Nr 1 - ITME
Nr 1 - ITME
Nr 1 - ITME
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
A. Gładki, D. Wójcik-Grzybek, K. Frydman<br />
INSTYTUT TECHNOLOGII MATERIAŁÓW ELEKTRONICZNYCH<br />
MATERIAŁY<br />
ELEKTRONICZNE<br />
KWARTALNIK<br />
T. 38 - 2010 nr 1<br />
Wydanie publikacji dofinansowane przez<br />
Ministerstwo Nauki i Szkolnictwa Wyższego<br />
WARSZAWA <strong>ITME</strong> 2010<br />
1
A. Gładki, D. Wójcik-Grzybek, K. Frydman<br />
KOLEGIUM REDAKCYJNE:<br />
prof. dr hab. inż. Andrzej JELEŃSKI (redaktor naczelny),<br />
doc. dr hab. inż. Paweł KAMIŃSKI (z-ca redaktora naczelnego)<br />
prof. dr hab. inż. Zdzisław JANKIEWICZ<br />
doc. dr hab. inż. Jan KOWALCZYK<br />
doc. dr Zdzisław LIBRANT<br />
dr Zygmunt ŁUCZYŃSKI<br />
prof. dr hab. inż. Tadeusz ŁUKASIEWICZ<br />
prof. dr hab. inż. Wiesław MARCINIAK<br />
prof. dr inż. Anna PAJĄCZKOWSKA<br />
prof.dr hab. inż. Władysław K. WŁOSIŃSKI<br />
mgr Anna WAGA (sekretarz redakcji)<br />
Adres Redakcji: INSTYTUT TECHNOLOGII MATERIAŁÓW ELEKTRONICZNYCH<br />
ul. Wólczyńska 133, 01-919 Warszawa, e-mail: ointe@itme.edu.pl; http://www.itme.edu.pl<br />
tel. (22) 835 44 16 lub 835 30 41 w. 454 - redaktor naczelny<br />
(22) 835 30 41 w. 426 - z-ca redaktora naczelnego<br />
(22) 835 30 41 w. 129 - sekretarz redakcji<br />
PL ISSN 0209 - 0058<br />
Kwartalnik notowany na liście czasopism naukowych Ministerstwa Nauki i Szkolnictwa Wyższego (4 pkt.)<br />
SPIS TREŚCI<br />
BADANIA MODELOWE MORFOLOGII MIESZANIN PROSZKÓW Ag-C UZYSKANYCH<br />
W PROCESIE MECHANICZNEJ SYNTEZY<br />
Andrzej Gładki, Danuta Wójcik-Grzybek, Krystyna Frydman ......................................................................................3<br />
INFLUENCE OF EXTERNAL CONDITIONS ON PARAMETERS OF SILICON<br />
SOLAR CELLS<br />
Barbara Swatowska, Tomasz Stapiński ........................................................................................................................13<br />
DOMIESZKOANIE MONOKRYSZTAŁÓW ANTYMONKU GALU NA TYP<br />
PRZEWODNICTWA n oraz na typ p<br />
Aleksandra Mirowska, Wacław Orłowski .....................................................................................................................17<br />
SPALENIOWA SYNTEZA GRANATU ITROWO-GLINOWEGO DOMIESZKOWANEGO<br />
JONAMI NEODYMU<br />
Sławomir Dyjak, Stanisław Cudziło, Agnieszka Szysiak .............................................................................................32<br />
INSTYTUT TECHNOLOGII MATERIAŁÓW ELEKTRONICZNYCH - WCZORAJ I DZIŚ.<br />
LABORATORIUM CHARAKTERYZACJI MATERIAŁÓW WYSOKIEJ CZYSTOŚCI<br />
Wanda Sokołowska .......................................................................................................................................................39<br />
2
A. Gładki, D. Wójcik-Grzybek, K. Frydman<br />
BADANIA MODELOWE MORFOLOGII MIESZANIN<br />
PROSZKÓW Ag-C UZYSKANYCH W PROCESIE<br />
MECHANICZNEJ SYNTEZY<br />
Andrzej Gładki 1 , Danuta Wójcik-Grzybek 1 , Krystyna Frydman 1<br />
Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych, ul. Wólczyńska 133, 01-919 Warszawa<br />
e-mail: danuta.grzybek@itme.edu.pl<br />
Jedną z głównych przeszkód w skutecznym zastosowaniu cząstek<br />
węgla do umocnienia kompozytów na osnowie metali jest<br />
ich niedostateczna dyspersja w samej osnowie. Szczególne<br />
trudności dyspersyjne obserwuje się w kompozytach na osnowie<br />
srebra stosowanych na nakładki stykowe w łącznikach<br />
niskonapięciowych, ponieważ srebro i węgiel nie reagują ze<br />
sobą. W artykule przedstawiono badania struktury proszków<br />
otrzymanych podczas procesu mechanicznej syntezy (MS)<br />
czystego Ag o różnych kształtach oraz mieszaniny Ag z dodatkami<br />
0,1 % wag. i 3 % wag. węgla. Stwierdzono, że proces<br />
formowania cząstek w wyniku zgrzewania na zimno, dzięki<br />
wysokiej energii zderzeń pomiędzy kulami i cząstkami srebra,<br />
ma różny przebieg i zależy od kształtu proszku wyjściowego.<br />
W wyniku procesu MS mieszaniny sferycznego proszku Ag<br />
i C zaobserwowano zmniejszenie wielkości cząstek oraz<br />
zmianę ich kształtu. Ponadto, badania przeprowadzone na<br />
mikroskopie skaningowym wykazały, że już po 30 minutach<br />
procesu w przypadku obu rodzajów proszków Ag i kulistego<br />
proszku C tworzy się proszek kompozytowy Ag-C. Badania<br />
potwierdziły istotną zależność pomiędzy energią procesu MS<br />
a strukturą proszków kompozytowych. Otrzymane rezultaty<br />
są spójne z wnioskami zaprezentowanymi przez autorów<br />
w publikacji [11]. Uważamy, że zastosowanie procesu mechanicznej<br />
syntezy do otrzymywania kompozytów Ag-C<br />
stosowanych na styki w łącznikach niskonapięciowych może<br />
być w przyszłości dobrym rozwiązaniem.<br />
Słowa kluczowe: mechaniczna synteza, mieszanina proszków<br />
Ag-C, rozdrobnienie, analiza granulometryczna<br />
1. WPROWADZENIE<br />
Współczesną inżynierię materiałową charakteryzuje<br />
nieustanne dążenie do pozyskiwania materiałów,<br />
które stają się coraz nowocześniejsze, bardziej wytrzymałe,<br />
odporne i lekkie (hotter, stronger, stiffer, and<br />
lighter [1]). Inżynieria materiałowa zawdzięcza postęp<br />
stale doskonalonym procesom plazmowym, osadzania<br />
z fazy gazowej czy mechanicznej syntezie, zachodzącej<br />
w trakcie wysokoenergetycznego mielenia.<br />
Metoda wysokoenergetycznego mielenia jest od<br />
dawna stosowana do rozdrabniania i homogenizowania<br />
materiałów. J. S. Benjamin i T. E. Volin [2] jako<br />
pierwsi zastosowali ją do otrzymywania u macnianych<br />
dyspersyjnie stopów na bazie niklu. Zapoczątkowany<br />
w latach 80-tych XX wieku rozwój badań prowadzonych<br />
w ramach tej metody umożliwił poznanie<br />
jej elementarnych procesów i możliwości. Spowodował<br />
też, że w odniesieniu do wysokoenergetycznego<br />
mielenia (WM) zaczęto powszechnie stosować<br />
nazwę – mechaniczna synteza (MS) (Mechanical<br />
Alloying (MA)) [1]. MS jest procesem prowadzonym<br />
w stanie stałym i umożliwia nie tylko rozdrabnianie<br />
i homogenizację materiałów wyjściowych, ale<br />
także otrzymywanie: nanoproszków, amorficznych<br />
proszków stopowych, proszków zawierających<br />
fazy międzymetaliczne i kompozytowych proszków<br />
ceramiczno-metalowych. Dzięki tej metodzie uzyskuje<br />
się roztwory faz ciała stałego o dużym stopniu<br />
rozdrobienia (supersaturated solid solutions - SSS)<br />
oraz stopy umacniane dyspersyjnie (oxide dispersion<br />
strengthened alloys - ODS) [1 - 4]. Pozwala też na<br />
wytwarzanie mieszanin proszków, które ze względu<br />
na dużą segregację fazową w stanie ciekłym i stałym,<br />
wysoką temperaturę topnienia składników lub dużą<br />
reaktywność chemiczną, byłyby niemożliwe do otrzymania<br />
metodami konwencjonalnymi [1 - 5].<br />
Zjawiska zachodzące podczas mechanicznej syntezy<br />
są przedmiotem wielu badań, ale nie wszystkie<br />
są do końca wyjaśnione. Przeważa opinia [6 - 7], że<br />
decydującą rolę w procesie MS odgrywa dynamika<br />
zderzeń między mielonymi obiektami, natomiast zjawiska<br />
dyfuzji czy potencjały chemiczne składników<br />
mają wkład drugorzędny. W tej sytuacji procesy MS<br />
opisuje klasyczny potencjał termodynamiczny wyrażony<br />
przez energię wewnętrzną. Ogólnie, dynamikę<br />
MS określa charakterystyczna dawka energii, którą<br />
funkcyjnie wyrażają parametry procesu: średnica kul<br />
mielących, stosunek masy kul do masy proszku (ball<br />
to powder ratio – bpr), prędkość obrotowa mieszania<br />
(rounds per minute - rpm), własności sprężyste kul<br />
i wykładziny młynka. Dawka ta energii jest charakterystyczna<br />
ze względu na podział MS na dwa elementarne<br />
procesy: proste mielenie zmniejszające wielkość<br />
3
Badania modelowe morfologii mieszanin proszków Ag-C...<br />
cząstek i proces prowadzący do powstania mieszaniny<br />
o cechach amorficznych lub typu SSS czy ODS.<br />
Dominująca w procesie MS jest energia kinetyczna<br />
kul przekazywana do układu jaki stanowi proszek<br />
czy mieszanina proszków. W układzie tym, energia<br />
kinetyczna zostaje zamieniona na ciepło oraz pracę<br />
mechaniczną związaną ze zmniejszeniem objętości<br />
proszku. Wzajemne proporcje wyzwolonego ciepła [6]<br />
i pracy mechanicznej zależą od składu chemicznego<br />
proszków, ich granulacji oraz kształtu cząstek proszku.<br />
Dla identycznych składów chemicznych mniejszym<br />
objętościowo cząstkom proszków odpowiadają większe<br />
energie. Natomiast, z dwóch cząstek proszku o tej<br />
samej objętości energię minimalną posiada ten, którego<br />
kształt jest zbliżony do kulistego; energię dążącą<br />
do maksymalnej - forma włóknista.<br />
Proces wytwarzania proszków kompozytowych<br />
metodą MS jest bardzo złożony. Schematycznie prezentuje<br />
się go tak jak na Rys. 1, wyrażając jedynie<br />
ogólną ideę nie uwzględniającą sekwencji procesów<br />
pośrednich towarzyszących formowaniu proszkowego<br />
materiału kompozytowego.<br />
Rys. 1. Ogólny schemat tworzenia proszku kompozytowego<br />
podczas procesu MS [1].<br />
Fig. 1. The general diagram for composite powder formed<br />
by MA method [1].<br />
Metoda MS znajduje praktyczne zastosowanie<br />
przy otrzymywaniu materiałów kompozytowych. Od<br />
niedawna podejmowane są także próby jej zastosowania<br />
