プラズマエレクトロニクス分科会会報 No.48 - 応用物理学会

プラズマエレクトロニクス 分 科 会 会 報 No.48
目 次
2008 年 ( 平 成 20 年 ) 6 月 発 行
幹 事 長 退 任 挨 拶 幹 事 長 退 任 のご 挨 拶 東 北 大 学 畠 山 力 三 1
幹 事 長 就 任 挨 拶 幹 事 長 就 任 にあたって 九 州 大 学 白 谷 正 治 3
寄 稿
「 電 離 ガスに 関 するダイナミクスと 静 電 流 体 力 学 の 構 築 に 向 けて」 愛 知 工 業 大 学 高 村 秀 一 5
第 6 回 プラズマエレクトロニクス 賞
受 賞 者 の 紹 介 名 古 屋 大 学 河 野 明 廣 7
「プラズマエレクトロニクス 賞 を 受 賞 して」 東 京 大 学 寺 嶋 和 夫 8
研 究 室 紹 介 (その42) 佐 賀 大 学 プラズマサイエンス 研 究 室 研 究 室 佐 賀 大 学 林 信 哉 10
関 連 学 会 における 研 究 活 動 の 紹 介
大 気 圧 プラズマ 流 による 人 間 環 境 保 全 技 術 に 関 する 研 究 分 科 会 東 京 工 業 大 学 野 崎 智 洋
東 北 大 学 佐 藤 岳 彦 13
【 新 連 載 !】 学 生 のためのページ すぐに 役 立 つプラズマエレクトロニクス
プラズマ 発 光 分 光 計 測 法 の 基 礎 名 古 屋 大 学 佐 々 木 浩 一 15
国 際 会 議 報 告
1st International Conference on
Plasma Nanotechnology & Science (IC-PLANTS2008) 名 古 屋 大 学 佐 々 木 浩 一 23
6th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing 大 阪 大 学 浜 口 智 志 24
International Workshop on Merging State of
the Art Plasma Science into New Technologies 名 古 屋 大 学 豊 田 浩 孝 25
Gaseous Electronics Conference 2007 (GEC2007) 京 都 大 学 斧 高 一 26
国 内 会 議 報 告
第 25 回 プラズマプロセシング 研 究 会 (SPP-25) 山 口 大 学 福 政 修 28
第 1 回 名 古 屋 大 学 プラズマナノ 工 学 スクール 名 古 屋 大 学 佐 々 木 浩 一 30
第 22 回 光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会 防 衛 大 学 明 石 治 朗
室 蘭 工 業 大 学 佐 藤 孝 紀 31
2008 年 春 季 第 55 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会 シンポジウム 報 告 京 都 大 学 江 利 口 浩 二 32
2008 年 春 季 第 55 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会 合 同 セッションD 名 古 屋 大 学 豊 田 浩 孝 34
2008 年 春 季 第 55 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会 合 同 セッションF 武 蔵 工 業 大 学 平 田 孝 道 35
2008 年 度 ( 平 成 20 年 度 )プラズマエレクトロニクス 分 科 会 幹 事 名 簿 37
2008 年 度 ( 平 成 20 年 度 )プラズマエレクトロニクス 分 科 会 幹 事 役 割 分 担 40
2008 年 度 ( 平 成 20 年 度 )プラズマエレクトロニクス 分 科 会 関 連 の 各 種 世 話 人 41
平 成 19 年 度 後 期 および 平 成 20 年 度 前 期 活 動 報 告 42
行 事 案 内
2008 年 秋 季 大 69 回 応 用 物 理 学 会 学 術 講 演 会 シンポジウム 京 都 大 学 江 利 口 浩 二 50
International Congress on Plasma Physics (ICPP2008) 九 州 大 学 佐 藤 浩 之 助 51
第 2 回 プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール 名 古 屋 大 学 上 坂 裕 之 52
61st Gaseous Electronics Conference 2008 (GEC2008) 名 古 屋 大 学 堀 勝 54
i

第 19 回 プラズマエレクトロニクス 講 習 会 産 業 技 術 総 合 研 究 所 布 村 正 太 56
30th International Symposium on Dry Process (DPS 2008) 名 古 屋 大 学 関 根 誠 57
IUMRS International Conference in Asia 2008 名 古 屋 大 学 高 井 治 58
プラズマ 科 学 シンポジウム2009(PSS-2009)
/ 第 26 回 プラズマプロセシング 研 究 会 (SPP-26) 名 古 屋 大 学 高 井 治 61
掲 示 板
第 7 回 プラズマエレクトロニクス 賞 公 募 会 告 62
プラズマエレクトロニクス 関 連 会 議 日 程 63
編 集 後 記 66
ii

幹 事 長 退 任 のご 挨 拶
東 北 大 学 大 学 院 工 学 研 究 科 畠 山 力 三
2006 年 4 月 に 河 野 明 廣 前 幹 事 長 の 後 任 として
就 任 し 本 年 2008 年 3 月 までの 2 年 間 の、 基 礎 ・
応 用 の 有 機 的 連 携 を 重 視 するプラズマエレクト
ロニクス 分 科 会 幹 事 長 の 大 任 を 何 とか 終 え、 無 事
退 任 させて 戴 きました。これも 偏 に、 節 原 裕 一 ・
大 岩 徳 久 両 副 幹 事 長 、 及 び 幹 事 各 位 の 献 身 的 なご
尽 力 、 並 びに 分 科 会 会 員 の 皆 様 方 、 学 会 事 務 局 の
伊 丹 様 のご 協 力 の 賜 物 でございます。この 場 を 借
りて 厚 く 御 礼 申 し 上 げます。
この2 年 間 の 大 きなトピックスとしては 先 ず、 応
用 物 理 学 会 講 演 会 におけるプラズマエレクトロ
ニクス 分 野 の 講 演 はこれまで「 放 射 線 ・プラズマ
エレクトロニクス」 大 分 類 の 一 部 として 行 われて
参 りましたが、2008 年 春 季 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講
演 会 よりプラズマエレクトロニクス 分 野 が 新 し
い 大 分 類 として 独 立 し、 大 分 類 番 号 8「プラズマ
エレクトロニクス」が 発 足 したことであります。
大 分 類 への 昇 格 は、 当 分 科 会 の 前 身 であるプラズ
マエレクトロニクス 研 究 会 が 発 足 した1985 年 か
ら 数 えて23 年 を 経 てのことであり、 長 年 にわたる
大 先 輩 諸 氏 並 びに 本 分 科 会 会 員 の 皆 様 の 地 道 な
ご 努 力 の 積 み 重 ねの 賜 物 と 感 謝 申 し 上 げます。ま
た、2007 年 「 応 用 物 理 」 創 刊 75 周 年 記 念 事 業 の 一
環 として、アカデミックロードマップ(ARM)「(プ
ラズマ・)プロセス 技 術 」の 作 成 に2 年 近 くに 亘
り 取 り 組 み、それを 一 先 ず 完 成 させたことであり
ます。 当 分 科 会 におけるこの 活 動 は、2005 年 まで
実 施 してきました「プラズマ 応 用 技 術 の 将 来 ビジ
ョン 研 究 会 」を 発 展 的 に 解 消 し、ARMを 通 してプ
ラズマエレクトロニクス 分 野 が 目 指 すべき 領 域 、
果 たす 役 割 を 明 確 化 し、 独 自 の「 将 来 ビジョン」
を 創 成 し 広 く 発 信 していくという 観 点 で 企 画 さ
れたものであります。 実 際 には、 関 根 誠 ARM 作 成
委 員 長 の 下 に 幹 事 が 中 心 となり 検 討 を 行 い、 計 測
技 術 、 制 御 技 術 、シミュレーション・モデリング
技 術 、Si・ 無 機 系 製 膜 技 術 、 有 機 ・C 系 製 膜 技 術 、
微 細 加 工 技 術 の6テーマについて、 横 軸 に2030 年
までの 年 代 、 縦 軸 にはシーズ 等 基 礎 研 究 ・ 生 産 応
用 技 術 開 発 ・ 製 品 応 用 アウトプットから 成 るサブ
及 びマインマップを 作 成 しました。 第 三 には、
2006 年 に 第 13 回 を 迎 えた 主 に 大 学 院 生 を 対 象 に
した「プラズマエレクトロニクスサマースクー
ル」に 幕 を 閉 じ、 我 が 国 古 来 の 寺 子 屋 講 座 と 受
講 者 参 加 型 の 人 材 育 成 プログラムの 構 築 、 及 び
更 なるプラズマプロセス 研 究 ネットワーキン
グの 進 展 を 目 的 に、 学 生 並 びに 若 手 研 究 者 を 対
象 として「 第 1 回 プラズマエレクトロニクスイ
ンキュベーションホール」を2007 年 に 新 たにス
タートしました。これにより、 企 業 の 中 堅 技 術
者 を 主 対 象 とした「プラズマエレクトロニクス
講 習 会 」との 相 補 性 が 更 に 明 確 化 されました。
一 方 、 当 分 科 会 の 中 核 事 業 「プラズマプロセシ
ング 研 究 会 」につきましては、2006 年 度 大 阪 開
催 では、 前 年 の 松 島 での 国 際 会 議 との 合 同 会 議 の
勢 いに 乗 り、 参 加 者 ・ 講 演 件 数 において 過 去 最 大
規 模 となりました。また、 続 く 山 口 での 2007 年
度 開 催 では 第 25 回 の 節 目 に 相 応 しい 発 足 当 初 か
らの 歴 史 的 経 緯 を 含 む 内 容 の 特 別 講 演 も 成 され、
これも 地 方 開 催 としては 最 大 規 模 の 盛 会 となり
ました。2010 年 には 米 国 の 気 体 放 電 現 象 とその 応
用 に 関 わる 基 礎 研 究 に 主 眼 を 置 く 会 議 (Gaseous
Electronics Conference, GEC)との 共 同 開 催 を 予 定
しており( 日 本 側 組 織 委 員 長 ・ 堀 勝 名 大 教 授 )、
当 研 究 会 における 近 年 の 一 連 の 上 昇 気 運 の 流 れ
で 臨 み 大 盛 会 を 期 待 しております。
さて、2 年 前 の 幹 事 長 就 任 時 に、 第 3 期 科 学 技
1

術 基 本 計 画 で 唱 えられている“ 産 学 官 連 携 の 深
化 ”、すなわち、 産 業 界 の 参 画 による 先 端 融 合 イ
ノベーション 創 出 拠 点 の 形 成 について、 産 業 界 と
密 接 な 協 働 のもとに 運 営 ・ 活 動 が 成 されています
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 関 連 研 究 活 動
が、これに 関 わるほどに 深 化 しているかどうか 非
常 に 気 になるところであります、と 述 べさせて 戴
きました。 現 状 では 確 かな 答 えを 提 示 する 状 況 に
至 っておりませんが、 前 述 の ARM 報 告 書 の 内 容
はこれに 呼 応 するポテンシャルを 有 しているこ
とを 強 くアピールしており、 例 えば 大 気 圧 やマイ
クロプラズマ、アトム・ナノ、バイオ、 自 己 組 織
化 等 のキーワードに 代 表 される 領 域 におけるプ
ラズマプロセス 技 術 には 今 後 に 多 いに 期 待 した
い 所 存 であります。また、 会 員 の 増 員 を 強 く 意 識
しつつプラズマエレクトロニクス 分 科 会 活 動 の
挑 戦 的 課 題 を 皆 様 と 共 に 模 索 していきたい 所 存
でございます、とも 述 べさせて 戴 きましたが 言 う
は 易 しで、 幾 ばくかの 工 夫 をしつつも 実 際 の 会 員
数 は 現 状 維 持 というところで 心 残 りの 感 がござ
います。
最 後 になりましたが、 益 々の 応 用 の 拡 がりを 見
せつつある 当 該 分 野 の 基 礎 及 び 応 用 に 携 わる 研
究 者 ・ 技 術 者 に、 研 究 推 進 に 必 須 の 交 流 の 場 を 提
供 すべくプラズマエレクトロニクス 分 科 会 が、 新
進 気 鋭 の 白 谷 正 治 新 幹 事 長 のもと 今 後 一 層 発 展
されますことを 祈 念 致 しまして、 幹 事 長 退 任 のご
挨 拶 とさせて 戴 きます。
2

幹 事 長 就 任 にあたって
九 州 大 学 大 学 院 システム 情 報 科 学 研 究 院 白 谷 正 治
この 度 , 大 変 光 栄 にも 平 成 20,21 年 度 のプ
ラズマエレクトロニクス 分 科 会 の 幹 事 長 を 仰 せ
つかりました。 分 科 会 と 分 科 会 会 員 の 皆 様 のため
に 全 力 を 尽 くしますので,よろしくお 願 い 申 し 上
げます。
分 科 会 の 運 営 につきましてはこれまでの 良 き
伝 統 を 受 け 継 ぎつつ,さらなる 活 性 化 を 進 め, 産
業 を 念 頭 においたプラズマの 基 礎 と 応 用 に 関 す
る 研 究 の 世 界 的 中 心 でありつづけるように 努 力
いたします。
春 季 及 び 秋 季 応 用 物 理 学 会 は、プラズマ 応 用 に
関 する 研 究 発 表 が 行 われる 国 内 最 大 の 学 会 であ
り、プラズマの 発 生 ・ 制 御 ・ 計 測 及 び 応 用 技 術 に
関 する 6 つのセッションの 他 、 薄 膜 ・ 表 面 、 非 晶
質 、ビーム 応 用 などの 他 の 分 科 会 との 3 つの 合 同
セッションと 特 定 テーマに 絞 ったシンポジウム
が 開 催 されます。 応 用 物 理 学 会 の 講 演 分 類 の 15
中 13 までがデバイスや 材 料 等 の 出 口 を 中 心 に 構
成 されており, 唯 一 プラズマのみが 作 製 技 術 でま
とめられています。さらに,プラズマ 応 用 技 術 は,
プラズマ 以 外 の 14 大 分 類 のほぼ 全 てに 使 用 され
ており, 極 めて 広 範 なデバイスと 材 料 に 関 わる 分
野 横 断 技 術 として 発 展 しています。 特 に, 当 分 科
会 に 貢 献 されてきた 京 都 大 学 の 橘 先 生 が 代 表 と
なり 推 進 された 特 定 領 域 『プラズマを 用 いたミク
ロ 反 応 場 の 創 成 とその 応 用 』で, 橘 先 生 を 初 めと
する 関 係 者 が 様 々な 新 しい 試 みを 行 った 結 果 , 新
しいプラズマ 応 用 が 創 成 されたり,マイクロプラ
ズマの 発 生 と 応 用 に 関 する 講 演 数 が 大 幅 に 増 え
るなど, 当 分 科 会 にも 非 常 に 良 い 効 果 が 現 れてい
ます。 春 の 応 用 物 理 学 会 のシンポジウムで 世 界 に
先 駆 けて 得 られた 素 晴 らしい 成 果 の 一 端 が 紹 介
されたのは 記 憶 に 新 しいところです。
また, 畠 山 前 幹 事 長 のもとで 名 古 屋 大 学 の 関 根
先 生 を 中 心 にかなりの 労 力 を 費 やしてプラズ
マ・プロセス 関 連 のアカデミックロードマップが
まとめられ,http://www.jsap.or.jp/jsap75/academic_
roadmap.html に 公 表 されています。 今 後 の 研 究 展
開 を 考 えるうえで 参 考 になるものと 思 います。
さて 本 年 度 より, 会 員 へのサービス 充 実 を 目 指
して, 次 の3つの 新 しい 試 みを 開 始 しました。こ
れらを 積 極 的 に 御 活 用 いただきますようにお 願
いいたします。
1) 春 ・ 秋 の 学 術 講 演 会 において, 少 し 以 前 の 重
要 な 仕 事 を 御 講 演 いただく, 分 科 内 総 合 講 演 を 継
続 的 に 企 画 いたします。 関 連 分 野 の 日 本 の 重 要 論
文 がきちんと 引 用 される 一 助 になることも 期 待
しております。
2) 深 い 議 論 を 行 う 場 を 提 供 するプラズマ 新 領 域
研 究 会 を 年 3 回 程 度 開 催 いたします。 本 企 画 は,
1プラズマに 関 連 する 新 しい 研 究 領 域 の 創 成 ,2
若 手 研 究 者 の 育 成 ,3 地 方 での 議 論 の 場 の 提 供 を
意 図 して 企 画 しております。 出 来 るだけ, 異 分 野
の 研 究 者 を 招 待 して 十 分 な 議 論 が 行 える 場 を 提
供 いたします。
3) 学 生 および 初 学 者 へのサービスとして, 分 科
会 会 報 に「すぐに 役 立 つプラズマエレクトロニク
ス」の 連 載 を 行 います。 分 科 会 ではインキュベー
ションホールや 講 習 会 で 教 育 ・ 講 習 の 場 を 提 供 し
ておりますが,これらに 参 加 できない 会 員 の 方 々
にも 役 立 つものと 期 待 しております。
さらに,2010 年 10 月 4 日 から 10 月 8 日 まで
ICRP とGECの 共 催 の 国 際 会 議 をパリの Maison de
La Chimie で 開 催 する 準 備 を 開 始 しました。 多 く
の 会 員 の 方 々が 参 加 することが 成 功 の 必 要 条 件
ですので, 少 し 先 のこととなりますが,よろしく
3

お 願 い 申 し 上 げます。
白 藤 副 幹 事 長 , 藤 原 副 幹 事 長 , 幹 事 の 方 々, 学
会 事 務 局 ( 特 にプラズマエレクトロニクス 分 科 会
担 当 の 伊 丹 様 )の 御 協 力 のもとに, 会 員 の 皆 様 に
十 分 なサービスを 提 供 すべく 努 力 していきます。
御 提 案 やコメント 等 は, 私 をはじめ 幹 事 の 方 々に
お 知 らせ 頂 ければ 幸 いです。 一 方 では, 幹 事 の
方 々は 貴 重 な 個 人 の 時 間 と 労 力 を 自 発 的 に 分 科
会 の 運 営 に 御 提 供 いただいていることも 御 理 解
いただけたらと 存 じます。
最 後 になりますが, 活 力 ある 分 科 会 でありつづ
けるためには, 個 々の 会 員 の 優 れた 研 究 と 学 会 等
での 活 発 な 議 論 が 基 本 です。 会 員 の 皆 様 と 協 力 し
ながら, 分 科 会 の 発 展 に 尽 力 しますので,よろし
くお 願 い 申 し 上 げます。
4

寄 稿
電 離 ガスに 関 するダイナミクスと 静 電 流 体 力 学 の 構 築 に 向 けて
愛 知 工 業 大 学 工 学 部 電 気 学 科 高 村 秀 一
編 集 担 当 の 方 々より 寄 稿 文 を 書 きなさいとい
うご 要 請 に 対 して、 簡 単 に「はい」と 答 えてしま
った 後 、 期 限 が 迫 ってきて 苦 しんでいるところで
す。 昨 年 3 月 に 定 年 を 迎 えたこともあり、これま
でのプラズマ・ 放 電 科 学 を 振 り 返 ると 共 に、 定 年
後 愛 工 大 に 奉 職 したのを 機 に、 今 後 の 展 望 につい
て 勝 手 な 私 見 を 述 べることによって、 本 責 務 を 果
たしたい。
金 沢 大 学 工 学 部 在 学 中 に 固 体 物 性 に 興 味 を 抱
き、 関 連 の 解 説 書 など 読 みあさっている 中 で、 久
保 亮 五 、 永 宮 健 夫 両 先 生 編 集 の「 固 体 物 理 の 歩 み」
( 岩 波 書 店 、1962 年 )の 中 で 永 宮 先 生 が、 将
来 的 に 多 体 問 題 の 重 要 性 を 指 摘 されていたこと
が、 以 後 の 小 生 の 科 学 に 対 する 考 え 方 に 大 きく 影
響 を 与 えた。 縁 あって 名 古 屋 大 学 工 学 研 究 科 に 修
士 課 程 の 院 生 として 入 ることができ、これがプラ
ズマ 理 工 学 研 究 の 出 発 点 となった。プラズマ 物 理
の 学 術 体 系 の 美 しい 光 の 影 で、 名 大 で 研 究 者 の 多
かった「 放 電 」の 分 野 を 横 目 で 見 ながらここに 深
くはいることはなかった。 浅 学 のため、 経 験 的 で
現 象 論 のみが 放 電 の 姿 として 見 えてしまったた
めである。
イオン 波 や 低 域 混 成 波 などのプラズマ 波 動 に
のめり 込 んでいったが、 一 方 で 所 属 する 山 本 賢
三 ・ 奥 田 孝 美 両 先 生 の 合 同 研 究 室 における 主 要 課
題 である 核 融 合 プラズマに 次 第 に 強 く 惹 かれて
いった。エネルギー 問 題 に 対 する 意 識 が 背 景 にあ
ることは 今 もって 変 わらない。 電 子 が 主 体 となる
プラズマより、イオンが 絡 む 波 動 を 対 象 にしたの
も、 核 融 合 から 近 い 位 置 にいたいという 思 いの 反
映 であった。 早 くより 奥 田 先 生 は 磁 気 ダイバータ
の 重 要 性 に 気 づき、いろいろなアイデアを 考 えら
れていたようである。そのような 環 境 の 下 、プラ
ズマ 波 動 研 究 が 一 段 落 した 後 、 境 界 領 域 プラズマ
や 周 辺 プラズマの 将 来 的 重 要 性 を 直 感 的 に 強 く
予 感 した。これが 国 際 熱 核 融 合 実 験 炉 計 画 (ITER)
関 連 活 動 に 参 画 する 契 機 となった。ダイバータ・
SOL 物 理 やプラズマ 熱 ・ 粒 子 制 御 に 関 する 課 題 は
学 術 的 にも 研 究 者 の 知 的 好 奇 心 を 強 く 刺 激 した。
ITER の 概 念 設 計 活 動 (CDA)に 際 しては 間 接 的
に、そして 工 学 設 計 活 動 (EDA)では 物 理 R&D
活 動 には 可 能 な 限 りその 会 合 に 出 席 した。 国 際 ト
カマク 物 理 活 動 (ITPA)となってからも 微 力 なが
ら ITER Physics Basis (1999)や 昨 年 完 成 した
Progress in the ITER Physics Basis (2007)にも 寄
与 させてもらった。 昨 年 10 月 に ITER 機 構 が 正
式 に 発 足 したことは 私 にとっても 大 変 うれしい
ことであった。
プラズマ- 壁 相 互 作 用 (PWI)が 大 学 の 講 座 規
模 での 研 究 でも 核 融 合 に 関 わることを 可 能 なら
しめたのではと 思 う。そこでは 低 温 反 応 性 プラズ
マにおけるプラズマ- 表 面 相 互 作 用 (PSI)と 学
問 的 に 共 通 の 側 面 が 多 くあることも 強 く 認 識 し、
両 者 の 連 携 を 訴 えた。この 状 況 は 今 も 変 わらない
のではないかと 考 えているが 如 何 であろうか。
さて、プラズマ 物 理 のめざましい 発 展 は 高 温 炉
心 プラズマや 宇 宙 プラズマを 舞 台 に 花 咲 いてい
った。もちろん 反 応 性 プラズマにおいても 然 りで
あろう。そういう 中 で 将 来 に 向 けてもう 少 し 別 の
舞 台 がないであろうかと 思 案 していた。 折 しも 名
大 工 学 研 究 科 複 合 専 攻 として 小 生 の 所 属 するエ
ネルギー 理 工 学 専 攻 の 将 来 像 を 議 論 する 中 で、 化
学 工 学 との 接 点 ・ 異 分 野 融 合 という 視 点 から「プ
ラズマ 支 援 燃 焼 」に 注 目 し、 調 査 すると 共 に 一 部
5

研 究 が 開 始 された。これはプラズマ 理 工 学 の 新 し
いフロンティアの 一 つとして 育 っていって 欲 し
いと 期 待 している。 一 方 で 大 気 圧 高 周 波 誘 導 熱 プ
ラズマの 生 成 において、 点 火 に 至 るダイナミクス
として、ストリーマの 生 成 ・ 合 体 が 高 速 カメラで
捉 えられ、 放 電 現 象 として 興 味 深 い 話 題 を 提 供 す
ることができた。 上 層 大 気 圏 におけるスプライト
放 電 の 下 部 でも 同 様 の 現 象 が 見 い 出 されており、
この 方 面 の 分 野 との 関 わりという 展 開 も 生 まれ
てきている。これらにおける 共 通 点 は 大 気 圧 ある
いはそれに 近 い 環 境 下 の 現 象 である。 大 学 院 で 放
電 の 横 を 通 り 過 ぎてしまった 小 生 にはここへ 回
帰 する 定 めにあったのかもしれない。
愛 知 工 業 大 学 に 移 ってからは、 静 大 の 神 藤 先 生
のご 協 力 を 得 て、 大 気 圧 マイクロ 波 放 電 プラズ
マ・ジェットの 生 成 に 取 り 組 み 始 めて 今 に 至 って
いる。 多 くの 卒 研 生 と 共 に 高 速 カメラでジェット
の 動 きを 撮 像 し、 図 らずも 彼 らはアルゴンプラズ
マ・ジェットにおいて 螺 旋 状 の 構 造 を 見 いだし、
動 作 ガスがヘリウムでは 脈 動 現 象 を 発 見 した。こ
れらは 私 にとっては 学 生 教 育 の 冥 利 に 尽 きるこ
とであった。 螺 旋 構 造 の 伝 搬 については 流 体 力 学
の 専 門 家 との 共 同 研 究 により、 速 度 剪 断 層 に 現 れ
る 乱 流 の 発 展 結 果 であることがわかってきた。ヘ
リウムの 場 合 の 挙 動 については 未 解 明 である。ま
た、ヘリウム 放 電 点 火 の 際 には 放 電 構 造 分 岐 や 遷
移 過 程 も 見 いだされ、これらが、「 電 離 ガスの 静
電 流 体 力 学 」として 発 展 していく 出 発 点 になるの
ではないかと 希 望 を 持 っている。
期 を 同 じくして、 京 大 の 岸 本 泰 明 先 生 が 放 電 に
おける 爆 発 現 象 に 注 目 され、 雷 放 電 や 前 述 のスプ
ライトそしてエンジンの 着 火 過 程 等 において 共
通 に 観 測 される 放 電 ダイナミクスを 素 過 程 から
数 値 シミュレーションで 再 現 すること 等 を 通 し
て 新 しい 放 電 物 理 の 構 築 を 掲 げられ、 研 究 会 やシ
ンポジウムを 精 力 的 に 企 画 され、 議 論 を 発 展 させ
つつある。ここにいたって「 放 電 」は 新 しい 息 吹
を 吹 き 込 まれつつあり、 実 に 新 鮮 な 響 きを 与 えて
いると 感 ずるのは 私 だけであろうか。
最 近 大 気 圧 グロー 放 電 がその 非 平 衡 性 と 反 応
性 から 関 連 特 集 が 応 用 物 理 学 会 誌 やプラズマ・ 核
融 合 学 会 誌 で 取 りあげられている。しかしプラズ
マ 生 成 の 手 法 や 応 用 面 に 力 点 が 置 かれているの
は 世 の 要 請 なのであろう。 理 論 やモデリングに 関
わる 面 が 少 ないのは 残 念 ことである。 山 本 賢 三 先
生 にそのような 話 を 申 し 上 げたところ、 後 日 、 管
内 低 気 圧 グロー 放 電 陽 光 柱 と 自 由 空 間 のアーク
柱 の 中 間 に 位 置 する 大 気 中 のグロー 放 電 ( 陽 光
柱 )に 関 する 先 生 単 名 の 論 文 「 器 壁 のない 放 電 陽
光 柱 の 理 論 I,II」 電 気 工 学 論 文 集 (1951)、pp.87-98
のコピーが 送 られてきた。モデリングによる 統 一
理 論 の 提 案 であった。 十 分 理 解 はできていないが、
このような 力 強 い 解 析 は 最 近 少 なくなってしま
ったのではないか。 大 気 圧 放 電 が 応 用 面 のみなら
ず 学 問 体 系 として 発 展 していくことを 切 に 願 う
ばかりである。このような 原 稿 をいったん 書 き 終
わった 土 曜 日 に 東 北 大 学 理 学 部 福 西 研 出 身 で、 岸
本 研 にてポスドクをやり、4 月 から 名 大 の STE 研
のポスドクをやっている 平 木 さんが 愛 工 大 の 小
生 の 研 究 室 を 訪 れてくれて、ストリーマやリーダ
の 要 素 シミュレーションを 開 始 した 様 子 を 話 し
てもらったときには 因 縁 めいた 喜 びを 感 じてし
まった。
誤 解 を 顧 みず、 勝 手 な 私 見 を 披 露 して 大 変 恐 縮
ですが、プラズマエレクトロニクス 分 科 会 の 特 に
若 い 会 員 諸 君 に 少 しでも 参 考 になれば 望 外 の 喜
びです。
6

