br />
4.プラズマによる 薄 膜 形 成 技 術<br />
佐 々 木 敏 明 (カネカ)<br />
5.プラズマによるエッチング 技 術<br />
林 俊 雄 ( 名 古 屋 大 学 )<br />
6. 大 気 圧 プラズマの 応 用<br />
湯 浅 基 和 ( 積 水 化 学 工 業 )<br />
7. 液 相 プラズマの 応 用<br />
秋 山 秀 典 ( 熊 本 大 学 )<br />
参 加 費 :テキスト 代 を 含 む。 括 弧 内 は 学 生 。<br />
● 応 物 ・PE 分 科 会 個 人 会 員 30,000 円 (8,000 円 )<br />
● 応 物 個 人 会 員 33,000 円 (11,000 円 )<br />
● 分 科 会 のみの 個 人 会 員 42,000 円 (15,000 円 )<br />
● 協 賛 学 協 会 ・ 応 物 法 人 賛 助 会 員<br />
42,000 円 (15,000 円 )<br />
●その 他 45,000 円 (18,000 円 )<br />
なお、 非 会 員 の 方 でも 参 加 申 込 時 に PE 分 科 会 ( 年<br />
会 費 3,000 円 )に 入 会 頂 ければ、 会 員 扱 いとさせて<br />
頂 きます。<br />
定 員 :100 名 ( 定 員 になり 次 第 締 切 り)<br />
申 込 締 切 :10 月 17 日 ( 金 )( 但 し、 余 裕 のある 場<br />
合 には 期 日 後 も 受 付 けます)<br />
申 込 方 法 :<br />
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 ホームページに<br />
用 意 した 参 加 申 込 みファイルに 必 要 事 項 をご 記 入<br />
のうえ、 下 記 の 申 込 み 担 当 者 宛 に 電 子 メール 添 付<br />
ファイルとしてお 送 り 下 さい。<br />
http://annex.jsap.or.jp/support/division/plasma/<br />
参 加 費 振 込 先 :<br />
三 井 住 友 銀 行 本 店 営 業 部 普 通 預 金 口 座 番 号<br />
3339808<br />
( 社 ) 応 用 物 理 学 会 プラズマエレクトロニクス 分 科 会<br />
( 参 加 費 振 込 期 限 :10 月 22 日 )<br />
問 合 せ 先 :<br />
〒305-8568 つくば 市 梅 園 1-1-1<br />
( 独 ) 産 業 技 術 総 合 研 究 所 太 陽 光 発 電 研 究 セン<br />
ター シリコン 新 材 料 チーム 布 村 正 太<br />
TEL: 029-861-5080 ( 内 線 45075)<br />
FAX: 029-861-3367<br />
plasma_electronics@m.aist.go.jp<br />
担 当 幹 事 :<br />
藤 原 信 夫 (ルネサステクノロジ)、 奥 村 智 洋 ( 松 下<br />
電 器 )、 秋 元 健 司 (NEC エレクトロニクス)、 長 谷<br />
川 明 広 ( 富 士 通 )、 小 林 浩 之 ( 日 立 製 作 所 )、 林 久<br />
貴 ( 東 芝 )、 北 嶋 武 ( 防 衛 大 )、 松 本 直 樹 ( 東 京 エ<br />
レクトロン)、 深 沢 正 永 (ソニー)、 布 村 正 太 ( 産<br />
業 技 術 総 合 研 究 所 )<br />
56
行 事 案 内<br />
30th International Symposium on Dry Process (DPS 2008)<br />
第 30 回 ドライプロセス 国 際 シンポジウム 案 内<br />
名 古 屋 大 学 関 根 誠<br />
機 能 性 材 料 を 基 盤 とする 電 子 デバイス、バイオ、エネルギー 及 びナノテクノロジー 分 野 の 発 展 にドライプロ<br />
セスの 役 割 は 益 々 大 きくなってきています。 特 にその 物 理 的 化 学 的 現 象 の 解 明 は、 先 端 技 術 産 業 の 発 展 と 新 た<br />
な 応 用 の 開 拓 に 大 きく 寄 与 します。この 分 野 で 世 界 トップの 技 術 レベルにある 日 本 において、DPS は 30 年 に<br />
亘 り、 先 端 的 成 果 の 発 表 、 討 論 と 相 互 理 解 を 深 める 場 を 提 供 してきました。 今 年 は 30 回 開 催 を 記 念 して、 会 期<br />
を 3 日 間 とし、 当 該 分 野 に 大 きな 貢 献 をされた 先 生 方 による 記 念 講 演 や、ドライプロセス 技 術 と DPS の 発 展 を<br />
振 り 返 る 歴 史 展 示 、さらに DPS の 将 来 を 展 望 する 行 事 を 企 画 しています。もちろん、 当 該 分 野 での 功 績 者 から<br />
若 手 研 究 者 まで 一 堂 に 会 し、 旧 交 を 温 め、 研 究 の 芽 になる 交 流 を 育 むバンケットも 行 います。また、 例 年 通 り<br />