do otrzymywania kompozytów przeznaczonych<br />
na styki elektryczne [8 - 9].<br />
Materiały stykowe powszechnie stosowane w łącznikach<br />
niskonapięciowych są często kompozytami na<br />
osnowie srebra z dodatkiem drugiej fazy: węgla, tlenków<br />
metali lub innych metali (np. Ag-C, Ag-ZnO,<br />
Ag-SnO 2<br />
, Ag-Fe 2<br />
O 3<br />
, Ag-Ni, Ag-Fe). Praca elementów<br />
stykowych w warunkach łuku elektrycznego<br />
wymaga homogenicznych struktur materiałowych<br />
o gęstościach na poziomie teoretycznym. Poważnym<br />
problemem w formowaniu elementów stykowych<br />
metodą spiekania jest brak zwilżalności na granicach<br />
faz w kompozytach wytwarzanych metodą konwencjonalnego<br />
mieszania. W ekstremalnych przypadkach<br />
efekt ten całkowicie blokuje spiekanie. Istnieje uzasadniona<br />
hipoteza, w myśl której zastosowanie proszków<br />
kompozytowych do otrzymywania materiałów<br />
stykowych może poprawić ich właściwości fizyczne.<br />
Przewiduje się wzrost gęstości i twardości materiałów<br />
stykowych, a ponadto, większą jednorodność<br />
objętościową, proporcjonalną do malejącej dyspersji<br />
rozkładu wielkości cząstek tkwiących w srebrnej<br />
osnowie. Spodziewany efekt zmian koncentruje się<br />
na poprawie właściwości łączeniowych materiałów<br />
stykowych, przede wszystkim odporności na erozję<br />
łukową i odporności na sczepianie. Badania wstępne<br />
kompozytów typu Ag-WC-C, Ag-W-C wykonanych<br />
z mieszanin otrzymanych na drodze mechanicznej<br />
syntezy wykazały wzrost odporności tych materiałów<br />
na erozję łukową, w porównaniu do kompozytów<br />
o tych samych składach chemicznych, ale otrzymanych<br />
z mieszanin klasycznych [8].<br />
2. BADANIA WŁASNE<br />
Do badań modelowych MS wytypowano dwa rodzaje<br />
proszków srebra, które miały stanowić osnowę<br />
przyszłego kompozytu: sferyczny, którego średnia<br />
wielkość cząstek wynosiła 16,7 ± 0,6 µm oraz płytkowy<br />
o granulacji 4,0± 0,1 µm. Jako drugą fazę wytypowano<br />
sferyczny proszek węgla, o wielkościach<br />
Rys. 2. Morfologia proszków wyjściowych: a) kulisty proszek srebra, b) płytkowy proszek srebra, c) proszek węgla.<br />
Fig. 2. Morphology of starting powders: a) spherical silver powder, b) flat shape silver powder, c) spherical carbon powder.<br />
4
A. Gładki, D. Wójcik-Grzybek, K. Frydman<br />
cząstek 2,9 ± 0,1 µm. Obrazy SEM wszystkich trzech<br />
rodzajów proszków przedstawiono na Rys. 2.<br />
Teoretycznie, proszki srebra różniły się energią<br />
wewnętrzną. Ze względu na wielkość cząstek i kształt<br />
różny od kulistego, wyższy stopień energii posiadał<br />
płytkowy proszek srebra. Należało spodziewać się,<br />
że w eksperymentach MS przeprowadzonych na czystych<br />
proszkach srebra, posiadający większy zasób<br />
energii wewnętrznej proszek płytkowy, gwałtowniej<br />
zareaguje na energię mechaniczną dostarczoną<br />
w czasie mielenia. Sprawdzając tę hipotezę oba<br />
rodzaje proszków mielono w identycznych warunkach,<br />
w wysokoenergetycznym młynku Pulverisette<br />
firmy Fritsch, stosując kule mielące o średnicy 5 mm,<br />
bpr - 4:1 i prędkość obrotową - 500 obr/min.<br />
Pobrane po każdym czasowym cyklu MS próbki<br />
proszków mieszano z żywicą epoksydową, tworząc<br />
preparat do wykonania zgładów. Zgłady przygotowano<br />
szlifując i polerując inkludowane w żywicy<br />
cząstki proszków na szlifierko-polerce laboratoryjnej<br />
LaboPol2 firmy Struers. Na Rys. 3 przedstawiono<br />
obrazy zgładów obu rodzajów proszków srebra<br />
uzyskane dla wzrastających czasów wysokoenergetycznego<br />
mielenia.<br />
Rys. 3. Obrazy zgładów czystych proszków srebra sferycznego i płytkowego pochodzących z różnych czasowo faz<br />
wysokoenergetycznego mielenia. Pow. x50.<br />
Fig. 3. Images of intersection for spherical and flat shape silver powder coming from different times of high-energy<br />
milling. Mag. x50.<br />
Kinetykę procesu obrazującą przyrost średniej<br />
wielkości cząstek proszków w funkcji czasu mielenia<br />
t pokazano na Rys. 4a. Charakter obu eksponencjalnych<br />
krzywych z Rys. 4a wskazuje na istotne różnice<br />
w kinetyce formowania metodą MS cząstek czystych<br />
proszków srebra. Prędkość ewolucji rozmiaru cząstek<br />
sferycznego Ag asymptotycznie dąży do stałej wartości.<br />
W płytkowym proszku Ag, w ostatniej fazie<br />
mielenia, obserwowany jest szczególnie gwałtowny<br />
wzrost wielkości cząstek.<br />
Interesująca jest obserwacja zmian średniego<br />
kształtu cząstek przedstawiona na Rys. 4b. Wykresy<br />
na tym rysunku zostały przedstawione we współrzędnych<br />
czasowych zmian długości wektora kształtu H<br />
Wektor H (K;W) ma dwie składowe o następujących<br />
A<br />
F Dmin<br />
wartościach K = 4π<br />
oraz W = . Wielkość<br />
2<br />
P C<br />
F Dmax<br />
K jest współczynnikiem kształtu wyrażonym przez<br />
iloraz pola A obiektu zamkniętego i kwadratu jego<br />
obwodu wypukłego P C<br />
. Składowa zwana W jest<br />
wydłużeniem względnym obiektu, a reprezentuje ją<br />
stosunek ekstremalnych średnic F<br />
D Feret’a. Wartości<br />
obu składowych należą do przedziału K:W ⊂(0;1].<br />
Dla cząstek kolistych i przekrojów kul K = W =1,<br />
dla obiektów wydłużonych np. elipsy, włókna<br />
K;W → 0. Ostatecznie, wartość reprezentowanej na<br />
Rys.4b współrzędnej H wyznaczano z normy wektora<br />
2 2<br />
H = K + W . Wartości pomiarowe zmiennych<br />
A; P C<br />
: F<br />
D min; max<br />
uzyskano badając granulometrię<br />
proszków metodą komputerowej analizy obrazu<br />
z oprogramowaniem firmy CLEMEX.<br />
5
Badania modelowe morfologii mieszanin proszków Ag-C...<br />
Zmiany kształtu kulistych cząstek proszków<br />
przedstawione na Rys. 4b wskazują na cykliczność<br />
zjawiska. Wyjściowo, cząstki proszku są prawie<br />
sferyczne. Stąd, wartość H (t = 0) ≅ 1. Z upływem<br />
czasu mielenia cząstki stają się wydłużone – eliptyczne,<br />
żeby w końcowej fazie mielenia, po czasie<br />
t = 30 min wrócić do kształtu prawie kulistego.<br />
Ewolucja kształtu cząstek kulistego proszku srebra<br />
przedstawiona na Rys. 4b jest intuicyjnie zgodna<br />
z obserwacją obrazów zgładów cząstek tego proszku<br />
przedstawionych na Rys. 3. Rezultaty analizy kształtu<br />
dla proszku o cząstkach płytkowych wskazują<br />
na ciągłe wydłużanie jego obiektów. W ostatniej<br />
fazie mielenia w obrazie zgładów zamieszczonych<br />
na Rys. 3 pojawiają się nieliczne obiekty kuliste.<br />
Jednak w przewadze obserwuje się duże cząstki<br />
eliptyczne.<br />
Obserwacje różnic zmian wielkości cząstek obu<br />
mielonych proszków srebra (Rys. 4a) oraz różne<br />
obrazy ewolucji kształtu (Rys. 4b), skłaniają do<br />
przyjęcia następującej hipotezy:<br />
W analizowanych czasach mielenia proszku kulistego,<br />
energia kinetyczna uwolniona w procesie MS<br />
podzielona jest na dwie wyraźne części. Jedna skierowana<br />
jest na wyprowadzenie sferycznych cząstek<br />
proszku ze stanu minimum energii powierzchniowej<br />
– odkształcenie do form eliptycznych, a dalej cykl<br />
odwrotny. Druga część energii wykorzystywana<br />
jest w procesach spajania na zimno. W przypadku<br />
płytkowego proszku srebra, w rejestrowanym czasie<br />
procesu MS, praktycznie cała energia kinetyczna<br />
skierowana była na spajanie cząstek.<br />
W dalszej fazie eksperymentu przeprowadzone<br />
zostały procesy wysokoenergetycznego mielenia kulistego<br />
proszku srebra z dodatkami węgla: 3% wag.<br />
(Ag-C3) i 0,1% (Ag-C0,1). Wartość procentowego<br />
udziału węgla w Ag-C3 wynikała z dotychczasowych<br />
doświadczeń z materiałami stykowymi. W materiałach<br />
stykowych typu Ag-C stosuje się zwykle<br />
zawartość węgla w ilości 2-5% wag. [10]. Wartość<br />
0,1% wag. domieszki C ustalono przyjmując hipotezę<br />
o istotnej roli kolizji w partycji energii procesów<br />
MS [6]. Proste obliczenia pokazują, że w mieszaninie<br />
Ag-C3 liczba n cząstek proszku węgla jest dominująca.<br />
Istotnie, niech m oznacza masę proszku, a ρ;<br />
V odpowiednio gęstość i średnią objętość cząstki<br />
proszku. Dla analizowanej mieszaniny, w której<br />
ρ A g<br />
~ 5 otrzymujemy:<br />
ρ<br />
C<br />
m<br />
m<br />
C<br />
Ag<br />
= 0,03<br />
⇒<br />
nC<br />
ρ<br />
n ρ<br />
Ag<br />
C<br />
Ag<br />
V<br />
V<br />
C<br />
Ag<br />
= 0,<br />
03 ⇒<br />
n<br />
n<br />
C<br />
Ag<br />
≅<br />
(1)<br />
⎡16,<br />
7 ⎤<br />
≅0,<br />
03⋅5⋅⎢<br />
2 9<br />
⎥<br />
⎣ , ⎦<br />
3<br />
≅ 28<br />
Rys. 4. a) Czasowe szeregi wzrostu prędkości V średniej<br />
średnicy cząstek czystych proszków Ag podczas MS;<br />
b) średnie, czasowe zmiany kształtu H cząstek czystych<br />
proszków Ag obserwowane w procesie MS.<br />
Fig. 4. a) Velocities time series V of the average particles<br />
diameter growing from pure Ag powders; b) average,<br />
timing changing of H-type particles shape observed for<br />
pure Ag powders after MA processes.<br />
6<br />
Wynik ten oznacza, że na jedną cząstkę srebra<br />
przypada 28 cząstek węgla. W typowym, statystycznym<br />
obrazie 1000 obiektów mieszaniny istnieje<br />
– w przybliżeniu 35 cząstek srebra i 965 cząstek<br />
węgla. W procesie MS wydatek energetyczny jest<br />
sumą po częstościach zderzeń kul młynka z cząstkami<br />
proszków. Można przyjąć, że w mieszaninie<br />