第 6 回 プラズマエレクトロニクス 賞
受 賞 者 の 紹 介
名 古 屋 大 学 河 野 明 廣
第 6 回 プラズマエレクトロニクス 賞 に 関 しまし
て、 応 募 論 文 4 編 につき、 同 賞 選 考 委 員 会 にて、
プラズマエレクトロニクス 分 野 における 研 究 の 独
創 性 、 学 術 的 あるいは 工 業 的 価 値 、およびその 発
展 性 につきまして 慎 重 に 審 議 をいたしました。そ
の 結 果 、 下 記 のとおり、1 編 の 研 究 論 文 を 対 象 に
表 彰 を 行 うことを 決 定 いたしました。また, 本 表
彰 において,2008 年 春 季 第 55 回 応 用 物 理 学 関 係
連 合 講 演 会 期 間 中 の 3 月 29 日 に 表 彰 式 が 行 われ
ました。なお、 本 年 度 のプラズマエレクトロニク
ス 賞 選 考 委 員 会 は、 下 記 の 委 員 をもって 構 成 され
ました。
委 員 長 河 野 明 廣 ( 名 古 屋 大 学 )
副 委 員 長 畠 山 力 三 ( 東 北 大 学 )
委 員 節 原 裕 一 ( 大 阪 大 学 )
委 員 大 岩 徳 久 ( 東 芝 セミコンダクター 社 )
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 が 主 催 する 研 究
会 ・ 国 際 会 議 等 での 発 表
会 議 名 : 第 6 回 反 応 性 プ ラ ズ マ 国 際 会 議 /
第 23 回 プラズマプロセシング 研 究 会
論 文 名 : Deposition of carbon system by using
non-equilibrium plasmas generated in supercritical
fluid
著 者 名 : Takaaki Tomai, Hirotake Kubo, Ken Katahira,
Yoshiki Shimizu, Takeshi Sasaki,
Naoto Koshizaki and Kazuo Terashima
受 賞 者 ( 受 賞 対 象 論 文 の 著 者 )
寺 嶋 和 夫 ( 東 京 大 学 ), 笘 居 高 明 ( 東 京 大 学 )
片 平 研 ( 東 京 大 学 ), 久 保 宏 丈 ( 東 京 大 学 )
清 水 禎 樹 ( 産 業 技 術 総 合 研 究 所 )
佐 々 木 毅 ( 産 業 技 術 総 合 研 究 所 )
越 崎 直 人 ( 産 業 技 術 総 合 研 究 所 )
記
受 賞 対 象 論 文
論 文 名 : Carbon materials syntheses using dielectric
barrier discharge microplasma in supercritical
carbon dioxide environments
雑 誌 名 : The Journal of Supercritical Fluids 41
(2007) 404-411
著 者 名 : Takaaki Tomai, Ken Katahira, Hirotake
Kubo, Yoshiki Shimizu, Takeshi Sasaki,
Naoto Koshizaki, Kazuo Terashima
受 賞 理 由
受 賞 者 らは、 気 体 と 液 体 の 中 間 状 態 である 超 臨
界 流 体 における 放 電 現 象 に 着 目 し、その 環 境 下 で
のマイクロプラズマの 生 成 と 物 性 の 研 究 を 世 界 に
先 駆 けて 推 進 してきた。 本 論 文 では、 超 臨 界 流 体
CO 2 マイクロプラズマを 誘 電 体 バリア 放 電 によっ
て 発 生 し、 新 材 料 プロセシングを 意 図 して、 放 電
環 境 の 高 圧 力 化 と 低 温 化 により、 分 子 の 密 度 増 大
と 揺 動 増 強 並 びにクラスター 化 が 促 進 される CO 2
の 臨 界 点 近 傍 において、 優 先 的 にナノカーボンが
合 成 されることを 初 めて 見 出 した。これらは、 圧
力 領 域 、 温 度 領 域 、 空 間 領 域 における 新 たなプラ
ズマ 応 用 の 方 向 性 を 切 り 拓 く 意 欲 的 ・ 独 創 的 な 試
みであり、プラズマエレクトロニクス 分 野 の 発
展 に 貢 献 するところが 大 きいと 期 待 される。
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プラズマエレクトロニクス 賞 を 受 賞 して
東 京 大 学 新 領 域 創 成 科 学 研 究 科 寺 嶋 和 夫
このたびは 第 6 回 プラズマエレクトロニクス 賞
を 賜 り、 共 同 研 究 者 ( 受 賞 者 )である 東 京 大 学 ・
寺 嶋 研 究 室 の 笘 居 高 明 博 士 ( 現 ;カリフォルニア
大 バークレー 校 )、 片 平 研 氏 ( 現 ;ソニー 九 州 )、
久 保 裕 丈 氏 ( 現 ;AT カー 二 ―)、 産 業 技 術 総 合 研
究 所 ・ 越 崎 グループの 清 水 禎 樹 博 士 、 佐 々 木 毅 博
士 、 越 崎 直 人 博 士 ともども、たいへんな 栄 誉 なこ
とと 心 から 喜 ぶとともに、 本 賞 の 運 営 に 関 わられ
た 関 係 の 先 生 方 に 感 謝 する 次 第 です。また、 歴 代
の 本 賞 を 受 賞 されたご 高 名 の 先 生 方 のお 名 前 のリ
ストを 見 るにつけ、たいへん 身 が 引 きしまる 思 い
であり、 今 後 のさらなる 飛 躍 を 目 指 し、 一 層 の 努
力 の 覚 悟 を 新 たにしております。
この 研 究 は、16 年 前 、 寺 嶋 がスイス・バーゼル
大 学 固 体 物 理 研 究 所 でのサバテイカル 中 に 構 想 し
ました“ 微 小 空 間 (ナノスペース)でのプラズマ
科 学 技 術 の 創 成 ”( 図 1をご 参 考 に)の 一 環 として
進 めてきました“ 超 臨 界 流 体 プラズマ 科 学 技 術 の
創 成 “の 研 究 のなかの、 臨 界 点 近 傍 での 物 質 合 成
の 特 異 性 について 議 論 したものです。 超 臨 界 流 体
のように 数 百 気 圧 にも 達 する 高 気 圧 環 境 下 で、 一
般 に 数 百 ℃ 以 下 の 臨 界 温 度 程 度 の 温 度 の 非 平 衡 プ
ラズマを 発 生 するためには、” 微 小 空 間 プラズマ 技
術 “が 欠 かすことのできない 基 盤 技 術 になってい
ます。この 技 術 を 駆 使 し、1 時 間 以 上 もの 安 定 的
なプラズマの 発 生 を 行 い、 臨 界 点 近 傍 で、カーボ
ンナノチューブなどのカーボンナノ 物 質 を 難 反 応
性 物 質 である 二 酸 化 炭 素 CO 2 を 原 料 にして 室 温
合 成 に 成 功 し、その 密 度 揺 らぎと 関 連 付 けたもの
が 本 論 文 であります。
超 臨 界 流 体 とは、 物 質 固 有 の 臨 界 点 以 上 の 温
度 ・ 圧 力 状 態 にある 物 質 状 態 であり、 巨 視 的 には
液 相 と 気 相 の 中 間 状 態 を 示 し、 高 密 度 、 高 拡 散 性 、
高 溶 解 度 を 有 することから、 抽 出 、 廃 棄 物 処 理 、
ナノ 物 質 ・ 構 造 作 製 など、 多 岐 の 渡 る 分 野 におい
て、その 応 用 研 究 ・ 実 用 化 が 進 められてきました。
これらの 優 れた 反 応 プロセス 特 性 は、 超 臨 界 流 体
中 のミクロな 流 体 構 造 、 分 子 クラスタリングに 起
因 しており、さらに 臨 界 点 付 近 においては、 分 子
間 力 と 熱 運 動 の 拮 抗 により、ピコ 秒 のタイムスケ
ールで 分 子 同 士 が 集 合 ・ 離 散 を 繰 り 返 すことで、
密 度 揺 らぎが 生 じるため、プロセス 反 応 速 度 や 反
応 選 択 率 の 増 大 といったプロセス 反 応 の 特 異 性 が
現 れることが 知 られています。
このように、 微 視 的 には、 液 相 的 なクラスター
構 造 と 気 相 的 な 単 分 子 構 造 とが 局 所 的 に 共 存 する、
“ナノ 空 間 での 気 液 混 合 相 ”ともいえる 超 臨 界 流
体 中 でのプラズマは、まさに、 近 年 、 東 北 大 学 の
畠 山 力 三 先 生 、 名 古 屋 大 学 の 高 井 治 先 生 らが 精 力
的 に 研 究 を 進 められている 液 相 プラズマ(ソリュ
ーションプラズマ)の 空 間 的 な 極 限 状 態 であり、
21 世 紀 ナノテク 時 代 にふさわしい“ 新 規 の 液 相
プラズマ”と 位 置 づけられています。
図 1 微 小 空 間 (ナノスペース)プラズマの 研 究 は、バー
ゼル 大 学 Guentherod 先 生 の 研 究 室 、とりわけ、 共 同 研 究
者 である L.Howald 博 士 ( 現 ;Nanosurf AG)の 有 する 走 査
トンネル 顕 微 鏡 (SPM) 技 術 を 駆 使 してのスタートでした。
写 真 は 右 から SPM の 発 明 者 の 一 人 である Ch.Gerber 博
士 ( 元 IBM チューリッヒ; 現 バーゼル 大 学 客 員 教 授 )、 寺
嶋 研 究 室 ・ 博 士 3 年 生 ・ 野 間 由 里 さん、 宮 副 裕 之 さん。
野 間 さんの 手 には、 本 研 究 のもとになった 世 界 で 最 初 に
原 子 像 を 観 察 した SPM 装 置 ( 撮 影 ;バーゼル 大 学 にて)。
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また、 上 智 大 学 の 岡 崎 幸 子 先 生 、 小 駒 益 弘 先 生 が
世 界 に 先 駆 けて 新 しい 道 を 切 り 開 かれた 我 が 国 が
誇 る 大 気 圧 非 平 衡 プラズマを 端 緒 にして 発 展 を 続
ける、 高 密 度 媒 質 プラズマの 新 たな 局 面 を 開 くも
のとしても、プラズマ 科 学 技 術 の 立 場 から 皆 様 方
に 期 待 していただいています。
さらにまた、 物 質 科 学 一 般 の 立 場 からも、
1イオン 性 の 固 体 の 科 学 である“ 固 体 イオニクス”、
2イオン 性 の 液 体 の 科 学 である“ 液 体 イオニクス”、
3イオン 性 の 気 体 の 科 学 である“ 気 体 イオニクス”、
(まさにプラズマ!)に 続 く、
4 第 4 の 物 質 相 である 超 臨 界 流 体 ( 釈 明 !プラズ
マのご 専 門 の 皆 様 の 前 で 恐 縮 ですが、 物 質 科 学 的
には 固 体 、 液 体 、 気 体 に 続 く 物 質 の 相 図 に 載 って
いる 第 4 の 状 態 はプラズマではなく 超 臨 界 流 体 と
なっています)のイオン 科 学 として 位 置 づけられ、
現 在 、” 超 臨 界 流 体 プラズマ“と 私 どもが 名 付 けて
いる 本 状 態 が、” 超 臨 界 流 体 イオニクス“として 広
く 認 知 され、 広 義 の 意 味 でのイオン 科 学 (あるい
は 電 気 化 学 )の4 大 分 野 の 中 の 一 つとして 物 質 科
学 の 一 般 的 な 教 科 書 に 記 述 される 日 を 目 指 して、
微 力 ではございますが 貢 献 できれば 幸 いです。
2 年 間 ものスイスでのサバテイカル 生 活 をお 許
し 戴 き、わけもわからない 研 究 に 耳 を 傾 け、 貴 重
なご 助 言 を 戴 きました 東 京 大 学 の 吉 田 豊 信 先 生 に
深 く 感 謝 いたします。また、Father of Microplasma
と 呼 ばれ、 長 年 にわたり、ご 指 導 いただいてきま
した 京 都 大 学 の 橘 邦 英 先 生 には、ただただ 感 謝 す
るばかりでお 礼 の 言 葉 も 尽 きません。その 他 、 応
用 物 理 学 会 をはじめとする 各 種 の 学 会 、 研 究 会 を
通 じて 多 くの 先 生 方 、 会 社 の 皆 様 のご 教 授 、ご 援
助 を 戴 きましたこと 心 より 感 謝 いたします。さら
にまた、 伊 藤 剛 仁 博 士 ( 現 ; 大 阪 大 学 )をはじめ
とする 本 研 究 の 礎 を 築 いてくださった 歴 代 の 寺 嶋
研 究 室 の 学 生 の 皆 さんにもお 礼 申 し 上 げます。
さて、 東 京 大 学 の 工 学 系 研 究 科 から 現 在 の 新 領
域 創 成 科 学 研 究 科 に 移 り、 寺 嶋 研 究 室 を 本 格 的 に
立 ち 上 げてから 早 くも 10 年 が 過 ぎようとしてい
ます。さらなるプラズマ 科 学 技 術 の“ 新 領 域 ”の
開 拓 を 研 究 室 の 使 命 として 研 究 に 励 んでおります。
その 新 しい 研 究 領 域 の 一 つとして、 私 どもが“ク
ライオプラズマ”と 呼 ぶ、 超 臨 界 流 体 プラズマと
並 んで、 精 力 的 に 研 究 を 進 めている 新 規 のプラズ
マを 僭 越 ながらご 紹 介 し、 結 びとさせていただき
ます。
従 来 より、 極 低 温 下 におけるイオンや 電 子 、 活
性 種 の 振 る 舞 いを 調 べるため、 極 低 温 雰 囲 気 での
プラズマの 発 生 ・ 診 断 に 関 する 研 究 がなされてき
ました。しかしながら、それらは 液 体 窒 素 や 液 体
ヘリウム 温 度 (77K,4K) 付 近 のみに 焦 点 を 当 てたも
のであり、 室 温 から 連 続 的 に 極 低 温 まで 温 度 を 変
化 ・ 制 御 させている 研 究 、また、プロセスなどへ
の 応 用 研 究 は 殆 ど 皆 無 でありました。このような
背 景 のもと、 私 どもの 研 究 室 では 従 来 の、1 熱 プ
ラズマ( 数 千 ~ 数 万 K)、2 低 温 プラズマ( 室 温 ~
数 千 K)に 続 く、ガス 温 度 を 室 温 から 室 温 以 下 ( 現
在 は5K まで)まで 連 続 的 に 変 化 ・ 制 御 させた 第
3のガス 温 度 領 域 のプラズマである、クライオプ
ラズマ 研 究 に 着 手 しております。 今 後 、 従 来 のプ
ラズマとは 異 なるクライオプラズマ 特 有 の 物 性 発
現 ( 図 2をご 参 照 )と、 熱 的 損 傷 が 鍵 となるバイ
オマテリアルなどへの 新 規 プロセス 応 用 を 期 待 し
ております。このプラズマの 発 生 にもまた、 超 臨
界 流 体 プラズマと 同 様 に、 比 表 面 積 の 大 きさから
環 境 適 合 性 ( 親 和 性 )が 非 常 に 高 いという 特 長 を
有 する 微 小 空 間 プラズマの 技 術 が 十 二 分 に 駆 使 さ
れております。 今 後 の 展 開 が 楽 しみです。
これからも、 一 層 の、ご 指 導 、ご 鞭 撻 のほど、
宜 しくお 願 い 申 し 上 げます。
図 2クライオ DBD プラズマの 放 電 形 態 のガス 温 度 依 存 性
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研 究 室 紹 介
佐 賀 大 学 ・ 大 学 院 工 学 系 研 究 科
プラズマサイエンス 研 究 室 林 信 哉
1. はじめに
研 究 室 紹 介 の 原 稿 依 頼 をお 受 けして 記 事 を 書 き
つつあるのですが, 私 の 研 究 室 は 正 式 な 研 究 室 で
はなく,2, 3 の 研 究 室 から 構 成 される 講 座 内 から
プラズマに 興 味 がある 学 生 が 集 まり 研 究 している
といった 状 態 です.よって, 研 究 室 と 言 うよりも
研 究 グループとご 理 解 下 さい.
2. 研 究 グループの 様 子
平 成 20 年 度 の 本 研 究 グループの 構 成 は, 教 員 1
名 , 修 士 課 程 学 生 3 名 , 学 部 生 5 名 です. 年 々グ
ループ 内 の 学 生 数 が 増 加 してしまい 賑 やかなのは
良 いのですが, 少 人 数 の 頃 のフットワークが 失 わ
れないよう 気 を 付 けております. 筆 者 が 九 州 大 学
大 学 院 総 合 理 工 学 研 究 科 ( 河 合 研 究 室 )に 在 籍 中
していた 間 , 研 究 内 容 だけでなく 研 究 のスタイル
や 研 究 室 の 運 営 についても 多 くのことを 見 て 参 り
ました.その 雰 囲 気 を 本 研 究 グループでも 醸 し 出
せるよう 心 掛 けております. 学 生 には 常 々 自 由 に
研 究 しなさいと 言 い 聞 かせています.そのため 筆
者 は, 学 生 の 実 験 装 置 等 の 要 求 に 右 往 左 往 しなが
ら 日 々 多 くの 時 間 を 割 いて 研 究 環 境 の 整 備 を 行 っ
ているのですが, 学 生 にはどうも 七 人 の 小 人 が 夜
中 にやってくれている 程 度 にしか 思 われていない
ようです.
極 放 電 チェンバーもあります. 直 線 性 の 良 いきれ
いなラングミュアプローブ 特 性 と 0.5eV 程 度 の
低 電 子 温 度 は 熱 陰 極 放 電 ならではのものです.こ
れらの 放 電 およびプラズマを 研 究 テーマに 応 じて
使 い 分 けています.これらの 装 置 は 殆 ど 全 てデス
クトップサイズで, 言 わばテーブルマジック 的 な
雰 囲 気 です. 必 要 に 応 じて 企 業 やフィールドへ 装
置 一 式 をトランクに 入 れて 出 かけることも 可 能 で
す. 現 在 はプラズマの 応 用 研 究 がメインになって
おり,プラズマ 源 や 診 断 装 置 と 同 時 に FTIR やタ
ンパク 質 分 析 器 といった 分 析 機 器 も 充 実 させるよ
うにしております. 実 験 室 については, 学 科 内 の
手 狭 な 実 験 室 に 加 えて, 本 学 医 学 部 のプラズマ 滅
菌 用 研 究 室 および 共 同 研 究 企 業 にも 真 空 容 器 その
他 の 実 験 機 器 を 設 置 して 実 験 を 行 っております.
4. 研 究 テーマについて
以 下 に 簡 単 に 研 究 テーマについて 説 明 いたしま
す. 現 在 の 研 究 は, 医 療 応 用 , 環 境 応 用 ,および
宇 宙 利 用 といった 応 用 研 究 が 主 になっています.
【 医 療 応 用 】
・ 酸 素 高 周 波 プラズマを 用 いた 医 療 器 材 の 滅 菌
従 来 の 医 療 用 滅 菌 器 は 主 に 高 温 高 圧 水 蒸 気 やエ
チレンオキサイドガスを 用 いたものであり, 材 料
3. 研 究 設 備 について
主 力 の 実 験 装 置 として, 内 径 6~8 インチ 程 度
の 小 型 の 真 空 チェンバーが 数 台 と,プラズマ 生 成
用 電 源 として RF 電 源 ,マイクロ 波 電 源 等 を 使 用
しております( 殆 どがネット 通 販 の 中 古 品 です).
一 人 もしくは 二 人 程 度 で 扱 うには 丁 度 良 い 大 きさ
です.また, 大 気 圧 放 電 用 に 高 電 圧 電 源 や 各 種 電
極 系 を 揃 えています. 加 えて, 私 の 学 生 時 代 から
のテーマであるプラズマ 波 動 実 験 用 として, 熱 陰
Fig. 1 医 療 器 材 滅 菌 器 用 水 プラズマの 様 子 .
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適 合 性 や 健 康 被 害 等 の 安 全 性 の 点 で 難 点 がありま
した.このような 滅 菌 法 に 替 わり, 通 電 中 のみ 活
性 酸 素 種 による 滅 菌 能 力 を 発 揮 する 酸 素 / 水 プラ
ズマ 滅 菌 器 を 開 発 しています(Fig.1). 本 研 究 は
プラズマと 言 うよりも 医 療 機 器 の 開 発 であり, 最
終 的 には 薬 事 法 申 請 なるものが 控 えており, 生 物
学 から 医 療 機 器 学 および 電 磁 波 適 合 性 の 知 識 も 必
要 となる 非 常 に 学 際 的 な 研 究 です. 研 究 するほど
に, 様 々な 知 識 が 広 く 浅 くついていきます. 本 滅
菌 法 で 特 許 を 取 得 し, 大 学 TLO を 通 して 企 業 へ
技 術 移 転 しております.
・マイクロ 波 トーチプラズマによる 高 速 滅 菌 法 .
高 温 高 圧 水 蒸 気 滅 菌 器 やエチレンオキサイドガ
ス 滅 菌 器 , 加 えて 開 発 中 のプラズマ 滅 菌 器 でさえ
も 滅 菌 時 間 が 数 時 間 から 1 日 と 大 変 長 いのです
が, 病 院 の 手 術 室 等 では 医 療 器 材 の 緊 急 な 滅 菌 が
必 要 な 場 合 があります.このような 医 療 器 材 の 高
速 滅 菌 に 対 応 するために, 高 密 度 でラジカルを 生
成 可 能 なトーチプラズマを 用 いた 滅 菌 方 法 を 開 発
しています.また 本 方 法 の 食 品 産 業 への 応 用 も 検
討 しており, 琉 球 大 学 の 米 須 先 生 と 共 同 で 研 究 を
進 めています.
・ 細 管 内 放 電 によるカテーテル 内 滅 菌 の 試 み.
医 療 器 材 の 中 でも, 狭 空 構 造 を 持 つカテーテル
等 のチューブは, 現 在 でも 効 果 的 な 滅 菌 法 が 開 発
されていないのが 実 状 です. 本 来 プラズマも, 狭
空 物 へ 進 入 するもしくは 狭 空 内 で 発 生 させるのは
困 難 です. 本 研 究 では, 細 管 内 にプラズマを 生 成
することにより,イオンもしくはラジカルにより
滅 菌 を 行 うことを 目 的 としています.Fig.2 は,
内 径 2mm, 長 さ 1m のシリコンチューブ 内 に 生 成
した 空 気 プラズマです. 細 管 内 のプラズマと 言 え
ばネオン 管 があるのですが,カテーテルは 大 変 柔
軟 性 がありネオン 管 と 同 じようには 行 きません.
何 かしらの 柔 軟 な 発 想 でカテーテル 内 部 の 滅 菌 を
成 功 させたいと 思 っています.
・ 酸 素 プラズマ・ラジカルとタンパク 質 ・アミノ 酸 ・ 多 糖
類 との 相 互 作 用 .
近 年 , 狂 牛 病 や 羊 スクレイピーといった 恐 ろし
い 病 気 が 人 間 にも 現 れ 始 めています.その 原 因 物
質 である 異 常 型 プリオンタンパク 質 は 焼 却 以 外 に
効 果 的 な 滅 菌 方 法 が 存 在 しないのが 現 状 です.そ
のためプリオン 不 活 化 が 不 十 分 な 医 療 器 材 が 使 用
されること,もしくはプリオン 病 の 診 断 ・ 治 療 が
後 手 にまわることで, 将 来 的 にプリオン 病 が 医 原
病 として 蔓 延 する 可 能 性 が 指 摘 されています.こ
のような 事 態 を 防 止 するために,プラズマやラジ
カルを 用 いたプリオンの 分 解 除 去 法 を 模 索 してお
ります. 実 験 では,プリオン 代 替 物 質 として 同 様
な 二 次 構 造 を 持 つアルブミンを 用 いて,ベータシ
ートの 分 解 を 観 測 します. 一 方 , 点 滴 の 輸 液 等 に
混 入 し 高 い 生 物 活 性 のためショック 症 状 を 引 き 起
こすエンドトキシンもプリオンと 同 様 に 不 活 化 が
困 難 な 物 質 です.グラム 陰 性 桿 菌 の 細 胞 壁 に 存 在
するリポ 多 糖 類 であり 滅 菌 過 程 等 で 細 胞 が 破 壊 さ
れることにより 放 出 されるエンドトキシンは, 耐
熱 性 ・ 耐 薬 性 が 高 く, 現 在 のところフィルタリン
グが 除 去 法 として 用 いられていますが, 数 ppm で
生 物 活 性 を 発 現 させるエンドトキシンの 完 全 な 除
去 は 困 難 です.そこで,プラズマを 用 いてエンド
トキシンを 不 活 化 する 方 法 の 開 発 を 試 みています.
ちなみに,エンドトキシンの 測 定 にはカブトガニ
の 血 液 (リムルス 試 験 )を 用 います. 放 電 ・プラ
ズマの 研 究 でカブトガニを 使 うことになるとは 全
く 予 想 外 でした. 本 研 究 は 医 学 部 の 中 央 材 料 部 や
農 学 部 と 共 同 で 行 っています.
Fig. 2 内 径 2mm のシリコンチューブ 内 放 電 .
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【 環 境 応 用 】
・ 大 気 圧 放 電 による 二 酸 化 炭 素 や 炭 化 水 素 の 分 解 .
急 速 に 地 球 温 暖 化 が 全 世 界 の 問 題 となりました.
我 々は, 温 室 効 果 ガスである 二 酸 化 炭 素 とメタン,
フロンをターゲットとして 沿 面 放 電 による 分 解 ・
再 資 源 化 を 試 みています(Fig.3).その 際 に 分 解
率 の 目 標 値 は25% 程 度 として 消 費 エネルギー 効 率
も 考 慮 することにより, 実 質 的 にも 温 室 効 果 が 低
減 可 能 なシステムの 構 築 を 行 っております. 実 用
化 を 考 慮 に 入 れて, 外 的 環 境 の 変 化 に 対 して 常 に
安 定 した 放 電 が 得 られやすい 沿 面 放 電 を 採 用 しま
した. 本 研 究 は, 経 済 産 業 省 のエコ・イノベーシ
ョン 創 出 事 業 の 一 環 として 進 めています.
Fig.3 大 気 圧 ストリーマコロナ 放 電 の 様 子 .
・マイクロ 波 トーチプラズマによる 温 室 効 果 ガス 分 解
および 再 資 源 化 .
大 ガス 流 量 での 放 電 に 適 したトーチプラズマを
用 いて, 例 えば 低 濃 度 メタンの 排 出 源 である 畜 舎
等 の 固 定 排 出 源 に 対 応 可 能 な 温 室 効 果 ガス 分 解
システムの 構 築 を 行 っています.マイクロ 波 を 用
いることにより, 高 効 率 かつ 耐 久 性 の 高 いシステ
ムが 可 能 です.また, 温 室 効 果 ガスの 分 解 だけで
なく 再 資 源 化 可 能 な 物 質 への 変 換 を 試 みています.
本 研 究 も 琉 球 大 学 と 共 同 で 実 施 しています.
【 宇 宙 関 係 】
・ 高 電 圧 交 流 電 源 イオンエンジンの 開 発 および 航 跡
場 の 観 測
最 近 では, 各 地 域 で 独 自 の 小 型 衛 星 を 開 発 する
プロジェクトが 盛 んになりました. 九 州 でも 大 学
間 で Q-SAT という 計 画 が 進 んでおります. 近 い
将 来 には 数 十 cm 立 方 程 度 のピギーバック 衛 星 な
らぬピギーバック 宇 宙 往 還 機 が 実 現 されるでしょ
う.そのためには 小 型 の 推 進 装 置 が 必 要 となりま
す. 現 在 我 々は 主 推 進 用 ではなく 姿 勢 制 御 用 とし
て, 瞬 時 に 点 火 ・ 噴 射 可 能 なイオンスラスタを 開
発 しています. 同 時 に,イオンの 中 和 過 程 および
推 進 性 能 に 関 わると 考 えられる 航 跡 場 のプラズマ
の 様 子 ( 揺 動 等 )を 実 験 的 に 調 べております.
5. おわりに
大 変 こじんまりとした 研 究 環 境 ですので, 少 々
不 便 を 感 じることも 度 々ありますが, 小 回 りの 効
く 研 究 ・ 教 育 環 境 は 大 変 魅 力 的 です. 今 後 も, 刻 々
変 化 する 時 流 を 見 据 えて,プラズマエレクトロニ
クス 分 野 に 貢 献 できる 研 究 を 行 いたいと 思 います.
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関 連 学 会 における 研 究 活 動 の 紹 介
日 本 機 械 学 会 環 境 工 学 部 門
大 気 圧 プラズマ 流 による 人 間 環 境 保 全 技 術 に 関 する
研 究 分 科 会
東 京 工 業 大 学 大 学 院 工 学 研 究 科 野 崎 智 洋
東 北 大 学 流 体 科 学 研 究 所 佐 藤 岳 彦
1.はじめに
日 本 機 械 学 会 環 境 工 学 部 門 の 分 科 会 として, 平
成 19 年 度 ,20 年 度 の2 年 間 にわたり「 大 気 圧 プ
ラズマ 流 による 人 間 環 境 保 全 技 術 に 関 する 研 究 分
科 会 」を 発 足 させた。 現 在 , 主 査 ・ 佐 藤 岳 彦 ( 東
北 大 学 ), 幹 事 ・ 滝 田 ( 東 北 大 学 )を 代 表 として,
50 名 の 委 員 ( 企 業 9 名 , 大 学 ・ 研 究 所 41 名 )か
ら 構 成 されており, 年 3 回 の 研 究 会 および 分 科 会
をとおして 人 事 交 流 と 情 報 交 換 の 場 を 提 供 してい
る。ここでは 紙 面 を 借 りてこれまでの 活 動 の 報 告
と 今 後 の 活 動 を 紹 介 する。
2. 分 科 会 趣 旨
本 分 科 会 は, 大 気 圧 プラズマ 流 を 利 用 して, 人
間 を 取 り 巻 く 環 境 の 保 全 に 関 する 技 術 を, 機 械 ,
電 気 , 化 学 , 材 料 ,バイオなどの 工 学 領 域 を 横 断
的 に 融 合 し, 学 術 分 野 から 産 業 分 野 までを 包 括 す
ることで 飛 躍 的 に 発 展 させることを 目 的 としてい
る。これにより, 自 動 車 , 船 舶 , 燃 焼 機 器 ,ごみ
焼 却 などによる 大 気 汚 染 物 質 や 海 ・ 河 川 ・ 湖 の 汚
染 物 質 の 浄 化 , 温 室 効 果 ガスや VOC の 排 出 削 減
処 理 , 病 原 微 生 物 の 殺 菌 ,プラズマ 医 療 , 各 種 プ
ロセスのエネルギー 効 率 の 向 上 , 廃 棄 物 からの 資
源 回 収 , 半 導 体 や 金 型 などの 表 面 処 理 やクリーニ
ングの 乾 式 化 ,プラズマ 溶 射 ,アーク 溶 融 , 材 料
プロセス,プラズマ 燃 焼 促 進 , 液 中 プラズマなど,
学 術 分 野 のシーズと 産 業 分 野 のニーズ,そして 横
断 的 な 各 分 野 間 の 情 報 交 換 により, 大 気 圧 プラズ
マ 流 の 応 用 技 術 を 積 極 的 に 社 会 へ 還 元 することを
目 指 している。
3.これまでの 主 な 活 動 報 告
平 成 19 年 度 は,7 月 6 日 ,7 日 両 日 に 第 1 回 分
科 会 を 東 北 大 学 流 体 科 学 研 究 所 で 開 催 したのを 皮
切 りに, 合 計 3 回 の 分 科 会 を 企 画 した。 第 1 回 分
科 会 では, 東 北 大 学 ・ 寒 川 誠 二 教 授 による「 高 精
度 プラズマプロセスが 拓 く 先 端 ナノデバイス」を
はじめ 6 件 の 特 別 講 演 を 企 画 した。 第 2 回 分 科 会
は 11 月 15 日 ,16 日 大 阪 府 立 大 学 で, 第 3 回 分 科
会 は 平 成 20 年 3 月 14 日 ,15 日 東 北 大 学 流 体 科 学
研 究 所 で 行 われ, 有 害 物 質 の 分 解 をはじめとする
環 境 浄 化 技 術 や 医 療 応 用 など 幅 広 いテーマで 講 演
が 企 画 された。なお, 講 演 プログラムの 詳 細 はイ
ンターネットに 公 開 しているので 参 照 されたい
[1]。また, 日 本 機 械 学 会 流 体 力 学 部 門 ニューズレ
ターに「 大 気 圧 プラズマ 流 」と 題 して 特 集 号 を 企
画 し[2], 低 温 プラズマ 応 用 5 件 , 熱 プラズマ 応 用
4 件 について 研 究 紹 介 記 事 を 掲 載 した。
4. 今 後 の 活 動 報 告
平 成 20 年 度 も3 回 の 分 科 会 を 企 画 している。ま
ず 第 4 回 目 となる 分 科 会 は, 日 本 機 械 学 会 2008
年 度 年 次 大 会 ( 於 横 浜 国 立 大 学 )の 先 端 技 術 フォ
ーラム「 大 気 圧 プラズマ 流 による 人 間 環 境 保 全 技
術 」として 実 施 する[3]。プログラム( 案 )は 次 の
通 りである。 興 味 をもたれる 皆 様 には 是 非 会 場 ま
で 足 を 運 んでいただきたい。なお, 第 5 回 , 第 6
回 分 科 会 は,それぞれ 東 京 工 業 大 学 ( 大 岡 山 キャ
ンパス:11 月 7 日 ,8 日 ), 東 北 大 学 ( 流 体 科 学 研
究 所 :1 月 ~3 月 頃 )にて 開 催 される 予 定 である。
13