先 端 プロセス 技 術 についての 特 別 セッション、 最 もホットな 研 究 成 果 を 上 げられている 各 国 の 研 究 者 によるキ<br />
ーノートスピーチや 招 待 講 演 、 厳 選 された 各 トピックスへの 投 稿 論 文 の 発 表 と 討 論 、 充 実 した 討 論 が 可 能 な 余<br />
裕 のあるポスターセッションを 企 画 しています。 投 稿 論 文 は、JJAP 特 集 号 の 出 版 を 企 画 しています。 詳 細 は 次<br />
の URL をご 覧 ください。http://www.dps2008.org/<br />
主 要 テーマ:<br />
1「プラズマ、ビーム 誘 起 表 面 反 応 」<br />
2「 気 相 及 び 表 面 の 計 測 技 術 」<br />
3「 成 膜 、エッチング、 表 面 処 理 プロセス」<br />
4「 照 射 損 傷 」<br />
5「MEMS、センサー、FPD、フレキシブル 材 料 の<br />
プロセス 技 術 」<br />
6「バイオ 応 用 技 術 」<br />
7「 新 しいドライプロセス 技 術 」<br />
8「 装 置 技 術 」<br />
特 別 セッション「プロセスの 揺 らぎ、ばらつき、 均<br />
一 性 」<br />
プログラム:<br />
11/26( 水 ) DPS30 周 年 記 念 事 業 、バンケット<br />
11/27( 木 ) DPS30 技 術 セッション<br />
11/28( 金 ) DPS30 技 術 セッション<br />
講 演 申 込 締 切 :<br />
2007 年 7 月 13 日 ( 日 )<br />
講 演 申 込 方 法 :<br />
所 定 の 書 式 に 従 った pdf ファイル(アブストラクト<br />
A4 判 2 ページ)を 次 の URL から 投 稿 ください。 論<br />
文 委 員 会 で 審 査 の 上 、9/1 までに 受 諾 を 連 絡 します。<br />
JJAP 特 集 号 :<br />
11/28( 金 )までに JJAP の Website から 投 稿 してくださ<br />
い。 特 集 号 の 編 集 委 員 会 により 通 常 の JJAP 審 査 手<br />
順 を 経 て、 掲 載 を 判 断 します。(http://www.ipap.jp/jjap/)<br />
早 期 参 加 申 込 締 切 :<br />
2007 年 10 月 12 日 ( 日 )<br />
主 催 : 応 用 物 理 学 会<br />
協 賛 : 電 子 情 報 通 信 学 会 , 電 気 化 学 会 ,ECS 日 本 支<br />
部 , 韓 国 表 面 工 学 会 , 韓 国 真 空 協 会<br />
日 時 :2008 年 11 月 26 日 ( 水 )~28 日 ( 金 )<br />
場 所 : 東 京 品 川 の「コクヨホール」<br />
( 東 京 都 港 区 江 南 1-8-35)<br />
http://www.kokuyo.co.jp/showroom/hall/<br />
今 年 度 は 記 念 事 業 開 催 のため、 例 年 よりも 拡 充 され<br />
た 会 期 、 会 場 になっております。<br />
57
行 事 案 内<br />
IUMRS International Conference in Asia 2008<br />
IUMRS アジア 国 際 会 議 2008<br />
名 古 屋 大 学 高 井 治<br />
■ 学 会 概 要 : 本 IUMRS-ICA 2008 (IUMRS: International Union of Material Research Societies) は、 材 料 研<br />
究 の 最 先 端 で 活 躍 する 研 究 者 や 技 術 者 を 世 界 中 から 広 く 募 集 ・ 招 聘 し、 横 断 的 研 究 交 流 を 図 る。さら<br />
に、あらゆる 材 料 研 究 分 野 に 焦 点 を 当 て、アジアの 材 料 研 究 を 世 界 に 向 けて 強 く 発 信 する。なお、 本<br />
会 議 は 40 のシンポジウムからなり、 全 参 加 者 数 は 1500 人 以 上 となる 見 込 みである。<br />
■ 会 合 名 : IUMRS アジア 国 際 会 議 2008<br />
英 語 名 : IUMRS-ICA 2008(The IUMRS International<br />
Conference in Asia 2008))<br />
■ホームページ:<br />
http://www.iumrs-ica2008.jp/index.html<br />
■ 会 期 : 2008 年 12 月 9 日 ( 火 )~13 日 ( 土 )<br />
■ 開 催 場 所 : 名 古 屋 市 国 際 会 議 場 ( 名 古 屋 市 熱<br />
田 区 西 熱 田 町 1 番 1 号 )<br />
■ 問 合 せ 先 :<br />
Secretariat for IUMRS-ICA2008 Inter Group Corporation<br />
2-38-2, Meieki, Nakamuraku, Nagoya<br />
450-0002, JAPAN<br />
Phone: +81-52-581-3240 Fax: +81-52-581-5585<br />