Ag-C3 cząstek sferycznych, w początkowym etapie<br />
mielenia ~ 30 razy częściej dochodzi do kolizji kul<br />
z cząstkami węgla niż srebra. Dłuższy czas mielenia<br />
zwiększa tę częstość na korzyść rozdrabnianego węgla.<br />
Stąd statystyczny obraz mieszaniny wynikający<br />
z pomiaru granulometrycznego swobodnych cząstek<br />
proszku mieszaniny Ag-C3 musi być zdominowany<br />
przez zmiany średniej średnicy cząstek węgla. Rezultatem<br />
takiej dominacji powinien być obserwo-
A. Gładki, D. Wójcik-Grzybek, K. Frydman<br />
wany doświadczalnie, nadmiarowy procent węgla<br />
niewbudowanego w strukturę srebra. Wynika to<br />
z eksponencjalnego charakteru krzywych szybkości<br />
wzrostu średnicy cząstek z Rys. 4a, szczególnie ich<br />
asymptotycznych form. W przypadku mieszaniny<br />
zawierającej 0,1%wag. C relacja (1) przyjmuje wartość<br />
≅ 1. Oznacza to identyczne prawdopodobieństwo<br />
kolizji cząstek tak Ag jak i C. W tym przypadku, po<br />
procesie MS ilość niewbudowanego w srebro węgla<br />
powinna być niezauważalna.<br />
Zaplanowane zostały trzy podstawowe grupy eksperymentów<br />
wysokoenergetycznego mielenia mieszanin<br />
proszków srebra z węglem, których warunki<br />
prezentuje Tab. 1. Doświadczenia z grupy A różnią<br />
się od podobnych z grupy B średnicami kul użytych<br />
w procesie mielenia. Procesy grupy C są najbardziej<br />
Tabela 1. Charakterystyczne, fizyczne parametry procesów A, B, i C mechanicznej syntezy.<br />
Table 1. Characteristics, physical parmeters for A, B and C type MA process.<br />
Oznacze nie<br />
typu procesu<br />
Średnica kul<br />
mielących<br />
Φ K<br />
[mm]<br />
Prędkość<br />
mieszania<br />
[rpm]<br />
Stosunek<br />
masy kul do<br />
masy proszku<br />
[bpr]<br />
Czas mieszania<br />
t [min]<br />
A 3 150/300 1:1/4:1 15, 30, 60, 90<br />
B 5 150/300 1:1/4:1 15, 30, 60, 90<br />
C 5 500 4:1 5, 15, 30<br />
Schemat<br />
oznaczeń<br />
procesów MS<br />
A 150 A{1:1} {150} = A11<br />
1:1<br />
PROCES B bpr rpm 300 np. B{1:1} {300} = B13<br />
4:1<br />
C 500 C{4:1} {500} = C45<br />
wydajne energetycznie, na co mają wpływ maksymalne<br />
średnice kul, największy stosunek masy kul<br />
do proszku i bliska maksymalnej prędkość obrotowa<br />
młynka. Z każdego cyklu mielenia pobierano próbki<br />
mieszaniny proszków do badań granulometrycznych.<br />
Wszystkie analizy granulometryczne wykonywano<br />
wspomnianą techniką cyfrowej analizy obrazów,<br />
wykorzystując oprogramowanie firmy CLEMEX.<br />
W pierwszej kolejności badano rozkłady wielkości<br />
swobodnych cząstek mieszaniny proszków srebra<br />
i węgla.<br />
Na Rys.5 przedstawiono mapy, które są rzutami<br />
płaskimi wyników eksperymentalnych reprezento-<br />
Rys. 5. Mapy reprezentujące zależności średniej średnicy cząstek (poziomnice) mieszaniny sferycznych proszków Ag<br />
i C od czasu wysokoenergetycznego mielenia i prędkości obrotowej młynka, przy ustalonych wartościach bpr.<br />
Fig. 5. Maps representation of average objects size for spherical Ag and C particles mixture as a function of time and<br />
rpm milling with bpr fixed ratio.<br />
7
Badania modelowe morfologii mieszanin proszków Ag-C...<br />
wanych w postaci funkcyjnej ,<br />
gdzie jest średnią średnicą cząstek mieszaniny<br />
proszków. Poziomnice reprezentują na mapach rozmiar<br />
cząstek. Z przebiegu poziomnic wynika,<br />
że w obu rodzajach A i B procesów wysokoenergetycznego<br />
mielenia kulistych proszków srebra<br />
z węglem dominuje efekt rozdrobnienia cząstek.<br />
Stopień rozdrobnienia jest wprost proporcjonalny<br />
do czasu i prędkości obrotowej mielenia oraz średnicy<br />
kul użytych w procesie. Szybkość defragmentacji<br />
cząstek kulistych w badanych mieszaninach<br />
Ag-C3 zależy głównie od średnicy użytych kul<br />
i prędkości obrotowej młynka. Dokładniej efekt<br />
ten można zaobserwować porównując położenie<br />
krzywych z Rys. 6, reprezentujących zmiany wielkości<br />
cząstek proszków mieszanin w funkcji czasu<br />
mielenia. Procesy A i B z Rys. 6 różnią się jedynie<br />
średnicą użytych kul mielących - A(Φ = 3 mm);<br />
B(Φ = 5 mm). Natomiast procesy B i C charakteryzują<br />
różne prędkości obrotowe młynka B(300 rpm);<br />
C(500 rpm). Ze zstępującego położenia krzywych na<br />
Rys. 6 wynika, że prędkość defragmentacji cząstek<br />
w mieszaninie Ag-C3 była wprost proporcjonalna<br />
do średnicy kul młynka, jego prędkości obrotowej<br />
i czasu mielenia. Badanie granulometryczne mieszaniny<br />
Ag-C3 swobodnych cząstek proszków nie<br />
w pełni weryfikuje hipotezę o roli kolizji w procesach<br />
MS. W układzie dwuskładnikowej mieszaniny<br />
proszków, jednoznaczne wyjaśnienie postępującego z<br />
czasem rozdrobnienia możliwe jest wówczas, kiedy<br />
znana jest historia granulometryczna jednego ze<br />
składników. Z tego powodu, kolejny etap badań<br />
mieszaniny kulistych proszków Ag-C3 dotyczył<br />
Rys. 6. Zmiany wielkości cząstek mieszaniny Ag-C3<br />
w funkcji czasu mielenia dla wybranych procesów A, B<br />
i C.<br />
Fig. 6. The size changing of particles Ag-C3 mixture for<br />
some A,B and C processes vs. milling time.<br />
8<br />
analizy wielkości i kształtu przekrojów cząstek.<br />
Mikroskopowe obrazy zgładów cząstek mieszanin<br />
przedstawiono na Rys. 7.<br />
Rys. 7. Obrazy zgładów badanych mieszanin kulistych<br />
proszków srebra i węgla, obserwowane w mikroskopie<br />
optycznym przy powiększeniu 50x.<br />
Fig. 7. The optical microscope images of intersection for<br />
spherical Ag and C particles mixture. Magnification 50x.<br />
Uzyskane optyczne obrazy mikroskopowe pozwalały<br />
na detekcję i analizę granulometryczną cząstek<br />
srebra. Na obrazach zgładów z Rys. 7 cząstki Ag<br />
stanowi kontrastowa, jasna faza. Cząstki węgla praktycznie<br />
nie wyróżniają się z tła żywicy. Widoczne<br />
na obrazach z Rys. 7 czarne, sferyczne obiekty są<br />
porami powstałymi z powietrza wprowadzonego do<br />
żywicy w czasie jej mieszania z proszkami. Analiza<br />
granulometryczna cząstek srebra prowadzona ze<br />
zgładów mieszanin Ag-C3 kulistych cząstek srebra<br />
wykazała, że w badanych warunkach procesów MS<br />
średnia wielkość cząstek srebra pozostaje w niezmienionym,<br />
lekko poszerzonym przedziale wielkości<br />
wyjściowych – 16,7 ± 2,8 µm. Natomiast, obserwowany<br />
jest efekt odkształceń kulistych cząstek<br />
proszku srebra. Fakt ten ilustrują wykresy rozrzutu<br />
wyników analizy kształtu we współrzędnych [K;W]<br />
przedstawione na Rys. 8.<br />
Dla porównania na wykresach z Rys. 8 pokazano<br />
rozrzuty wyników analizy kształtu dla niskoenergetycznego<br />
procesu A oraz wysokoenergetycznego
A. Gładki, D. Wójcik-Grzybek, K. Frydman<br />
typu C. Porównując oba wykresy łatwo dostrzec silne<br />
zgrupowanie cząstek kulistych w procesie A, który<br />
praktycznie nie zmienił wyjściowych struktur cząstek<br />
proszków srebra. W procesie C uwidacznia się silne<br />
rozproszenie kształtu, świadczące o osiągnięciu fazy<br />
minimum w omawianym, cyklicznym procesie przemian<br />
kształtu kulistych struktur proszku srebra.<br />
Rys. 8. Wykresy rozrzutu zmiennych analizy kształtu<br />
zgładów cząstek kulistego proszku srebra obserwowane<br />
w procesach typu A i C.<br />
Fig. 8. The dispersion plots of shape variables for intersections<br />
of spherical Ag particles observed after processes<br />
A11 and C45 type.<br />
Reasumując granulometryczne badania mieszaniny<br />
Ag-C3 proszków sferycznych należy stwierdzić,<br />
że w zakresie opisanych warunków ich mechanicznej<br />
syntezy dominuje efekt rozdrabniania, którego intensywność<br />
ma ścisły związek z prawdopodobieństwem<br />
kolizji. Postępujący w czasie ciągły wzrost stopnia<br />
rozdrobnienia mieszaniny Ag-C3, przy stałej wielkości<br />
cząstek srebra, wynika z większej o rząd liczby<br />
cząstek węgla w mielonym materiale.<br />
Spektakularnym, dodatkowym dowodem potwierdzającym<br />
powyższy wniosek były nieudane<br />
próby prasowania kształtek z mieszanin Ag-C3<br />
proszków sferycznych. Swobodne, nadmiarowe<br />
9
Badania modelowe morfologii mieszanin proszków Ag-C...<br />
Rys. 9. Obrazy SEM: a) i b) struktury kompozytowe kulistych<br />
proszków Ag-C0,1 bezpośrednio po procesie typu<br />
C45 mechanicznej syntezy; c) i d) struktury kompozytowe<br />
kulistych proszków Ag-C3 po procesie typu C45 mechanicznej<br />
syntezy i odmyciu nadmiarowego, swobodnego<br />
węgla. e) i f) struktury kompozytowe Ag-C3 płytkowego<br />
proszku Ag i kulistego C, bezpośrednio po MS prowadzonej<br />
w warunkach procesu C45.<br />
Fig. 9. SEM images: a) and b) composite structures<br />
Ag-C0,1 of spherical Ag and C powders directly MA type<br />
C45 process after; c) and d) composite structures Ag-C3<br />
of spherical Ag and C powders MA process after cleaning<br />
at free C particles being in excess. e) and f) composite<br />
structures Ag-C3 of flat shape Ag and spherical C powders<br />
directly MA process after, following C45 process.<br />
cząstki węgla uniemożliwiały formowanie trwałych<br />
wyprasek. Kolorem dominującym mieszaniny była<br />
czerń, charakterystyczna dla cząstek węgla liczbowo<br />
dominujących w mieszaninie. Radykalne zmniejszenie<br />
poziomu liczby cząstek węgla w mieszaninie<br />