日 本 機 械 学 会 2008 年 度 年 次 大 会
先 端 技 術 フォーラムプログラム( 案 )
日 時 :2008 年 8 月 4 日 ( 月 )13:00~17:20
場 所 : 横 浜 国 立 大 学
( 神 奈 川 県 横 浜 市 保 土 ヶ 谷 区 常 盤 台 79-1)
13:00-13:40 野 崎 智 洋 ( 東 京 工 業 大 学 )「 反 応 性 大
気 圧 プラズマ 流 が 拓 く 先 進 ナノテクノロジー」
13:40-14:20 安 藤 康 高 ( 足 利 工 業 大 学 )「 大 気 アー
クジェット 放 電 プラズマジェット CVD による 機 能 性 材
料 の 創 成 」
14:30-15:10 中 谷 達 行 (トーヨーエイテック㈱)「プラ
ズマ 表 面 処 理 技 術 の 冠 動 脈 ステントへの 応 用 」
5.おわりに
本 研 究 分 科 会 は, 平 成 21 年 3 月 に 開 催 される 分
科 会 をもって 終 了 する 予 定 である。 分 科 会 の 活 動
に 興 味 を 持 たれた 方 は, 佐 藤 岳 彦 ( 東 北 大 学 ・ 流
体 科 学 研 究 所 :sato@ifs.tohoku.ac.jp),または 滝 田
謙 一 ( 同 ・ 大 学 院 工 学 研 究 科 :takita@cc.mech.tohoku.
ac.jp)までお 問 い 合 わせ 下 さい。
文 献
[1] 分 科 会 ホームページ
http://www.ifs.tohoku.ac.jp/nishiyama-lab/PSCD360_
new.html
[2] 日 本 機 械 学 会 流 体 力 学 部 門 ニューズレター
http://www.jsme-fed.org/newsletters/
[3] 日 本 機 械 学 会 2008 年 度 年 次 大 会
15:10-15:50 田 原 充 ( 大 阪 府 立 産 業 技 術 総 合 研 究
所 )「プラズマ CVD 法 による 高 分 子 表 面 への DLC 膜
の 形 成 」
16:00-16:40 浦 山 卓 也 (㈱アドテックプラズマテクノ
ロジー)「 大 気 圧 マイクロ 波 プラズマシステムの 医 療
応 用 」
16:40-17:20 佐 伯 登 (㈱パール 工 業 ), 大 久 保 雅
章 ( 大 阪 府 立 大 学 )「 大 気 圧 低 温 プラズマによるテフ
ロン 表 面 処 理 と 新 材 料 創 成 」
14

【 新 連 載 !】 学 生 のためのページ
すぐに 役 立 つプラズマエレクトロニクス
プラズマ 発 光 分 光 計 測 法 の 基 礎
名 古 屋 大 学 佐 々 木 浩 一
15

国 際 会 議 報 告
1st International Conference on
Plasma Nanotechnology & Science (IC-PLANTS2008) 報 告
名 古 屋 大 学 佐 々 木 浩 一
名 古 屋 大 学 プラズマナノ 工 学 研 究 センターでは,
2008 年 3 月 13 日 および 14 日 に, 名 古 屋 大 学 IB
大 講 義 室 において, 第 1 回 プラズマナノ 科 学 技 術
に 関 する 国 際 会 議 (1st International Conference on
Plasma Nanotechnology & Science; IC-PLANTS2008
( 主 催 : 名 古 屋 大 学 工 学 研 究 科 附 属 プラズマナノ
工 学 研 究 センターおよび 名 古 屋 産 業 科 学 研 究 所 ,
共 催 : 日 比 科 学 技 術 振 興 財 団 , 協 賛 : 応 用 物 理 学
会 東 海 支 部 ))を 開 催 しました。 本 稿 では, 本 国 際
会 議 の 概 要 に 関 して 報 告 させていただきます。
プラズマナノ 工 学 研 究 センターは,プラズマナ
ノ 工 学 の 世 界 的 研 究 拠 点 を 形 成 すること,ナノテ
クノロジー・ 材 料 分 野 の 戦 略 的 基 幹 技 術 であるプ
ラズマ 技 術 の 研 究 開 発 を 行 うこと,および, 産 学
連 携 ・ 人 材 養 成 並 びに 国 際 連 携 を 推 進 することを
目 的 に, 名 古 屋 大 学 工 学 研 究 科 附 属 として 2006
年 10 月 に 発 足 した 新 しい 研 究 センターです。 本 研
究 センターの 設 立 に 関 しては, 既 に, 本 誌 45 号
(2006 年 12 月 発 行 )に 紹 介 させていただきまし
た。 本 国 際 会 議 は,プラズマナノ 工 学 研 究 センタ
ーの 目 的 に 沿 い,プラズマを 用 いたナノテクノロ
ジーとその 基 礎 科 学 に 関 する 最 新 の 研 究 成 果 や 将
来 動 向 に 関 して 議 論 すること,および, 国 内 外 の
主 要 研 究 者 間 および 組 織 間 の 連 携 を 強 めることを
目 的 に,2008 年 から 新 しく 組 織 されました。
当 日 は, 国 内 外 の 著 名 な 研 究 者 による 17 件 の 招
待 講 演 に 加 え, 一 般 講 演 として 49 件 のポスター 発
表 が 行 われ, 韓 , 独 , 仏 , 中 , 蘭 , 日 の6 国 より
総 勢 129 名 の 参 加 者 との 間 で 活 発 な 議 論 がなされ
ました。また, 今 回 は 特 に, 大 規 模 集 積 回 路 のナ
ノ 製 造 プロセスにおける「 揺 らぎ」(プロセス 結 果
のばらつき)の 問 題 に 焦 点 をあてた 特 別 セッショ
ンが 企 画 されました。 本 国 際 会 議 の 詳 細 なプログ
ラムは http://www.plasma.engg.nagoya-u.ac.jp/IC-
2008/)に 掲 載 されていますので, 是 非 ご 覧 くださ
い。
図 1 IC-PLANTS2008 の 様 子
IC-PLANTS2008 では, 学 生 の 研 究 発 表 を 奨 励 し
たことにより, 我 が 国 はもちろん 韓 国 などの 学 生
からも 多 数 の 発 表 があり, 若 手 研 究 者 育 成 の 観 点
からも 大 変 有 意 義 な 国 際 会 議 となりました。また,
3 月 13 日 の 夜 には, 名 古 屋 大 学 内 において 懇 親 会
が 開 催 され, 国 際 間 および 産 学 間 の 連 携 強 化 がな
されました。
IC-PLANTS は, 今 後 も 毎 年 , 名 古 屋 大 学 プラズ
マナノ 工 学 研 究 センターを 中 心 に 企 画 ・ 運 営 され
ていく 予 定 であり, 次 回 は 2009 年 1 月 22 日 およ
び 23 日 に 名 古 屋 大 学 において 開 催 されます。 皆 様
のご 参 加 をお 待 ちしております。
23

国 際 会 議 報 告
6th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing 報 告
大 阪 大 学 浜 口 智 志
表 記 の 会 議 ( 第 6 回 日 欧 プラズマプロセス 共 同
シンポジウム:JSPP2008)が、 去 る 2008 年 4 月
21 日 ( 月 )から 23 日 ( 水 )の3 日 間 、 沖 縄 県 宜
野 湾 市 にある 沖 縄 コンベンションセンターで 開 催
された。 本 会 議 は、プラズマによる 各 種 化 学 反 応
プロセスに 関 する 物 理 ・ 化 学 の 基 礎 を 学 術 的 に 解
明 することを 目 的 とする 国 際 会 議 で、 今 回 は 特 に、
大 気 圧 プラズマによるプラズマプロセスの 基 礎 過
程 の 研 究 を 特 別 テーマとして 取 り 上 げた。 特 別 テ
ーマ 以 外 では、 例 年 同 様 、プラズマの 基 礎 ・ 応 用
に 関 する 幅 広 い 分 野 の 講 演 が 行 われた。
この 会 議 は、 第 一 回 が 2003 年 7 月 にストック
ホルム 大 学 で 開 催 され、その 後 、 東 京 (2004 年 )、
Podbanske(スロベニア、2005 年 )、 富 士 吉 田 (2006
年 )、ベオグラード(セルビア、2007 年 )と 開 催 され
て 今 日 に 至 っている。 例 年 参 加 者 数 を 50-60 名 程
度 に 限 り、 参 加 者 の 間 の 議 論 や 交 流 を 積 極 的 に 奨
励 している。 今 回 の 出 席 者 も 約 70 名 で、そのうち
海 外 からの 参 加 者 が 約 20 名 程 度 であった。 会 議 開
催 日 前 日 の 20 日 ( 日 ) 夕 方 にはレセプション、ま
た 21、22 日 の 両 日 は 夕 食 会 、 最 終 日 23 日 の 午 後
には、 首 里 城 と 沖 縄 県 立 博 物 館 ・ 美 術 館 を 訪 ねる
観 光 も 開 催 され、 会 議 場 外 でも、 出 席 者 同 士 の 親
睦 を 深 める 機 会 が 多 く 提 供 された。
会 議 の 学 術 プログラムは、 橘 邦 英 ・ 京 都 大 学 教
授 の 特 別 講 演 に 始 まり、その 後 、シミュレーショ
ン、プラズマ 診 断 、 大 気 圧 プラズマ、 半 導 体 プロ
セス、プラズマのナノ・バイオテクノロジーや 核
融 合 応 用 、 原 子 分 子 基 礎 過 程 など 各 種 のテーマに
関 して 口 頭 ・ポスター 発 表 が 行 われた。 最 後 のセ
ッションでは、 本 学 術 分 野 の 発 展 に 研 究 者 コミュ
ニティーがどう 貢 献 できるかなど、 研 究 協 力 の 将
来 像 について 話 し 合 い、 全 日 程 の 幕 を 閉 じた。
今 回 の 会 議 は、 慶 応 大 学 グローバル COE プロ
グラム「アクセス 空 間 支 援 基 盤 技 術 の 高 度 国 際 連
携 」および 大 阪 大 学 工 学 研 究 科 附 属 原 子 分 子 イオ
ン 制 御 理 工 学 センターの 主 催 、また、( 社 ) 応 用 物
理 学 会 、( 社 ) 日 本 物 理 学 会 、( 社 )プラズマ・ 核
融 合 学 会 の 協 賛 で 開 催 され、さらに、Air Force
Office of Scientific Research, Asian Office of
Aerospace Research and Development
(AFOSR/AOARD), カシオ 科 学 振 興 財 団 、 東 京 エ
レクトロン( 株 )( 以 上 、 五 十 音 順 )から 財 政 的 援
助 も 得 た。 会 議 の 詳 細 は 今 でもホームページ
http://www.camt.eng.osaka-u.ac.jp/EU-JAPAN/ に
掲 載 されている。
図 1: 会 議 中 の 風 景 。
24

国 際 会 議 報 告
International Workshop on Merging State of
the Art Plasma Science into New Technologies 報 告
名 古 屋 大 学 豊 田 浩 孝
International workshop on merging state-of- the-art
plasma science into novel technologies が 5 月 14~16 日
の 3 日 間 の 日 程 でオランダのアイントホーヘン 市 内
にて 開 催 された。 本 会 議 の 報 告 の 前 に、 本 会 議 の 開
催 母 体 である International Plasma COE Network につ
いて 説 明 をさせていただく。International Plasma COE
Network は 2004 年 4 月 、 名 古 屋 大 学 において 進 めら
れていた Plasma-Nano COE の 拠 点 リーダー、 菅 井 秀
郎 教 授 ( 現 : 中 部 大 学 )のご 尽 力 により、 世 界 のプラ
ズマ 応 用 に 関 する 6 研 究 機 関 等 (CAPST (Korea),
CPS (The Netherlands), CPST, SFB 591 (Germany), INP
(Germany), LPCM (France), PlasMAC (Ireland),
Plasma-Nano (Japan)が 設 立 に 合 意 してスタートした
ものである。その 後 、 本 Plasma COE Network には
2006 年 に HTPL(USA), IMIP(Italy), NPN(UK)が、 本 年
2008 年 は APCoE(Australia) が 新 たに 加 わり 現 在 の
ネットワーク 組 織 を 形 成 している。また、 本 Plasma
COE Network が 開 催 するワークショップの 第 1 回 は
2004 年 に 名 古 屋 大 学 において 開 催 され、その 後 第 2
回 ワークショップを 2006 年 にドイツ、ポツダム 市 に
て 開 催 し、 今 回 に 至 っている。 本 Plasma COE Network
は 隔 年 で 国 際 ワークショップを 開 催 するほか、
ホームページを 開 設 し 研 究 情 報 交 換 やポスドクポス
トの 情 報 交 換 等 をおこなっている。なお、 本 COE
Network に つ い て は ホ ー ム ペ ー ジ
http://www.plasma-coe.org/も 参 照 されたい。
今 回 のワークショップは、 各 ネットワークメンバ
ー 機 関 等 から 2~3 名 程 度 が 講 演 をおこない、 研 究 の
トピックや 各 機 関 の 活 動 状 況 の 報 告 がおこなわれた。
日 本 からは、 名 古 屋 大 学 河 野 明 廣 先 生 、 関 根 誠 先
生 、 佐 々 木 浩 一 先 生 および 豊 田 が、また 九 州 大 学 か
ら 白 谷 正 治 先 生 が 出 席 した。 河 野 先 生 は 研 究 トピッ
ク 講 演 とともに、 一 昨 年 に 名 古 屋 大 学 に 設 立 された
プラズマナノ 工 学 研 究 センターの 概 要 について 説 明
をおこなった。また、 本 年 度 から 名 古 屋 大 学 プラズ
マナノ 工 学 研 究 センターにおいて 実 施 される 日 本 学
術 振 興 会 「 若 手 研 究 者 インターナショナルトレーニ
ングプログラム」の 紹 介 をおこなった。 他 の 参 加 各
機 関 からもそれぞれ 数 名 程 度 の 参 加 者 があり、
30~40 名 程 度 のコンパクトな 規 模 で 自 由 な 雰 囲 気 の
中 で 研 究 討 論 をおこなうとともに、さらなる 活 性 化
に 向 けた 各 機 関 の 活 動 状 況 に 耳 を 傾 けていた。なお、
アイントホーヘングループの 大 御 所 Schram 先 生 も
本 会 議 に 出 席 しており、 会 議 を 楽 しんでおられた。
アイントホーヘン 工 科 大 学 にはヨーロッパにおけ
るプラズマ 応 用 の 一 大 研 究 グループがあり 国 際 会 議
等 もしばしば 開 催 されていることから、 本 稿 をご 覧
の 中 にも 訪 問 された 方 も 多 数 おみえになると 思 われ
る。 市 内 や 大 学 の 雰 囲 気 については 割 愛 をさせてい
ただくが、 最 近 (?)の 情 報 としてアイントホーヘン 工
科 大 学 CPS のグループは 新 しい 建 屋 への 一 部 装 置
の 移 設 も 終 えている。 本 ワークショップでは 研 究 室
見 学 もおこなったが、 非 常 に 整 った 環 境 で 研 究 を 進
めているように 見 受 けられた。
なお、 今 会 議 では Chairman として 本 Plasma COE
Network を 2 年 間 運 営 してきたルール 大 学 ボッフム
校 Uwe Czarnetzki 教 授 は 退 任 し、Open University の
Nick Braithwaite 教 授 が 新 Chairman として、 今 後 2
年 間 運 営 に 携 わることが 合 意 された。また、2 年 後
のワークショップは 成 均 館 大 学 Han 先 生 を 中 心 とし
たグループにより 韓 国 で 開 催 されることとなってい
る。
最 後 に、 本 ワークショップ 開 催 の 一 部 は 日 本 学 術
振 興 会 日 本 学 術 振 興 会 「 若 手 研 究 者 インターナシ
ョナルトレーニングプログラム」の 支 援 を 得 たもの
であり、 関 係 各 位 に 感 謝 申 し 上 げます。
25

国 際 会 議 報 告
60st Gaseous Electronics Conference 2007 報 告
第 60 回 気 体 エレクトロニクス 会 議
(GEC2007)
名 古 屋 大 学 斧 高 一
第 60 回 気 体 エレクトロニクス 会 議 (60th Gaseous
Electronics Conference、 略 称 GEC) が、 昨 年 秋 、2007
年 10 月 2 日 ~5 日 にわたり、 米 国 バージニア 州 ・アー
リントン (Arlington) において 開 催 された。GEC は、
米 国 物 理 学 会 (APS) の 原 子 分 子 光 学 物 理 分 科
(DAMOP) と 関 係 して 毎 年 開 催 される 会 議 であり、 原
則 として 米 国 内 で 開 催 される ( 米 国 外 開 催 はこれまで
カナダとアイルランドの 2 回 )。 応 用 物 理 学 会 は、1998
年 秋 に、 第 4 回 反 応 性 プラズマ 国 際 会 議 /ICRP-4 を
GEC と 合 同 で 米 国 ハワイ 州 で 開 催 した。 米 国 内 会 議 と
はいえ 参 加 国 は 多 彩 で、 実 質 的 な 国 際 会 議 といえる
( 例 年 4 割 程 度 が 米 国 外 からの 参 加 者 )。 会 議 の 実 質 的
な 運 営 にあたる GEC Executive Committee (ExComm)
は、 現 在 12 名 で 構 成 され、 米 国 8 名 、 欧 州 2 名 、アジ
ア・オセアニア 2 名 (うち 日 本 から 1 名 /2005~2007
年 斧 , 2007 年 ~2009 年 名 大 ・ 堀 先 生 ) である。GEC
のトッピクスは、 気 体 放 電 現 象 およびその 応 用 にかか
わる 基 礎 研 究 に 主 眼 が 置 かれている。とはいえ、 近 年
は、 高 気 圧 非 平 衡 プラズマや、 環 境 ・ナノテクノロジ
ー・バイオテクノロジーにかかわるプラズマの 基 礎 ・
応 用 研 究 もクローズアップされ、 基 礎 と 応 用 、 新 と 旧
の 研 究 テーマを 調 和 した 運 営 がなされている。
2007 年 の GEC は、 参 加 者 数 260 名 ( 米 国 外 から 106
名 、うち 日 本 から 25 名 ) で、Arranged session とよば
れる 下 記 の21の 重 点 領 域 が 設 けられて2セッション 並
行 で 進 行 された。( 参 加 者 数 はこれまで、2006 年 /コ
ロンバス 261 名 、2005 年 /サンノゼ 248 名 、2004 年
/アイルランド265 名 、2003 年 /サンフランシスコ349
名 。)
Plasma Sources
Plasma Combustion and Chemistry
Plasma Propulsion
Laser and Air Plasmas
Plasma Diagnostics I, II
High Pressure Arcs
Micro and Dielectric Barrier Discharge
Lightning Plasmas
Capacitively Coupled Plasmas
Electronegative Plasmas
Plasma-Surface Interactions
Materials Processing in Low Pressure
Plasmas I, II
Plasma Applications for Nanotechnology
Biological and Emerging Applications of Plasmas
Electron-Atom Collisions
Electron-Molecule Collisions
Electron Impact Ionization
Electron Attachment and Recombination
Electrons and Positrons: Transport and Anihilation
さらに 3 つのポスターセッション、1 つの GEC
Foundation talk を 含 め、 全 体 で 26 件 の 招 待 講 演 と 230
件 を 超 える 一 般 講 演 ( 口 頭 発 表 103 件 、ポスター 発 表
133 件 ) が 行 われた。
GEC Foundation talk は、Allis Prize Lecture と 交 互 に
( 隔 年 で) 設 けられている。いずれも、 気 体 エレクトロ
ニクス 分 野 のある 1 つテーマを 奥 深 くまた 斬 新 な 切 り
口 でレビューすることによって、 前 者 は、 該 分 野 の 基
礎 的 背 景 を 思 い 起 こさせ、さらに 新 しいアイデアを 誘
発 させること、 一 方 後 者 は、GEC の 創 始 者 でもある
Prof. Will Allis の 該 分 野 への 卓 越 した 貢 献 を 記 念 する
こと、を 目 的 としている。2007 年 の GEC Foundation
talk は、Don Madison 教 授 (University of Missouri
-Rolla) により、“Why would anyone be interested in
charged particles ionizing atoms and molecules ?”と 題 して
行 われた。 電 子 ・イオンとガス 原 子 ・ 分 子 衝 突 による
イオン 化 について、ビーム 実 験 および 量 子 論 に 基 づく
衝 突 理 論 によってこれまで 理 解 が 進 んできた 事 項 につ
いて、 放 電 現 象 との 関 連 にも 言 及 してレビューされた。
Arranged session の 構 成 はほぼ 例 年 どおりであった。
2005 年 から 設 けられた Plasma Aerodynamics and Pro-
26

pulsion に 関 するセッションは、 今 回 、Plasma Combustion
and Chemistry および Plasma Propulsion の 2 セ
ッションに 分 割 され、Aerospace 分 野 のプラズマ・ 放
電 応 用 に 関 して12 件 の 講 演 (うち 招 待 講 演 2 件 ) がな
された。 高 電 圧 パルス 放 電 による 超 音 速 スクラムジェ
ットエンジンの 燃 焼 制 御 、 誘 電 体 バリア 放 電 による 流
れの 制 御 (プラズマアクチュエータ) に 関 する 講 演 が
増 えている。
プラズマプロセス ( 薄 膜 形 成 、 表 面 改 質 、 微 細 加 工 、
微 粒 子 など) にかかわる 分 野 は、プラズマ 源 ・プラズ
マ 診 断 やプラズマ 表 面 相 互 作 用 の 基 礎 から、CVD、エ
ッチング、ナノ 粒 子 ・チューブ・ウォール 形 成 などの
応 用 も 含 めて、 例 年 どおり 活 発 で、 多 くの 講 演 発 表 が
行 われた。プラズマのナノテクノロジーへの 応 用 に 関
する 招 待 講 演 では、プラズマ CVD によるカーボンナ
ノウォールの 形 成 とその 次 世 代 電 子 デバイスへの 応 用
( 名 大 ・ 堀 先 生 ) が 取 り 上 げられた。 低 圧 プラズマプロ
セシングでは、フルオロカーボンプラズマによる
SiO2/Si 高 選 択 性 エッチングが 取 り 上 げられ、ビーム 実
験 (Ar+イオンビーム/C5F8, C4F8, CF2) による 基 礎
過 程 研 究 ( 名 大 ・ 豊 田 先 生 ) に 関 する 招 待 講 演 があっ
た。また、プラズマ 診 断 のセッションでは、レーザ 診
断 (LIF や LAS) によるシース 電 場 、ラジカルの 空 間 2
次 元 分 布 、 電 子 温 度 ・ 密 度 の 計 測 ( 名 大 ・ 佐 々 木 先 生 )
について 招 待 講 演 があった。
低 気 圧 非 平 衡 プラズマに 関 する 招 待 講 演 では、その
ほか、クライオジェニック 深 掘 り RIE、 次 世 代 ナノパ
ターニングのためのプラズマ・ポリマー 相 互 作 用 、プ
ラズマを 用 いた 低 エネルギーイオン 打 ち 込 み、などが
取 り 上 げられた。
大 気 圧 / 高 気 圧 プラズマに 関 する 招 待 講 演 では、レ
ーザ 誘 導 大 気 圧 放 電 チャネルの 形 成 、 揮 発 性 有 機 化 合
物 (VOC) 除 去 のためのプラズマ・ 触 媒 相 互 作 用 、DC
非 平 衡 大 気 圧 放 電 のためのマイクロカソード 放 電 、 大
気 圧 非 平 衡 プラズマと 生 体 材 料 表 面 との 相 互 作 用 、バ
イオテクノロジー 応 用 のための 大 気 圧 放 電 プラズマの
モデリング、が 取 り 上 げられた。
なお、GEC では、 上 に 述 べたような 応 用 分 野 の 基 礎 研
究 だけでなく、 例 年 、 電 子 と 原 子 分 子 との 衝 突 の 物 理
なども 含 めて、 気 体 放 電 の 基 礎 にかかわる 講 演 発 表 も
多 く 行 われ、 会 議 の 基 盤 となっている。 今 回 、プラズ
マ 基 礎 に 関 しては、2 周 波 励 起 CCP の 電 子 加 熱 機 構 、
DC-AC ハイブリッドプラズマリアクタ、 非 平 衡 プラズ
マ 計 測 におけるラングミューアプローブの 多 様 なバリ
エーション、 一 方 、 原 子 分 子 衝 突 に 関 しては、 電 子 と
原 子 分 子 衝 突 による 励 起 ・ 電 離 のダイナミックス、 陽
電 子 輸 送 ・ 消 滅 過 程 、 低 エネルギー 電 子 と 巨 大 分 子 /
DNA との 相 互 作 用 、などに 関 する 招 待 講 演 があった。
また、 期 間 中 10 月 3 日 夜 には、 特 別 セッシン
“Excessive Broadening of Hydrogen Balmer Lines” が 開
かれ、 当 日 のポスターセッションが 終 了 した 後 、19:00
~22:00 まで、10 件 の 講 演 と 議 論 が 行 われた。この 特
別 セッションは、 講 演 アブストラクトもなく、GEC
Special Session として、 会 議 ホームページと registration
に 際 しての 1 枚 のビラで 案 内 されたものであるが、プ
ラズマ 中 での 水 素 原 子 線 の 拡 がりについて、 基 礎 から
応 用 まで 最 近 の 研 究 の 最 前 線 が 議 論 された。
なお、2007 年 の 60th GEC の 全 講 演 のアブストラクト
は、APS の Bull. Am. Phys. Soc. Vol. 52, No. 8 (October,
2007) に 掲 載 されている。また 毎 年 恒 例 の Student
award には、9 件 の 候 補 の 中 から、Scott Baalrud (University
of Wisconsin-Madison), "Double layers at anode
spots in low-pressure plasma" が 選 定 された。
今 秋 の 61st GEC は、2008 年 10 月 14 日 ~17 日 に、テ
キサス 州 ・ダラスで 開 催 されます (また 2009 年 秋 の
62nd GEC はニューユーク 州 アルバーニの 予 定 です)。
GEC は、 過 去 (1998 年 ) に ICRP と 合 同 で 会 議 開 催 し
たこともあり、プラズマエレクトロニクス 分 科 会 との
縁 も 密 接 です。 研 究 内 容 / 範 囲 や 研 究 に 対 する 考 え 方
も、GEC とプラズマエレクトロニクス 分 科 会 では 共 通
点 も 多 く、 色 々 参 考 になる 点 も 多 々あると 考 えますの
で、 分 科 会 会 員 皆 様 の2008, 2009 年 のGEC、そして2010
年 にフランス・パリで 開 催 予 定 の GEC2010/ICRP-7 へ
のご 参 加 を 是 非 お 願 いいたします。
< 追 記 > GEC の 海 外 開 催 に 関 しては、ほぼ 毎 年 候 補 が
あり ( 会 議 開 催 要 請 があり)、GEC の 委 員 会 (GEC
General Committee, Executive Committee) において 多 く
の 議 論 がなされてきましたが、 基 本 的 に GEC が 米 国
の 国 内 会 議 であることから、なかなか 実 現 しませんで
した。2007 年 の 60th GEC 会 期 中 に 開 催 された 委 員 会
では、フランスから GEC のフランス 開 催 が、 日 本 か
ら GEC/ICRP 合 同 会 議 の 米 国 (ハワイ、 西 海 岸 ) 開 催
が 提 案 さ れ 、 両 者 あ わ せ た 形 で 、 2010 年 の
GEC2010/ICRP-7 パリ 開 催 が 内 諾 に 至 りました。 今 回
の 日 本 からの GEC/ICRP 合 同 会 議 開 催 提 案 に 関 しま
しては、プラズマエレクトロニクス 分 科 会 幹 事 会 の 了
解 を 得 て、GEC2007 の 3, 4 カ 月 前 から GEC 委 員 会 委
員 に 根 回 しをしましたが、その 段 階 から GEC/ICRP 合
同 会 議 に 関 しては 好 印 象 の 感 触 を 得 ていました。
GEC2010/ICRP-7 開 催 の 内 諾 は、ひとえに、1998 年 の
合 同 会 議 GEC1998/ICRP-4 の 成 功 と、それに 引 き 続 く
ICRP の 活 発 な 活 動 の 賜 といえます。
27