E-mail: iumrsica2008@intergroup.co.jp<br />
■シンポジウムタイトル 一 覧<br />
A. Reactivity of Solids<br />
B. Development of Oxide Nanocomposites - Bulks,<br />
Thin Films and Nano-structures<br />
C. Design of green energy materials<br />
D. Liquid Crystals and Ordered Soft Materials<br />
E. Materials for Living – Environment, Energy and<br />
Medicine –<br />
F. Science and Technology of Smart Hydrogels<br />
G. Self-Assembled Materials<br />
H. Advances in the Application of Biomass<br />
I. Structure Induced Giant Nature<br />
J. Joining Technology for New Metallic Glasses and<br />
Inorganic Materials<br />
K. Frontier of Biointerfaces<br />
L. New Analytical and Assessment Methods in Material<br />
and Environmental Technologies<br />
M. Innovative Material Technologies Utilizing Ion<br />
Beams<br />
N. Fullereren Nano Materials<br />
O. Non-equilibrium Plasma Processing in High<br />
Density Media<br />
P. Advanced Ferroic Materials: Processing, Characterization<br />
and Device Application<br />
Q. Frontier of Nano-Materials Based on Advanced<br />
Plasma Technologies<br />
R. Carbon Nanotubes: Synthesis, Characterization<br />
and Application<br />
S. Nature Technology<br />
T. Bio-inorganic devices<br />
U. Thermoelectric Energy Conversion<br />
V. Ceramic materials for biomedical applications<br />
W. Liquid Phase Processing and Self-assembly of<br />
Inorganic Nano Materials<br />
X. Applications of Synchrotron Radiation and Neutron<br />
Beam to Soft Matter Science<br />
Y. Frontier of Polymeric Nano-Soft-Materials - Precision<br />
Polymer Synthesis, Self-assembling and<br />
Their Functionalization<br />
Z. Material Science and Process Technologies for<br />
Advanced Nano-Electronic Devices<br />
AA. Rare-Earth Related Material Processing and<br />
Functions<br />
BB. Advanced Superconducting Materials -From<br />
basic Physics to Processing Technologies-<br />
CC. Innovation in Metal Forming<br />
58
DD. Electrochemical Processing of Tailored Materials<br />
EE. Mesoscale Design of Materials<br />
FF. Preparation, Characterization and Application of<br />
DLC Films<br />
GG. Chromic Materials and Applications<br />
HH. Synthesis of Nano Porous Ceramics for Thermal<br />
Insulation/Barrier Techniques<br />
II. Frontiers of Surface Technology<br />
JJ. Smart Processing Technology<br />
KK. Nano-Biotechnologies on Interfaces<br />