proszków sferycznych Ag-C0,1 spowodowało, że<br />
otrzymany w procesie MS typu C45 (Tab. 1) materiał<br />
charakteryzował się barwą metaliczną wskazującą na<br />
pełne wbudowanie sferycznego węgla w strukturę<br />
cząstek srebra. Na Rys. 9a,b prezentowane są obrazy<br />
SEM powierzchni swobodnych cząstek srebra<br />
pochodzących z wyjściowej mieszaniny proszków<br />
sferycznych – Ag-C0,1. Obrazy uzyskano z materiału<br />
bezpośrednio po procesie MS typu C45 (Tab.<br />
1). Na Rys. 9c,d przedstawiono obrazy swobodnych<br />
cząstek srebra wyekstrahowanych z mieszaniny<br />
Ag-C3 drogą wielokrotnego, wspomaganego ultradźwiękowo<br />
wypłukiwania nadmiarowego węgla<br />
alkoholem izopropylowym. Na obrazach SEM z<br />
Rys. 9e, f widoczne są struktury ziaren mieszaniny<br />
Ag-C3 płytkowego proszku srebra i kulistego<br />
proszku węgla. W tym przypadku szczególną<br />
uwagę należy zwrócić na fakt, że prezentują one<br />
materiał utworzony bezpośrednio w procesie MS<br />
typu C45. Wyjściowa mieszanina zawierała proszki<br />
Ag i C zbliżonej granulacji, równej odpowiednio<br />
- ; . Tym<br />
samym energie proszków związane z ich rozmiarem<br />
oraz prawdopodobieństwa kolizji były zbliżone.<br />
Natomiast, oba proszki różniły się energią związaną<br />
z ich kształtem. Proszki srebra płytkowego; miały<br />
znacznie większą energię niż sferyczne proszki węgla.<br />
W tym przypadku, energia kinetyczna wyzwolona<br />
w procesie MS w znaczącej części została zużyta<br />
na jednoczesne procesy wtłaczania węgla w osnowę<br />
srebrną i spajanie na zimno srebra w większe cząstki.<br />
Efekt ten jest szczególnie dobrze zauważalny przy<br />
porównaniu obrazów SEM czystego proszku srebra<br />
płytkowego (Rys. 2b) z cząstkami mieszaniny Ag-C3<br />
widocznymi na Rys. 9e. W przypadku mieszanin<br />
o cząstkach kulistych, energie procesów MS dzielone<br />
były na niesprężyste odkształcenia sfer i wprasowywanie<br />
węgla w srebrną osnowę. Efekt ten ilustrują<br />
Rys. 9a, c, na których brak jest zauważalnych symptomów<br />
zwiększania wyjściowych rozmiarów cząstek<br />
srebrnej osnowy widocznych na Rys. 2a.<br />
Wszystkie obrazy zgromadzone w Rys. 9 – szczególnie<br />
Rys. 9b, d, f – prezentują powierzchnie<br />
proszków Ag z wbudowanymi cząstkami węgla.<br />
Jednak, obrazy te nie stanowią dostatecznego dowodu<br />
świadczącego o rozproszeniu węgla w całej<br />
objętości osnowy Ag. Z tego względu analizowane<br />
były zgłady wyprasek uzyskanych z cząstek srebra<br />
odmytych z kulistych mieszanin Ag-C3.<br />
Na Rys. 10a, b przedstawiono, w różnych powiększeniach<br />
przykładowe obrazy świadczące<br />
o wbudowaniu cząstek węgla we wnętrza osnowy<br />
Ag. Zwraca uwagę fakt silnego połączenia niezdeformowanej<br />
fazy węgla sferycznego z osnową Ag,<br />
co jest szczególnie dobrze widoczne na Rys. 10b.<br />
Natomiast w obszarach usytuowania zdeformowanych,<br />
rozbitych cząstek węglowych występują pory,<br />
których obecność w materiale przeznaczonym na<br />
niskonapięciowe styki elektryczne jest niepożądana.<br />
Dowody potwierdzające jakościowo obecność fazy<br />
10
A. Gładki, D. Wójcik-Grzybek, K. Frydman<br />
Rys.10. a) i b) Obrazy SEM zgładów proszków kompozytowych<br />
Ag-C3 uzyskanych ze sferycznych proszków Ag<br />
i C metodą MS w procesie typu C45.<br />
Fig. 10. a) and b) SEM images of intersection for compositie<br />
Ag-C3 powders created by MA process C45 type.<br />
węglowej wewnątrz osnowy Ag wynikały z analizy<br />
rozproszonego promieniowania rentgenowskiego<br />
wzbudzonego wiązką elektronów (Energy Dispersive<br />
X-ray Spectroscopy) – EDS. Na Rys. 11a<br />
pokazano rzeczywisty obraz SEM cząstki srebra<br />
z wbudowanym węglem. Rys. 11b prezentuje mapę<br />
rozkładu węgla w tym samym obszarze skanowanej<br />
powierzchni. Jasne centra mapy przypisane są<br />
jakościowo do umocnień węglowych. Analiza EDS<br />
ostatecznie domyka zbiór przedstawionych etapów<br />
badań, prowadzących do zasadniczej, ogólnej konkluzji:<br />
metodą mechanicznej syntezy możliwe jest<br />
otrzymanie kompozytowego proszku z osnową<br />
srebrną z wbudowanymi cząstkami węgla.<br />
Spostrzeżenia poczynione w trakcie badań oraz<br />
elementy wnioskowania zbieżne są z sugestiami<br />
K.Morsi i A.Esawi [11] dotyczącymi analizy procesów<br />
otrzymywania materiału kompozytowego CNT-Al<br />
(CNT - carbon nanotube), formowanego metodą<br />
mechanicznej syntezy czystych proszków Al z<br />
dodatkiem 2% i 5% wag. węgla w postaci nanorurek<br />
Rys.11. a) Rzeczywisty obraz SEM sferycznej cząstki<br />
proszku C wprasowanęj w osnowę Ag; b) mapa rozkładu<br />
węgla wykonana techniką EDS w obszarze ilustrowanym<br />
w ujęciu rzeczywistym.<br />
Fig. 11. a) Real SEM image of C spherical particle press in<br />
Ag matrix; b) distribution of C element have got by EDS<br />
technique on the same palace as real image a).<br />
3. PODSUMOWANIE<br />
W pracy przeprowadzono modelowe badania<br />
morfologii mieszanin proszków Ag-C otrzymanych<br />
metodą mechanicznej syntezy. Badania prowadzono<br />
dla sferycznego i płytkowego proszku srebra oraz<br />
sferycznego proszku węgla, dla różnych parametrów<br />
procesu wysokoenergetycznego mielenia. Analiza<br />
granulometryczna wykazała, że największe rozdrobnienie<br />
cząstek uzyskano dla procesu o najwyższych<br />
parametrach (bpr - 4:1, rpm - 500). Wydłużenie<br />
czasu mielenia powyżej badanych wartości nie<br />
wpływa w istotny sposób na rozdrobnienie ziarna,<br />
ale prawdopodobnie będzie konieczne ze względu na<br />
eliminację porów obecnych w powstałych cząstkach<br />
kompozytowych.<br />
Na podstawie analizy strukturalnej stwierdzono,<br />
że w warunkach wysokoenergetycznego mielenia<br />
11
Badania modelowe morfologii mieszanin proszków Ag-C...<br />
możliwe jest wytworzenie kompozytowego proszku<br />
Ag-C. Przewidywana jest kontynuacja badań dla<br />
płytkowego proszku srebra i grafitu, uwzględniająca<br />
warunki procesu prasowania. Zaprezentowane<br />
rezultaty badań procesów mechanicznej syntezy<br />
modelowych mieszanin proszków srebra sferycznego<br />
i płytkowego z węglem sferycznym, stanowią<br />
podstawę dla opracowania warunków otrzymywania<br />
konkretnego materiału kompozytowego typu<br />
Ag-C, przeznaczonego na niskonapięciowe styki<br />
elektryczne.<br />
Praca realizowana była w ramach projektu badawczego<br />
nr N N510 3061 33<br />
LITERATURA<br />
[1] Zhang D. L.: Processing of advanced materials using<br />
high-energy mechanical milling, Progress in Materials<br />
Science, 49, (2004), 537 - 560<br />
[2] Benjamin J. S., Volin T. E.: The mechanism of mechanical<br />
alloying, Metallurgical Transactions A, 5A,<br />
(1974),1929 - 1943<br />
[3] Suryanarayana C.: Mechanical alloying and milling,<br />
Progress in Materials Science, 46, (2010), 1 - 184<br />
4. Ma E., Atzmon M.: Phase transformations induced<br />
by mechanical alloying in binary systems; Materials<br />
Chemistry and Physics, 39, (1995), 249 - 267<br />
5. Chmielewski M.: Wpływ składu chemicznego i granulometrycznego<br />
proszków Al 2<br />
O 3<br />
i Cr na strukturę<br />
i wybrane własności materiałów gradientowych;<br />
Praca doktorska, Warszawa, 2005<br />
6. Li-Lu, Lai M.O.: Formation of new materials in the<br />
solid state by mechanical alloying, Materials&Design,<br />
16, 1, (1995), 33 - 39<br />
7. Cocco G. at all : Toward a quantitative understanding<br />
of the mechanical alloying process, Journal of<br />
Materials Synthesis and Processing, 8, 3/4, (2000),<br />
167 - 180<br />
8. Frydman K., Wójcik-Grzybek D., Borkowski P.,<br />
Walczuk E.: Właściwości fizyczne i łączeniowe styków<br />
z kompozytów Ag-WC-C i Ag-W-C, Inżynieria<br />
Materiałowa, 1, (2009), 32 - 39<br />
9. Jiang P., Li F., Wang Y.: Effect of different types<br />
of carbon on microstructure and arcing behavior of<br />
Ag/C contact materials, IEEE t\TCPT, 29, 2, (2006),<br />
420 - 423<br />
10. Slade P. G.: Electrical contacts. Principles and applications,<br />
Marcel Dekker Inc., 1999<br />
11. Morsi K., Esawi A.: Effect of mechanical alloying<br />
time and carbon nanotube (CNT) content on the<br />
evolution of aluminum (Al)-CNT composite powders,<br />
Journal of Materials Science, 42, (2007) ,4954 -<br />
4959<br />
12<br />
WYKAZ SYMBOLI<br />
A - pole obiektu płaskiego np. rzutu lub przekroju<br />
cząstki proszku<br />
P C<br />
- obwód obiektu wypukłego<br />
K - bezwymiarowy współczynnik kształtu<br />
K (0,1]<br />
D - średnica Feret’a obiektu płaskiego1<br />
F D - minimalna (maksymalna) średnica Feret’a<br />
F mini(max)<br />
W - bezwymiarowe wydłużenie względne<br />
W (0.1]<br />
H - wektor przestrzeni kształtów płaskich<br />
H = Ki + Wj; |H| (0; √2]<br />
m - masa<br />
ρ - ciężar właściwy<br />
V - objętość<br />
n - liczba cząstek proszku<br />
϶<br />
϶<br />
϶<br />
1<br />
Z def. średnica Feret’a jest rzutem konturu cząstki na dowolnie<br />
wybrany kierunek w płaskiej przestrzeni euklidesowej.<br />
MODELLING INVESTIGATION OF<br />
MORPHOLOGY FOR Ag-C POWDERS<br />
MIXTURES CREATED BY MECHANI-<br />
CAL ALLOYING PROCESS<br />
One of the major obstacles to the effective use of<br />
carbon particles as reinforcements in metal matrix<br />
composites is their poor dispersion within metallic<br />