国 内 会 議 報 告
第 25 回 プラズマプロセシング 研 究 会 (SPP-25) 報 告
山 口 大 学 福 政 修
第 25 回 プラズマプロセシング 研 究 会 (25th
Symposium on Plasma Processing)は,2008 年 1 月
23 日 ( 水 ) ~ 1 月 25 日 ( 金 )の 3 日 間 にわたって, 山
口 市 の 山 口 県 教 育 会 館 ( 講 演 会 場 )とゆ~あいプ
ラザ 山 口 県 社 会 福 祉 会 館 (ポスター 会 場 )におい
て 開 催 されました。ISPC(2007 年 8 月 ),AEPSE
(2007 年 9 月 ) 等 の, 内 容 的 には 本 シンポジウム
と 密 接 に 関 連 する 国 際 会 議 が 国 内 にて 開 催 された
後 でもあり, 今 回 25 回 目 という 節 目 の 年 の 本 シン
ポジウムの 盛 り 上 がりはどうかと, 多 少 心 配 して
おりました。ところが, 結 果 は 総 参 加 者 数 234 名
( 一 般 :137 名 , 学 生 :97 名 ), 講 演 総 数 170 件 ( 特
別 講 演 , 指 定 テーマ 講 演 各 2 件 , 口 頭 発 表 及 びポ
スター 発 表 166 件 )ということで, 地 方 都 市 で
の SPP 単 独 開 催 としては 講 演 件 数 , 参 加 者 とも 多
く, 懇 親 会 にも 80 名 以 上 の 方 々のご 参 加 をいただ
き, 盛 会 にて 無 事 終 了 の 運 びとなりました。この
分 野 の 底 力 ・ 層 の 厚 さを 実 感 させられた 次 第 です。
本 シンポジウムは,プラズマ 物 理 ・プラズマ 化
学 の 研 究 者 をはじめ, 原 子 ・ 分 子 物 理 , 薄 膜 ・ 表
面 の 物 理 ・ 化 学 , 電 子 工 学 など 多 分 野 の 研 究 者 が
一 堂 に 会 して,プロセシングプラズマの 基 礎 科 学
の 解 明 ・その 制 御 と 応 用 技 術 の 開 発 等 ,プラズマ
を 接 点 とする 境 界 分 野 の 成 果 発 表 ・ 討 論 を 行 うと
共 に, 新 たな 問 題 点 の 発 掘 や, 新 しいプロセシン
グの 可 能 性 を 追 求 することが 目 的 です。 我 が 国 で
開 催 されているプラズマプロセシングに 関 するシ
ンポジウムでは 最 も 伝 統 ある 会 議 の 一 つとなって
います。
シンポジウムでは,プラズマ 応 用 技 術 に 関 わる
基 礎 的 研 究 は 勿 論 のこと, 次 世 代 の 応 用 技 術 と 目
されているナノテクノロジー 分 野 (ナノ 粒 子 ,ナ
ノ 構 造 物 質 ,ナノ 加 工 ),バイオテクノロジー 分 野 ,
環 境 応 用 分 野 もスコープに 加 え, 総 合 的 な 議 論 が
できるように 企 画 しました。また、 次 世 代 を 担 う
大 学 院 生 等 の 人 材 育 成 の 観 点 より, 第 一 線 で 活 躍
する 著 名 な 研 究 者 を 招 待 して, 今 回 も「 特 別 講 演 」
と「 指 定 テーマ 講 演 」が 開 催 されました。
今 回 の 特 別 講 演 では, 初 日 に「プラズマ 研 究 の
基 礎 から 応 用 への 40 年 ~ 次 世 代 に 託 す 夢 」と 題 し
て 京 都 大 学 の 橘 邦 英 先 生 ,2 日 目 には「カーボン
ナノチューブの 気 相 合 成 と 応 用 研 究 における 最 近
のトピックス」と 題 して 大 阪 大 学 の 中 山 喜 萬 先 生
に 御 講 演 をいただきました。さらに, 指 定 テーマ
講 演 では,「 非 平 衡 プラズマ 化 学 反 応 による 水 素
合 成 とエネルギーシステムへの 応 用 」と 題 して 東
京 工 業 大 学 の 岡 崎 健 先 生 ,そして「ソリューショ
ンプラズマ・プロセシング」と 題 して 名 古 屋 大 学
の 高 井 治 先 生 に 御 講 演 をいただきました。
一 般 講 演 では, 以 下 のテーマを 設 定 して, 口 頭
発 表 ならびにポスター 講 演 を 合 せて 166 件 の 御 講
演 をいただきました。 各 セッションにおいて,プ
ラズマプロセシングを 接 点 とした 議 論 が 活 発 に 行
われました。また, 学 際 領 域 のシンポジウムである
特 徴 から,プラズマ 分 野 を 専 門 としない 研 究 者 によ
る 研 究 発 表 ・ 討 論 も 行 われたことも 大 きな 成 果 であ
ったといえます。
1) プロセシングプラズマの 発 生 ・ 制 御
2) プロセシングプラズマの 診 断 ・ 計 測 ・モニ
タリング
3) プロセシングプラズマにおける 素 過 程 ・モ
デリング
4) プラズマによるエッチング(ゲートスタッ
ク,ダマシン,MEMS など)
5) プラズマによる 薄 膜 形 成 ( 絶 縁 体 , 導 電 体 ,
半 導 体 , 金 属 ,Low-k,High-k, 配 線 材 料 ,
透 明 導 電 膜 など)
6) プラズマによる 表 面 改 質 ( 酸 化 , 窒 化 ,イ
オン 注 入 ,クリーニングなど)
7) 大 気 圧 ・マイクロプラズマの 基 礎 と 応 用
8) プラズマ 応 用 技 術
8-1) ナノテクノロジー(ナノ 構 造 物 質 [ 炭 素
系 , 窒 化 物 系 ],ナノ 粒 子 など)
8-2) バイオテクノロジー(バイオチップ, 殺
菌 ・ 滅 菌 など)
8-3) 環 境 応 用
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8-4) 光 応 用 ・ 発 行 デバイス 用 プラズマ
8-5) フラットパネルディスプレー・ジャイア
ントエレクトロニクス
9) 上 記 以 外 のプラズマプロセシング
今 回 のシンポジウム 開 催 にあたりまして, 山 口
大 学 教 育 研 究 後 援 財 団 , 山 口 大 学 工 学 部 , 応 用 物
理 学 会 中 国 四 国 支 部 ,( 財 ) 中 国 電 力 技 術 研 究 財 団 ,
( 財 ) 中 部 電 力 基 礎 技 術 研 究 所 より 開 催 助 成 金 を
賜 り,さらに 予 稿 集 への 企 業 広 告 として 計 8 社 ,
寄 付 金 として 計 1 社 にご 協 力 いただきました。 上
記 の 財 団 , 企 業 各 社 等 の 大 いなる 御 好 意 によって
本 シンポジウムを 開 催 することができましたこと
について, 厚 く 御 礼 申 し 上 げます。
最 後 に, 本 シンポジウムを 滞 りなく 開 催 できま
したのは, 企 画 立 案 から 広 報 , 講 演 ・ 参 加 募 集 ,
プログラム 作 成 , 各 種 出 版 ,さらには 当 日 の 運 営
に 携 わっていただいた 現 地 実 行 委 員 の 先 生 方 , 分
科 会 担 当 幹 事 の 先 生 方 ,ならびに 学 生 アルバイト
の 諸 氏 の 献 身 的 な 御 尽 力 の 賜 物 です。 此 処 に 深 甚
なる 感 謝 の 意 を 申 し 上 げます。
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国 内 会 議 報 告
第 1 回 名 古 屋 大 学 プラズマナノ 工 学 スクール
「 先 端 プラズマ 計 測 の 基 礎 と 応 用 」 報 告
名 古 屋 大 学 佐 々 木 浩 一
名 古 屋 大 学 プラズマナノ 工 学 研 究 センターでは,
2008 年 1 月 17 日 に, 名 古 屋 大 学 野 依 記 念 学 術 交
流 館 において, 先 端 プラズマ 計 測 の 基 礎 と 応 用 を
テーマとする 第 1 回 プラズマナノ 工 学 スクールを
開 催 しました。 本 稿 では,このスクールの 概 要 に
関 して 報 告 させていただきます。
プラズマナノ 工 学 研 究 センターは,プラズマナ
ノ 工 学 の 世 界 的 研 究 拠 点 を 形 成 すること,ナノテ
クノロジー・ 材 料 分 野 の 戦 略 的 基 幹 技 術 であるプ
ラズマ 技 術 の 研 究 開 発 を 行 うこと,および, 産 学
連 携 ・ 人 材 養 成 並 びに 国 際 連 携 を 推 進 することを
目 的 に, 名 古 屋 大 学 工 学 研 究 科 附 属 として 2006
年 10 月 に 発 足 した 新 しい 研 究 センターです。 本 研
究 センターの 設 立 に 関 しては, 既 に, 本 誌 45 号
(2006 年 12 月 発 行 )に 紹 介 させていただきまし
た。 若 手 研 究 者 養 成 および 社 会 人 教 育 は 本 研 究 セ
ンターの 重 要 なミッションの 一 つであり,プラズ
マナノ 工 学 スクールは,この 目 的 に 沿 って 今 後 も
毎 年 開 催 の 予 定 です。
プラズマプロセス 技 術 はブラックボックス 的 で
あると 言 われますが,その 一 因 はプラズマの 計 測
が 容 易 でないことにあります。 名 古 屋 大 学 では,
これまで,プラズマ 計 測 技 術 に 関 する 先 駆 的 な 研
究 が 行 われてきており, 第 1 回 プラズマナノ 工 学
スクールでは,プラズマ 計 測 技 術 をテーマに 取 り
上 げました。スクールのプログラムは 表 のとおり
です。プラズマに 関 して 最 も 基 本 的 な 電 子 パラメ
ータの 計 測 技 術 ,プラズマプロセスで 最 も 重 要 な
ラジカル 密 度 の 計 測 技 術 ,および,プラズマと 相
互 作 用 する 表 面 の 分 析 技 術 まで, 多 岐 にわたる 計
測 技 術 を 網 羅 的 に 取 り 上 げました。また,ラング
ミュアプローブ 法 や 発 光 分 光 法 のような 基 盤 的 計
測 技 術 からレーザー 応 用 技 術 のような 先 端 的 計 測
技 術 までを 解 説 し,これからプラズマ 計 測 を 始 め
ようとする 学 生 等 にとってはもちろん,これまで
用 いていた 計 測 技 術 を 更 新 してより 高 い 精 度 や 分
第 1 回 プラズマナノ 工 学 スクール
「 先 端 プラズマ 計 測 の 基 礎 と 応 用 」
プログラム
題 目 講 師
発 光 分 光 計 測 技 術 および LIF
計 測 技 術
プローブ 計 測 ・ 質 量 分 析 技 術
光 散 乱 によるプラズマ 診 断
吸 収 分 光 計 測 技 術
表 面 入 射 正 負 イオンの 計 測 評
価 技 術
機 能 性 薄 膜 ・ 表 面 評 価 技 術
佐 々 木 浩 一
豊 田 浩 孝
河 野 明 廣
堀 勝
林 俊 雄
高 井 治
解 能 を 求 めたり,これまで 計 測 できなかった 量 を
計 測 したいと 希 望 する 研 究 者 ・ 技 術 者 にも 役 立 つ
内 容 としました。
当 日 は, 一 般 :42 名 および 学 生 :49 名 の 参 加 者
が 得 られ, 講 師 等 を 含 んで 合 計 100 名 が 参 加 する
盛 会 となり, 質 疑 応 答 も 活 発 に 行 われました。ま
た,スクール 終 了 後 は 名 古 屋 大 学 内 において 懇 親
会 を 開 催 し, 特 に,これからプラズマ 技 術 を 導 入
されようとしている 企 業 の 方 と 講 師 との 間 で 有 意
義 な 産 学 交 流 がなされました。
本 スクールのテキスト(118 ページ)の 残 部 は
有 償 にてお 分 けしておりますので,ご 希 望 の 方 は
http://www.plasma.engg.nagoya-u.ac.jp/school2008/
をご 覧 の 上 お 申 し 込 みください。なお, 次 回 のプ
ラズマナノ 工 学 スクールは 2008 年 11 月 21 日 に 名
古 屋 大 学 において 開 催 の 予 定 です。たくさんの 方
のご 参 加 をお 待 ちしております。
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国 内 会 議 報 告
第 22 回 光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会 報 告
防 衛 大 学 校 明 石 治 朗
室 蘭 工 業 大 学 佐 藤 孝 紀
光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会 は、 第 20 回 ( 愛 媛 大 学 )
および 第 21 回 ( 神 奈 川 大 学 )と 地 方 と 首 都 圏 との
間 で 交 互 の 開 催 となり、 第 22 回 は 名 古 屋 工 業 大 学
( 共 通 23 号 館 4 階 共 10 教 室 )での 開 催 となった。
開 催 日 は 当 初 、 平 成 19 年 12 月 6 日 ( 木 )、7 日 ( 金 )の2
日 間 と 案 内 されたが、 募 集 テーマ「 新 光 源 、 一 般
光 源 および 放 電 プラズマ 光 源 の 基 礎 ・ 応 用 」への
講 演 申 込 が1 日 の 日 程 に 収 まる 件 数 であったため、
12 月 7 日 ( 金 )のみの 開 催 となった。
同 研 究 会 は 昨 年 より、 応 用 物 理 学 会 プラズマエ
レクトロニクス 分 科 会 (PE 分 科 会 )と、 照 明 学 会
光 の 発 生 ・ 関 連 システム 研 究 専 門 部 会 (LS 部 会 )
ならびに 光 放 射 の 応 用 ・ 関 連 計 測 研 究 専 門 部 会
(AR 部 会 )、 電 気 学 会 光 応 用 ・ 視 覚 技 術 委 員 会
(LAV 委 員 会 )の3 学 会 4 組 織 による 共 催 で 開 催
されており、 今 後 もこの4 組 織 による 共 催 が 続 く
見 通 しである。
本 研 究 会 は、 汗 ばむ 陽 気 の 中 お 昼 過 ぎから 講 演
者 ・ 参 加 者 が 集 い 始 め、13 時 より 開 催 された。 今
回 は 本 稿 末 に 示 した5 件 の 発 表 と 件 数 ではさびし
いものとなった。 発 表 の 主 な 内 容 は「PDP 放 電 お
よびMgO 薄 膜 」、「プラズマ 光 源 」、「 大 気 圧 グロー
放 電 」に 関 するもので、 実 験 とモデリングの 両 面
から 熱 心 な 議 論 がなされた。なお、 参 加 人 数 は 講
演 者 を 含 め、 計 11 名 であった。
事 後 の 資 料 請 求 ・ 問 合 せ 先 は、「 第 22 回 光 源 物 性
とその 応 用 研 究 会 資 料 」が 照 明 学 会 事 務 局 、「 光 応
用 ・ 視 覚 研 究 会 資 料 (2007 年 12 月 7 日 )」が 電 気 学
会 事 務 局 である。
なお、 本 研 究 会 の 発 表 は 科 学 技 術 振 興 機 構
(JST)のデータベースに 登 録 されることとなっ
ており、 発 表 毎 の 要 旨 の 提 供 を 求 められている。
また、 今 後 の 研 究 会 開 催 については、 年 々 講 演
者 、 参 加 者 が 減 少 しているため、 光 源 の 研 究 その
ものに 限 らず、 光 源 を 用 いた 計 測 に 関 する 研 究 な
ど 応 用 面 での 講 演 を 増 やすことが 重 要 ではないか
と 考 えられる。
最 後 になるが、 今 回 の 研 究 会 実 施 に 当 たって、
会 場 提 供 ・ 準 備 について 名 古 屋 工 業 大 学 の 小 田 昭
紀 先 生 と 同 研 究 室 の 学 生 諸 氏 より、そして 資 料 集
印 刷 の 手 配 については 電 気 学 会 事 業 サービス 課 よ
り、 多 大 なるご 協 力 をいただいたことに 関 して 謹
んで 御 礼 申 し 上 げたい。
第 22 回 光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会 講 演 題 目 ・ 著 者
PE-07-01/LS-07-01/AR-07-06/LAV-07-07
「 無 水 銀 蛍 光 ランプの 開 発 」
神 野 雅 文 、 戸 田 幸 伸 、 竹 田 征 史 、 平 碆 三 明 、
海 部 真 司 、 本 村 英 樹
( 愛 媛 大 学 大 学 院 理 工 学 研 究 科 電 子 情 報 工 学 専
攻 )
PE-07-02/LS-07-02/AR-07-07/ LAV-07-08
「MgO 薄 膜 の 二 次 電 子 放 出 係 数 の 検 討 」
鈴 木 進 、 伊 藤 晴 雄 ( 千 葉 工 業 大 学 )
PE-07-03/LS-07-03/ AR-07-08/ LAV-07-09
「プラズマディスプレイ 放 電 特 性 に 及 ぼす
O2 添 加 の 影 響 」
平 野 芳 邦 、 村 上 由 紀 夫 (NHK 放 送 技 術 研 究 所 )
小 田 昭 紀 ( 名 古 屋 工 業 大 学 )
PE-07-04/LS-07-04/AR-07-09/LAV-07-10
「DBDXeエキシマランプ 放 電 における 均 一 放 電
の 可 能 性 について」
明 石 治 朗 ( 防 衛 大 学 校 )
小 田 昭 紀 ( 名 古 屋 工 業 大 学 )
酒 井 洋 輔 ( 北 海 道 大 学 )
PE-07-05/LS-07-05/AR-07-10/ LAV-07-11
「 大 気 圧 ・ 直 流 Heグロー 放 電 の 流 体 モデリング」
小 田 昭 紀 、 木 村 高 志 ( 名 古 屋 工 業 大 学 )
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国 内 会 議 報 告
2008 年 春 季 第 55 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会 シンポジウム
「 液 相 プラズマ 科 学 の 研 究 課 題 と 応 用 への 展 望 」 報 告
京 都 大 学 江 利 口 浩 二
近 年 、 液 相 、 気 相 及 びその 境 界 でのプラズマ 応
用 が、さらに 活 発 になっている。しかしながら、
新 材 料 創 製 などへの 技 術 的 応 用 は 加 速 的 に 進 展 し
ているが、そのような 場 におけるプラズマの 生
成 ・ 反 応 メカニズムの 科 学 的 理 解 は 未 だ 十 分 でな
い。そこで 今 回 、プラズマエレクトロニクス 分 科
会 では、 液 相 を 中 心 とする 反 応 場 でのプラズマ 生
成 過 程 、 気 相 の 発 生 、また、 気 相 ・ 液 相 界 面 の 反
応 、 生 成 種 の 振 る 舞 いなどの 原 理 ・ 研 究 課 題 につ
いて 議 論 するとともに、 液 相 プラズマの 応 用 技 術
についてその 展 望 を 議 論 する 機 会 を 提 供 すること
を 目 的 として、 本 シンポジウムを 開 催 した。 各 応
用 分 野 で 活 躍 されている 先 生 方 に、 液 相 プラズマ
の 基 礎 ( 様 々なプラズマ 源 に 関 する 生 成 過 程 、 反
応 過 程 など)、 気 相 - 液 相 界 面 を 反 応 場 とする 種 々
のプラズマ 源 による 材 料 合 成 、 加 工 ・ 改 質 など、
幅 広 い 分 野 への 様 々な 液 相 プラズマの 応 用 例 を 講
演 いただき、その 課 題 などを 参 加 者 とともに 概
観 ・ 共 有 した。 参 加 者 はおおよそ 150 名 程 度 であ
った。
液 相 プラズマ 科 学 のニーズ( 今 回 の 企 画 の 趣 旨 )
についての 江 利 口 からのイントロダクトリートー
クに 続 き、7 名 の 講 演 者 から、 基 礎 から 応 用 につ
いて 最 前 線 での 研 究 内 容 について 興 味 深 い 話 題 が
示 された。
まず、 京 都 大 学 の 橘 邦 英 先 生 から、 種 々の 液 相
プラズマ 反 応 場 の 構 成 についての 説 明 が 示 された
後 、 十 分 に 解 明 されていない 液 相 プラズマの 科 学
的 理 解 には、 制 御 された 系 ( 単 純 化 された 系 )で
の 実 験 、モデリングが 重 要 である、との 話 があっ
た。また、 一 例 として、メッシュ 構 造 を 用 いたプ
ラズマ 発 生 例 とその 機 構 について 示 された 後 、 実
はそこには 未 だ 理 解 できていない 部 分 が 多 く、プ
ラズマ 発 生 機 構 の 解 明 ・ 理 解 が 今 後 重 要 である、
との 話 があった。 続 いて、 東 北 大 学 の 畠 山 力 三 先
生 から、 正 負 完 全 電 離 状 態 のイオン 液 体 を 用 いた
プラズマ 反 応 場 の 取 り 組 みを 中 心 に、シース 構 造
の 重 要 性 、 電 荷 移 動 の 機 構 解 明 が、 今 後 の 重 要 な
研 究 テーマであるとの 話 があった。 会 場 からはシ
ース 構 造 について 質 問 があり、 液 相 プラズマ 科 学
の 基 礎 に 対 する 興 味 の 深 さが 伺 えた。 続 いて、 名
古 屋 大 学 の 石 島 達 夫 先 生 からは、 電 極 を 必 要 とし
ないスロットアンテナを、 通 常 のプロセス 装 置 と
は 違 って 鉛 直 方 向 にアンテナ 面 を 配 置 した 構 成 で
の 実 験 例 が 示 された。 液 中 でのバブルの 発 生 とバ
ブルの 運 動 、プラズマの 形 成 については、 会 場 か
らの 質 問 と 同 様 、 当 該 装 置 の 構 成 がもたらす、そ
れらの 物 理 (プラズマ 発 生 、 成 長 過 程 など)は 興
味 深 いものであった。その 後 、 休 憩 を 挟 み、 液 相
プラズマの 応 用 例 についての 講 演 が 続 いた。 名 古
屋 大 学 の 高 井 治 先 生 からは、ソリューションプラ
ズマという 先 駆 的 コンセプトのもとで 研 究 を 推 進
されてきた 多 くのテーマの 中 で、ソリューション
プラズマの 場 における 金 ナノ 粒 子 合 成 についての
話 があった。また、 液 相 での 反 応 粒 子 数 の 多 さの
利 点 を 活 かしたソリューションプラズマの 多 くの
応 用 例 を 概 観 いただいた。 続 いて、 東 京 大 学 の 寺
嶋 和 夫 先 生 からは、 超 臨 界 状 態 +プラズマという
切 り 口 で、 新 しい 材 料 創 製 についての 話 があった。
超 臨 界 状 態 でのプラズマによる 反 応 を 利 用 すれば、
カーボンナノワイヤが 半 ば 自 己 整 合 的 にある 方 向
に 成 長 する 機 構 の 例 が 示 された。 会 場 からは、 同
様 のナノ 構 造 をつくることが 簡 単 ではなく、その
理 由 を 尋 ねる 質 問 もあり、 液 相 プラズマプロセス
の 科 学 的 理 解 の 必 要 性 が 議 論 された。 続 いて、 熊
本 大 学 の 秋 山 秀 典 先 生 からは、 水 中 でのパルスパ
ワーによるプラズマ 放 電 メカニズムについての 話
の 後 、 引 き 続 き、 液 相 プラズマプロセスの 応 用 例
の1つとして、“アオコ”の 処 理 ( 湖 沼 浄 化 )の 説
明 があった。さらに 実 際 に 利 用 されている 本 処 理
装 置 の 変 遷 ( 小 型 化 )についての 話 があった。 消
費 電 力 についての 質 問 もあったが、システムが 太
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陽 電 池 を 用 いている 点 からも、 外 部 電 力 供 給 は 不
要 である、という 点 を 強 調 されていた。 最 後 に、
愛 媛 大 学 の 野 村 信 福 先 生 からは、ダイアモンド 生
成 から 発 展 した 先 生 自 身 のプラズマの 研 究 経 歴 を
元 にユーモアを 交 え、 環 境 を 考 慮 しながらのプラ
ズマとの 取 り 組 みが 示 された。また、トルエンを
例 に、 液 相 プラズマを 利 用 した 反 応 例 が 示 された。
会 場 からは、CO2 削 減 の 可 能 性 や 水 素 の 取 り 出 し、
などについての 質 問 もあった。
今 回 のシンポジウムの 狙 いは、できるだけ 多 く
の 研 究 者 にプラズマに 親 しんでもらう( 興 味 を 持
ってもらう)ことも1つの 目 的 とした。 例 えば、
最 後 にお 話 しいただいた 愛 媛 大 学 の 野 村 信 福 先 生
は、 日 本 応 用 物 理 学 会 以 外 の 分 野 でも 大 変 活 躍 さ
れており、 本 シンポジウムに 参 加 ・ 講 演 いただい
た。プラズマが 幅 広 い 分 野 で 活 躍 していることも
再 認 識 できた。また、プラズマ 分 野 外 の 筆 者 の 知
人 からは、“プラズマがこんな 分 野 にも 積 極 的 に 応
用 されているとは 知 らなかった。 面 白 かった。”と
いう 評 価 をもらうこともできた。
しかしながら 一 方 で、プラズマに 携 わってきた
研 究 者 にとっては、 現 状 、 液 相 プラズマの 理 解 が
未 だ 不 十 分 であること、 多 くの 応 用 例 があるが 何
故 そのような 現 象 が 起 きるのか?についてはわか
っていないこと、など、 多 くの 未 解 決 の 課 題 が 再
認 識 された 場 であったと 思 われる。 多 くの 研 究 者
が、
(1) 液 相 プラズマの 応 用 例 を 概 観 でき、
(2) 未 だ 液 相 プラズマの 科 学 的 理 解 が 十 分 で
ないことを 再 認 識 でき、
そして
(3) 何 がわかっていて 何 がわかっていないの
か? 何 が 問 題 点 なのか?など 研 究 開 発 課 題 を 整 理
でき、
さらに、 結 果 として、 本 シンポジウムが 課 題 解
決 への 方 向 付 けの 場 となる 機 会 となったのであれ
ば、 企 画 者 の 一 人 として 幸 いである。
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国 内 会 議 報 告
2008 年 春 季 第 55 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会
合 同 セッション D「プラズマ CVD の 基 礎 と 応 用 」 報 告
名 古 屋 大 学 豊 田 浩 孝
合 同 セッション D はプラズマエレクトロニクス
分 科 「1.4プラズマ 応 用 プロセス」、 薄 膜 ・ 表 面
分 科 の「6.2カーボン 系 薄 膜 」および 非 晶 質 ・
微 結 晶 分 科 の「14.2 プロセス 技 術 」の 共 同 企 画 に
よるものであり、それぞれの 分 科 の 研 究 成 果 に 関
する 情 報 を 交 換 し 合 い、 違 った 視 点 から 議 論 を 交
わすことのできる 場 として 機 能 している。また、
本 セッション 講 演 からは、 講 演 奨 励 賞 を 受 賞 する
若 手 研 究 者 の 発 表 もあり 質 の 高 い 講 演 がおこなわ
れている。 今 回 の 合 同 セッションは 講 演 会 初 日 (27
日 ) 午 後 に 開 催 された。
セッションは8 件 の 講 演 からなり、 最 初 に 前 回
の 講 演 会 において 講 演 奨 励 賞 を 受 賞 した 岸 本 和 也
氏 の 発 表 がおこなわれた。 大 気 圧 プラズマを 利 用
して、Si 固 体 原 料 から 薄 膜 を 形 成 する APECT 法 を
用 いることにより、 高 結 晶 性 の Si 薄 膜 を 形 成 する
ことに 成 功 しており、 今 回 は 太 陽 電 池 Si 基 板 の 裏
面 に 形 成 されるポイントコンタクト BSF 層 への 応
用 を 目 的 として、SiO 2 /Si の 選 択 エピタキシャル
成 長 を 試 みた 結 果 についての 報 告 があった。 製 膜
時 間 に 対 する Si 成 長 速 度 を 下 地 基 板 に 対 して 比
較 した 結 果 、SiO 2 上 においては、 初 期 製 膜 速 度 が
Si のそれに 比 べて 遅 くなり、これによる Si 上 へ
の 選 択 エピタキシャル 成 長 の 可 能 性 が 示 されてい
た。また、B ドープ 特 性 についても 検 討 がおこな
われていた。 九 州 大 学 からは、SiH 4 有 磁 場 マルチ
ホロー 放 電 における 発 光 分 光 測 定 をもとに、 電 子
エネルギー 分 布 関 数 における 高 エネルギー 部 の 変
化 に 関 する 議 論 をおこなっていた。 特 に 磁 場 の 引
火 により 電 子 エネルギー 分 布 が 変 化 し 高 エネルギ
ー 電 子 が 減 少 し SiH 3 ラジカル 生 成 が 増 加 すると
いう 結 果 を 示 した。また、 同 じグループからマル
チホロー 放 電 プラズマにおけるクラスタ 取 り 込 み
量 のガス 流 速 依 存 性 に 関 する 報 告 がなされた。ガ
ス 流 に 流 される 最 小 クラスタサイズは 流 速 増 加 に
ともない 小 さくなるという 事 実 をもとに、クラス
タサイズ 分 布 と 流 速 による 取 り 込 みクリティカル
サイズの 変 化 から、 膜 中 へのクラスタ 取 り 込 みの
流 量 依 存 性 と 製 膜 速 度 依 存 性 に 関 する 議 論 がなさ
れた。
次 に、 微 結 晶 シリコン 膜 堆 積 に 関 連 する 2 件 の
発 表 があった。 産 総 研 のグループからは、 微 結 晶
シリコン 高 速 製 膜 用 の VHF プラズマ CVD 装 置 につ
いて、 放 電 開 始 後 の 経 時 変 化 を 質 量 分 析 、 発 光 分
析 により 測 定 した 結 果 が 示 された。ラジカル 量 、
電 子 温 度 、ナノ 粒 子 量 などを 総 合 的 に 詳 細 に 調 べ
ており、 今 後 の 研 究 の 発 展 が 期 待 される。また、
名 古 屋 大 学 のグループからは、2mx1mのマイ
クロ 波 大 面 積 プラズマ CVD 装 置 の 開 発 について 報
告 があった。 導 波 管 列 を 3 列 とすることにより、
メートルサイズでの 均 一 プラズマ 生 成 を 可 能 とし、
また 微 結 晶 Si 膜 の 高 速 かつ 均 一 な 製 膜 が 可 能 で
あることを 報 告 した。
最 後 にカーボン 膜 CVD に 関 連 する 3 件 の 発 表 が
あった。 九 州 大 学 のグループからは、コンビナト
リアル 手 法 をプラズマプロセスへ 適 用 するという
発 想 をもとに、 要 素 技 術 としてトレンチへの 有 機
材 料 薄 膜 のコンフォーマル 堆 積 に 関 する 実 験 結 果
が 示 された。また、 長 崎 大 学 からは 中 赤 外 領 域 に
おける 多 重 内 部 反 射 赤 外 分 光 法 を 用 い、アモルフ
ァス 炭 素 膜 への 水 素 ラジカル 照 射 による 水 素 引 き
抜 き 効 果 に 関 する 実 験 結 果 が 報 告 され、 吸 収 スペ
クトル 変 化 の 解 析 結 果 について、 議 論 がおこなわ
れた。 東 大 のグループからは、ダイアモンド CVD
におけるバイアス 処 理 に 関 する 発 表 があった。イ
オンエネルギー 評 価 のための、シース 構 造 に 関 す
るシミュレーション 計 算 結 果 も 報 告 されており、
興 味 深 い 結 果 が 得 られていた。
なお、 本 合 同 セッション D は 10 年 程 度 継 続 され
てきたが、 合 同 セッションの 長 期 開 催 が 基 本 的 に
は 認 められていない 中 、 次 回 をもって 一 旦 休 止 が
予 定 されている。
34