LL. Special Symposium -Japanese Advanced Industries<br />
to Lead the World -<br />
MM. Special Symposium -Surface- Tokai Wide<br />
Area Nano-Technology Manufacturing Cluster<br />
NN. Special Symposium -Materials Education -<br />
■アブストラクト 提 出 :web からの 提 出 となり<br />
ます(http://www.iumrs-ica2008.jp/index.html)。<br />
■アブストラクト 締 切 :6 月 30 日 ( 月 )<br />
■ 参 加 費 :<br />
事 前 登 録 (11 月 17 日 ( 月 ) 締 切 )<br />
[ 国 内 参 加 者 ]<br />
学 生 :MRS-J・ 協 賛 学 会 会 員 20,000 円<br />
非 会 員 23,000 円<br />
一 般 :MRS-J・ 協 賛 学 会 会 員 50,000 円<br />
非 会 員 60,000 円<br />
[ 海 外 参 加 者 ]<br />
学 生 : 各 MRS・ 協 賛 学 会 会 員 20,000 円<br />
非 会 員 23,000 円<br />
一 般 : 各 MRS・ 協 賛 学 会 会 員 50,000 円<br />
非 会 員 55,000 円<br />
事 後 登 録 ( 締 切 以 降 は 当 日 会 場 にて 支 払 い)<br />
[ 国 内 参 加 者 ]<br />
学 生 :MRS-J・ 協 賛 学 会 会 員 23,000 円<br />
非 会 員 25,000 円<br />
一 般 :MRS-J・ 協 賛 学 会 会 員 55,000 円<br />
非 会 員 65,000 円<br />
[ 海 外 参 加 者 ]<br />
学 生 : 各 MRS・ 協 賛 学 会 会 員 23,000 円<br />
非 会 員 25,000 円<br />
一 般 : 各 MRS・ 協 賛 学 会 会 員 55,000 円<br />
非 会 員 60,000 円<br />
バンケット<br />
バンケット 料 :10,000 円<br />
会 場 : 名 古 屋 港 水 族 館<br />
■ 主 催 団 体 名 : 日 本 MRS (Materials Research<br />
Society of Japan (MRS-J))<br />
■ 共 催 団 体 名 :<br />
International Union of Materials Research Society<br />
(IUMRS)<br />
Chinese Materials Research Society (C-MRS),<br />
Materials Research Society of India (MRS-I),<br />
Materials Research Society of Korea (MRS-K),<br />
Materials Research Society of Singapore (MRS-S)<br />
Materials Research Society of Taiwan (MRS-T)<br />
59
IUMRS アジア 国 際 会 議 2008<br />
セッション K Frontier of Biointerfaces<br />
平 成 20 年 12 月 10 日 ( 水 )- 11 日 ( 木 )( 予 定 )<br />
開 催 会 場 : 名 古 屋 国 際 会 議 場<br />
(〒456-0036 愛 知 県 名 古 屋 市 熱 田 区 熱 田 西 町 1 番 1 号 )<br />
<br />
バイオインターフェイス(バイオ 分 子 とマテリアルの 界 面 )は、 再 生 医 療 用 材 料 、 手 術 用 機 器 、 人 工<br />
臓 器 、 薬 物 送 達 用 担 体 、センサー 材 料 、DNA・プロテインチップなどのあらゆる 医 療 デバイスで 存 在 す<br />
る。このインターフェイスこそがデバイスの 機 能 性 発 現 に 大 きな 役 割 を 果 たしている。 現 在 、バイオイ<br />
ンターフェイスをナノ・マイクロレベルで 理 解 ・ 制 御 し、 新 たな 機 能 を 開 発 することが 最 重 要 課 題 であ<br />
る。しかし、 生 体 の 機 能 は 複 雑 であり、 物 理 、 化 学 、 生 物 といった 分 野 融 合 型 研 究 の 推 進 が 不 可 欠 であ<br />
る。 本 セッションにおいては、バイオインターフェイスに 関 する 先 導 的 な 研 究 を、 物 理 、 化 学 、 生 物 等<br />
様 々な 観 点 からの 研 究 発 表 を 公 募 し、 深 遠 な 議 論 をおこないたい。<br />
研 究 発 表 申 込 &アブストラクト 提 出 締 切 6 月 30 日 ( 月 )<br />
お 申 し 込 み 方 法 は 次 の 通 り に な り ま す 。 ま ず 、 IUMRS-ICA2008 の 公 式 HP<br />