matrix. Especially, within silver matrix using on low<br />
voltage electrical contact tips for reason that no nuclear<br />
phases for Ag and C elements. This paper studies the<br />
milling structures of pure, different in shape silver<br />
powders and mixtures 0,1% wt. and 3% wt. C in it,<br />
formatted during mechanical alloying (MA) processes.<br />
It was found that high energy collisions between balls<br />
and pure Ag powders cold welded particles together<br />
in different ways depending to particles shapes. Two<br />
effects: size decreasing and shape particles changing<br />
were observed for spherical powders Ag-C3 mixture,<br />
MA processes after. Moreover, SEM investigations<br />
appeared composite Ag-C structure for both shapes Ag<br />
and spherical C in powders milling 30 minutes only.<br />
The strongly compositing effects were observed for<br />
Ag flat in shape and round C particles. The investigations<br />
confirmed essential relation between MA energy<br />
and structure of composite powders. Our results and<br />
conclusions are convergent to suggestions expressed<br />
by Morsi K. and Esawi A. in publication [11]. Authors<br />
hope so mechanical alloying is good way to get Ag-C<br />
material for low voltage electrical contact tips, in the<br />
future.<br />
Keywords: mechanical alloying, composit Ag-C, powders<br />
mixture
B. Swatowska, T. Stapiński<br />
INFLUENCE OF EXTERNAL CONDITIONS<br />
ON PARAMETERS OF SILICON SOLAR CELLS<br />
Barbara Swatowska 1 , Tomasz Stapiński 1<br />
AGH University of Science and Technology, Department of Electronics,<br />
Al. Mickiewicza 30, 30-059 Kraków, Poland<br />
e-mail: swatow@agh.edu.pl<br />
Abstract: The purpose of the work is the investigation of influence<br />
of rapid change of temperature and the shadowing of<br />
light on silicon solar cells operation. Current-voltage characteristics<br />
for multicrystalline silicon solar cells were measured<br />
by the use of computer controlled global spectrum sun simulator<br />
under an AM 1.5. The measurements of I-V characteristics<br />
allow the determination of basic electrical parameters and<br />
efficiency using the double exponential relationship from<br />
two-diode solar cells model. Temperature measurements were<br />
carried out in the temperature range from 5 to 55 o C under<br />
constant irradiance. Under changeable area of illumination of<br />
solar cells was also observed the variation of their parameters.<br />
The rate of decrease of solar cells efficiency with temperature<br />
and shadowing area are important to estimate optimal working<br />
conditions of PV systems.<br />
Keywords: silicon solar cell, I-V characteristic, two diod<br />
model, efficiency of solar cell<br />
1. INTRODUCTION<br />
One of the most important methods to characterization<br />
of solar cells is the analysis of current-voltage<br />
(I-V) characteristic. An equivalent electrical circuit<br />
contains several parameters related to physical phenomena<br />
occurring in solar cell. These parameters<br />
give the important information about the environmental<br />
conditions and manufacturing processes and<br />
the performance of solar cells [1].<br />
To describe the performance of solar cells the<br />
known two-diode model with diffusion and recombination<br />
transport mechanism was adopted [2 - 3]. A model<br />
with seven parameters is given by equation:<br />
⎡ ⎛V<br />
I R ⎞ ⎤<br />
S<br />
I I ph I s1 ⎢ ⎜<br />
+ ⋅<br />
= − exp ⎟ − 1⎥<br />
−<br />
⎢<br />
A1V<br />
⎣ ⎝ t ⎠ ⎥⎦<br />
⎡ ⎛V<br />
+ I ⋅R<br />
⎤<br />
S<br />
⎞ V + I ⋅R<br />
− I s2 ⎢exp<br />
⎜ − 1⎥<br />
−<br />
⎢⎣<br />
A2<br />
V<br />
⎟<br />
⎝ t ⎠ ⎥⎦<br />
Rsh<br />
where:<br />
I and V – the cell terminal current and voltage, respectively;<br />
I ph<br />
– generated photocurrent; R S<br />
– series<br />
S<br />
(1)<br />
resistance; R sh<br />
– shunt resistance; A 1<br />
and A 2<br />
– diode<br />
ideality factors; I s1<br />
and I s2<br />
– saturation currents.<br />
V t<br />
is equal to kT/e (e = 1.6*10 -19 C). A 1<br />
equal 1.0 and<br />
A 2<br />
equal 2.0 were chosen [1, 4].<br />
The authors of work [5] call attention that<br />
irradiance level as well as weather conditions such as<br />
ambient temperature and wind speed have an effect<br />
on the operating temperature of PV module. Solar cell<br />
performance was clearly influenced by temperature. It<br />
was reported in literature [6] that as cell temperature<br />
increases the open circuit voltage decreases. Short<br />
circuit current lightly increases. This phenomenon is<br />
due to a bandgap shift [7]. The decrease of absorption<br />
coefficient with temperature is also reported. Fill<br />
factor similarly to voltage decreases proportionally,<br />
but there is no a simple mechanism, which may<br />
explain its temperature dependence [6 – 7]. However<br />
the temperature behaviour of solar cells parameters is<br />
well known the experimental research of solar cells in<br />
various ambient temperatures is very important. The<br />
examination of solar cells in laboratory conditions<br />
is indispensable to predict their behavior in ambient<br />
conditions.<br />
2. EXPERIMENTAL<br />
Current-voltage characteristics for solar cells of<br />
area 100 cm 2 were measured by the use of computer<br />
controlled global spectrum sun simulator under an<br />
AM 1.5 (1000 W/m 2 ) (I-V Curve Tracer For Solar<br />
Cells Qualification, v 4.1.1) Fig. 1. Solar cells used<br />
in these measurements were based on multicrystalline<br />
silicon of 300 µm thick, 1 Ωcm resistivity, p-type<br />
(boron doped). The measurements of I-V characteristics<br />
allow us to determine the basic parameters<br />
like: I SC<br />
– short circuit current, V OC<br />
– open circuit<br />
voltage, FF – fill factor and η – efficiency. The I-V<br />
curves were fitted with the double exponential relationship<br />
given by the equation (1). Silicon solar cells<br />
with TiO 2<br />
and a-Si:N:H antireflective coatings were<br />
13
Influence of external conditions on parameters of silicon solar cells<br />
measured in changeable temperature and degree of<br />
darkening. Temperature measurements were carried<br />
out under constant irradiance in the temperature<br />
range from 5 to 55 o C. Experimental set-up allows<br />
electric parameters [8]. The analysis of shadowing<br />
of solar cell may be useful for designing PV system<br />
in real condition. The places for future location of<br />
solar panels should characterize high air flow and<br />
stabile temperature [9 – 10].<br />
3. RESULTS AND DISCUSSION<br />
The temperature is very important parameter for<br />
choosing places of future solar cells application.<br />
I-V characteristics analysis shows that the changes<br />
of short circuit current are insignificant and it can<br />
be attributed to the increased light absorption due<br />
to a decrease in the band gap of silicon [10]. Fig. 2<br />
clearly shows decrease in efficiency of solar cell<br />
and open circuit voltage with rising temperature.<br />
Solar cells efficiency apparently decreases at high<br />
temperature above 40-55 o C.<br />
(a)<br />
(b)<br />
Fig. 1. Photos of I-V Curve Tracer For Solar Cells Qualification:<br />
a) general view, b) „table” with solar cells under<br />
four probes during measurement.<br />
Rys. 1. Zdjęcia aparatury do pomiarów charakterystyk<br />
prądowo-napięciowych I-V (Curve Tracer For Solar Cells<br />
Qualification): a) widok ogólny, b) „stolik” z ogniwem<br />
słonecznym, podczas pomiaru czteropunktowego.<br />
easy control of temperature of the measuring table in<br />
the range from 0 to 60 o C. In case of slow temperature<br />
changes the user may perform current-voltage characteristics<br />
at chosen temperature and automatic data<br />
acquisition. Solar cells heating and cooling during<br />
measurements was realized by four Peltier modules<br />
with water system. Each of the four Peltier has its<br />
own temperature sensor and system protecting the<br />
set-up against overheating. The shadow variation was<br />
realized by the limitation of irradiative area of cells<br />
by the use of mechanical diaphragm. The shadowing<br />
of the cells is also the reason of deterioration of their<br />
14<br />
Fig. 2. The I-V characteristics of multicrystalline silicon<br />
solar cell at different temperatures (for irradiation on full<br />
area of solar cell).<br />
Rys. 2. Charakterystyki prądowo-napięciowe ogniw słonecznych<br />
dla różnych temperatur (przy równomiernym<br />
oświetleniu całej powierzchni ogniwa).<br />
In Fig. 3 is clearly shown that the shadowing of<br />
solar cell area decreases both η and I SC<br />
. Even very<br />
small shadowing of about 4% causes the strong<br />
decrease in efficiency and short circuit current. This<br />
behavior is non linear. These parameter (η, I SC<br />
) are<br />
strongly influenced by the shadowing factor which<br />
makes this relation non proportional to the value of<br />
photon flux. In our opinion this may be explained<br />
by the major influence of diode current in non illuminated<br />
area of solar cell. The open circuit voltage<br />
is rather insensitive on the shadowing factor.