国 内 会 議 報 告
2008 年 春 季 第 55 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会
合 同 セッション F「カーボンナノチューブの 基 礎 と 応 用 」 報 告
武 蔵 工 業 大 学 平 田 孝 道
去 る 平 成 20 年 3 月 27 日 ~30 日 に、 日 本 大 学 理 工
学 部 船 橋 キ ャ ン パ ス ( 千 葉 県 船 橋 市 習 志 野 台
7-24-1)で 開 催 された 第 55 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講
演 会 において、 合 同 セッション F「カーボンナノチュー
ブの 基 礎 と 応 用 」が 開 催 された。 本 セッションは5 分 科
の 合 同 企 画 として 2003 年 春 季 講 演 会 から 実 施 され、
満 5 年 を 迎 えた 今 回 も、その 諸 特 性 の 解 明 及 び 応 用
に 関 する 研 究 が 盛 んに 行 われている。
今 回 の 発 表 件 数 は、102 件 ( 講 演 取 り 消 しも 含 む)
であり、 傍 聴 者 も 連 日 100 名 前 後 であった。 内 容 の 分
類 は 以 下 の 通 りである。• 合 成 ・ 成 長 ・ 配 向 32 件 ( 合
成 には、プラズマ CVD 法 、 熱 CVD 法 、レーザーアブ
レーション 法 、アーク 放 電 法 等 、 並 びに 形 成 機 構 解
明 を 含 む。)、• ナノカーボン 類 (ナノコイル・ナノウオ
ール・アークスート):10 件 、• 複 合 構 造 :5 件 、• 内 包
ナノチューブ:7 件 、• 分 離 ・ 分 散 ・ 修 飾 :4 件 、• 機 械
的 ・ 光 学 的 ・ 磁 性 的 物 性 評 価 :10 件 、• 電 界 放 出 特
性 : 3 件 、• SEM/AFM/TEM 観 察 : 4 件 、•
CNT-FET:9 件 、• バイオデバイス(センサ):5 件 、•
グラフェン 関 連 :5 件 、• その 他 :8 件 。
CNT の 光 学 的 評 価 については、 垂 直 配 向 SWNT
の 異 常 ラマン・スペクトと 偏 光 ラマン 分 光 ( 東 大 )やそ
の 場 ラマン 観 察 (NTT、 東 理 大 、 明 大 )などの 成 長 メカ
ニズム 解 明 に 関 する 重 要 な 興 味 深 い 報 告 があった。
さらに、PL の 空 間 分 布 測 定 によるカイラリティ 分 布 評
価 ( 名 大 )などの CNT 特 性 制 御 に 寄 与 が 期 待 される
報 告 もあった。また、CNT からの 蛍 光 発 光 測 定 や 近
赤 外 蛍 光 スペクトルに 関 する 報 告 もあり、 光 学 測 定 の
重 要 性 と 着 実 な 発 展 が 見 受 けられた。
SWNT の 金 属 ・ 半 導 体 分 離 については、ゲル 電 気
泳 動 による 報 告 ( 産 総 研 )が 非 常 に 興 味 深 かった。 比
較 的 簡 便 な 方 法 により、 半 導 体 比 率 を 95%まで 高 め
られるという 報 告 がなされた。また、ナノチューブインク
( 産 総 研 )と 題 した 密 度 勾 配 遠 心 分 離 法 を 基 本 原 理 と
する、 分 子 内 包 単 層 CNT の 金 属 、 半 導 体 の 高 純 度
分 離 が 注 目 された。
FET 応 用 に 関 しては、SWNT の 電 気 伝 導 特 性 制 御
に 関 する 報 告 が 多 く、イオン 照 射 、 中 性 子 ビーム 照 射 、
有 機 分 子 修 飾 、 電 極 構 造 の 工 夫 、 保 護 膜 の 堆 積 など、
様 々な 手 法 とその 効 果 について 議 論 が 交 わされた。
センサ 応 用 では、CNT 分 散 PMMA 薄 膜 を 用 いた 水
素 ガスセンサ、CNT による 光 学 的 ガスセンシング( 産
総 研 )、 微 小 流 体 制 御 された CNT 電 極 多 項 目 免 疫 セ
ンサ( 阪 大 、 北 陸 先 端 大 )が 注 目 を 集 めた。
非 チューブ 状 ナノカーボン 材 料 の 分 野 では、グラフ
ェンへの 関 心 の 高 まりもあり、 関 連 講 演 が 比 較 的 多 く
件 行 われたのが 特 徴 的 であった。 高 温 (95) 無 電 解
メッキ 中 での 成 長 ( 北 大 、 寿 産 業 、SEP)、 多 層 グラフ
ェンと 配 向 CNT の 複 合 構 造 形 成 ( 富 士 通 研 )が 注 目
を 集 めた。また、グラフェンシートからの 電 界 放 出 ( 北
大 、 産 総 研 )やナノグラフェン 素 子 における 量 子 輸 送
シミュレーション( 神 戸 大 、 東 理 大 )などの 報 告 もあっ
た。さらに、ナノウォールでは、メタルコンタクト、 電 極
間 架 橋 などの 電 子 デバイス 応 用 に 向 けた 進 展 が 見 ら
れた( 名 大 、 名 城 大 、 他 )。
CNT 成 長 メカニズムに 関 して、 講 演 奨 励 賞 受 賞 記
念 講 演 の 高 分 解 能 TEM その 場 観 察 ( 阪 大 )により、
多 層 CNT 成 長 中 の 触 媒 は 結 晶 化 しており、その 相 が
Fe 3 C であることが 明 らかにされた。また、 成 長 速 度 ( 豊
田 中 研 )や 反 応 ガス 種 (MIRAI-Selete)のその 場 測 定
に 関 する 報 告 があった。さらに、 分 子 動 力 学 による 計
算 機 シミュレーション( 東 大 )により CNT 内 部 での 触 媒
金 属 による 単 層 CNT 成 長 について 興 味 深 い 情 報 が
提 供 された。いずれの 講 演 も 成 長 メカニズムに 関 する
興 味 深 い 内 容 であった。また、アルコール CVD による
SWNT の 合 成 において、アセチレンを 添 加 することで
成 長 速 度 が 格 段 に 向 上 する( 東 大 )、MgO 基 板 を 用
いることにより 2 層 CNT の 収 率 が 向 上 する( 京 工 繊
大 )などの 講 演 が 注 目 を 引 いた。
新 しい 試 みとして、ナノカプセル 輸 送 に 関 する 講 演
35

( 阪 大 ・ 阪 府 大 )があり、 今 後 の 展 開 が 期 待 される。ナ
ノ 加 工 の 進 歩 も 見 られ、 先 端 が 1 nm まで 先 鋭 化 した
CNT の 作 製 に 関 する 講 演 ( 阪 大 )があった。CNT、
CNF の SPM 応 用 関 連 では 磁 性 材 料 を 含 む CNF の
磁 気 力 顕 微 鏡 探 針 への 応 用 が 興 味 深 かった。また、
高 配 向 CNT を 高 密 度 化 した 基 板 を 用 いた MEMS デ
バイスへの 応 用 ( 産 総 研 )など CNT の 機 械 的 な 特 徴
を 生 かした 発 表 があり、 新 たな 展 開 に 期 待 がもてた。
最 後 に、この 分 野 に 携 わる 様 々な 研 究 者 が 切 磋 琢
磨 しながら 活 発 な 研 究 活 動 を 持 続 し、カーボンナノチ
ューブを 含 むナノカーボン 分 野 が 更 なる 発 展 を 遂 げ
ることを 願 っています。 本 報 告 を 行 なうにあたり、 秋 田
成 司 ( 大 阪 府 立 大 )、 佐 藤 信 太 郎 ( 富 士 通 研 )、 種 村
眞 幸 ( 名 工 大 )、 本 多 信 一 ( 阪 大 )のご 協 力 に 深 謝 い
たします。
36

2008( 平 成 20) 年 度
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 幹 事 名 簿
氏 名 住 所 ・ 電 話 所 属
〒 812-8581
九 州 大 学
福 岡 市 西 区 元 岡 744
システム 情 報 科 学 研 究 院
幹 事 長 白 谷 正 治 TEL: 092-802-3733
電 子 デバイス 工 学 専 攻
FAX: 092-802-3734
siratani@ed.kyushu-u.ac.jp
〒606-8520 京 都 大 学
京 都 市 西 京 区 桂
国 際 融 合 創 造 センター
副 幹 事 長 白 藤 立 TEL: 075-383-3052
FAX: 075-383-3031
shira@icc.kyoto-u.ac.jp
〒 664-0005
株 式 会 社 ルネサステクノロジ
兵 庫 県 伊 丹 市 瑞 原 4-1
生 産 本 部 技 術 開 発 統 括 部
副 幹 事 長 藤 原 伸 夫 TEL: 072-787-2467
プロセス 開 発 部
FAX: 072-789-3023
ドライエッチング 開 発 グループ
fujiwara.nobuo@renesas.com
〒432-8561 静 岡 大 学
浜 松 市 城 北 3-5-1
工 学 部 電 気 電 子 工 学 科
編 集 委 員 永 津 雅 章 TEL: 053-478-1081
FAX: 053-478-1082
tmnagat@ipc.shizuoka.ac.jp
〒229-1198 NECエレクトロニクス
幹 事
相 模 原 市 下 九 沢 1120
プロセス 技 術 事 業 部
任 期 秋 元 健 司 TEL: 042-779-9925
ドライエッチ 技 術 グループ
2009 年 3 月
FAX: 042-771-0896
takeshi.akimoto@necel.com
〒606-8501 京 都 大 学
京 都 市 左 京 区 吉 田 本 町
大 学 院 工 学 研 究 科
〃 江 利 口 浩 二 TEL: 075-753-5983/0774-38-3966 航 空 宇 宙 工 学 専 攻
FAX: 075-753-5980/0774-31-8811
eriguchi@kuaero.kyoto-u.ac.jp
〒640-8510 和 歌 山 大 学
和 歌 山 市 栄 谷 930
システム 工 学 部
〃 太 田 貴 之 TEL/FAX: 073-457-8184
光 メカトロニクス 学 科
ohta@sys.wakayama-u.ac.jp
〃
〃
〃
奥 村 智 洋
上 坂 裕 之
佐 藤 孝 紀
〒571-8502 松 下 電 器 産 業 株 式 会 社
大 阪 府 門 真 市 松 葉 町 2-7
生 産 革 新 本 部
TEL: 06-6905-4772
生 産 技 術 研 究 所
FAX: 06-6905-2600
okumura.tomohiro@jp.panasonic.com
〒464-8603 名 古 屋 大 学 大 学 院
名 古 屋 市 千 種 区 不 老 町
工 学 研 究 科
TEL/FAX: 052-789-2787
機 械 理 工 学 専 攻
kousaka@mech.nagoya-u.ac.jp
〒050-8585 室 蘭 工 業 大 学
室 蘭 市 水 元 町 27-1
工 学 部
TEL/FAX: 0143-46-5506
電 気 電 子 工 学 科
ksatoh@mmm.muroran-it.ac.jp
37

〃
〃
〃
幹 事
任 期
2010 年 3 月
〒305-8568 産 業 技 術 総 合 研 究 所
つくば 市 梅 園 1-1-1 中 央 第 2
太 陽 光 発 電 研 究 センター
布 村 正 太 TEL: 029-861-5075
FAX: 029-861-3367
s.nunomura@aist.go.jp
〒511-0192 富 士 通 マイクロエレクトロニクス 株 式 会 社
桑 名 市 多 度 町 御 衣 野 1500
三 重 工 場
長 谷 川 明 広 TEL: 0594-24-9164
デバイス 開 発 統 括 部
FAX: 0594-24-9143
第 二 プロセス 開 発 部
〒857-1193 佐 世 保 工 業 高 等 専 門 学 校
佐 世 保 市 沖 新 町 1-1
電 気 電 子 工 学 科
柳 生 義 人 TEL: 0956-34-8528
FAX: 0956-34-8476
yyagyu@post.cc.sasebo.ac.jp
〒 980-8577
東 北 大 学
仙 台 市 青 葉 区 片 平 2-1-1
流 体 科 学 研 究 所
大 竹 浩 人 TEL/FAX: 022-217-5284
流 体 融 合 研 究 センター
ohtake@sammy.ifs.tohoku.ac.jp 知 的 ナノプロセス 研 究 分 野
〃
〒 432-8561
静 岡 県 浜 松 市 中 区 城 北 3‐5‐1
荻 野 明 久 TEL/FAX: 053-478-1616
taogino@ipc.shizuoka.ac.jp
静 岡 大 学 創 造 科 学 技 術 大 学 院
ナノビジョンサイエンス 部 門
〃
川 田 博 昭
〒599-8531 大 阪 府 立 大 学 大 学 院
大 阪 府 堺 市 中 区 学 園 町 1-1
工 学 研 究 科
TEL: 072-254-9270
電 子 物 理 工 学 分 野
kawata@pe.osakafu-u.ac.jp
〃
〃
〃
〃
〃
〒 239-8686
神 奈 川 県 横 須 賀 市 走 水 1-10-20
北 嶋 武 TEL: 046-841-3810
FAX: 046-844-5903
kitajima@nda.ac.jp
〒 185-8601
東 京 都 国 分 寺 市 東 恋 ヶ 窪 1-280
小 林 浩 之 TEL: 042-323-1111 (ext. 2141)
FAX: 042-327-7708
hiroyuki.kobayashi.sy@hitachi.com
〒 243-0198
神 奈 川 県 厚 木 市 森 の 里 若 宮 3-1
神 好 人 TEL: 046-240-2024
FAX: 046-240-4328
milabskt@aecl.ntt.co.jp
〒 235-8522
横 浜 市 磯 子 区 新 杉 田 町 8( 横 浜 事 業 所 )
林 久 貴 TEL: 045-776-5543
FAX: 045-776-4101
hi-hayashi@amc.toshiba.co.jp
〒 739-8530
東 広 島 市 鏡 山 一 丁 目 3-1
東 清 一 郎 TEL: 082-424-7655
FAX: 082-422-7038
sehiga@hiroshima-u.ac.jp
防 衛 大 学 校
電 気 情 報 学 群
電 気 電 子 工 学 科
日 立 製 作 所 中 央 研 究 所
先 端 技 術 研 究 部
601ユニット
NTTマイクロシステムインテグレーション 研 究 所
企 画 部
株 式 会 社 東 芝 セミコンダクター 社
プロセス 技 術 推 進 センター
半 導 体 プロセス 開 発 第 五 部
バックエンドプロセス 技 術 開 発
第 二 担 当
広 島 大 学 大 学 院
先 端 物 質 科 学 研 究 科
量 子 半 導 体 工 学 研 究 室
38

〃
〃
〃
〃
〒 157-8510
NHK 放 送 技 術 研 究 所
東 京 都 世 田 谷 区 砧 1-10-11
平 野 芳 邦 TEL: 03-5494-3246
FAX: 03-5494-3278
hirano.y-cq@nhk.or.jp
〒243-0014 ソニー 株 式 会 社
神 奈 川 県 厚 木 市 旭 町 4-14-1 半 導 体 事 業 本 部
深 沢 正 永 TEL: 046-202-2756
セミコンダクタテクノロジー 開 発 部 門
FAX: 046-202-6034
プロセス 技 術 部
masanaga.fukasawa@jp.sony.com;
〒 660-0891
東 京 エレクトロン 技 術 研 究 所
兵 庫 県 尼 崎 市 扶 桑 町 1-8
RLSAエッチャー 開 発 部
松 本 直 樹 TEL: 06-6487-4766
FAX: 06-6487-2897
naoki.matsumoto@tel.com
〒 410-1231
株 式 会 社 アルバック
静 岡 県 裾 野 市 須 山 1220-1
半 導 体 技 術 研 究 所
村 山 貴 英 TEL: 0559-98-1564
FAX: 0559-98-1767
takahide_murayama@ulvac.com
39

2008( 平 成 20) 年 度
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 幹 事 役 割 分 担
役 割 分 担
幹 事 長 (USBキー 保 持 者 ) 白 谷 正 治 九 州 大
白 藤 立
藤 原 伸 夫
京 都 大
ルネサステクノロジ
1. 分 科 会 ミーティング 小 林 浩 之 日 立 製 作 所 太 田 貴 之 和 歌 山 大
2 .シンポジウム 総 合 講 演 合 同 セッショ
ン
3. プラズマ 科 学 シンポジウム2009/
プラズマプロセシング 研 究 会
SPP26
○ 白 藤 立 京 都 大 上 坂 裕 之 名 古 屋 大
神 好 人 NTT 奥 村 智 洋 松 下 電 器
松 本 直 樹 東 京 エレクトロン ○ 江 利 口 浩 二 京 都 大
東 清 一 郎 広 島 大 柳 生 義 人 佐 世 保 高 専
○ 白 谷 正 治 九 州 大 長 谷 川 明 広 富 士 通
荻 野 明 久 静 岡 大 奥 村 智 洋 松 下 電 器
川 田 博 昭 大 阪 府 立 大 江 利 口 浩 二 京 都 大
深 沢 正 永
林 久 貴
村 山 貴 英
ソニー
東 芝 セミコンダクター
アルバック
4. 光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会 平 野 芳 邦 NHK 佐 藤 孝 紀 室 蘭 工 大
5. ミニ 研 究 会
7. プラズマエレクトロニクス 講 習 会
8. 会 誌 編 集 ・ 書 記
副 幹 事 長
6. インキュベーションホール
○ 藤 原 伸 夫 ルネサステクノロジ 秋 元 健 司 NECエレクトロニクス
平 野 芳 邦 NHK 長 谷 川 明 広 富 士 通
東 清 一 郎 広 島 大 ○ 太 田 貴 之 和 歌 山 大
大 竹 浩 人
神 好 人
東 北 大
NTT
○ 白 藤 立 京 都 大 上 坂 裕 之 名 古 屋 大
北 嶋 武 防 衛 大 秋 元 健 司 NECエレクトロニクス
村 山 貴 英 アルバック 布 村 正 太 産 総 研
○ 藤 原 伸 夫 ルネサステクノロジ 秋 元 健 司 NECエレクトロニクス
小 林 浩 之 日 立 製 作 所 長 谷 川 明 広 富 士 通
林 久 貴 東 芝 セミコンダクター 奥 村 智 洋 松 下 電 器
北 嶋 武 防 衛 大 布 村 正 太 産 総 研
松 本 直 樹
深 沢 正 永
東 京 エレクトロン
ソニー
○ 村 山 貴 英 アルバック ○ 布 村 正 太 産 総 研
大 竹 浩 人 東 北 大 柳 生 義 人 佐 世 保 高 専
9. ホームページ (USBキー 保 持 者 ) 荻 野 明 久 静 岡 大 柳 生 義 人 佐 世 保 高 専
10. 会 員 名 簿 北 嶋 武 防 衛 大 佐 藤 孝 紀 室 蘭 工 大
11. 庶 務 大 竹 浩 人 東 北 大
12. 会 計 荻 野 明 久 静 岡 大 太 田 貴 之 和 歌 山 大
13. プラズマエレクトロニクス 賞 白 谷 正 治 九 州 大
14. PE 懇 親 会 2008 秋 中 部 大 ○ 上 坂 裕 之 名 古 屋 大
2009 春 筑 波 大 ○ 北 嶋 武 防 衛 大
新 任
留 任
○: 取 りまとめ 役
40

2008( 平 成 20) 年 度
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 関 連 の 各 種 世 話 人 ・ 委 員
1. 応 用 物 理 学 会 講 演 分 科 の 世 話 人 ( 任 期 :1 期 2 年 )
8.1 プラズマ 生 成 ・ 制 御 八 田 章 光 ( 高 知 工 科 大 )
8.2 プラズマ 診 断 ・ 計 測 松 田 良 信 ( 長 崎 大 )
8.3 プラズマ 成 膜 ・ 表 面 処 理 一 木 隆 範 ( 東 京 大 )
豊 田 浩 孝 ( 名 古 屋 大 ): 代 表 世 話 人
8.4 プラズマエッチング 板 橋 直 志 ( 日 立 )
8.5 プラズマナノテクノロジー 明 石 治 朗 ( 防 衛 大 )
平 田 孝 道 ( 武 蔵 工 大 )
8.6 プラズマ 現 象 ・ 新 応 用 ・ 融 合 分 野 明 石 治 朗 ( 防 衛 大 )
平 田 孝 道 ( 武 蔵 工 大 )
合 同 セッションD:プラズマCVD 豊 田 浩 孝 ( 名 古 屋 大 )
合 同 セッションF:CNT 平 田 孝 道 ( 武 蔵 工 大 )
2.「 応 用 物 理 」 編 集 委 員 (2008.4~2010.3)
永 津 雅 章 ( 静 岡 大 )
3. 応 用 物 理 学 会 代 議 員 (1 期 2 年 )
節 原 裕 一 ( 大 阪 大 )
永 津 雅 章 ( 静 岡 大 )
八 田 章 光 ( 高 知 工 科 大 )
豊 田 浩 孝
白 藤 立
( 名 古 屋 大 )
( 京 都 大 ): 支 部 推 薦
4.GEC 組 織 委 員 会 委 員 ( 2007.10~2009.10 )
堀 勝 ( 名 古 屋 大 )
5.その 他 : 本 部 理 事 河 野 明 廣 ( 名 古 屋 大 )
6. 評 議 員
斧 高 一 ( 京 都 大 )
橘 邦 英 ( 京 都 大 )
中 山 喜 萬 ( 大 阪 大 )
堀 勝 ( 名 古 屋 大 )
真 壁 利 明 ( 慶 應 大 )
7.フェロー
菅 井 秀 郎 ( 中 部 大 )
橘 邦 英 ( 京 都 大 )
真 壁 利 明 ( 慶 應 大 )
渡 辺 征 夫 ( 九 州 電 気 専 門 学 校 )
8. 名 誉 会 員 後 藤 俊 夫
41

平 成 19 年 度 後 期 , 平 成 20 年 度 前 期 プラズマエレクトロニクス 分 科 会 活 動 報 告
応 用 物 理 学 会 プラズマエレクトロニクス 分 科 会
平 成 19 年 度 (2007 年 度 ) 第 4 回 幹 事 会
日 時 : 平 成 20 年 1 月 24 日 ( 木 )12:00~14:00
場 所 : 山 口 県 教 育 会 館 3F 会 議 室 Ⅰ
1. 平 成 20-21 年 度 幹 事 選 挙 結 果 報 告 、 他 諸 報 告
畠 山 幹 事 長 ( 東 北 大 )より、 平 成 20-21 年 度 幹
事 長 及 び 幹 事 に 関 する 選 挙 結 果 報 告 が 行 われた。
候 補 者 全 てが 信 任 され、 九 大 白 谷 委 員 が 次 期 幹 事
長 、 京 大 白 藤 委 員 及 び( 株 )ルネサスの 藤 原 委 員
が 次 期 副 幹 事 長 に 着 任 することを 決 定 した。
2. 名 簿 作 成 報 告
佐 藤 幹 事 ( 室 蘭 工 大 )より、2007 年 度 版 名 簿 作
成 についての 報 告 が 行 われた。 応 用 物 理 学 会 事 務
局 からの 要 望 で 名 簿 発 行 の 継 続 ( 次 回 以 降 )につ
いて 審 議 を 行 った。 応 用 物 理 学 会 の 会 員 名 簿 発 行
は 例 外 的 に 取 り 扱 われているが、 他 の 分 科 会 では
個 人 情 報 保 護 の 観 点 から 廃 止 されている 現 状 が 紹
介 された。 審 議 の 結 果 、 本 分 科 会 では 会 員 相 互 の
交 流 の 為 、 名 簿 情 報 を 少 なくとも 幹 事 会 で 保 有 す
ることを 原 則 とすることにしたが、 本 件 に 関 して
は 次 回 名 簿 発 行 時 期 に 再 審 議 することとした( 申
し 送 り 事 項 )。
3.PE インキュベーションホールの 準 備 状 況
上 坂 幹 事 ( 名 大 )より、PE インキュベーショ
ンホールの 準 備 状 況 について 報 告 が 行 われた。9
月 下 旬 もしくは8 月 下 旬 での 開 催 を 予 定 しており、
原 則 夏 休 み 期 間 中 に 開 催 することを 確 認 した。 研
究 活 性 化 資 金 を 応 用 物 理 学 会 に 一 月 末 に 申 請 する
ことを 承 認 した。 現 在 、 講 師 の 先 生 方 を 調 整 中 で
ある。
4.アカデミックロードマップについて
畠 山 幹 事 長 ( 東 北 大 )より、アカデミックロー
ドマップの 作 成 ( 完 成 )について 簡 単 な 紹 介 があ
った。 見 直 しの 際 、 今 回 同 様 積 極 的 に 取 り 組 むこ
とを 確 認 した。
5.SPP-25 の 開 催 状 況 について
畠 山 幹 事 長 ( 東 北 大 )より、SPP-25 の 開 催 状
況 について 簡 単 な 説 明 があった。 参 加 人 数 250 名 、
発 表 件 数 170 件 程 度 であり、 盛 況 に 催 されている
ことが 紹 介 された。
6.PSS-2009/SPP-26 の 準 備 状 況
畠 山 幹 事 長 ( 東 北 大 )より、PSS-2009/SPP-26
の 準 備 状 況 について 報 告 がなされた。 学 振 153
委 員 会 、プラズマ 核 融 合 学 会 及 び 本 分 科 会 の 共 同
開 催 で、 今 回 は 学 振 153 委 員 会 が 持 ち 回 り 式 で
イニシアティブを 取 っている。 共 同 開 催 に 当 たり、
総 合 講 演 及 び 指 定 テーマ 講 演 等 のプログラム 編 集
作 業 を 主 に 担 当 する PSS 側 代 表 を 選 出 する 必 要
があり、 次 年 度 (2008 年 度 ) 早 期 の 幹 事 会 にて 決
定 することを 確 認 した( 申 し 送 り 事 項 )。 応 用 物 理
学 会 会 誌 及 びプラズマ 物 理 学 会 会 誌 に 広 告 を 載 せ
ることも 確 認 した。
7.PE 分 科 会 会 報 ・ 会 誌 の 新 規 内 容 吟 味 について
( 例 えば 学 生 用 のページ 新 設 等 )
節 原 副 幹 事 長 ( 阪 大 )より、PE 分 科 会 会 報 ・ 会
誌 の 新 規 内 容 開 設 について 提 案 が 行 われた。 本 分
科 会 会 誌 をより 良 い 雑 誌 にするため、 例 えばダイ
ヤモンドフォーラム 等 の 雑 誌 を 参 考 にして 分 析 ・
解 析 手 法 の 解 説 に 関 するページを 含 めることや、
電 気 学 会 会 誌 等 を 参 考 にして 学 生 用 のページを 新
設 することが 紹 介 された。また、PE 会 誌 担 当 を
代 表 して 柳 生 幹 事 ( 佐 世 保 高 専 )から、インキュ
ベーションホールや PE 講 習 会 のテキストを 一 部
抜 粋 し 掲 載 する 案 も 提 案 された( 申 し 送 り 事 項 )。
8.GEC との 比 較 における American Vacuum
Society (AVS)との 関 りについて
AVS・PSTD(Plasma Science & Technology
Division)との 交 流 強 化 について AVS Executive
Committee の 浜 口 先 生 ( 阪 大 ) から 提 案 を 受 け
ていることが、 畠 山 幹 事 長 ( 東 北 大 )より 紹 介 さ
れた。 本 会 組 織 として 継 続 的 に 連 携 できるかどう
かを 慎 重 に 審 議 する 必 要 があり、 次 回 の 幹 事 会 以
降 で 浜 口 委 員 ( 阪 大 )を 含 め 継 続 的 に 審 議 するこ
とが 必 要 であるとの 合 意 に 達 した( 申 し 送 り 事 項 )。
9.その 他
応 物 学 会 論 文 賞 及 びプラズマエレクトロニクス
賞 の 紹 介 が 行 われた。
42