(http://www.iumrs-ica2008.jp/index.html)にあります『Abstract Submission』をクリックして 下 さい。ペー<br />
ジ 内 の template をダウンロードし、このフォームに 沿 って Abstract を 作 成 ください。 次 に、『Online<br />
Submission』の 文 字 をクリックして 頂 くと、お 申 込 方 法 のご 案 内 ページが 開 きますので、その 内 容 に 沿<br />
ってお 申 し 込 み 下 さい。<br />
<br />
○ 代 表 チェア 渡 慶 次 学 ( 名 大 ) tokeshi@apchem.nagoya-u.ac.jp<br />
☆ 連 絡 チェア 齋 藤 永 宏 ( 名 大 ) hiro@eco-t.esi.nagoya-u.ac.jp<br />
高 井 まどか( 東 大 )takai@bmw.t.u-tokyo.ac.jp<br />
一 木 隆 範 ( 東 大 ) ichiki@sogo.t.u-tokyo.ac.jp<br />
石 崎 貴 裕 ( 産 総 研 )t.ishizaki@aist.go.jp<br />
問 い 合 わせ 連 絡 先 :<br />
連 絡 チェア: 石 崎 貴 裕<br />
産 業 技 術 総 合 研 究 所 サステナブルマテリアル 研 究 部 門<br />
〒463-8560 名 古 屋 市 守 山 区 下 志 段 味 穴 ヶ 洞 2266-98<br />
E-mail: t.ishizaki@aist.go.jp<br />
60
行 事 案 内<br />
プラズマ 科 学 シンポジウム 2009/<br />
第 26 回 プラズマプロセシング 研 究 会<br />
(PSS-2009/SPP-26)<br />
名 古 屋 大 学 高 井 治<br />
プラズマ 科 学 シンポジウム(Plasma Science Symposium 2009: PSS-2009)は, 各 学 協 会 等 において 分<br />
散 して 展 開 されているプラズマ 科 学 の 研 究 活 動 を 総 合 的 に 把 握 する 場 を 提 供 し, 広 範 な 情 報 交 換 を 通<br />
じて 研 究 の 一 層 の 活 性 化 を 促 すことをめざしており,2001 年 ,2004 年 に 次 ぐ 第 3 回 目 の 開 催 となりま<br />
す。 一 方 ,プラズマプロセシング 研 究 会 (The 26 th Symposium on Plasma Processing: SPP-26)は 応 用 物<br />
理 学 会 プラズマエレクトロニクス 分 科 会 が 母 体 となり, 薄 膜 材 料 加 工 等 の 広 いプラズマ 応 用 研 究 の 発<br />
表 ・ 討 論 の 場 として 毎 年 開 催 され, 今 回 は 第 26 回 目 を 迎 えます。プラズマの 科 学 と 応 用 に 関 する 最 も<br />
包 括 的 な 国 内 会 議 として, 標 記 2 つのシンポジウムを 合 同 で 開 催 します.プラズマ 科 学 の 基 礎 から,<br />
核 融 合 等 のエネルギー 分 野 , 電 子 デバイスプロセス・バイオ 技 術 等 の 産 業 応 用 分 野 ,さらに 環 境 ・ 宇<br />
宙 分 野 に 至 るまで 幅 広 いプラズマ 研 究 ・ 応 用 に 関 して, 一 層 の 発 展 と 新 たな 展 開 を 探 ります.<br />
【 開 催 期 日 】 2009 年 2 月 2 日 ( 月 ) ~ 4 日 ( 水 )<br />
【 開 催 場 所 】 名 古 屋 大 学<br />
(〒464-8603 名 古 屋 市 千 種 区 不 老 町 )<br />
【 会 議 形 式 】 総 合 講 演 , 指 定 テーマ 講 演 シンポジウム 講 演 , 一 般 講 演 (ポスター 発 表 )<br />
【 申 込 締 切 】 未 定<br />
【 論 文 原 稿 締 切 】 未 定 ( 英 文 ,A4 版 2 ページ)<br />
【 参 加 費 ( 仮 )】 一 般 12000 円 ( 関 連 する 学 協 会 会 員 ), 学 生 3000 円 ,その 他 18000 円<br />
(10 月 25 日 以 降 は 一 般 3000 円 増 , 学 生 1000 円 増 )<br />
【 連 絡 先 】 〒464-8603 名 古 屋 市 千 種 区 不 老 町<br />
名 古 屋 大 学 PSS2009/SPP26 事 務 局<br />
TEL: 052-789-3259<br />
FAX: 052-789-3260<br />
E-mail: pss2009@eco-t.esi.nagoya-u.ac.jp<br />
【 主 催 】 日 本 学 術 振 興 会 プラズマ 材 料 科 学 第 153 委 員 会 , 応 用 物 理 学 会 ,<br />
プラズマ・ 核 融 合 学 会 , 核 融 合 科 学 研 究 所 , 名 古 屋 大 学 プラズマ<br />
ナノ 工 学 研 究 センター<br />
61
掲 示 板<br />
第 7 回 プラズマエレクトロニクス 賞 受 賞 候 補 論 文 の 募 集<br />
“プラズマエレクトロニクス 賞 の 受 賞 候 補 論 文 募 集 要 項 ”<br />