B. Swatowska, T. Stapiński<br />
Fig. 3. I-V characteristics of multicrystalline silicon solar<br />
cell with different shadowing area (at room temperature<br />
about 25 o C).<br />
Rys. 3. Charakterystyki prądowo-napięciowe ogniw słonecznych<br />
dla różnego stopnia zacienienia ich powierzchni<br />
(w temperaturze pokojowej ~ 25 o C).<br />
Tab. 1 includes values of the main parameters<br />
of solar cells with two kinds of ARC for chosen<br />
temperatures and shadowing areas. These values<br />
confirm an observation from Fig. 2 that temperature<br />
has not a fundamental influence on I SC<br />
and changes in<br />
shadowing area are no importance for V OC<br />
– Fig. 3.<br />
It means if we have PV system of high efficiency<br />
we must assure conditions of solar cells work with<br />
stable temperature, rather under 35 o C and with minimal<br />
shadowing. The shadowing area plays the role<br />
of shunt resistors and diode effectively decreasing<br />
of current flow through the solar cells. It reflects fill<br />
factor increase.<br />
The temperature dependence of efficiency η and<br />
open circuit voltage V OC<br />
is presented in Fig. 4. The decrease<br />
in η is mainly due to the decrease in V OC<br />
which<br />
is consisted with the theoretical announcements [6].<br />
Fig. 5 shows the dependence of η and I SC<br />
on<br />
shadowing area of solar cell. The strong influence<br />
Table 1. The main parameters of solar cells for chosen temperatures T and shadowing areas A S<br />
.<br />
Tabela 1. Najważniejsze parametry ogniw słonecznych dla wybranych temperatur T i różnej powierzchni zacienienia<br />
A S<br />
.<br />
Multicrystalline silicon solar cell with TiO 2<br />
ARC<br />
T [ o C] η [%] V OC<br />
[mV] I SC<br />
[A] FF A S<br />
[%] η [%] V OC<br />
[mV] I SC<br />
[A] FF<br />
25 14.00 593.4 3.24 0.727 0 10.15 539.8 2.78 0.677<br />
32 13.15 573.1 3.18 0.721 4 9.42 526.3 2.62 0.688<br />
37 12.91 558.3 3.17 0.717 10 8.37 522.6 2.31 0.693<br />
46 12.35 544.9 3.20 0.704 25 6.86 518.7 1.90 0.702<br />
53 11.85 527.8 3.21 0.696 50 4.07 512.9 1.11 0.715<br />
Multicrystalline silicon solar cell with a-Si:N:H ARC<br />
25 14.25 612.4 3.29 0.731 0 12.42 552.6 2.94 0.697<br />
32 13.36 588.8 3.26 0.726 4 11.24 543.4 2.81 0.712<br />
37 13.07 571.1 3.24 0.721 10 9.85 539.4 2.49 0.724<br />
46 12.63 562.3 3.24 0.712 25 8.13 536.7 2.06 0.731<br />
53 12.11 538.5 3.25 0.701 50 5.37 529.3 1.33 0.739<br />
Fig. 4. Dependence of solar cell efficiency and open circuit<br />
voltage versus temperature.<br />
Rys. 4. Zależność sprawności ogniw oraz napięcia obwodu<br />
otwartego od temperatury.<br />
Fig. 5. Dependence of solar cell efficiency and short circuit<br />
current versus changeable shadowing area of cell.<br />
Rys. 5. Zależność sprawności ogniw oraz prądu zwarcia<br />
od stopnia zacienienia ich powierzchni.<br />
15
Influence of external conditions on parameters of silicon solar cells<br />
of shadowing on diode current indicates that the<br />
operation of solar panels may be disturbed by a single<br />
cell behavior in the case of its smaller temporary<br />
irradiation in real condition.<br />
4. CONCLUSIONS<br />
Open circuit voltage V OC<br />
decreases considerably<br />
for temperatures over 35 o C which caused that the<br />
efficiency also decreases distinctly. Short circuit<br />
current I SC<br />
rapidly diminishes with increase in<br />
shadowing area of cells which leads the decrease<br />
in efficiency of solar cells. The similar relationship<br />
of solar cell parameters were observed for multicrystalline<br />
silicon solar cells with a-Si:N:H and<br />
TiO 2<br />
antireflective coatings (Tab. 1). It means that<br />
changeable temperature and shadowing area of solar<br />
cells have the same influence on their parameters,<br />
independently on kind of antireflective coating used.<br />
The results indicate that the proper cooling of solar<br />
cells is very important. It is also significant to avoid<br />
any dirtiness of the surface of panel make act similar<br />
to shadowing of solar cells. Another interesting<br />
phenomenon is the variation of the shadow during<br />
the day on a photovoltaic collector and changes of<br />
its parameters.<br />
Acknowledgements<br />
The research was supported by EEA Financial<br />
Mechanism and the Norwegian Financial Mechanism<br />
Grant PL0081.<br />
REFERENCES<br />
[1] Appelbaum J., Chairt A., Thompson D.: Parameter<br />
estimation and screening of solar cells, Prog. Photovoltaics:<br />
Res. Apel., 1, (1993), 93 - 106<br />
[2] Chegaar M., Ouennoughi Z., Guechi F., Langueur<br />
H.: Determination of solar cells parameters under<br />
illuminated conditions, Journal of Electron Devices,<br />
2, (2003), 17 - 21<br />
[3] Wójcik P., Pisarkiewicz T., Stapiński T., Lipiński<br />
M., Panek P.: Investigation of solar cells under varying<br />
illumination, Proc. of XXVI Intern. Conf. of<br />
IMAPS – Poland Chapter, Warsaw, 25-27.09.2002,<br />
231 - 234<br />
[4] Swatowska B., Stapiński T., Lipiński M.: Silicon<br />
– carbon films for solar cells applications, Proc. of<br />
VIII Electron Technology Conference ELTE 2004,<br />
Poland, Book of Extended Abstracts, 144<br />
[5] Żdanowicz T., Rodziewicz T., Żabkowska-Wacławek<br />
M.: Theoretical analysis of the optimum energy<br />
band gap of semiconductors for fabrication of solar<br />
cells for applications In higher latitudes locations,<br />
Solar Energy Materials & Solar Cells, 87, (2005),<br />
757 - 769<br />
[6] Jenkins P.P., Scheiman D.A., Brinker D.J., Appelbaum<br />
J.: Low intensity low temperature (LILT) measurements<br />
and coefficients on new photovoltaic structures,<br />
25 th IEEE Photovoltaic Specialists Conference,<br />
Washington D.C., USA, 13-17.05.1996, 317 - 320<br />
[7] Yang E.S.: Fundamentals of semiconductor devices,<br />
(1978), 103<br />
[8] Weinstock D., Appelbaum J.: Shadow variation on<br />
photovoltaic collectors in a solar field, Proc. of 23 rd<br />
IEEE Convention of Electrical and Electronics Engineers<br />
in Israel, Tel Aviv, 6 - 7.09.2004, 354 - 357<br />
[9] Weinstock D., Appelbaum J.: Optimal solar field design<br />
of stationary collectors, Journal of Solar Energy<br />
Engineering, 126, (2004), 898 - 905<br />
[10] Singh P., Singh S.N., Lal M., Husain M.: Temperature<br />
dependence of I-V characteristics and performance<br />
parameters of silicon solar cell, Solar Energy Materials<br />
& Solar Cells, 92, (2008), 1611 - 1616<br />
WPŁYW WARUNKÓW ZEWNĘTRZ-<br />
NYCH NA PARAMETRY KRZEMO-<br />
WYCH OGNIW SŁONECZNYCH<br />
Praca skupia się na badaniu wpływu zmian<br />
temperatury zewnętrznej oraz stopnia zacienienia<br />
powierzchni ogniw słonecznych na ich parametry<br />
elektryczne. Charakterystyki prądowo-napięciowe<br />
I-V ogniw słonecznych na bazie krzemu multikrystalicznego<br />
były wyznaczone przy oświetleniu AM<br />
1.5 za pomocą urządzenia sterowanego komputerowo<br />
I-V Curve Tracer For Solar Cells Qualification. Poprzez<br />
zastosowanie elektrycznego modelu dwudiodowego,<br />
pomiary charakterystyk I-V ogniw pozwoliły<br />
określić sprawność ogniw oraz ich prąd zwarcia<br />
i napięcie obwodu otwartego. Pomiary temperaturowe<br />
przeprowadzono w zakresie od 5 do 55 o C, przy<br />
stałym i równomiernym oświetleniu całej powierzchni<br />
ogniw. Zmienny stopień zacienienia powierzchni<br />
ogniw miał bardzo istotny wpływ na ich parametry<br />
elektryczne. Obniżenie sprawności ogniw słonecznych<br />
wraz z temperaturą oraz stopniem zacienienia<br />
jest czynnikiem bardzo istotnym przy optymalizacji<br />
warunków pracy systemów fotowoltaicznych.<br />
Słowa kluczowe: krzemowe ogniwo słoneczne, charakterystyka<br />
I-V, model dwudiodowy, sprawność ogniwa słonecznego<br />
16
A. Mirowska, W. Orłowski<br />
DOMIESZKOWANIE MONOKRYSZTAŁÓW<br />
ANTYMONKU GALU NA TYP PRZEWODNICTWA n<br />
ORAZ NA TYP p<br />
Aleksandra Mirowska 1 , Wacław Orłowski 1<br />
1<br />
Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych, ul. Wólczyńska 133, 01-919 Warszawa<br />
e-mail: mirowska@itme.edu.pl<br />
Monokryształy antymonku galu domieszkowane na typ przewodnictwa<br />
n oraz na typ p orientacji otrzymane zostały<br />
zmodyfikowaną metodą Czochralskiego zintegrowaną<br />
z syntezą in-situ. Zbadano wpływ parametrów technologicznych<br />
na skuteczność procesu domieszkowania i dobrano<br />
parametry w celu otrzymania monokryształów o pożądanym<br />
typie przewodnictwa oraz koncentracji nośników. Uzyskano<br />
monokryształy GaSb typu n (domieszkowane tellurem) o koncentracji<br />
nośników w zakresie od 1 x 10 17 do 1 x 10 18 cm -3 .<br />
Otrzymane monokryształy GaSb typu p posiadały koncentrację<br />
w zakresie od 4 x 10 17 do 2 x 10 19 cm -3 (domieszkowane<br />
krzemem) oraz koncentrację od 2 x 10 18 do 1 x 10 19 cm -3<br />
(domieszkowane cynkiem). Zbadano wpływ koncentracji<br />
domieszki (Te, Zn, Si), jak też sposobu jej wprowadzania (Si),<br />
na własności elektryczne otrzymanych kryształów.<br />
Słowa kluczowe: GaSb, metoda Cz, domieszkoanie, Te, Si,<br />
Zn, koncentracja domieszek, GDMS<br />
1. WSTĘP<br />
Monokryształy antymonku galu (GaSb) stały<br />
się w ostatnich latach poszukiwanym materiałem<br />
na podłoża pod wieloskładnikowe (potrójne i poczwórne)<br />
warstwy epitaksjalne. Szczególnie wzrosło<br />
zapotrzebowanie na materiały półprzewodnikowe dla<br />
układów optoelektronicznych pracujących na długościach<br />
fali powyżej 1,55 µm. Antymonek galu jest<br />
szczególnie interesujący jako materiał podłożowy<br />
ze względu na dobre dopasowanie stałej sieci (∆a/a<br />
w zakresie od 0,08% do 0,14% [1 - 2]) do różnych<br />
związków wieloskładnikowych (takich jak InAsSb,<br />
GaInAsSb, AlGaAsSb), dla których wartości przerwy<br />