プラズマエレクトロニクス 分 科 会 ミーティング
( 兼 平 成 19 年 度 (2007 年 度 ) 第 5 回 幹 事 会 )
日 時 : 平 成 20 年 3 月 29 日 ( 土 )12:00~13:00
場 所 : 日 本 大 学 理 工 学 部 船 橋 キャンパス
6 号 館 2F-624
1. 平 成 19 年 度 活 動 報 告 , 収 支 決 算 報 告
畠 山 幹 事 長 ( 東 北 大 )より, 平 成 19 年 度 活 動 の
特 筆 すべきものとして,アカデミックロードマッ
プ, 応 物 75 周 年 事 業 ,インキュベーションホール
などが 挙 げられた。また, 佐 野 幹 事 ( 兵 庫 県 立 大 )
より,2007 年 1-12 月 までの 収 支 決 算 報 告 が 円 滑
に 行 われた。
2. 平 成 20-21 年 度 , 幹 事 選 挙 結 果 報 告 , 新 幹 事
紹 介
平 成 20-21 年 度 幹 事 長 および 幹 事 に 関 する 選 挙
結 果 報 告 が 行 われた 後 , 新 幹 事 より 簡 単 な 自 己 紹
介 が 行 われた。
3. 第 22 回 光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会 報 告
明 石 幹 事 ( 防 大 )より 第 21 回 光 源 物 性 とその 応
用 研 究 会 について 滞 りなく 開 催 されたことが 報 告
され, 来 年 度 は 10 月 初 旬 に 室 蘭 工 大 にて 開 催 する
予 定 であることが 周 知 された。
本 研 究 会 にて 発 表 すると 科 学 技 術 振 興 機 構 (JST)
のデータベースに 登 録 されることが 通 知 された。
今 回 は 発 表 件 数 が 少 し 少 なかったため, 次 回 研 究
会 での 発 表 件 数 の 増 加 にむけた 要 請 があった。 畠
山 幹 事 長 ( 東 北 大 )より 光 が 関 係 するプラズマの
重 要 な 研 究 会 なのでぜひ 継 続 して 盛 り 上 げて 行 き
たいとのコメントがあった。
4. 第 18 回 プラズマエレクトロニクス 講 習 会 報 告
大 岩 副 幹 事 長 ( 東 芝 セミコン)より, 第 18 回 プ
ラズマエレクトロニクス 講 習 会 の 開 催 状 況 につい
て 説 明 があった。 参 加 者 が 前 年 に 比 べて 若 干 減 少
したことが 懸 念 されたが, 講 習 会 に 参 加 した 方 は
その 内 容 に 満 足 している 様 子 であることが 報 告 さ
れた。 参 加 者 減 には 宣 伝 不 足 も 一 理 あると 思 われ
るが, 内 容 も 多 岐 に 渡 っており 産 業 構 造 の 変 化 か
ら 参 加 対 象 の 枠 をもっと 広 げて 積 極 的 に 宣 伝 して
いくことが 大 切 であることが 次 年 度 からの 課 題 と
して 示 された。 来 年 度 は 東 工 大 にて 開 催 される 予
定 であることが 周 知 された。
5. 会 報 No.47(2007 年 12 月 発 行 ) 報 告
布 村 幹 事 ( 産 総 研 )の 代 理 として 柳 生 幹 事 ( 佐
世 保 高 専 )より,2007 年 12 月 に 発 行 した 会 報 No.47
の 報 告 と 感 謝 の 意 が 伝 えられた。
6. 第 25 回 プラズマプロセシング 研 究 会 報 告
八 田 先 生 ( 高 知 工 科 大 )より 第 25 回 プラズマプ
ロセシング 研 究 会 の 開 催 状 況 について 説 明 があっ
た。 畠 山 幹 事 長 ( 東 北 大 )より, 地 方 都 市 での 開
催 では 過 去 最 多 の 研 究 会 であったことが 述 べられ
た。
7. 第 6 回 プラズマエレクトロニクス 賞 報 告
畠 山 幹 事 長 ( 東 北 大 学 )より, 第 6 回 プラズマ
エレクトロニクス 賞 に 寺 島 和 夫 先 生 ( 東 大 )を 始
め 共 著 者 6 名 が 受 賞 されたことが 報 告 され,その
受 賞 理 由 が 述 べられた。
8.2008 年 春 季 応 物 関 連 連 合 講 演 会 シンポジウム,
合 同 セッションについて
江 利 口 幹 事 ( 京 大 )より, 本 講 演 会 (2008 年 春
季 第 55 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会 )においてプ
ラズマエレクトロニクス 賞 授 賞 式 およびシンポジ
ウムが 開 催 されることが 報 告 された。
9. 会 報 No.48(2008 年 6 月 発 行 )について
柳 生 幹 事 ( 佐 世 保 高 専 )より, 会 報 No.48(2008
年 6 月 発 行 予 定 )の 目 次 案 が 提 示 された。 新 しい
取 り 組 みとして,プラズマエレクトロニクスに 関
する 学 生 のための 記 事 の 掲 載 について 述 べられ,
次 回 の 会 議 にてそのタイトルおよび 内 容 を 決 定 す
ることが 確 認 された。また, 会 報 に 取 り 入 れるべ
き 会 議 報 告 や 行 事 案 内 についても 提 案 があった。
10. 第 2 回 プラズマエレクトロニクスインキュ
ベーションホールについて
上 坂 幹 事 ( 名 大 )より,9 月 24-26 日 に 開 催 さ
れる 第 2 回 プラズマエレクトロニクスインキュベ
ーションホールの 開 催 案 が 報 告 された。 専 門 講 座
および 特 別 講 座 の 講 師 候 補 者 として 下 記 の 6 名 の
先 生 方 が 提 案 され, 承 認 を 得 た。 会 告 を 応 用 物 理
学 会 誌 7 月 号 に 掲 載 するために 5 月 15 日 までに 事
務 局 に 提 出 しなければならないため, 次 回 幹 事 会
での 会 告 案 の 審 議 が 提 案 された。また, 応 用 物 理
学 会 に 申 請 した 活 性 化 支 援 金 は, 一 部 減 額 された
43

ものの 16 万 円 の 援 助 を 受 けられることが 報 告 さ
れた( 昨 年 度 実 績 は 20 万 円 の 援 助 であったが, 本
年 は 一 律 カットの 影 響 を 受 け 減 額 となった)。
第 2 回 プラズマエレクトロニクスインキュベーシ
ョンホール 講 師 ( 案 )
1) 専 門 講 座
(1) プラズマ 生 成 の 基 礎
小 田 昭 紀 先 生 ( 名 工 大 )
(2) プラズマ 計 測 の 基 礎
佐 々 木 浩 一 先 生 ( 名 大 )
(3) プラズマエッチングの 基 礎
江 利 口 浩 二 先 生 ( 京 大 )
(4) プラズマ CVD の 基 礎
白 藤 立 先 生 ( 京 大 )
2) 特 別 講 座
(1)プラズマ 研 究 者 を 志 す 若 者 へ
佐 藤 徳 芳 様 ( 東 北 大 名 誉 教 授 )
(2)プラズマエレクトロニクス 最 前 線
西 村 栄 一 様 ( 東 京 エレクトロ
ンAT 株 式 会 社
技 術 担 当 チーフ
エンジニア)
11.2008 年 秋 季 講 演 会 のシンポジウム, 合 同
セッションについて
2008 年 秋 季 講 演 会 に 開 催 されるシンポジウム
の 題 目 について, 江 利 口 幹 事 ( 京 大 )より, 現 在
検 討 中 の 3 つの 候 補 案 が 紹 介 された。 新 たなテー
マの 提 案 が 促 され, 次 回 の 幹 事 会 にてシンポジウ
ムのテーマを 審 議 ・ 決 定 することが 提 案 された。
その 後 は,5 月 中 旬 までに 日 程 調 整 および 事 務 局
に 原 稿 の 提 出 ( 締 め 切 り 5 月 12 日 )を 行 い, 講 演
者 には6 月 15 日 の 締 め 切 りに 間 に 合 うよう 依 頼 す
る 予 定 である。 会 報 No.48(2008 年 6 月 発 行 予 定 )
にも 掲 載 する 予 定 であることが 説 明 された。 合 同
セッションの 講 演 者 に 関 しては, 候 補 者 に 内 諾 を
得 ている 旨 が 報 告 された。
12.アカデミックロードマップ 作 成 について
アカデミックロードマップ 作 成 について 関 根 委
員 長 ( 名 大 )より, 完 成 の 報 告 と 関 係 委 員 の 方 々
への 感 謝 が 述 べられた。 畠 山 幹 事 長 ( 東 北 大 学 )
より,アカデミックロードマップの 重 要 性 や 関 根
先 生 を 始 めとする 委 員 の 方 々に 労 いの 言 葉 が 述 べ
られた。
13.GEC2010/ICRP-7 合 同 開 催 について
GEC2010/ICRP-7 合 同 開 催 の 日 本 組 織 委 員 長
である 堀 先 生 ( 名 大 )より,ハワイで 行 われた GEC
と ICRP が 合 同 国 際 会 議 から 10 年 の 節 目 を 迎 えた
ため,2010 年 に GEC および ICRP の 合 同 国 際 会 議
をフランス パリで 開 催 することが 周 知 された。 本
会 議 は 日 本 のプラズマに 関 するポテンシャルを 披
露 する 絶 好 の 機 会 であるとともに 新 しい 潮 流 を 生
むきっかけになって 欲 しいとの 挨 拶 があった。
14.その 他
(1)プラズマ 科 学 シンポジウム PSS2009/
SPP-26 について
プラズマ 科 学 シンポジウムの 進 行 状 況 について,
節 原 副 幹 事 長 ( 阪 大 )が 分 科 会 の 窓 口 という 立 場
から 簡 潔 に 説 明 された。2 月 2-4 日 にかけて 名 古
屋 大 学 にてプラズマ 科 学 シンポジウム PSS2009/
SPP-26 が 開 催 される 予 定 であることが 報 告 され
た。 詳 細 は 6 月 の 応 用 物 理 学 会 誌 およびプラズ
マ・ 核 融 合 学 会 誌 に 掲 載 する 予 定 であるため, 次
回 幹 事 会 にて 次 期 委 員 を 決 定 する 際 にセッション
や 招 待 講 演 について 審 議 し,6 月 までに 大 枠 を 決
めるという 流 れであることが 説 明 された。
(2) 合 同 セッションについて
プラズマエレクトロニクスの 大 分 類 化 に 伴 い
170 件 を 超 える 講 演 件 数 があったことが 豊 田 幹 事
( 名 大 )より 報 告 された。 本 講 演 会 では「プラズ
マ 生 成 ・ 制 御 」がポスターセッションとなり, 次
回 は「プラズマ 計 測 」がポスターセッションに 当
たることが 報 告 された。 合 同 セッションについて,
合 同 セッション D は 約 10 年 間 に 渡 り 開 催 されて
おり, 短 期 で 行 われるのが 通 例 である 合 同 セッシ
ョンの 規 定 から 外 れてしまうため, 今 年 の 秋 まで
は 開 催 し,それ 以 後 は 別 の 形 で 企 画 していくこと
が 告 げられた。 引 き 続 き 幹 事 会 で 審 議 していくこ
とが 提 案 された。
(3)20 年 度 の 年 間 スケジュールについて
白 谷 次 期 幹 事 長 ( 九 大 )より,20 年 度 の 年 間 ス
ケジュールの 確 認 やその 修 正 が 行 われた。
(4)IUMRS-ICA2008 について
節 原 副 幹 事 長 ( 阪 大 )より, 高 井 先 生 ( 名 大 )
主 催 の MRS のアジアにおける 国 際 会 議 である
44

IUMRS-ICA2008 にて, 堀 先 生 ( 名 大 )が 代 表 を 務
めているセッションの 内 容 が PE 分 科 会 と 関 わり
が 深 いため 協 賛 にして 頂 きたいとの 審 議 がなされ
可 決 された。
応 用 物 理 学 会 プラズマエレクトロニクス 分 科 会
平 成 20 年 度 (2008 年 度 ) 第 1 回 幹 事 会
日 時 :2008 年 4 月 5 日 ( 土 )12:00~17:00
場 所 : 東 京 工 業 大 学 田 町 キャンパス 8 階 812 号 室
(5) 退 任 の 挨 拶
平 成 18-19 年 度 幹 事 長 および 幹 事 による 退 任 の
挨 拶 が 行 われた。
1. 幹 事 自 己 紹 介
幹 事 長 , 副 幹 事 長 , 二 期 目 の 幹 事 , 一 期 目 の 幹
事 の 順 で 簡 単 な 自 己 紹 介 が 行 われた。
2. 分 科 会 運 営 の 概 要 : 会 員 数 , 会 計 状 況 , 関 連
年 間 スケジュール
白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より,PE 分 科 会 に 所 属 する
会 員 数 が 460 名 (2008 年 2 月 末 日 )であることが
報 告 された。 会 員 数 は 分 科 会 の 活 力 を 示 すバロメ
ータにもなるので 会 員 増 に 向 けた 積 極 的 な 取 り 組
みの 重 要 性 が 周 知 された。また, 会 員 数 によって
応 用 物 理 学 会 代 議 員 の 議 席 が 決 定 されており, 会
員 数 の 多 い 分 科 会 ( 約 600 名 以 上 )では 毎 年 1 名
の 議 席 , 会 員 数 の 少 ない 分 科 会 は 隔 年 の 議 席 が 与
えられている。 現 在 ,PE 分 科 会 の 代 議 員 は 隔 年 で
あるため, 毎 年 の 議 席 を 確 保 して 行 きたい。 会 員
増 への 具 体 的 な 方 策 は, 議 案 7において 述 べられ
た。 会 計 状 況 は 議 題 4にて 太 田 幹 事 ( 和 歌 山 大 )
より 説 明 される。また, 年 間 スケジュールについ
て 昨 年 度 のものと 対 比 しながら 説 明 があった。
3. 幹 事 役 割 分 担
白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より, 平 成 20 年 度 の 分 科 会
幹 事 の 役 割 が 確 認 された。 新 たに PE 懇 親 会 の 担
当 が 決 められ,2008 年 秋 の 中 部 大 での 講 演 会 では
上 坂 幹 事 ( 名 大 ),2009 年 春 の 筑 波 大 での 講 演 会
では 北 島 幹 事 ( 防 大 )が 担 当 する。また, 名 簿 の
管 理 など 応 物 のサーバにアクセスする 際 に 必 須 で
ある USB キー( 事 務 局 から 配 布 )の 機 能 が 説 明 さ
れ,その 保 持 者 は 白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )および 荻 野
幹 事 ( 静 大 )であることが 確 認 された。 会 員 に 対
するメールは 幹 事 長 名 で 送 信 するため, 白 谷 幹 事
長 ( 九 大 )に 依 頼 することが 周 知 された。その 他 ,
平 成 20 年 度 分 科 会 関 連 の 各 種 世 話 人 ・ 委 員 が 確 認
された。 堀 先 生 ( 名 大 )より,その 他 の 部 分 で 本
部 理 事 以 外 にも 応 物 評 議 員 もまとめたほうが 協 力
体 制 が 明 確 になるとの 意 見 が 出 され 承 認 された。
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4.プラズマエレクトロニクス 分 科 会 決 算 書 , 予
算 書 の 内 訳
太 田 幹 事 ( 和 歌 山 大 )より,2008 年 1-12 月 の
決 算 ・ 予 算 書 が 簡 潔 に 報 告 された。 上 坂 幹 事 ( 名
大 )より,HP 作 成 費 の 使 途 に 関 する 質 問 に 対 し
て,SPP の 大 会 HP 作 成 に 使 用 されたもので 分 科
会 HP 運 営 に 使 われたものでないとの 回 答 があっ
た。また, 応 物 事 務 局 からの 通 達 として, 会 計 処
理 について 領 収 書 およびアルバイト 代 に 関 する 留
意 点 が 説 明 された。 特 に 注 意 する 点 として,(1) 領
収 書 には 自 宅 住 所 を 記 載 すること,(2) 講 演 料 と 旅
費 が 発 生 する 場 合 は 旅 費 を 含 めた 額 を 手 取 り 金 と
し 源 泉 税 を 明 記 すること,(3)アルバイト 代 は 従 事
した 日 数 を 示 すこと,(4) 飛 行 機 を 利 用 した 場 合 は
半 券 を 応 物 事 務 局 に 送 付 すること,(5) 日 本 人 は
10% 課 税 となり 日 本 人 も 含 め 外 国 に 居 住 している
人 は 20%の 課 税 となること,(6) 不 明 な 点 は 応 物 事
務 局 に 問 い 合 わせることが 挙 げられた。
5. 分 科 会 幹 事 長 会 議 (3/28 開 催 )の 報 告
白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より, 分 科 会 幹 事 長 会 議 に
おいて 4 月 1 日 付 けで APEX と JJAP の 刊 行 組 織
が 一 つになり 物 理 学 会 と 応 用 物 理 学 会 内 に 取 り 込
まれることが 決 まったことが 報 告 された( 詳 細 は
現 在 進 行 中 )。APEX が 1 月 1 日 より 刊 行 されてい
るが,プラズマ 関 連 の 論 文 が 少 ないため, 投 稿 数
の 増 加 および 質 の 高 い 論 文 の 投 稿 が 促 された( 現
在 の 投 稿 料 は 1 ページあたり 5000 円 )。 国 際 会 議
の 経 理 に 関 して, 応 物 が 財 務 を 負 う 会 議 と 負 わな
い 会 議 に 分 類 することが 決 まったことが 報 告 され
た。
6. 会 報 No.48(2008 年 6 月 発 行 )について
柳 生 幹 事 ( 佐 世 保 高 専 )より, 会 報 No.48 の 目
次 案 が 示 された。 今 号 より 新 連 載 が 決 まった 学 生
のためのページのタイトル 候 補 が 審 議 され,「すぐ
に 役 立 つプラズマエレクトロニクス」に 議 決 され
た。 内 容 は,インキュベーションホール( 以 下 ,
IH と 記 す)の 専 門 講 座 ・ 特 別 講 座 およびプラズマ
エレクトロニクス 講 習 会 より 選 ぶことが 決 められ,
掲 載 記 事 は 過 去 の 講 座 より 選 ぶことが 決 定 した。
また, 読 者 の 意 見 や 掲 載 記 事 に 対 する 要 望 などを
受 け 付 け, 反 映 できるように 編 者 の 連 絡 先 などを
掲 載 することになった。また, 会 報 を 更 に 充 実 さ
せるための 試 みとして, 第 0 回 プラズマプロセシ
ング 研 究 会 を 立 ち 上 げた 経 緯 を「SPP-0 からの 四
半 世 紀 ( 仮 )」という 題 目 で 当 事 者 の 先 生 方 に 執 筆
して 頂 く 案 が 白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より 出 された。
7. 第 2 回 プラズマエレクトロニクスインキュ
ベーションホールについて
上 坂 幹 事 ( 名 大 )より, 第 2 回 プラズマエレク
トロニクス IH について, 専 門 講 座 および 特 別 講
座 共 に 講 演 者 が 決 定 していることが 報 告 された。
応 物 6 月 号 に IH 開 催 の 通 知 を 掲 載 するには 応 物
事 務 局 への 原 稿 の 入 稿 は 4 月 15 日 までである。6
月 号 に 掲 載 するとその 後 の 会 合 一 覧 に 掲 載 される
ためなるべく 早 く 掲 載 することが 望 ましい。 分 科
会 会 員 への IH の 周 知 はメールおよびチラシで 行
う。 申 し 込 みの 際 は 通 例 Fax もしくはメールで 行
われていたが,CGI 入 力 フォームを 使 用 すること
も 可 能 であることが 確 認 された。ただし, 過 度 な
アクセスの 集 中 によりエラーが 発 生 しやすいこと
は 留 意 するべきである。
ここで, 白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より, 会 員 数 増 加 の
ための 思 索 として, 非 会 員 の IH 参 加 費 には 分 科
会 年 会 費 分 の 3000 円 が 加 算 されていることを 受
け,IH 参 加 申 し 込 みの 際 に 非 会 員 の IH 参 加 者 を
対 象 にした 分 科 会 登 録 欄 を 設 けることが 提 案 され
た。 分 科 会 会 員 になるメリットとして「 分 科 会 主
催 の 行 事 へ 割 引 料 金 で 参 加 可 , 年 二 回 会 報 の 送 付 」
が 挙 げられ,それを 基 軸 に 勧 誘 を 行 っていく。 昨
年 の IH 参 加 者 で, 事 前 に 会 員 登 録 をしていたの
は 56 人 中 15 人 であったため, 会 員 増 への 貢 献 が
期 待 される。なお, 分 科 会 入 会 への 選 択 は 自 由 と
する。また, 入 会 費 が 参 加 費 で 補 われるというこ
とになるため, 団 体 で IH に 参 加 する 場 合 の 分 科
会 での 名 義 について 議 論 されたが,これまで 通 り
個 人 での 登 録 とすることが 確 認 された。 会 員 増 に
向 けた 本 提 案 は,PE 分 科 会 が 主 催 する 講 習 会 や 学
術 講 演 会 に 適 用 していく。
8. 第 25 回 プラズマプロセシング 研 究 会 開 催 の 改
善 点 について
白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より, 第 25 回 プラズマプロ
セシング 研 究 会 について(1) 質 問 者 が 偏 る,(2)いつ
も 参 加 している 人 の 参 加 が 少 ない,(3)プラズマ 分
野 外 の 参 加 者 が 少 ない,(4) 講 演 会 場 での 滞 在 時 間
が 短 いという 改 善 点 が 述 べられた。 分 科 会 の 重 要
行 事 である 研 究 会 の 運 営 には 随 時 これらを 考 慮 し
46

ていくこと 確 認 された。 堀 先 生 ( 名 大 )より, 研
究 に 対 する 興 味 のシフトは 各 分 野 の 投 稿 論 文 数 よ
り 推 測 できるのではないかという 意 見 が 出 された。
9.プラズマ 科 学 シンポジウム 兼 第 26 回 プラズマ
プロセシング 研 究 会 について
白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より,2 月 2-4 日 にかけて
高 井 先 生 ( 名 大 )を 委 員 長 として 開 催 されるプラ
ズマ 科 学 シンポジウム 兼 第 26 回 プラズマプロセ
シング 研 究 会 (PSS2009/SPP-26)について 簡 単 な
説 明 があった。5 月 初 旬 に 第 一 回 組 織 委 員 会 が 開
催 されるときに 提 出 するテーマについて 議 論 され
た( 申 し 送 り 事 項 )。 白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より, 高
井 先 生 ( 名 大 )と 連 絡 を 取 り 合 いセッション 内 容
や 招 待 講 演 などの 概 要 が 決 定 したらメールにて 幹
事 に 案 内 することが 連 絡 された。
10.2010 年 およびそれ 以 降 のプラズマプロセシン
グ 研 究 会 について
白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より,SPP-28 は 2010 年 秋
に 開 催 されることが 確 認 された。また, 近 年 の SPP
は 地 方 開 催 が 多 く 東 京 ・ 関 東 での 開 催 が 少 ない。
SPP-27(2010 年 )は 関 東 での 開 催 が 提 案 され 議 決
された。
11.ミニ 研 究 会 の 企 画 について
白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より, 企 画 者 の 興 味 に 沿 っ
て 開 催 できる 自 由 度 の 高 い 研 究 会 として 今 年 度 よ
りミニ 研 究 会 の 開 催 が 提 案 され 議 決 された。 学 会
ではディスカッションが 少 なくなりがちなため,
ミニ 研 究 会 ではディスカッションを 重 要 視 して 進
めていく。 名 称 は「プラズマエレクトロニクス 分
科 会 第 N 回 研 究 会 」(N: 回 数 )とし,それに 付
随 する 研 究 会 の 小 題 は 自 由 に 設 定 できる。 参 加 費
は 無 料 とし, 開 催 資 金 は 活 性 化 支 援 金 ( 年 三 回 申
請 書 提 出 ;1 月 ,6 月 ,9 月 )および 分 科 会 予 算 よ
り 捻 出 する。 各 幹 事 からの 意 見 として,プラズマ
の 研 究 分 野 からは 離 れている 異 分 野 の 研 究 者 との
関 わりができてよい( 白 藤 副 幹 事 長 ( 京 都 大 )),
若 手 が 何 でも 聞 けるような 研 究 会 を 目 指 すとよい
( 東 幹 事 ( 広 島 大 )), 良 い 試 み。 学 会 での 講 演 を
掘 り 下 げた 研 究 会 を 目 指 すと 良 い( 大 竹 幹 事 ( 東
北 大 )), 産 業 も 含 めて PE が 包 括 している 分 野 や
役 立 っている 分 野 をトピックスとして 挙 げていく
と 良 い( 神 幹 事 (NTT))が 挙 げられた。
12.2008 年 秋 季 ( 第 69 回 ) 講 演 会 の 分 科 会 ミー
ティングについて
太 田 幹 事 ( 和 歌 山 大 )より,2008 年 秋 季 ( 第 69
回 ) 講 演 会 の 分 科 会 ミーティングは 例 年 通 りシン
ポジウム 開 催 日 の 12-13 時 に 開 催 されることが 報
告 された。
13.2008 年 秋 季 講 演 会 のシンポジウム 等 について
江 利 口 幹 事 ( 京 都 大 )より,2008 年 秋 季 講 演 会
(2008 年 9 月 2-5 日 )のシンポジウム 日 程 および
テーマ 案 , 講 演 者 案 が 挙 げられ 審 議 された。パル
スプラズマとバイオを 合 わせたテーマが 発 案 され
たが,シンポジウムの 際 の 議 論 がパルスプラズマ
のバイオへの 応 用 に 偏 ってしまい 広 がりが 見 られ
ない 可 能 性 が 高 いため 分 類 したほうが 良 いという
意 見 が 堀 先 生 ( 名 大 )よりが 出 された。いくつか
の 候 補 の 中 からパルスプラズマを 中 心 に 据 えたテ
ーマが 決 定 した。 日 程 は, 第 一 優 先 日 を 9 月 3 日 ,
第 二 優 先 日 を 9 月 4 日 とし, 講 演 者 との 調 整 のう
え 決 定 する。また,セッション 内 招 待 講 演 ( 講 演
時 間 30 分 ~60 分 )を 開 催 することが 決 定 し, 白
藤 副 幹 事 長 ( 京 都 大 )が 2008 年 秋 季 講 演 会 の 担 当
であることが 確 認 された。 講 演 候 補 者 には, 引 用
率 の 高 い 論 文 を 執 筆 していることや 興 味 深 い 研 究
をされていることが 条 件 に 挙 げられた。
応 物 でのシンポジウム 数 は 増 加 傾 向 にあるため,
今 後 は「プラズマエレクトロニクス 分 科 会 企 画 シ
ンポジウム」というタイトルをつけることが 提 案
された。また, 白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より,シンポ
ジウムのテーマ 立 案 の 際 に 重 要 な 視 点 として, 学
術 的 , 分 科 会 会 員 , 異 分 野 の 研 究 者 , 企 業 の 研 究
者 , 他 のシンポジウムと 比 較 して 集 客 できるテー
マ( 勝 てる 企 画 )が 挙 げられ,キーワードの 提 案
が 各 幹 事 に 促 された。 以 下 にシンポジウムのテー
マ 立 案 に 関 するキーワードを 示 す。
キーワード:パルス,バイオ, 環 境 , 洗 浄 ( 水 ,
ガスなど),プラズマの 歴 史 ,シリコンプロセス
(High-K・Metal Etching,Low-K ダメージ 回 復 ),
医 療 ,マイクロプラズマ,パーティクル,プラズ
マパラメータのモニタリング 技 術 , 光 源 ,トライ
ボマイクロプラズマ,プラズマアクチュエータ,
樹 脂 の 表 面 改 質 ( 機 械 特 性 (ダイヤモンド,DLC,
CNT,フラーレン)), 基 礎 ( 断 面 積 ), 再 現 性 ,
バラツキ, 装 置 問 題 ,CNT 応 用 , 滅 菌 ,デバイス
47

ダメージ,ナノテク, 微 粒 子 ,MEMS,テープエ
ッチング,プラズマ- 表 面 相 互 作 用 ,ナノ 粒 子 ,ナ
ノ 薄 膜 ,クリーン 化 技 術 , 低 汚 染 , 低 パーティク
ル, 低 損 傷 ( 低 ダメージ), 基 礎 , 成 膜 応 用 (CVD
スパッタ),エッチング 応 用 ,アプリケーション,
20nm ノード,450mm, 境 界 現 象 , 界 面 の 相 互 作
用 ,3D デバイス, 農 業 , 生 活 プラズマ
14. 第 23 回 光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会 について
佐 藤 幹 事 ( 室 蘭 大 )より, 光 源 物 性 とその 応 用
研 究 会 の 活 性 化 に 向 けて 照 明 学 会 より 大 幅 修 正 が
行 われるため, 第 23 回 光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会
の 開 催 日 および 開 催 会 場 の 変 更 が 報 告 された。 講
演 者 と 参 加 者 の 減 少 を 受 け, 研 究 会 スタイルから
シンポジウム(1-3 件 )および 一 般 講 演 という 形
へ 変 更 していく 方 針 である。 現 在 ,10 月 開 催 の 予
定 であり, 照 明 学 会 との 協 議 のうえ 詳 細 が 決 まり
次 第 , 幹 事 長 へ 通 知 することが 周 知 された。
15. 第 19 回 プラズマエレクトロニクス 講 習 会 につ
いて
奥 村 幹 事 ( 松 下 電 器 )より,2008 年 10 月 30-31
に 東 工 大 100 年 記 念 館 にて 第 19 回 プラズマエレク
トロニクス 講 習 会 が 開 催 予 定 であることが 報 告 さ
れた。 聴 講 者 の 増 加 および 対 象 を 広 げるために 多
岐 に 渡 るテーマ・ 誰 もが 関 心 を 持 つテーマを 取 り
上 げていく 方 針 であることが 報 告 された。 白 谷 幹
事 長 ( 九 大 )より, 従 来 と 違 う 企 業 を 勧 誘 してい
くことが 大 切 であるため, 応 物 HP のキーワード
検 索 などを 利 用 してプラズマ 関 連 講 演 を 検 索 し,
今 まで 声 をかけてこなかった 企 業 をリストアップ
しておくという 案 が 出 された。 学 術 講 演 会 に 参 加
しているプラズマ 関 連 企 業 およびその 連 絡 先 (メ
ールアドレス)のリストアップは 白 谷 幹 事 長 ( 九
大 )が 担 当 するので,それ 以 外 の 方 法 でプラズマ
を 使 っている 企 業 を 発 掘 していくことが 奥 村 幹 事
( 松 下 電 器 )に 促 された。
16.ホームページについて
柳 生 幹 事 ( 佐 世 保 高 専 )より, 分 科 会 ホームペ
ージについて 吉 村 前 幹 事 ( 大 阪 大 学 )より 引 継 ぎ
があったことが 報 告 された。しかし, 現 時 点 にお
いて 不 具 合 から 応 物 のサーバに 接 続 できていない
ため, 早 急 に 原 因 を 解 明 し 情 報 をアップロードす
ることが 伝 えられた。
17. 会 員 名 簿 作 成 について
佐 藤 幹 事 ( 室 蘭 大 )より, 分 科 会 会 員 名 簿 を 作
成 しているのは PE 分 科 会 だけであり, 個 人 情 報
の 観 点 から 廃 止 すべきではないかとの 提 案 を 事 務
局 より 受 けていることが 報 告 された。 本 件 に 関 し
て, 幹 事 会 に 参 加 している 幹 事 (22 名 )の 意 向 が
調 査 され, 名 簿 を 使 用 したことがある:4 名 , 名
簿 があっても 良 い:14 名 という 結 果 を 得 た。( 申
し 送 り 事 項 )
18.2009 年 応 物 スクールについて
白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より,2009 年 応 物 スクール
について 人 集 めが 出 来 る 企 画 でタイムリーに 開 催
する 方 針 が 確 認 された。 随 時 , 考 えられるテーマ
を 検 討 していかなくてならない。( 申 し 送 り 事 項 )
19. 第 7 回 プラズマエレクトニクス 賞 について
白 谷 幹 事 長 ( 九 大 )より, 第 7 回 プラズマエレ
クトニクス 賞 の 通 知 を PE 分 科 会 会 報 6 月 号 およ
び 分 科 会 HP に 掲 載 することが 報 告 された。 参 加
幹 事 に 対 してプラズマエレクトニクス 賞 論 文 の 推
薦 依 頼 があった。
20.プラズマ 分 野 の 学 会 連 携 活 動 の 依 頼
特 になし
21.ICRP 開 催 準 備 状 況 報 告 と ICRP 実 行 委 員 会
設 置 について
GEC 委 員 および 本 分 科 会 オブザーバの 堀 先 生
( 名 大 )より,GEC2010/ICRP-7 の 合 同 開 催 の 経
緯 ・ 準 備 状 況 が 説 明 された。 開 催 地 をフランス パ
リに 決 定 したことで,アメリカからは GEC を 中
心 として,アジア 諸 国 からは ICRP を 中 心 として,
ヨーロッパ 周 辺 諸 国 からは 開 催 地 域 諸 国 からのプ
ラズマ 研 究 者 の 参 加 が 見 込 めることが 強 調 された。
日 本 側 の 組 織 は ICRP 委 員 長 の 堀 先 生 ( 名 大 ),PE
分 科 会 幹 事 長 の 白 谷 先 生 ( 九 大 ), 前 GEC 委 員 の
斧 先 生 ( 京 大 ), 前 ICRP 委 員 長 の 畠 山 先 生 ( 東 北
大 )を 主 要 構 成 メンバーとして 討 議 された 骨 格 を
PE 分 科 会 で 検 討 した 後 ,GEC 側 に 提 案 していく
方 針 であることが 報 告 された。なお,GEC 側 の 組
織 委 員 長 はまだ 不 明 である(おそらく 2010 年 の
GEC チェアパーソンが 就 任 すると 思 われる)。 今
後 も 継 続 して ICRP と GEC の 合 同 開 催 を 行 ってい
くため, 組 織 委 員 にはできれば 若 手 の 分 科 会 幹 事
48