応 用 物 理 学 会 プラズマエレクトロニクス 分 科<br />
会 では, 毎 年 ,プラズマエレクトロニクスに 関 す<br />
る 学 術 的 あるいは 工 業 的 に 価 値 のある 優 秀 な 論<br />
文 を 対 象 とし,その 著 作 者 に「プラズマエレクト<br />
ロニクス 賞 」を 贈 り 表 彰 を 行 っています。 候 補 論<br />
文 は 自 薦 ・ 他 薦 を 問 いません。 下 記 の 要 領 により,<br />
奮 ってご 応 募 下 さい。<br />
記<br />
授 賞 対 象 論 文<br />
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 が 主 催 する<br />
研 究 会 , 国 際 会 議 などで 発 表 され,かつ 2006 年 ,<br />
2007 年 ,2008 年 の 発 行 の 国 際 的 な 学 術 刊 行 物<br />
(JJAP など)に 掲 載 された 原 著 論 文 。 受 賞 者 は,<br />
表 彰 の 時 点 においてプラズマエレクトロニクス<br />
分 科 会 会 員 あるいは 応 用 物 理 学 会 会 員 とする。<br />
提 出 書 類<br />
以 下 の 書 類 各 1 部 ,およびそれらの 電 子 ファイ<br />
ル(PDF ファイル) 一 式<br />
● 候 補 論 文 別 刷 (コピーでも 可 , 第 1ページに<br />
候 補 論 文 と 朱 書 する。 関 連 論 文 があれば2 件<br />
以 内 の 別 刷 またはコピーを 添 付 )<br />
● 当 該 論 文 の 内 容 が 発 表 されたプラズマエレク<br />
トロニクス 分 科 会 が 主 催 する 研 究 会 , 国 際 会 議<br />
などの 会 議 録 などのコピー。2 件 以 内 。<br />
● 著 者 全 員 について 和 文 で 以 下 を 記 入 した 書 類<br />
氏 名 , 会 員 番 号 , 勤 務 先 ( 連 絡 先 )<br />
● 推 薦 書 ( 自 薦 , 他 薦 を 問 わず, 論 文 の 特 徴 ,<br />
優 れた 点 などを 400 字 程 度 でわかりやすく 記<br />
述 )<br />
表 彰<br />
2009 年 春 季 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会 期 間 中<br />
に 行 います。 受 賞 者 には 賞 状 および 記 念 品 を 贈 呈<br />
いたします。また 2009 年 秋 季 応 用 物 理 学 会 学 術<br />
講 演 会 期 間 中 に 記 念 講 演 を 依 頼 する 予 定 です。<br />
書 類 提 出 期 限<br />
2008 年 12 月 25 日 ( 木 ) 必 着<br />
書 類 提 出 先<br />
〒102-0073<br />
東 京 都 千 代 田 区 九 段 北 1-12-3 井 門 九 段 北 ビ<br />
ル5 階<br />
社 団 法 人 応 用 物 理 学 会 プラズマエレクトロ<br />
ニクス 分 科 会 幹 事 長<br />
( 封 筒 表 に「プラズマエレクトロニクス 賞 応<br />
募 」と 朱 書 )<br />
なお,プラズマエレクトロニクス 賞 規 定 につい<br />
ては,プラズマエレクトロニクス 分 科 会 のホーム<br />
ページ http://annex.jsap.or.jp/plasma/ を ご 覧 くだ<br />
さい。<br />
62
掲 示 板<br />
プラズマエレクトロニクス 関 連 会 議 日 程<br />
国 内 会 議<br />
2008 年 8 月 22 日<br />
フロンティアプロセス 2008<br />
産 業 技 術 総 合 研 究 所 つくば<br />
http://rdecw.nifs.ac.jp/frontier/<br />
2008 年 9 月 2 日 -9 月 5 日<br />
2008 年 秋 季 第 69 回 応 用 物 理 学 会 学 術 講 演 会<br />
中 部 大 学<br />
http://www.jsap.or.jp/index.html<br />
2008 年 9 月 24 日 -9 月 26 日<br />
第 2 回 プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール<br />
マキノパークホテル&セミナーハウス<br />
http://annex.jsap.or.jp/support/division/plasma/PE_files/PE_SS_2008/index.htm<br />
2008 年 9 月 20 日 -23 日<br />
日 本 物 理 学 会<br />
山 形 大 学 小 白 川 キャンパス( 素 核 宇 領 域 )<br />
岩 手 大 学 上 田 キャンパス( 物 性 領 域 )<br />
http://wwwsoc.nii.ac.jp/jps/<br />
2008 年 10 月 30 日 -10 月 31 日<br />
第 19 回 プラズマエレクトロニクス 講 習 会<br />