energetycznej są w szerokim zakresie od 0,3 do<br />
1,58 eV [1 - 3]. Przyrządy bazujące na podłożach<br />
z GaSb to między innymi lasery półprzewodnikowe,<br />
fotodetektory, przyrządy termofotowoltaiczne<br />
i mikrofalowe. Znajdują one miejsce zarówno wśród<br />
zastosowań militarnych jak i cywilnych (jako sensory<br />
obrazu w podczerwieni bądź czujniki monitorujące<br />
skażenia środowiska lub wykrywające mikrowycieki<br />
niebezpiecznych, toksycznych gazów jak HF, H 2<br />
S<br />
czy PH 3<br />
) [4]).<br />
Niezależnie od metody otrzymywania i warunków<br />
technologicznych niedomieszkowany GaSb<br />
jest zawsze typu p, a koncentracja akceptorów rzędu<br />
10 17 cm -3 jest związana głównie z podwójnie zjonizowanym<br />
kompleksem złożonym z luki galowej (V Ga<br />
)<br />
i defektu antystrukturalnego w podsieci antymonu<br />
(Ga Sb<br />
) [5 - 8]. W przypadku domieszkowania na typ<br />
n kluczową rolę odgrywają zjawiska kompensacji<br />
tych rodzimych defektów punktowych oraz autokompensacji,<br />
czyli tworzenia defektów akceptorowych<br />
z udziałem domieszki (Te).<br />
W kolejnym rozdziale omówione zostaną główne<br />
problemy związane z otrzymywaniem antymonku<br />
galu. Rozdział 3 poświęcony jest procesom domieszkowania<br />
GaSb na typ n (tellurem) oraz na typ p<br />
(krzemem lub cynkiem). Przedstawione zostaną wyniki<br />
badań dotyczące wbudowywania się domieszek<br />
(Te, Si, Zn) oraz rozkładu parametrów elektrycznych<br />
w otrzymanych monokryształach.<br />
2. OTRZYMYWANIE GaSb<br />
Kryształy GaSb otrzymywane są głównie metodą<br />
Czochralskiego (CZ) w różnych jej odmianach<br />
(w redukującej atmosferze wodoru lub z użyciem<br />
topnika) [9 - 22]. Metodą Czochralskiego z zastosowaniem<br />
wodoru uzyskiwano kryształy o czystości<br />
o rząd wielkości wyższej niż przy stosowaniu<br />
topnika [20 - 21], jednak poważnym ograniczeniem<br />
tej metody jest niewystarczająca prędkość redukcji<br />
Ga 2<br />
O 3<br />
przez H 2<br />
.<br />
Z wykresu fazowego [4] wynika, że stechiometryczny<br />
skład GaSb osiągnąć można jedynie przy<br />
krystalizacji z cieczy bogatej w antymon. Jednakże<br />
należy pamiętać, że powyżej 370°C antymon zaczyna<br />
się ulatniać powodując dekompozycję GaSb<br />
na gazowy antymon (Sb 2<br />
) oraz GaSb rozpuszczone<br />
w ciekłym galu [9 - 10]. Z powodu dużej różnicy<br />
17
Domieszkowanie monokryształów antymonku galu na typ przewodnictwa n oraz p<br />
prężności par Ga oraz Sb w temperaturze topnienia<br />
(niemal 3 rzędy wielkości) należy liczyć się ze stratami<br />
Sb w trakcie procesu krystalizacji i związaną<br />
z tym zmianą proporcji Ga/Sb w stopionym wsadzie.<br />
Wielkość tych strat jest proporcjonalna do czasu<br />
trwania procesu oraz ciśnienia gazu w komorze urządzenia<br />
lub intensywności przepływu gazu w trakcie<br />
trwania procesu. Zazwyczaj stosuje się nadmiar<br />
składnika lotnego (Sb), nie mniej niż 0,1%.<br />
2.1. Tlenki na powierzchni GaSb<br />
Głównym problemem występującym podczas krystalizacji<br />
metodą Czochralskiego pozostaje pojawiająca<br />
się na powierzchni wsadu warstwa tlenkowych<br />
zanieczyszczeń, często uniemożliwiająca prawidłowe<br />
zaczepienie oraz będąca przyczyną zbliźniaczeń.<br />
Nawet niskotemperaturowe procesy zachodzące na<br />
powierzchni GaSb mogą powodować powstanie<br />
niestabilnej warstwy tlenkowej złożonej z tlenków<br />
galu i antymonu [23]. Ponieważ w równowadze<br />
termodynamicznej z GaSb może występować jedynie<br />
Ga 2<br />
O 3<br />
oraz Sb, tlenek taki jak Sb 2<br />
O 3<br />
w kontakcie<br />
z GaSb tworzy kolejne cząsteczki Ga 2<br />
O 3<br />
i wolne<br />
atomy Sb.<br />
Szczegółowe badania nad warstwą tlenków<br />
po twierdziły, że składa się ona niemal całkowicie<br />
z Ga 2<br />
O 3<br />
[24]. Jedynie przy powierzchni GaSb<br />
występują niewielkie ilości Sb 2<br />
O 3<br />
oraz czystego<br />
Sb (Rys. 1).<br />
Rys. 1. Skład chemiczny warstwy tlenkowej utworzonej<br />
na powierzchni GaSb po wygrzaniu przez 1 godzinę w atmosferze<br />
zawierającej tlen w 300 °C [19].<br />
Fig. 1. Oxide layer formed on GaSb surface after annealing<br />
in 300 °C for 1 hour [19].<br />
2.2. Rodzime defekty punktowe i domieszki<br />
Niezależnie od metody otrzymywania i warunków<br />
technologicznych niedomieszkowany GaSb<br />
jest zawsze typu p o koncentracji akceptorów<br />
rzędu 10 17 cm -3 [10]. Najistotniejsze dla GaSb są<br />
defekty punktowe takie jak luki (V Ga<br />
, V Sb<br />
) oraz<br />
defekty antystrukturalne (Ga Sb<br />
, Sb Ga<br />
). Z rozważań<br />
termodynamicznych [36] wynika, że dominującym<br />
akceptorem jest podwójnie zjonizowany kompleks<br />
V Ga<br />
-Ga Sb<br />
[5 - 7]. Koncentracja luk galowych V Ga<br />
jest<br />
zawsze dużo większa niż luk antymonowych V Sb<br />
niezależnie od temperatury wzrostu GaSb i składu<br />
cieczy (od 1 rzędu wielkości dla wzrostu z cieczy<br />
bogatej w Ga, do 9 rzędów przy wzroście z cieczy<br />
bogatej w Sb) W pobliżu temperatury topnienia GaSb<br />
(712°C) koncentracja V Ga<br />
wynosi ~ 5 x 10 14 cm -3 ,<br />
a koncentracja V Sb<br />
wynosi ~ 5 x 10 11 cm -3 , natomiast<br />
koncentracja defektów antystrukturalnych różni się<br />
nieznacznie.<br />
W celu otrzymania monokryształów GaSb typu n<br />
lub typu p używane są różne domieszki [25 - 40].<br />
Tellur, selen i siarka są donorami płytkimi, natomiast<br />
german, lit, krzem, cynk i miedź są akceptorami<br />
płytkimi. Dla uzyskania GaSb typu n najczęściej stosuje<br />
się domieszkowanie tellurem, stąd też najwięcej<br />
publikacji dotyczy właśnie telluru [10, 25 - 27, 29,<br />
41 - 47]. Rozpuszczalność telluru w temperaturze<br />
topnienia GaSb wynosi 1,5 x 10 18 cm -3 , a powyżej<br />
tej wartości zaczynają tworzyć się związki pomiędzy<br />
tellurem i galem (Ga 2<br />
Te 3<br />
) [42]. Stany donorowe<br />
związane z tellurem wyliczone na podstawie modelu<br />
atomu wodoru dobrze zgadzają się z danymi eksperymentalnymi.<br />
Charakterystyczne jest zróżnicowane<br />
obsadzenie stanów donorowych w zależności od<br />
koncentracji Te oraz fakt, że część wprowadzanej<br />
domieszki pozostaje elektrycznie obojętna przy wysokim<br />
poziomie domieszkowania [36]. Przy niskim<br />
poziomie domieszkowania tellurem można uzyskać<br />
materiał o bardzo niskiej koncentracji nośników<br />
(< 2 x 10 17 cm -3 ) typu p lub typu n, w zależności<br />
od stopnia kompensacji rodzimych defektów punktowych,<br />
jednakże poważnym problemem staje się<br />
bardzo niejednorodny rozkład parametrów elektrycznych<br />
na płytce [45]. W GaSb domieszkowanym<br />
tellurem obok poziomu donorowego związanego z Te<br />
oraz typowego akceptorowego kompleksu V Ga<br />
Ga Sb<br />
pojawia się kolejny poziom akceptorowy odpowiadający<br />
kompleksowi V Ga<br />
Ga Sb<br />
Te Sb<br />
, którego koncentracja<br />
zależy od składu cieczy i zawartości w niej telluru<br />
[41]. W badaniach własności elektrycznych doskonałym<br />
uzupełnieniem pomiarów hallowskich mogą<br />
być badania fotoluminescencji [29, 41].<br />
18
A. Mirowska, W. Orłowski<br />
Dla uzyskania w GaSb przewodnictwa typu p<br />
stosuje się german, krzem [48] lub cynk [25, 49 - 53].<br />
Krzem oraz cynk jako domieszki akceptorowe zajmują<br />
miejsce Sb w podsieci antymonu. Zaledwie<br />
kilka artykułów dotyczy takich domieszek akceptorowych<br />
w GaSb jak krzem czy cynk, a i te dotyczą<br />
przeważnie problematyki dyfuzji [49 - 52] lub badania<br />
defektów związanych z domieszkowaniem [53].<br />
Po przekroczeniu stanu nasycenia (~ 1 x 10 19 cm -3 )<br />
krzem tworzy wydzielenia, które nie są elektrycznie<br />
aktywne, a równowagowy współczynnik segregacji<br />
Si w GaSb jest bliski, ale nie równy jedności [36].<br />
W przypadku domieszkowania cynkiem pierwszorzędne<br />
znaczenie ma poznanie mechanizmów dyfuzji<br />
w GaSb [6, 54]. Gal i antymon dyfundują niezależnie<br />
od siebie, każdy w swojej podsieci. W związku<br />
z różną koncentracją defektów biorących udział<br />
w procesach dyfuzji prędkość dyfuzji galu jest kilka<br />
rzędów wielkości większa niż antymonu. Za dyfuzję<br />
galu odpowiada zarówno Ga i<br />
jak i luki V Ga<br />
, jednak<br />
tych ostatnich jest zdecydowanie mniej. Domieszkowanie<br />
na typ p sprzyja tworzeniu się dodatnio<br />
naładowanych Ga i<br />
, natomiast ma odwrotny wpływ<br />
na ujemnie naładowane luki galowe [6]. Uwzględniane<br />
są [52] dwa różne mechanizmy dyfuzji cynku,<br />
podstawieniowy (kick-out) oraz dysocjacyjny:<br />
Zn i q ↔ Zn Ga - + Ga i u + (q + 1 - u)h, (1)<br />
Zn i q + V Ga k ↔ Zn Ga - + (q + 1 + k)h, (2)<br />
gdzie:q, k, u - stopień jonizacji defektu, h - oznacza<br />
dziurę.<br />
Podczas domieszkowania GaSb cynkiem na typ<br />
p w dyfuzji mają udział zarówno neutralne luki galowe<br />
(V Ga0<br />
) jak i dodatnio naładowane i neutralne<br />
międzywęzłowe atomy galu (Ga i0<br />
, Ga i+<br />
), podobnie<br />
jak dodatnio naładowany międzywęzłowy atom cynku<br />
(Zn i+<br />
) [49, 53]. Współczynnik segregacji cynku<br />
zależy od jego ilości w stopionym GaSb (maleje ze<br />
wzrostem koncentracji Zn, jak również ze wzrostem<br />
koncentracji Ga) i wynosi 0,3 [4].<br />
2.3. Segregacja domieszek<br />
Współczynniki autodyfuzji i dyfuzji domieszek<br />
w GaSb oraz współczynniki segregacji dla niektórych<br />
domieszek podane w literaturze zamieszczone<br />
są w Tab. 1. Współczynniki dyfuzji niektórych domieszek<br />
w GaSb zależeć mogą od stechiometrii (ind<br />
dyfunduje szybciej w kryształach bogatych w Sb, niż<br />
w bogatych w Ga) oraz od koncentracji domieszki<br />
(np. dyfuzja cyny i litu). Obserwowana jest też zależność<br />
współczynnika segregacji cynku od koncentracji<br />
Zn w stopionym GaSb (maleje on wraz ze wzrostem<br />