を 選 ぶ 方 針 であることが 報 告 された。
また, 10 月 13-17 日 にかけて 米 国 ダラスで 開 催
される GEC2008 の 開 催 日 やアブストラクト 締 め
切 り(6 月 13 日 )について 分 科 会 会 員 への 案 内 が
依 頼 された。なお,GEC の 招 待 講 演 者 として 相 応
しい 人 の 推 薦 が 幹 事 へ 促 された。
19.その 他
(1)PE 分 科 会 の 会 員 増 へ 向 けて( 議 題 7 参 照 )
(2) 第 14 回 プラズマ 理 工 学 国 際 会 議
(ICPP2008:International Congress on Plasma
Physics)のアブストラクトの 締 め 切 りが 4 月 25
日 であることが 報 告 された。ICPP は,ICPIG に 並
ぶ 大 きな 国 際 会 議 で 特 集 号 ( 約 300 編 )がプラズ
マ 核 融 合 学 会 が 発 行 している 英 文 論 文 誌 PFR に
掲 載 される。
(3) 応 物 フェローの 一 般 推 薦 があれば 白 谷 幹 事
長 ( 九 大 )へ 連 絡 することが 報 告 された。 今 後 は
一 般 推 薦 が 廃 止 されフェローがフェローを 推 薦 す
る( 年 に 2 名 )ことになる。
(4)IUMRS-ICA2008 への 協 賛 ( 依 頼 側 は 会 員 に
案 内 のメールを 流 すことができる)が 確 認 された。
49

行 事 案 内
2008 年 秋 季 第 69 回 応 用 物 理 学 会 学 術 講 演 会 シンポジウム
パルスプラズマが 拓 く 新 しい 技 術
~プロセスから 環 境 ・バイオまで
京 都 大 学 江 利 口 浩 二
現 代 社 会 において、プラズマは、 学 術 的 ・ 産 業
的 側 面 からも 重 要 な 役 割 を 担 っていると 言 えます。
プラズマを 記 述 する 物 理 量 としては、 密 度 ( 正 イ
オン、 負 イオン、 電 子 、 中 性 粒 子 、 活 性 種 など)
と 温 度 ( 電 子 、イオン、 中 性 粒 子 など)がありま
す。“プラズマを 応 用 する 視 点 ”に 立 てば、それら
パラメータを 最 適 化 ・ 安 定 化 ・ 制 御 することが 重
要 です。さらには、 例 えば 高 性 能 微 細 デバイスの
製 造 工 程 や、 機 械 部 品 の 加 工 においては、 空 間 的 ・
時 間 的 にも 物 理 量 が 制 御 されていることが、 良 好
でかつ 安 定 したプラズマプロセスの 実 現 には 重 要
とされています。 一 方 、プラズマを 記 述 する 物 理
量 は、 前 述 したガス 系 やシステムなどの 装 置 に 起
因 する 要 素 やプラズマ 形 成 のためのエネルギー 投
入 の 方 式 にかかわる 要 素 など、インプットするパ
ラメータによって 決 定 されます。
しかしながら、プラズマプロセスへの 要 求 が 多
様 化 しています。そこで、 近 年 、 所 望 のプラズマ
を 形 成 するため、プラズマパラメータの 時 間 的 変
化 ( 過 渡 応 答 )の 違 いに 注 目 し、 最 適 化 するイン
プットパラメータ(パワー)をパルス 化 したプラ
ズマ 技 術 が 注 目 されています。パルスプラズマ 技
術 は、 物 理 量 の 定 常 ( 平 衡 ) 状 態 ではなく、 非 定
常 的 な 過 渡 現 象 、すなわち、 物 理 量 に“ 陽 ”に 現
れない 過 渡 応 答 係 数 を 積 極 的 に 最 適 化 するもので
す。これら 過 渡 現 象 に 注 目 することで、 低 温 化 、
大 気 圧 形 成 などにメリットを 活 かしつつ、 反 応 場
での 広 義 の 温 度 や 反 応 粒 子 密 度 のバランスを 最 適
化 する 道 が 拓 けてきました。
現 在 、パルスプラズマは、プロセスプラズマか
ら 環 境 ・バイオ・ 医 療 へ 広 く 応 用 されています。
そこで、 今 回 、パルスプラズマの 生 成 ・ 反 応 メカ
ニズムの 理 解 を 深 め、 今 後 の 展 望 ・ 新 たな 課 題 な
どを 整 理 し 議 論 する 機 会 を 企 画 しました。シンポ
ジウムでは、 各 分 野 で 活 躍 されている 先 生 方 をお
招 きし、メカニズムから 応 用 までの 幅 広 い 議 論 が
行 われます。 皆 様 におかれましては、 奮 ってご 参
加 いただき、パルスプラズマ 技 術 のさらなる 応 用
展 開 を 議 論 する 有 意 義 な 場 にしていただきたく、
何 卒 お 願 い 申 し 上 げます。
なお、 本 シンポジウムに 先 立 ち、プラズマエレ
クトロニクス 賞 の 表 彰 式 (13:15~13:45)が 行 われ
ます。
開 催 予 定 日 時 :2008 年 9 月 3 日 ( 水 )13:45~17:20
プログラム:
1.「イントロダクトリートーク」(10 分 )
京 都 大 江 利 口 浩 二
2.「マイクロプラズマにおける 大 気 圧 ナノ 秒 パル
ス 放 電 」(30 分 ) 東 工 大 石 井 彰 三
3.「 大 気 圧 パルス 放 電 における 物 理 ・ 化 学 と 環 境
浄 化 技 術 への 応 用 」(30 分 )
首 都 大 学 東 京 栃 久 保 文 嘉
4.「パルス 高 電 界 の 生 体 作 用 とその 応 用 」(30 分 )
熊 本 大 勝 木 淳
― 休 憩 (15 分 )―
5.「パルスパワーを 用 いた 大 気 圧 プラズマの 生 成
とその 応 用 」(30 分 ) 岩 手 大 高 木 浩 一
6.「ハイパワーパルススパッタ(HPPS)の 特 徴 と
成 膜 への 応 用 」(30 分 ) 同 志 社 大 行 村 建
( 株 ) 神 戸 製 鋼 所 玉 垣 浩 、 宗 政 淳 、 沖 本 忠 雄
7.「パルス 時 間 変 調 プラズマによる 超 低 損 傷 微 細
加 工 プロセス~LSI プロセスからバイオとナノの
融 合 プロセスに 向 けて~」(30 分 ) 東 北 大 寒 川
誠 二
8.「 総 括 」(10 分 )
九 州 大 白 谷 正 治
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行 事 案 内
International Congress on Plasma Physics 2008 (ICPP2008)
第 14 回 プラズマ 理 工 学 国 際 会 議
九 州 大 学 佐 藤 浩 之 助
基 礎 プラズマ、 核 融 合 プラズマ、 宇 宙 プラズマ、プラズマ 応 用 等 の 幅 広 い 分 野 に 関 するプラズマ 理
工 学 の 現 状 と 将 来 の 方 向 性 について 議 論 する 第 14 回 プラズマ 理 工 学 国 際 会 議 を 2008 年 9 月 8 日 ~
9 月 12 日 の 日 程 で 福 岡 国 際 会 議 場 ( 福 岡 市 )にて 開 催 する 運 びとなりました。2008 年 はプラズマ 物 理
や 宇 宙 ・ 核 融 合 プラズマの 研 究 活 動 が 開 始 されてから 50 年 目 に 当 たる 記 念 すべき 年 ですので、 積 極 的
な ICPP2008 へのご 参 加 をよろしくお 願 いいたします。
■ 開 催 日
2008 年 9 月 8 日 ~9 月 12 日
■ 会 場
福 岡 国 際 会 議 場
(〒812-0032 福 岡 市 博 多 区 石 城 町 2-1)
http://www.marinemesse.or.jp/congress/
■アブストラクト 締 切
2008 年 4 月 25 日
■ 投 稿 論 文 受 付
アブストラクト 受 理 日 (2008 年 6 月 予 定 )~
9 月 1 日
■ 早 期 登 録 : 2008 年 7 月 31 日
■ホテル 予 約 : 2008 年 7 月 31 日
■ 会 議 中 登 録 : 2008 年 9 月 7 日 ~9 月 12 日
■ 参 加 登 録 料
2008 年 7 月 31 日 まで 2008 年 8 月 1 日 以 降
一 般 50,000 円 一 般 55,000 円
学 生 15,000 円 学 生 17,000 円
同 伴 者 3,000 円 同 伴 者 3,000 円
■シンポジウムタイトル 一 覧
A. Fundamental Problems of Plasma Physics
B. Magnetically Confined Plasmas
C. High Energy Density Plasmas
D. Space and Astrophysical Plasmas
E. Plasma Applications
F. Sprouting Approaches and New Trends
Focused topics are organized to encourage the wide
scope, interdisciplinary discussion in the following
fields on ICPP2008.
After reviewing all of the submitted abstracts, a sequence
of correlative presentations among them is
grouped and clustered together, forming a focused
session (see the related explanation in the heading of
Abstracts).
F-A . Advanced Plasma Physics in Linear Devices
F-B . Advance in Turbulence and Structure Formation
Physics
F-C . Laboratory-Space-Astrophysical Plasma Interrelation
F-D . Frontiers of Dust Plasmas
F-E . ITER-Driven Plasma Physics
F-F . Edge Plasma Physics and Materials Interaction
F-G . Plasma Optics and Photonics
F-H . Bio/Nanotechnology Frontiers - Plasmas with
Gas/Liquid Interfaces
■その 他
詳 細 は web サイトにてご 確 認 ください。
http://www.triam.kyushu-u.ac.jp/ICPP/
51

行 事 案 内
第 2 回 プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール 案 内
名 古 屋 大 学 上 坂 裕 之
第 2 回 プラズマエレクトロニクス インキュベーションホール
日 時 :2008 年 9 月 24 日 ( 水 )15:00~9 月 26 日 ( 金 )12:00
場 所 :マキノパークホテル&セミナーハウス
(〒520-1813 滋 賀 県 高 島 郡 マキノ 町 高 木 浜 サニービーチ 前 )
Tel: 0740-28-1231,Fax: 0740-28-0806(http://www.hachikougen.co.jp/)
このたび, 第 2 回 プラズマエレクトロニクスイ
ンキュベーションホールを 企 画 致 しましたので 会
員 の 皆 様 に 案 内 させて 頂 きます。 御 指 導 の 学 生 様
などに 振 るってご 参 加 いただけます 様 お 勧 め 頂 け
れば 幸 いです。
内 容 :
プラズマプロセス 研 究 を 始 めたばかりの 初 学 者
( 学 生 ・ 若 手 研 究 者 ・ 社 会 人 技 術 者 )を 対 象 とし
て, 一 流 の 講 師 陣 を 招 きプラズマプロセスへの 理
解 を 深 めてもらうための4つの 専 門 講 座 を 開 講 し
ます。この 専 門 講 座 では, 従 来 形 式 の 単 なる 受 身
の 講 義 ではなく,ディベート 的 要 素 ( 問 答 )をも
加 味 した 受 講 者 参 加 型 の 人 材 育 成 プログラムの 構
築 を 目 指 しています。 講 述 内 容 そのものは, 初 学
者 が 基 礎 学 理 をしっかりと 理 解 したうえで, 当 該
分 野 における 最 新 科 学 の 話 題 にも 触 れられるよう
に 構 成 されています。そのうえで, 海 外 経 験 , 企
業 経 験 , 産 学 連 携 経 験 などの 豊 富 な 講 師 陣 からは,
留 学 ・ 在 外 研 究 経 験 , 企 業 で 必 要 とされる 資 質 , 産
学 連 携 のエピソードなどを 適 時 交 えた 講 義 を 頂 き,
受 講 者 のプラズマプロセス 研 究 への 興 味 を 喚 起 し
ます。さらにこの 専 門 講 座 に 加 えて,2つの 特 別
講 座 ,ポスターセッション,レクレーションを 行
います。 特 別 講 座 では, 大 学 ・ 企 業 の 一 流 研 究 " 指
導 者 "を 招 き, 当 該 分 野 の 最 新 動 向 や 指 導 者 に 必 要
とされる 資 質 について 学 ぶ 機 会 を 提 供 します。ポ
スターセッションやレクレーションでは, 受 講 者
と 講 師 の 全 員 がお 互 いに 垣 根 なく 議 論 することで,
参 加 者 間 の 人 脈 形 成 が 促 されます。
【 専 門 講 座 】 ( 講 義 名 は 仮 題 , 各 1 時 間 40 分 )
1 「プラズマ 生 成 の 基 礎 」
小 田 昭 紀 先 生 ( 名 工 大 )
2 「プラズマ 計 測 の 基 礎 」
佐 々 木 浩 一 先 生 ( 名 大 )
3 「プラズマエッチングの 基 礎 と 研 究 開 発
・ 量 産 現 場 での 課 題 」
江 利 口 浩 二 先 生 ( 京 大 )
4 「プラズマ CVD の 基 礎 」
白 藤 立 先 生 ( 京 大 )
【 特 別 講 座 】 ( 各 1 時 間 )
1 「プラズマの 魅 力 ,その 応 用 への 道 」
佐 藤 徳 芳 先 生 ( 東 北 大 学 名 誉 教 授 )
2 「 企 業 におけるプラズマ 研 究 ・ 応 用 の 最 前 線 」
西 村 栄 一 先 生 ( 東 京 エレクトロンAT
株 式 会 社 技 術 担 当 チーフエンジニア)
【ポスターセッション】 (2 時 間 )
参 加 者 間 の 交 流 が 深 まるよう、ポスターセッションを
中 心 とする 談 話 会 を 行 います。 参 加 者 自 身 のバックグ
ランドに 関 連 したもの、たとえば.....
学 生 の 場 合 : 現 在 の 研 究 テーマにまつわるもの、
学 部 での 卒 業 研 究 など(4 年 生 の 場 合 これから 行
う 研 究 など)
社 会 人 の 場 合 : 企 業 の 仕 事 にまつわるもの、 企
業 ・ 自 社 製 品 のPR, 入 学 前 の 大 学 での 研 究 など
であれば、 内 容 ・ 分 量 は 一 切 問 いません。 幅 0.9mx 縦
1m 程 度 のボードが 用 意 されますので、あらかじめポス
ターのご 準 備 をお 願 いします。また, 参 加 申 込 書 にポ
スター 内 容 を 示 すキーワードを3つまでご 記 入 ください。
52

キーワードを 元 にポスター 掲 示 場 所 をアレンジ 致 しま
す。 本 ポスターセッションは 全 員 の 方 の 発 表 を 原 則 とし
ますが、 発 表 に 支 障 がある 場 合 は 参 加 申 込 書 のポス
ターセッションキーワード 欄 にその 旨 をご 記 入 ください。
なお、 優 秀 はポスター 発 表 者 には 表 彰 を 行 います。
【その 他 】 懇 親 会 ,レクレーション(バスフィッシ
ング,マウンテンバイクツーリングなど)を 予 定
しています。 本 企 画 HP に 当 日 の 詳 細 スケジュール
を 記 載 しておりますので 参 考 にして 下 さい。
参 加 申 込 :
【 申 込 方 法 】
イ ン キ ュ ベ ー シ ョ ン ホ ー ル ウ ェ ブ サ イ ト
(http://annex.jsap.or.jp/plasma/PE_files/PE_SS_2008/in
dex.htm)から 参 加 申 込 書 をダウンロードいただき,
e-mail,FAX あるいは 郵 送 の 何 れかの 方 法 で 上 坂 まで
お 申 し 込 みください。 申 込 を 受 け 次 第 , 参 加 登 録 確 認
を 通 知 します。その 後 に 参 加 費 ( 下 表 参 照 )を 振 り 込 ん
でください。なお, 参 加 費 の 振 り 込 みには 必 ず 個 人 名
と「PEIH」という 4 文 字 のアルファベットを 記 載 してくだ
さい( 例 : 木 村 さんの 場 合 “キムラ PEIH”)。 一 旦 振 り 込
まれた 参 加 費 は, 原 則 として 返 却 いたしません。
【 定 員 】 60 名
【 申 込 締 切 】 8 月 31 日 ( 日 )
【 振 込 先 】 三 井 住 友 銀 行 本 店 営 業 部 ( 本 店 でも 可 )
口 座 ( 普 通 )3339808 ( 社 ) 応 用 物 理 学 会 プラズマエレ
クトロニクス 分 科 会 ( 入 金 締 め 切 り 9 月 12 日 )
【 問 合 せ・ 申 込 先 】
〒464-8603 愛 知 県 名 古 屋 市 千 種 区 不 老 町
名 古 屋 大 学 大 学 院 工 学 研 究 科 機 械 理 工 学 専 攻
生 産 プロセス 工 学 グループ 上 坂 裕 之
TEL(052)789-2787,FAX(052)789-2787,
E-mail:pe-ih2008@ume.mech.nagoya-u.ac.jp
参 加 費
学 生 会 員 への 交 通 費 補 助 :
下 記 の 交 通 費 補 助 の 条 件 を 満 たした 場 合 , 交 通
費 補 助 金 をサマースクール 終 了 後 に 振 り 込 みます
ので, 対 象 となる 方 は、 参 加 申 込 書 に 必 要 事 項 を
記 入 ください。
< 交 通 費 補 助 の 条 件 >
学 生 会 員 若 しくは 今 回 学 生 会 員 ( 大 学 院 生 を 含
む)になられた 方 で, 大 学 所 在 地 が 関 西 ( 京 阪 神 を
含 む) 以 遠 又 は 関 東 ( 神 奈 川 , 東 京 は 除 く) 以 遠
の 方 を 対 象 とします。ただし, 大 学 院 生 について
はポスターセッションでの 発 表 を 必 須 条 件 としま
す。
本 企 画 の 詳 細 情 報 (ホームページ):
http://annex.jsap.or.jp/plasma/PE_files/PE_SS_2008/index.htm
担 当 幹 事 :
校 長 : 白 藤 立 ( 京 都 大 学 )
幹 事 : 布 村 正 太 ( 産 総 研 )
上 坂 裕 之 ( 名 古 屋 大 学 )
秋 元 健 司 (NEC エレクトロニクス)
北 嶋 武 ( 防 衛 大 学 )
村 山 貴 英 (アルバック)
交 通 案 内 :
東 京 →(JR のぞみ 新 幹 線 ,2 時 間 24 分 )→ 京 都 (JR
湖 西 線 ,1 時 間 9 分 )→ 近 江 今 津 (JR 湖 西 線 ,8 分
[1 駅 ])→マキノ→( 徒 歩 ,5 分 )→ 会 場
* 米 原 から 北 陸 本 線 で, 米 原 → 長 浜 → 近 江 塩 津 →
マキノと 至 る 方 法 もありますが, 電 車 の 接 続 が 悪
い 場 合 もありますので 十 分 ご 注 意 下 さい。
プラズマエレクトロニクス 分 科
会 と 応 用 物 理 学 会 の 個 人 会 員
応 用 物 理 学 会
個 人 会 員
協 賛 学 協 会 個 人 会 員 および
プラズマエレクトロニクス 分 科
会 の 個 人 会 員
その 他
一 般 40,000 円 43,000 円 48,000 円 53,000 円
学 生 14,000 円 17,000 円 22,000 円 27,000 円
* 応 用 物 理 学 会 賛 助 会 社 およびプラズマエレクトロニクス 分 科 会 賛 助 会 社 所 属 の 方 はそれぞれの 個 人 会 員 扱 いとさ
せていただきます.** 遠 方 からの 会 員 学 生 ( 含 大 学 院 生 )に 対 して 交 通 費 の 一 部 を 補 助 する 予 定 . 詳 細 はHPをご
覧 ください.*** 本 分 科 会 会 員 ( 年 会 費 3000 円 )に 同 時 入 会 いただくと, 今 回 から 会 員 価 格 で 参 加 出 来 ます. 入 会
者 には, 年 2 回 の 会 報 ( 非 売 品 )や 会 員 名 簿 ( 非 売 品 ) 入 手 , 各 種 スクールへの 会 員 価 格 での 参 加 などのメリットがあ
ります. 入 会 手 続 きは https://www.jsap.or.jp/jsapweb/system/do/signInSelect より 行 ってください.
53

行 事 案 内
61st Gaseous Electronics Conference 2008
第 61 回 気 体 エレクトロニクス 会 議
(GEC2008)
名 古 屋 大 学 堀 勝
第 61 回 GEC(Gaseous Electronics Conference)が 米 国 ダラスにて、10 月 13 日 ~17 日 に 渡 り 開
催 されます(http://www.utdallas.edu/gec)。
同 会 議 は、プラズマの 基 礎 を 重 視 し、 科 学 に 基 づいた 先 端 プロセスとその 応 用 まで 世 界 最 高 水 準 の
発 表 がなされる 国 際 会 議 であり、プラズマエレクトロニクス 分 科 会 とも 密 接 な 関 係 を 長 年 維 持 して 参
りました。 今 回 は、 日 本 からもトップレベルの 研 究 者 が 招 待 講 演 を 行 い、プラズマの 気 相 と 固 体 、 液
体 表 面 の 相 互 反 応 現 象 からその 先 端 応 用 に 至 るまで 興 味 深 いセッションがアレンジされています。 昨
年 度 は、 米 国 についで 日 本 からの 多 数 の 参 加 者 があり、 同 分 野 の 日 本 の 高 いレベルの 発 表 に 対 して 多
くの 参 加 者 が 高 い 評 価 をするとともに、 最 終 日 まで 会 場 の 熱 気 が 続 きました。
また、2010 年 10 月 4 日 ~8 日 には、 日 本 がアジアを 代 表 して 創 設 したICRP(International
conference on reactive plasmas)とGECとの 合 同 国 際 会 議 (GEC2010/ICRP-7)がパリの 中 心 で 開 催 さ
れることになりました。 本 会 議 は、アジア、 米 国 、 欧 州 が 初 めて 一 同 に 会 して 開 催 する 画 期 的 な 国 際
会 議 になることが 期 待 され、 現 在 プラズマエレクトロ 二 クス 分 科 会 が 中 心 となって 準 備 を 始 めており
ます。2 年 後 のパリでの 会 議 の 成 功 に 向 けて、 本 年 度 のGECに 日 本 から 多 くの 参 加 者 と 発 表 がある
ことが 非 常 に 重 要 になっております。つきましては、 分 科 会 の 会 員 の 皆 様 が 奮 って 参 加 していただき
ますよう、 心 からお 願 い 申 し 上 げます。アブストラクトおよび Student Award の 締 め 切 りは、6 月 13
日 です。 多 くの 方 々が 申 し 込 んでいただきますよう、 何 卒 よろしくお 願 い 致 します。ご 不 明 な 点 等 ご
ざいましたら、 分 科 会 GEC 世 話 人 ( 堀 :hori@nuee.nagoya-u.ac.jp)までご 連 絡 していただきますよ
うお 願 い 致 します。
■ 開 催 日
2008 年 10 月 13 日 ~17 日
■ 会 場
The Marriott Dallas/Addison Quorum by the Galleria in
Dallas, Texas
(14901 Dallas Parkway Dallas, Texas 75254 USA)
■アブストラクト 締 切
2008 年 6 月 13 日
■GEC Student Award 締 切
2008 年 6 月 13 日
■ 参 加 登 録 料
Early ※3 After 8/15
and Onsite
General Registration $350 $450
Student/Retiree ※1 $160 $225
Single Day Registration ※2 $200 $250
Banquet $50 $65
※1 Student/Retiree conference registration also includes the
banquet on October 16, 2008.
※2 Presenters may NOT register using "Single Day Registration."
※3 The early registration deadline is August 15, 2008
■ホームページ
http://www.utdallas.edu/gec
54

■シンポジウムタイトル 一 覧
1.1 Electron and photon collisions with atoms and
molecules
1.2 Heavy particle interactions: ion-atom,
ion-molecule, neutral-neutral, other
1.3 Dissociation, recombination and attachment
1.4 Molecular clusters and many-body problems
1.5 Computational methods for atomic and molecular
processes
1.6 Distribution functions and transport coefficients:
electrons, ions
1.7 Near-threshold collision processes
1.8 Slow collisions
1.9 Collisions with complex targets
1.10 Ionization of atoms and molecules
1.11 Other atomic and molecular collision phenomena
2.1 Glows: DC pulsed, RF, microwave, inductive,
others
2.2 Coronas, breakdown, and sparks
2.3 Capacitively coupled plasmas
2.4 Inductively coupled plasmas
2.5 Magnetically-enhanced plasmas: ECR, helicon,
magnetron, others
2.6 Dielectric barrier discharges, displays
2.7 High pressure glow discharges
2.8 Thermal plasmas: arcs, jets, switches, others
2.9 Laser media, kinetics, and processes
2.10 Lighting plasmas: glows, arcs, flat panels, novel
sources, others
2.11 Plasma diagnostics: optical, electrical, others
2.12 Plasma chemistry: atmospheric, gas phase, surface
2.13 Plasma boundaries: sheaths, boundary layers,
others
2.14 Dusty plasmas
2.15 Negative ion plasmas
2.16 Plasma instabilities
2.17 Computational methods for plasmas
2.18 Plasma-surface interactions
2.19 Materials processing in low pressure plasmas:
etching, deposition, new materials
2.20 Environmental applications
2.21 Treatment of textiles
2.22 Biological and emerging applications of plasmas
2.23 Plasma propulsion and Aerodynamics
2.24 Plasma applications for nanotechnology
2.25 Innovative plasma applications
2.26 Other plasma topics
55

行 事 案 内
第 19 回 プラズマエレクトロニクス 講 習 会
「プラズマプロセスの 基 礎 と 応 用 最 前 線 」
‐ 多 様 化 するプラズマ 応 用 プロセスとその 制 御 ‐
主 催 : 応 用 物 理 学 会 プラズマエレクトロニクス 分 科 会
日 時 :2008 年 10 月 30 日 ( 木 )-31 日 ( 金 )
場 所 : 東 京 工 業 大 学 ( 大 岡 山 キャンパス)
百 年 記 念 館 3F フェライト 会 議 室
〒152-8552 東 京 都 目 黒 区 大 岡 山 2-12-1
TEL:03-5734-2098 ( 代 表 )
会 場 へのアクセスおよびキャンパスマップ:
http://www.titech.ac.jp/home-j.html
内 容 /プログラム:
プラズマプロセス 技 術 は、 低 圧 下 における 微 細
加 工 、 薄 膜 堆 積 、 表 面 改 質 をはじめ、 大 気 圧 及 び
液 相 中 での 洗 浄 ・ 滅 菌 等 に 欠 かすことの 出 来 ない
産 業 基 盤 技 術 です。 近 年 、プラズマプロセスは 多
様 化 ・ 複 雑 化 しており、 所 望 のプラズマ 生 成 とそ
の 制 御 が 益 々 重 要 になってきております。このよ
うな 背 景 を 踏 まえ、 本 講 習 会 では、 各 分 野 をリー
ドする 一 流 の 先 生 を 招 き、プラズマプロセスの 基
礎 と 応 用 に 関 する 講 義 を 行 います。プラズマの 基
礎 を 勉 強 したい 学 生 からプラズマ 技 術 の 最 新 応 用
に 関 心 のある 技 術 者 や 研 究 者 を 対 象 として, 本 講
習 会 を 企 画 しました。
10 月 30 日 ( 木 ) 10:00-17:30
1.プラズマの 生 成 ・ 制 御
菅 井 秀 郎 ( 中 部 大 学 )
2.プラズマ 計 測
赤 塚 洋 ( 東 京 工 業 大 学 )
3.プラズマシミュレーション
田 中 正 明 (ペガサスソフトウェア)
ポスター・ショートプレゼンテーション
10 月 31 日 ( 金 ) 10:00-17:00
4.プラズマによる 薄 膜 形 成 技 術
佐 々 木 敏 明 (カネカ)
5.プラズマによるエッチング 技 術
林 俊 雄 ( 名 古 屋 大 学 )
6. 大 気 圧 プラズマの 応 用
湯 浅 基 和 ( 積 水 化 学 工 業 )
7. 液 相 プラズマの 応 用
秋 山 秀 典 ( 熊 本 大 学 )
参 加 費 :テキスト 代 を 含 む。 括 弧 内 は 学 生 。
● 応 物 ・PE 分 科 会 個 人 会 員 30,000 円 (8,000 円 )
● 応 物 個 人 会 員 33,000 円 (11,000 円 )
● 分 科 会 のみの 個 人 会 員 42,000 円 (15,000 円 )
● 協 賛 学 協 会 ・ 応 物 法 人 賛 助 会 員
42,000 円 (15,000 円 )
●その 他 45,000 円 (18,000 円 )
なお、 非 会 員 の 方 でも 参 加 申 込 時 に PE 分 科 会 ( 年
会 費 3,000 円 )に 入 会 頂 ければ、 会 員 扱 いとさせて
頂 きます。
定 員 :100 名 ( 定 員 になり 次 第 締 切 り)
申 込 締 切 :10 月 17 日 ( 金 )( 但 し、 余 裕 のある 場
合 には 期 日 後 も 受 付 けます)
申 込 方 法 :
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 ホームページに
用 意 した 参 加 申 込 みファイルに 必 要 事 項 をご 記 入
のうえ、 下 記 の 申 込 み 担 当 者 宛 に 電 子 メール 添 付
ファイルとしてお 送 り 下 さい。
http://annex.jsap.or.jp/support/division/plasma/
参 加 費 振 込 先 :
三 井 住 友 銀 行 本 店 営 業 部 普 通 預 金 口 座 番 号
3339808
( 社 ) 応 用 物 理 学 会 プラズマエレクトロニクス 分 科 会
( 参 加 費 振 込 期 限 :10 月 22 日 )
問 合 せ 先 :
〒305-8568 つくば 市 梅 園 1-1-1
( 独 ) 産 業 技 術 総 合 研 究 所 太 陽 光 発 電 研 究 セン
ター シリコン 新 材 料 チーム 布 村 正 太
TEL: 029-861-5080 ( 内 線 45075)
FAX: 029-861-3367
plasma_electronics@m.aist.go.jp
担 当 幹 事 :
藤 原 信 夫 (ルネサステクノロジ)、 奥 村 智 洋 ( 松 下
電 器 )、 秋 元 健 司 (NEC エレクトロニクス)、 長 谷
川 明 広 ( 富 士 通 )、 小 林 浩 之 ( 日 立 製 作 所 )、 林 久
貴 ( 東 芝 )、 北 嶋 武 ( 防 衛 大 )、 松 本 直 樹 ( 東 京 エ
レクトロン)、 深 沢 正 永 (ソニー)、 布 村 正 太 ( 産
業 技 術 総 合 研 究 所 )
56