東 京 工 業 大 学 ( 大 岡 山 キャンパス) 百 年 記 念 館 3F フェライト 会 議 室<br />
http://annex.jsap.or.jp/support/division/plasma/<br />
2008 年 12 月 3 日 -12 月 4 日<br />
第 25 回 プラズマ・ 核 融 合 学 会 年 会<br />
栃 木 県 総 合 文 化 センター<br />
http://www.jspf.or.jp/jspf_annual08/<br />
2009 年 2 月 2 日 -2 月 4 日<br />
プラズマ 科 学 シンポジウム 2009/ 第 26 回 プラズマプロセシング 研 究 会 (PSS-2009/SPP-26)<br />
名 大 豊 田 講 堂 およびシンポジオン<br />
2009 年 3 月 30 日 -4 月 2 日<br />
2009 年 度 ( 平 成 21 年 ) 春 季 第 56 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会<br />
筑 波 大 学<br />
http://www.jsap.or.jp/activities/annualmeetings/regularmeeting.html<br />
63
国 際 会 議<br />
2008 年 7 月 22 日 -7 月 25 日<br />
ITER International Summer School(IISS-2008 & 第 47 回 プラズマ 若 手 夏 の 学 校<br />
九 州 大 学 筑 紫 キャンパス<br />
http://www.efda.org/usercases/iter_iss.htm<br />
2008 年 9 月 5 日 -9 月 6 日<br />
The International Interdisciplinary-Symposium on Gaseous and Liquid Plasmas (ISGLP 2008)<br />
仙 台 市 ホテルクレセント<br />
http://www.plasma.ecei.tohoku.ac.jp/ISGLP/<br />
2008 年 9 月 7 日 -9 月 12 日<br />
11th International Symposium Pressure, Low Temperature Plasma Chemistry (HAKONE XI),<br />
Oléron Island, France<br />
http://www.hakone11.univ-tlse.fr/<br />
2008 年 9 月 8 日 -9 月 12 日<br />
International Congress on Plasma Physics 2008 (ICPP2008)<br />
福 岡 国 際 会 議 場<br />
http://www.triam.kyushu-u.ac.jp/ICPP/index.html<br />
2008 年 9 月 15 日 -9 月 19 日<br />
11th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE 2008)<br />
Garmisch-Partenkirchen, Germany.<br />
http://www.pse2008.net/<br />
2008 年 10 月 8 日 -10 月 11 日<br />
9th Asia-Pasific Conference on Plasma Science and Technology and 21st Symposium on Plasma<br />
Science for Materials<br />
黄 山 (Huangshan), 中 国<br />
http://www.ipp.ac.cn/APCPST/2008APCPST.htm<br />
2008 年 10 月 13 日 -10 月 17 日<br />
61st Gaseous Electronics Conference 2008 (GEC2008)<br />
Dallas, Texas USA<br />
http://www.utdallas.edu/gec<br />
2008 年 10 月 19 日 -10 月 24 日<br />
AVS 55th International Symposium<br />
Boston, Massachusetts USA<br />
http://www.avs.org/<br />
64
2008 年 11 月 26 日 -11 月 28 日<br />
30th International Symposium on Dry Process (DPS 2008)<br />
コクヨホール<br />
http://www.dps2008.org/<br />
2008 年 12 月 9 日 -12 月 12 日<br />
IUMRS International Conference in Asia 2008 (IUMRS-ICA 2008)<br />
名 古 屋 国 際 会 議 場<br />
http://www.iumrs-ica2008.jp/index.html<br />
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編 集 後 記<br />
平 成 20 年 度 4 月 より,プラズマエレクトロニクス 分 科 会<br />
幹 事 長 が 畠 山 力 三 教 授 ( 東 北 大 学 )から 白 谷 正 治<br />
教 授 ( 九 州 大 学 )へと 引 き 継 がれ, 副 幹 事 長 には 藤 原<br />
伸 夫 氏 (( 株 )ルネサステクノロジ)および 白 藤 立<br />
教 授 ( 京 都 大 学 )が 就 任 いたしました。 幹 事 も 約 半 数 が<br />
入 れ 替 わり 新 しいスタートを 切 ることが 出 来 ました。<br />
ここにプラズマエレクトロニクス 分 科 会 会 報 <strong>No.48</strong>を<br />
お 届 けいたします。 本 誌 の 発 行 にあたり,ご 協 力 を<br />
頂 いた 皆 様 には, 分 科 会 幹 事 一 同 , 心 より 御 礼 申 し 上 げ<br />
ます。<br />
本 号 の 巻 頭 言 を 執 筆 して 頂 いた 高 村 秀 一 先 生 ( 愛 知<br />
工 業 大 学 )には,「 電 離 ガスに 関 するダイナミクスと<br />
静 電 流 体 力 学 の 構 築 に 向 けて」と 題 して,ご 自 身 の 研 究<br />
活 動 を 通 じて 得 た 研 究 の 醍 醐 味 をプラズマ 分 野 に 対 する<br />
期 待 や 展 望 を 織 り 交 ぜながらお 伝 え 頂 きました。 特 に<br />
若 手 研 究 者 の 皆 様 にとって 転 機 における 研 究 の 方 向 性<br />
など 今 後 の 研 究 活 動 の 指 針 として 興 味 を 持 って 頂 けると<br />
確 信 しております。<br />
また, 分 科 会 会 報 <strong>No.48</strong>では 新 しい 試 みとして, 学 生 の<br />
ためのページ「すぐに 役 立 つプラズマエレクトロニクス」<br />
の 連 載 を 新 設 いたしました。タイトルにも 表 現 されて<br />
いる 通 り,プラズマエレクトロニクスに 関 する 分 析 ・<br />
解 析 手 法 の 解 説 など 実 験 を 手 がける 際 にすぐに 役 立 つ<br />
基 礎 的 な 技 術 を 中 心 に 応 用 までを 連 載 していく 所 存 です。<br />
第 一 回 目 は, 佐 々 木 浩 一 教 授 ( 名 古 屋 大 学 )に「プラ<br />
ズマ 発 光 分 光 計 測 法 の 基 礎 」について 解 説 して 頂 きま<br />
した。ご 愛 読 どうぞよろしくお 願 いいたします。<br />
ここ 数 年 ,プラズマエレクトロニクスを 取 り 巻 く<br />
うねりは, 環 境 をはじめとしてバイオ 応 用 ,CNT, 境 界<br />
領 域 でのプラズマ 化 学 現 象 やマイクロプラズマなど 研 究<br />
分 野 を 超 えて 多 様 化 しており, 我 々の 生 活 の 根 底 を 成 す<br />
プラズマ 技 術 として 発 展 してきています。それに<br />
関 連 して, 本 号 では,プラズマ 技 術 の 社 会 への 還 元 を<br />
目 指 す 関 連 学 会 による 研 究 活 動 の 紹 介 として,「 大 気 圧<br />
プラズマ 流 による 人 間 環 境 保 全 技 術 に 関 する 研 究<br />
分 科 会 」の 活 動 を 野 崎 智 洋 助 教 ( 東 京 工 業 大 学 ),<br />
佐 藤 岳 彦 准 教 授 ( 東 北 大 学 )にご 執 筆 頂 きました。<br />
また, 会 議 報 告 や 行 事 案 内 に 目 を 通 すと, 広 い 分 野 に<br />
展 開 されたプラズマエレクトロニクスに 関 する 研 究<br />
活 動 を 包 括 ・ 融 合 し, 更 なる 進 展 に 結 びつける 試 みが<br />
見 られます。このように 大 きな 可 能 性 を 持 つプラズマ<br />
エレクトロニクス 分 野 の 情 報 源 として,また,ハンド<br />
ブックとして 本 誌 を 更 に 活 用 して 頂 けるよう 分 科 会 幹 事<br />
一 同 , 向 上 心 を 持 ち 努 力 して 参 りますので, 今 後 とも,<br />
ご 協 力 よろしくお 願 い 申 し 上 げます。<br />
( 平 成 20 年 度 会 報 編 集 担 当 : 村 山 , 大 竹 , 布 村 , 柳 生 )<br />
( 文 責 : 柳 生 )<br />
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 会 報 <strong>No.48</strong><br />
2008 年 6 月 30 日 発 行<br />
編 集 ・ 発 行 : 社 団 法 人 応 用 物 理 学 会<br />
プラズマエレクトロニクス 分 科 会<br />
幹 事 長 白 谷 正 治<br />
〒102-0073 東 京 都 千 代 田 区 九 段 北 1-12-3<br />
井 門 九 段 北 ビル 5 階<br />
(©2008 無 断 転 載 を 禁 ず)<br />
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