行 事 案 内
30th International Symposium on Dry Process (DPS 2008)
第 30 回 ドライプロセス 国 際 シンポジウム 案 内
名 古 屋 大 学 関 根 誠
機 能 性 材 料 を 基 盤 とする 電 子 デバイス、バイオ、エネルギー 及 びナノテクノロジー 分 野 の 発 展 にドライプロ
セスの 役 割 は 益 々 大 きくなってきています。 特 にその 物 理 的 化 学 的 現 象 の 解 明 は、 先 端 技 術 産 業 の 発 展 と 新 た
な 応 用 の 開 拓 に 大 きく 寄 与 します。この 分 野 で 世 界 トップの 技 術 レベルにある 日 本 において、DPS は 30 年 に
亘 り、 先 端 的 成 果 の 発 表 、 討 論 と 相 互 理 解 を 深 める 場 を 提 供 してきました。 今 年 は 30 回 開 催 を 記 念 して、 会 期
を 3 日 間 とし、 当 該 分 野 に 大 きな 貢 献 をされた 先 生 方 による 記 念 講 演 や、ドライプロセス 技 術 と DPS の 発 展 を
振 り 返 る 歴 史 展 示 、さらに DPS の 将 来 を 展 望 する 行 事 を 企 画 しています。もちろん、 当 該 分 野 での 功 績 者 から
若 手 研 究 者 まで 一 堂 に 会 し、 旧 交 を 温 め、 研 究 の 芽 になる 交 流 を 育 むバンケットも 行 います。また、 例 年 通 り
先 端 プロセス 技 術 についての 特 別 セッション、 最 もホットな 研 究 成 果 を 上 げられている 各 国 の 研 究 者 によるキ
ーノートスピーチや 招 待 講 演 、 厳 選 された 各 トピックスへの 投 稿 論 文 の 発 表 と 討 論 、 充 実 した 討 論 が 可 能 な 余
裕 のあるポスターセッションを 企 画 しています。 投 稿 論 文 は、JJAP 特 集 号 の 出 版 を 企 画 しています。 詳 細 は 次
の URL をご 覧 ください。http://www.dps2008.org/
主 要 テーマ:
1「プラズマ、ビーム 誘 起 表 面 反 応 」
2「 気 相 及 び 表 面 の 計 測 技 術 」
3「 成 膜 、エッチング、 表 面 処 理 プロセス」
4「 照 射 損 傷 」
5「MEMS、センサー、FPD、フレキシブル 材 料 の
プロセス 技 術 」
6「バイオ 応 用 技 術 」
7「 新 しいドライプロセス 技 術 」
8「 装 置 技 術 」
特 別 セッション「プロセスの 揺 らぎ、ばらつき、 均
一 性 」
プログラム:
11/26( 水 ) DPS30 周 年 記 念 事 業 、バンケット
11/27( 木 ) DPS30 技 術 セッション
11/28( 金 ) DPS30 技 術 セッション
講 演 申 込 締 切 :
2007 年 7 月 13 日 ( 日 )
講 演 申 込 方 法 :
所 定 の 書 式 に 従 った pdf ファイル(アブストラクト
A4 判 2 ページ)を 次 の URL から 投 稿 ください。 論
文 委 員 会 で 審 査 の 上 、9/1 までに 受 諾 を 連 絡 します。
JJAP 特 集 号 :
11/28( 金 )までに JJAP の Website から 投 稿 してくださ
い。 特 集 号 の 編 集 委 員 会 により 通 常 の JJAP 審 査 手
順 を 経 て、 掲 載 を 判 断 します。(http://www.ipap.jp/jjap/)
早 期 参 加 申 込 締 切 :
2007 年 10 月 12 日 ( 日 )
主 催 : 応 用 物 理 学 会
協 賛 : 電 子 情 報 通 信 学 会 , 電 気 化 学 会 ,ECS 日 本 支
部 , 韓 国 表 面 工 学 会 , 韓 国 真 空 協 会
日 時 :2008 年 11 月 26 日 ( 水 )~28 日 ( 金 )
場 所 : 東 京 品 川 の「コクヨホール」
( 東 京 都 港 区 江 南 1-8-35)
http://www.kokuyo.co.jp/showroom/hall/
今 年 度 は 記 念 事 業 開 催 のため、 例 年 よりも 拡 充 され
た 会 期 、 会 場 になっております。
57

行 事 案 内
IUMRS International Conference in Asia 2008
IUMRS アジア 国 際 会 議 2008
名 古 屋 大 学 高 井 治
■ 学 会 概 要 : 本 IUMRS-ICA 2008 (IUMRS: International Union of Material Research Societies) は、 材 料 研
究 の 最 先 端 で 活 躍 する 研 究 者 や 技 術 者 を 世 界 中 から 広 く 募 集 ・ 招 聘 し、 横 断 的 研 究 交 流 を 図 る。さら
に、あらゆる 材 料 研 究 分 野 に 焦 点 を 当 て、アジアの 材 料 研 究 を 世 界 に 向 けて 強 く 発 信 する。なお、 本
会 議 は 40 のシンポジウムからなり、 全 参 加 者 数 は 1500 人 以 上 となる 見 込 みである。
■ 会 合 名 : IUMRS アジア 国 際 会 議 2008
英 語 名 : IUMRS-ICA 2008(The IUMRS International
Conference in Asia 2008))
■ホームページ:
http://www.iumrs-ica2008.jp/index.html
■ 会 期 : 2008 年 12 月 9 日 ( 火 )~13 日 ( 土 )
■ 開 催 場 所 : 名 古 屋 市 国 際 会 議 場 ( 名 古 屋 市 熱
田 区 西 熱 田 町 1 番 1 号 )
■ 問 合 せ 先 :
Secretariat for IUMRS-ICA2008 Inter Group Corporation
2-38-2, Meieki, Nakamuraku, Nagoya
450-0002, JAPAN
Phone: +81-52-581-3240 Fax: +81-52-581-5585
E-mail: iumrsica2008@intergroup.co.jp
■シンポジウムタイトル 一 覧
A. Reactivity of Solids
B. Development of Oxide Nanocomposites - Bulks,
Thin Films and Nano-structures
C. Design of green energy materials
D. Liquid Crystals and Ordered Soft Materials
E. Materials for Living – Environment, Energy and
Medicine –
F. Science and Technology of Smart Hydrogels
G. Self-Assembled Materials
H. Advances in the Application of Biomass
I. Structure Induced Giant Nature
J. Joining Technology for New Metallic Glasses and
Inorganic Materials
K. Frontier of Biointerfaces
L. New Analytical and Assessment Methods in Material
and Environmental Technologies
M. Innovative Material Technologies Utilizing Ion
Beams
N. Fullereren Nano Materials
O. Non-equilibrium Plasma Processing in High
Density Media
P. Advanced Ferroic Materials: Processing, Characterization
and Device Application
Q. Frontier of Nano-Materials Based on Advanced
Plasma Technologies
R. Carbon Nanotubes: Synthesis, Characterization
and Application
S. Nature Technology
T. Bio-inorganic devices
U. Thermoelectric Energy Conversion
V. Ceramic materials for biomedical applications
W. Liquid Phase Processing and Self-assembly of
Inorganic Nano Materials
X. Applications of Synchrotron Radiation and Neutron
Beam to Soft Matter Science
Y. Frontier of Polymeric Nano-Soft-Materials - Precision
Polymer Synthesis, Self-assembling and
Their Functionalization
Z. Material Science and Process Technologies for
Advanced Nano-Electronic Devices
AA. Rare-Earth Related Material Processing and
Functions
BB. Advanced Superconducting Materials -From
basic Physics to Processing Technologies-
CC. Innovation in Metal Forming
58

DD. Electrochemical Processing of Tailored Materials
EE. Mesoscale Design of Materials
FF. Preparation, Characterization and Application of
DLC Films
GG. Chromic Materials and Applications
HH. Synthesis of Nano Porous Ceramics for Thermal
Insulation/Barrier Techniques
II. Frontiers of Surface Technology
JJ. Smart Processing Technology
KK. Nano-Biotechnologies on Interfaces
LL. Special Symposium -Japanese Advanced Industries
to Lead the World -
MM. Special Symposium -Surface- Tokai Wide
Area Nano-Technology Manufacturing Cluster
NN. Special Symposium -Materials Education -
■アブストラクト 提 出 :web からの 提 出 となり
ます(http://www.iumrs-ica2008.jp/index.html)。
■アブストラクト 締 切 :6 月 30 日 ( 月 )
■ 参 加 費 :
事 前 登 録 (11 月 17 日 ( 月 ) 締 切 )
[ 国 内 参 加 者 ]
学 生 :MRS-J・ 協 賛 学 会 会 員 20,000 円
非 会 員 23,000 円
一 般 :MRS-J・ 協 賛 学 会 会 員 50,000 円
非 会 員 60,000 円
[ 海 外 参 加 者 ]
学 生 : 各 MRS・ 協 賛 学 会 会 員 20,000 円
非 会 員 23,000 円
一 般 : 各 MRS・ 協 賛 学 会 会 員 50,000 円
非 会 員 55,000 円
事 後 登 録 ( 締 切 以 降 は 当 日 会 場 にて 支 払 い)
[ 国 内 参 加 者 ]
学 生 :MRS-J・ 協 賛 学 会 会 員 23,000 円
非 会 員 25,000 円
一 般 :MRS-J・ 協 賛 学 会 会 員 55,000 円
非 会 員 65,000 円
[ 海 外 参 加 者 ]
学 生 : 各 MRS・ 協 賛 学 会 会 員 23,000 円
非 会 員 25,000 円
一 般 : 各 MRS・ 協 賛 学 会 会 員 55,000 円
非 会 員 60,000 円
バンケット
バンケット 料 :10,000 円
会 場 : 名 古 屋 港 水 族 館
■ 主 催 団 体 名 : 日 本 MRS (Materials Research
Society of Japan (MRS-J))
■ 共 催 団 体 名 :
International Union of Materials Research Society
(IUMRS)
Chinese Materials Research Society (C-MRS),
Materials Research Society of India (MRS-I),
Materials Research Society of Korea (MRS-K),
Materials Research Society of Singapore (MRS-S)
Materials Research Society of Taiwan (MRS-T)
59

IUMRS アジア 国 際 会 議 2008
セッション K Frontier of Biointerfaces
平 成 20 年 12 月 10 日 ( 水 )- 11 日 ( 木 )( 予 定 )
開 催 会 場 : 名 古 屋 国 際 会 議 場
(〒456-0036 愛 知 県 名 古 屋 市 熱 田 区 熱 田 西 町 1 番 1 号 )
バイオインターフェイス(バイオ 分 子 とマテリアルの 界 面 )は、 再 生 医 療 用 材 料 、 手 術 用 機 器 、 人 工
臓 器 、 薬 物 送 達 用 担 体 、センサー 材 料 、DNA・プロテインチップなどのあらゆる 医 療 デバイスで 存 在 す
る。このインターフェイスこそがデバイスの 機 能 性 発 現 に 大 きな 役 割 を 果 たしている。 現 在 、バイオイ
ンターフェイスをナノ・マイクロレベルで 理 解 ・ 制 御 し、 新 たな 機 能 を 開 発 することが 最 重 要 課 題 であ
る。しかし、 生 体 の 機 能 は 複 雑 であり、 物 理 、 化 学 、 生 物 といった 分 野 融 合 型 研 究 の 推 進 が 不 可 欠 であ
る。 本 セッションにおいては、バイオインターフェイスに 関 する 先 導 的 な 研 究 を、 物 理 、 化 学 、 生 物 等
様 々な 観 点 からの 研 究 発 表 を 公 募 し、 深 遠 な 議 論 をおこないたい。
研 究 発 表 申 込 &アブストラクト 提 出 締 切 6 月 30 日 ( 月 )
お 申 し 込 み 方 法 は 次 の 通 り に な り ま す 。 ま ず 、 IUMRS-ICA2008 の 公 式 HP
(http://www.iumrs-ica2008.jp/index.html)にあります『Abstract Submission』をクリックして 下 さい。ペー
ジ 内 の template をダウンロードし、このフォームに 沿 って Abstract を 作 成 ください。 次 に、『Online
Submission』の 文 字 をクリックして 頂 くと、お 申 込 方 法 のご 案 内 ページが 開 きますので、その 内 容 に 沿
ってお 申 し 込 み 下 さい。
○ 代 表 チェア 渡 慶 次 学 ( 名 大 ) tokeshi@apchem.nagoya-u.ac.jp
☆ 連 絡 チェア 齋 藤 永 宏 ( 名 大 ) hiro@eco-t.esi.nagoya-u.ac.jp
高 井 まどか( 東 大 )takai@bmw.t.u-tokyo.ac.jp
一 木 隆 範 ( 東 大 ) ichiki@sogo.t.u-tokyo.ac.jp
石 崎 貴 裕 ( 産 総 研 )t.ishizaki@aist.go.jp
問 い 合 わせ 連 絡 先 :
連 絡 チェア: 石 崎 貴 裕
産 業 技 術 総 合 研 究 所 サステナブルマテリアル 研 究 部 門
〒463-8560 名 古 屋 市 守 山 区 下 志 段 味 穴 ヶ 洞 2266-98
E-mail: t.ishizaki@aist.go.jp
60

行 事 案 内
プラズマ 科 学 シンポジウム 2009/
第 26 回 プラズマプロセシング 研 究 会
(PSS-2009/SPP-26)
名 古 屋 大 学 高 井 治
プラズマ 科 学 シンポジウム(Plasma Science Symposium 2009: PSS-2009)は, 各 学 協 会 等 において 分
散 して 展 開 されているプラズマ 科 学 の 研 究 活 動 を 総 合 的 に 把 握 する 場 を 提 供 し, 広 範 な 情 報 交 換 を 通
じて 研 究 の 一 層 の 活 性 化 を 促 すことをめざしており,2001 年 ,2004 年 に 次 ぐ 第 3 回 目 の 開 催 となりま
す。 一 方 ,プラズマプロセシング 研 究 会 (The 26 th Symposium on Plasma Processing: SPP-26)は 応 用 物
理 学 会 プラズマエレクトロニクス 分 科 会 が 母 体 となり, 薄 膜 材 料 加 工 等 の 広 いプラズマ 応 用 研 究 の 発
表 ・ 討 論 の 場 として 毎 年 開 催 され, 今 回 は 第 26 回 目 を 迎 えます。プラズマの 科 学 と 応 用 に 関 する 最 も
包 括 的 な 国 内 会 議 として, 標 記 2 つのシンポジウムを 合 同 で 開 催 します.プラズマ 科 学 の 基 礎 から,
核 融 合 等 のエネルギー 分 野 , 電 子 デバイスプロセス・バイオ 技 術 等 の 産 業 応 用 分 野 ,さらに 環 境 ・ 宇
宙 分 野 に 至 るまで 幅 広 いプラズマ 研 究 ・ 応 用 に 関 して, 一 層 の 発 展 と 新 たな 展 開 を 探 ります.
【 開 催 期 日 】 2009 年 2 月 2 日 ( 月 ) ~ 4 日 ( 水 )
【 開 催 場 所 】 名 古 屋 大 学
(〒464-8603 名 古 屋 市 千 種 区 不 老 町 )
【 会 議 形 式 】 総 合 講 演 , 指 定 テーマ 講 演 シンポジウム 講 演 , 一 般 講 演 (ポスター 発 表 )
【 申 込 締 切 】 未 定
【 論 文 原 稿 締 切 】 未 定 ( 英 文 ,A4 版 2 ページ)
【 参 加 費 ( 仮 )】 一 般 12000 円 ( 関 連 する 学 協 会 会 員 ), 学 生 3000 円 ,その 他 18000 円
(10 月 25 日 以 降 は 一 般 3000 円 増 , 学 生 1000 円 増 )
【 連 絡 先 】 〒464-8603 名 古 屋 市 千 種 区 不 老 町
名 古 屋 大 学 PSS2009/SPP26 事 務 局
TEL: 052-789-3259
FAX: 052-789-3260
E-mail: pss2009@eco-t.esi.nagoya-u.ac.jp
【 主 催 】 日 本 学 術 振 興 会 プラズマ 材 料 科 学 第 153 委 員 会 , 応 用 物 理 学 会 ,
プラズマ・ 核 融 合 学 会 , 核 融 合 科 学 研 究 所 , 名 古 屋 大 学 プラズマ
ナノ 工 学 研 究 センター
61

掲 示 板
第 7 回 プラズマエレクトロニクス 賞 受 賞 候 補 論 文 の 募 集
“プラズマエレクトロニクス 賞 の 受 賞 候 補 論 文 募 集 要 項 ”
応 用 物 理 学 会 プラズマエレクトロニクス 分 科
会 では, 毎 年 ,プラズマエレクトロニクスに 関 す
る 学 術 的 あるいは 工 業 的 に 価 値 のある 優 秀 な 論
文 を 対 象 とし,その 著 作 者 に「プラズマエレクト
ロニクス 賞 」を 贈 り 表 彰 を 行 っています。 候 補 論
文 は 自 薦 ・ 他 薦 を 問 いません。 下 記 の 要 領 により,
奮 ってご 応 募 下 さい。
記
授 賞 対 象 論 文
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 が 主 催 する
研 究 会 , 国 際 会 議 などで 発 表 され,かつ 2006 年 ,
2007 年 ,2008 年 の 発 行 の 国 際 的 な 学 術 刊 行 物
(JJAP など)に 掲 載 された 原 著 論 文 。 受 賞 者 は,
表 彰 の 時 点 においてプラズマエレクトロニクス
分 科 会 会 員 あるいは 応 用 物 理 学 会 会 員 とする。
提 出 書 類
以 下 の 書 類 各 1 部 ,およびそれらの 電 子 ファイ
ル(PDF ファイル) 一 式
● 候 補 論 文 別 刷 (コピーでも 可 , 第 1ページに
候 補 論 文 と 朱 書 する。 関 連 論 文 があれば2 件
以 内 の 別 刷 またはコピーを 添 付 )
● 当 該 論 文 の 内 容 が 発 表 されたプラズマエレク
トロニクス 分 科 会 が 主 催 する 研 究 会 , 国 際 会 議
などの 会 議 録 などのコピー。2 件 以 内 。
● 著 者 全 員 について 和 文 で 以 下 を 記 入 した 書 類
氏 名 , 会 員 番 号 , 勤 務 先 ( 連 絡 先 )
● 推 薦 書 ( 自 薦 , 他 薦 を 問 わず, 論 文 の 特 徴 ,
優 れた 点 などを 400 字 程 度 でわかりやすく 記
述 )
表 彰
2009 年 春 季 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会 期 間 中
に 行 います。 受 賞 者 には 賞 状 および 記 念 品 を 贈 呈
いたします。また 2009 年 秋 季 応 用 物 理 学 会 学 術
講 演 会 期 間 中 に 記 念 講 演 を 依 頼 する 予 定 です。
書 類 提 出 期 限
2008 年 12 月 25 日 ( 木 ) 必 着
書 類 提 出 先
〒102-0073
東 京 都 千 代 田 区 九 段 北 1-12-3 井 門 九 段 北 ビ
ル5 階
社 団 法 人 応 用 物 理 学 会 プラズマエレクトロ
ニクス 分 科 会 幹 事 長
( 封 筒 表 に「プラズマエレクトロニクス 賞 応
募 」と 朱 書 )
なお,プラズマエレクトロニクス 賞 規 定 につい
ては,プラズマエレクトロニクス 分 科 会 のホーム
ページ http://annex.jsap.or.jp/plasma/ を ご 覧 くだ
さい。
62

掲 示 板
プラズマエレクトロニクス 関 連 会 議 日 程
国 内 会 議
2008 年 8 月 22 日
フロンティアプロセス 2008
産 業 技 術 総 合 研 究 所 つくば
http://rdecw.nifs.ac.jp/frontier/
2008 年 9 月 2 日 -9 月 5 日
2008 年 秋 季 第 69 回 応 用 物 理 学 会 学 術 講 演 会
中 部 大 学
http://www.jsap.or.jp/index.html
2008 年 9 月 24 日 -9 月 26 日
第 2 回 プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
マキノパークホテル&セミナーハウス
http://annex.jsap.or.jp/support/division/plasma/PE_files/PE_SS_2008/index.htm
2008 年 9 月 20 日 -23 日
日 本 物 理 学 会
山 形 大 学 小 白 川 キャンパス( 素 核 宇 領 域 )
岩 手 大 学 上 田 キャンパス( 物 性 領 域 )
http://wwwsoc.nii.ac.jp/jps/
2008 年 10 月 30 日 -10 月 31 日
第 19 回 プラズマエレクトロニクス 講 習 会
東 京 工 業 大 学 ( 大 岡 山 キャンパス) 百 年 記 念 館 3F フェライト 会 議 室
http://annex.jsap.or.jp/support/division/plasma/
2008 年 12 月 3 日 -12 月 4 日
第 25 回 プラズマ・ 核 融 合 学 会 年 会
栃 木 県 総 合 文 化 センター
http://www.jspf.or.jp/jspf_annual08/
2009 年 2 月 2 日 -2 月 4 日
プラズマ 科 学 シンポジウム 2009/ 第 26 回 プラズマプロセシング 研 究 会 (PSS-2009/SPP-26)
名 大 豊 田 講 堂 およびシンポジオン
2009 年 3 月 30 日 -4 月 2 日
2009 年 度 ( 平 成 21 年 ) 春 季 第 56 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会
筑 波 大 学
http://www.jsap.or.jp/activities/annualmeetings/regularmeeting.html
63

国 際 会 議
2008 年 7 月 22 日 -7 月 25 日
ITER International Summer School(IISS-2008 & 第 47 回 プラズマ 若 手 夏 の 学 校
九 州 大 学 筑 紫 キャンパス
http://www.efda.org/usercases/iter_iss.htm
2008 年 9 月 5 日 -9 月 6 日
The International Interdisciplinary-Symposium on Gaseous and Liquid Plasmas (ISGLP 2008)
仙 台 市 ホテルクレセント
http://www.plasma.ecei.tohoku.ac.jp/ISGLP/
2008 年 9 月 7 日 -9 月 12 日
11th International Symposium Pressure, Low Temperature Plasma Chemistry (HAKONE XI),
Oléron Island, France
http://www.hakone11.univ-tlse.fr/
2008 年 9 月 8 日 -9 月 12 日
International Congress on Plasma Physics 2008 (ICPP2008)
福 岡 国 際 会 議 場
http://www.triam.kyushu-u.ac.jp/ICPP/index.html
2008 年 9 月 15 日 -9 月 19 日
11th International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE 2008)
Garmisch-Partenkirchen, Germany.
http://www.pse2008.net/
2008 年 10 月 8 日 -10 月 11 日
9th Asia-Pasific Conference on Plasma Science and Technology and 21st Symposium on Plasma
Science for Materials
黄 山 (Huangshan), 中 国
http://www.ipp.ac.cn/APCPST/2008APCPST.htm
2008 年 10 月 13 日 -10 月 17 日
61st Gaseous Electronics Conference 2008 (GEC2008)
Dallas, Texas USA
http://www.utdallas.edu/gec
2008 年 10 月 19 日 -10 月 24 日
AVS 55th International Symposium
Boston, Massachusetts USA
http://www.avs.org/
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2008 年 11 月 26 日 -11 月 28 日
30th International Symposium on Dry Process (DPS 2008)
コクヨホール
http://www.dps2008.org/
2008 年 12 月 9 日 -12 月 12 日
IUMRS International Conference in Asia 2008 (IUMRS-ICA 2008)
名 古 屋 国 際 会 議 場
http://www.iumrs-ica2008.jp/index.html
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編 集 後 記
平 成 20 年 度 4 月 より,プラズマエレクトロニクス 分 科 会
幹 事 長 が 畠 山 力 三 教 授 ( 東 北 大 学 )から 白 谷 正 治
教 授 ( 九 州 大 学 )へと 引 き 継 がれ, 副 幹 事 長 には 藤 原
伸 夫 氏 (( 株 )ルネサステクノロジ)および 白 藤 立
教 授 ( 京 都 大 学 )が 就 任 いたしました。 幹 事 も 約 半 数 が
入 れ 替 わり 新 しいスタートを 切 ることが 出 来 ました。
ここにプラズマエレクトロニクス 分 科 会 会 報 No.48を
お 届 けいたします。 本 誌 の 発 行 にあたり,ご 協 力 を
頂 いた 皆 様 には, 分 科 会 幹 事 一 同 , 心 より 御 礼 申 し 上 げ
ます。
本 号 の 巻 頭 言 を 執 筆 して 頂 いた 高 村 秀 一 先 生 ( 愛 知
工 業 大 学 )には,「 電 離 ガスに 関 するダイナミクスと
静 電 流 体 力 学 の 構 築 に 向 けて」と 題 して,ご 自 身 の 研 究
活 動 を 通 じて 得 た 研 究 の 醍 醐 味 をプラズマ 分 野 に 対 する
期 待 や 展 望 を 織 り 交 ぜながらお 伝 え 頂 きました。 特 に
若 手 研 究 者 の 皆 様 にとって 転 機 における 研 究 の 方 向 性
など 今 後 の 研 究 活 動 の 指 針 として 興 味 を 持 って 頂 けると
確 信 しております。
また, 分 科 会 会 報 No.48では 新 しい 試 みとして, 学 生 の
ためのページ「すぐに 役 立 つプラズマエレクトロニクス」
の 連 載 を 新 設 いたしました。タイトルにも 表 現 されて
いる 通 り,プラズマエレクトロニクスに 関 する 分 析 ・
解 析 手 法 の 解 説 など 実 験 を 手 がける 際 にすぐに 役 立 つ
基 礎 的 な 技 術 を 中 心 に 応 用 までを 連 載 していく 所 存 です。
第 一 回 目 は, 佐 々 木 浩 一 教 授 ( 名 古 屋 大 学 )に「プラ
ズマ 発 光 分 光 計 測 法 の 基 礎 」について 解 説 して 頂 きま
した。ご 愛 読 どうぞよろしくお 願 いいたします。
ここ 数 年 ,プラズマエレクトロニクスを 取 り 巻 く
うねりは, 環 境 をはじめとしてバイオ 応 用 ,CNT, 境 界
領 域 でのプラズマ 化 学 現 象 やマイクロプラズマなど 研 究
分 野 を 超 えて 多 様 化 しており, 我 々の 生 活 の 根 底 を 成 す
プラズマ 技 術 として 発 展 してきています。それに
関 連 して, 本 号 では,プラズマ 技 術 の 社 会 への 還 元 を
目 指 す 関 連 学 会 による 研 究 活 動 の 紹 介 として,「 大 気 圧
プラズマ 流 による 人 間 環 境 保 全 技 術 に 関 する 研 究
分 科 会 」の 活 動 を 野 崎 智 洋 助 教 ( 東 京 工 業 大 学 ),
佐 藤 岳 彦 准 教 授 ( 東 北 大 学 )にご 執 筆 頂 きました。
また, 会 議 報 告 や 行 事 案 内 に 目 を 通 すと, 広 い 分 野 に
展 開 されたプラズマエレクトロニクスに 関 する 研 究
活 動 を 包 括 ・ 融 合 し, 更 なる 進 展 に 結 びつける 試 みが
見 られます。このように 大 きな 可 能 性 を 持 つプラズマ
エレクトロニクス 分 野 の 情 報 源 として,また,ハンド
ブックとして 本 誌 を 更 に 活 用 して 頂 けるよう 分 科 会 幹 事
一 同 , 向 上 心 を 持 ち 努 力 して 参 りますので, 今 後 とも,
ご 協 力 よろしくお 願 い 申 し 上 げます。
( 平 成 20 年 度 会 報 編 集 担 当 : 村 山 , 大 竹 , 布 村 , 柳 生 )
( 文 責 : 柳 生 )
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 会 報 No.48
2008 年 6 月 30 日 発 行
編 集 ・ 発 行 : 社 団 法 人 応 用 物 理 学 会
プラズマエレクトロニクス 分 科 会
幹 事 長 白 谷 正 治
〒102-0073 東 京 都 千 代 田 区 九 段 北 1-12-3
井 門 九 段 北 ビル 5 階
(©2008 無 断 転 載 を 禁 ず)
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