koncentracji Zn, jak również ze wzrostem koncentracji<br />
Ga). Badając zjawisko utwardzania sieci poprzez<br />
stosowanie domieszek izoelektronowych (występujące<br />
w innych związkach A III B V ) nie stwierdzono jego<br />
występowania w przypadku GaSb [39].<br />
Tabela 1. Współczynniki segregacji (C s<br />
/ C l<br />
) domieszek w GaSb oraz współczynniki autodyfuzji i dyfuzji domieszek<br />
i energie aktywacji w GaSb wg [4] i uzupełnione wg [25, 29].<br />
Table 1. Segregation coefficients (C s<br />
/ C l<br />
) for dopants in GaSb, diffusion or selfdiffusion coefficients and activation<br />
energies in GaSb from [4] and [25, 29].<br />
C s<br />
/ C l<br />
D 0<br />
[cm 2 s -1 ] Q [eV]<br />
Ga 3,2 x 10 3 3,15<br />
Sb 3,4 x 10 4 3,45<br />
8,7 x 10 -3 1,13<br />
Zn 0,3 4,0x10 -2 lub 9,2 x 10 -2 [25] 1,6 lub 1,8 [25]<br />
Cd 0,02 1,5 x 10 -6 0,72<br />
In 1 1,2x10 -7 0,53<br />
Si 1<br />
Cu 0,0021 [25] 3,2 x 10 8 [25] 2,7 [25]<br />
Ge 0,32 lub 0,015 [25] 1,0 x 10 -1 [25] 1,7 [25]<br />
Sn 0,01 2,4 x 10 -5 0,80<br />
As 2 - 4<br />
S 0,06<br />
Se 0,4<br />
Te 0,4 lub 0,48 [29] 3,8 x 10 -4 lub 1-5 x 10 -5 [25] 1,20<br />
19
Domieszkowanie monokryształów antymonku galu na typ przewodnictwa n oraz p<br />
Rozkład koncentracji domieszki wzdłuż osi kryształu<br />
przy wzroście metodą Czochralskiego opisywany<br />
jest zazwyczaj równaniem (prawem Scheil’a<br />
[55]) zakładającym całkowite mieszanie cieczy<br />
w tyglu. Ponieważ dla GaSb różnica gęstości cieczy<br />
i kryształu wynosi ~ 8% (ρ s<br />
/ρ l<br />
= 0,927), konieczna<br />
jest korekta [26]:<br />
C = C k<br />
o<br />
ef<br />
⎛<br />
⎜<br />
⎝<br />
( 1 − x)<br />
ρ<br />
ρ<br />
s ⎞<br />
k ef −1⎟<br />
l ⎠<br />
(3)<br />
gdzie: k ef<br />
- efektywny współczynnik segregacji,<br />
C o<br />
- początkowa koncentracja domieszki we wsadzie,<br />
x - skrystalizowana część wsadu, ρ s,<br />
ρ l<br />
- gęstość<br />
kryształu i cieczy.<br />
W przypadku procesów krystalizacji InSb metodą<br />
Bridgman’a prowadzonych w stanie nieważkości<br />
zaobserwowano segregację innego typu, idealnie<br />
równowagową i w pełni kontrolowaną przez dyfuzję<br />
opisywaną równaniem Tiller’a [56]:<br />
⎡<br />
C = Co ⎢kef<br />
+ ef ⎢ exp ⎥ (4)<br />
ef<br />
⎣<br />
⎣ ⎝ D ⎠⎦<br />
⎡ ⎛ R ⎞⎤⎤<br />
( 1 − k ) 1 − ⎜ − k x ⎟ ⎥<br />
⎦<br />
gdzie: R- prędkość krystalizacji, D - współczynnik<br />
dyfuzji.<br />
W przypadku GaSb nie udało się jednak osiągnąć<br />
podobnego, idealnie dyfuzyjnego rozkładu domieszki<br />
[27, 42]. W tym celu próbowano ograniczyć drastycznie<br />
konwekcję w cieczy, ale rozkład osiowy<br />
telluru w kryształach GaSb nadal leżał pomiędzy<br />
teoretycznymi krzywymi odpowiadającymi całkowitemu<br />
mieszaniu i rozkładowi kontrolowanemu przez<br />
dyfuzję [26, 46].<br />
Występujący w powyższych równaniach efektywny<br />
współczynnik segregacji może zależeć od wielu<br />
czynników. Zwłaszcza dla bardzo dużych prędkości<br />
krystalizacji mamy k ef<br />
≠ k, ale dla ~ 10 cm/h otrzymano<br />
k ef<br />
≈ 1,3k [10]. Jeśli krystalizacja nie jest<br />
prowadzona z cieczy o idealnie stechiometrycznym<br />
składzie, może mieć to wpływ na rozkład domieszki.<br />
Wzrost koncentracji Sb i<br />
obniża przecież koncentrację<br />
luk V Sb<br />
, a tym samym możliwości wbudowywania<br />
się telluru w podsieci antymonu [10].<br />
Efektywny współczynnik segregacji może też<br />
zależeć od kierunku wzrostu nawet przy niewielkich<br />
prędkościach krystalizacji. Jeśli front krystalizacji<br />
nie jest idealnie płaski, bądź jego kształt zmienia się<br />
w trakcie wzrostu kryształu, wtedy wzrost zachodzi<br />
na różnych krystalograficznych facetkach i k ef<br />
zależy<br />
od pozycji w krysztale [10]. Wartości k ef<br />
mogą się w<br />
takim przypadku znacznie różnić (nawet kilkukrot-<br />
nie). Zależność k ef<br />
od równowagowego współczynnika<br />
segregacji k opisuje równanie [45]:<br />
k<br />
k ef =<br />
(5)<br />
k +<br />
( 1 − k ) exp( − ∆)<br />
gdzie: ∆ = R δ / D, R - prędkość krystalizacji,<br />
D - współczynnik dyfuzji w cieczy, δ - odpowiada<br />
za mieszanie cieczy.<br />
W warunkach słabego mieszania δ → ∞, więc<br />
∆ → ∞ i stąd mamy k ef<br />
→ 1 (tzw. rozkład dyfuzyjny),<br />
natomiast w przypadku idealnego mieszania δ → 0,<br />
więc ∆ → 0 i stąd mamy k ef<br />
→ k. Z powyższych<br />
rozważań wynika, że modyfikując odpowiednio parametry<br />
technologiczne procesu wzrostu (prędkość<br />
krystalizacji, gradienty temperatury, obroty tygla<br />
i zarodzi), można próbować jeśli nie drastycznie<br />
zmienić, to przynajmniej modyfikować rozkład domieszki,<br />
a tym samym parametrów elektrycznych<br />
w krysztale.<br />
3. PROCESY MONOKRYSTALIZA-<br />
CJI GaSb<br />
Celem niniejszej pracy było opracowanie warunków<br />
technologicznych pozwalających na otrzymywanie<br />
w sposób powtarzalny monokryształów GaSb<br />
domieszkowanych na typ n (tellurem) oraz na typ p<br />
(krzemem lub cynkiem) o założonych własnościach<br />
elektrycznych i strukturalnych. Jest to kontynuacja<br />
oraz rozwinięcie badań prowadzonych w latach ubiegłych<br />
dotyczących opracowania metody otrzymywania<br />
niedomieszkowanych monokryształów GaSb<br />
o średnicy 2 cali metodą Czochralskiego.<br />
W przypadku niedomieszkowanych monokryształów<br />
GaSb najistotniejszym do osiągnięcia<br />
parametrem była możliwie najniższa koncentracja<br />
dziur (1 ÷ 2) x 10 17 cm -3 i ich wysoka ruchliwość<br />
600 ÷ 700 cm 2 /Vs w 300 K, dla monokryształów<br />
domieszkowanych należało określić możliwe do<br />
osiągnięcia zakresy parametrów fizycznych w zależności<br />
od koncentracji domieszki. Zbadana została<br />
rzeczywista koncentracja domieszki w otrzymanych<br />
kryształach dzięki badaniom metodą GDMS (Glow<br />
Discharge Mass Spectrometry).<br />
3.1. Zintegrowany proces syntezy i monokrystalizacji<br />
Procesy otrzymywania GaSb prowadzone były<br />
w niskociśnieniowym urządzeniu GK-2 wykorzystywanym<br />
wcześniej do otrzymywania niedomieszko-<br />
20
A. Mirowska, W. Orłowski<br />
wanych monokryształów GaSb w kierunkach <br />
oraz [57]. Procesy prowadzone były w przepływie<br />
czystego wodoru, a zastosowanie kamery czułej<br />
na podczerwień umożliwiało obserwację wnętrza<br />
komory i precyzyjną kontrolę średnicy rosnącego<br />
monokryształu. Zastosowany układ termiczny dla<br />
tygli o średnicy 111 mm umożliwiał przy załadunku<br />
~ 1,5 kg GaSb otrzymanie kryształów 2-calowych<br />
o długości do130 mm. Połączenie w jednym procesie<br />
syntezy metodą in-situ z monokrystalizacją metodą<br />
Czochralskiego ograniczyło do minimum ilość niezbędnych<br />
etapów technologicznych i towarzyszących<br />
im procesów przygotowania wsadu (obróbki<br />
mechanicznej i trawienia przed procesem). Również<br />
zastosowanie w procesach monokrystalizacji<br />
czystego wodoru i niewielkiej ilości topnika (B 2<br />
O 3<br />
)<br />
zdecydowanie poprawiło czystość stopionego wsadu.<br />
Należy podkreślić, że taka niewielka ilość topnika<br />
służyła jedynie uzyskaniu niemal idealnie czystej<br />
powierzchni wolnej od nalotu tlenkowego, natomiast<br />
sam proces krystalizacji odbywał się jak w klasycznej<br />
metodzie Czochralskiego. Na podstawie analizy<br />
przeprowadzonych procesów krystalizacji ustalone<br />
zostały optymalne warunki do otrzymywania w sposób<br />
powtarzalny monokryształów GaSb o średnicy<br />
2 cali. Dobrano następujące parametry zintegrowanego<br />
procesu syntezy in-situ i monokrystalizacji<br />
metodą Czochralskiego:<br />
- masa wsadu (6N Sb + 6N5 Ga) 1510÷1570 g ,<br />
- atmosfera gazowa H 2<br />
(w przepływie),<br />
- średnica tygla kwarcowego φ111 mm ,<br />
- masa topnika (B 2<br />
O 3<br />
) 5÷8 g ,<br />
- prędkość obrotowa zarodzi 10 rpm ,<br />
- prędkość obrotowa tygla 2 rpm (przeciwnie<br />
do obrotów zarodzi)<br />
- prędkość podnoszenia zarodzi 8÷12 mm/h.<br />
Podstawę do rozważań na temat procesów domieszkowania<br />
stanowi opracowanie warunków<br />
otrzymywania materiału niedomieszkowanego,<br />
o dobrej czystości i powtarzalnych parametrach [57].<br />
Począwszy od pierwszych procesów otrzymywania<br />
niedomieszkowanego GaSb stopniowo zwiększano<br />
załadunek wsadu z ~ 1,2 kg do ponad 1,5 kg. Optymalizacji<br />
podlegała również prędkość krystalizacji.<br />
Początkowo była ona stosunkowo duża i wynosiła<br />
nawet powyżej 20 mm/h. Stopniowo obniżano<br />
prędkość krystalizacji aż do 10 mm/h. W części walcowej<br />
wyciąganego kryształu stosowane były stałe<br />
obroty tygla (2 rpm) przeciwne do obrotów zarodzi<br />
wynoszących ~ 10 rpm. Ze względu na stosunkowo<br />
duży obszar z widocznymi wydzieleniami antymonu<br />
na stożkach dolnych początkowo otrzymywanych<br />
monokryształów w kolejnych procesach stopniowo<br />
obniżano nadmiar Sb (z ~ 2,7% nawet do ~ 0,5%).<br />
Parametry elektryczne badane były metodą Hall’a<br />
(zarówno w temperaturze pokojowej jak i w temperaturze<br />
ciekłego azotu) na płytkach wyciętych z początku<br />
i końca otrzymanych monokryształów oraz na<br />
próbkach wyciętych z centralnej i z brzegowej części<br />
płytki. Parametry elektryczne monokryształów są zależne<br />
głównie od czystości materiałów wsadowych:<br />
galu, antymonu, B 2<br />
O 3<br />
. Duży wpływ ma również<br />
czystość wodoru i innych używanych odczynników<br />
chemicznych oraz sposób przygotowania urządzenia<br />
(dokładne oczyszczenie i wygrzanie) i postępowania<br />
w całym procesie otrzymywania związku (ograniczenie<br />
do minimum liczby etapów technologicznych)<br />
i dalszej jego obróbki.<br />
W celu zbadania czystości otrzymanych monokryształów<br />
oraz określenia koncentracji celowo<br />
wprowadzanych domieszek wybrana została, powszechnie<br />
wykorzystywana i uznawana, metoda<br />
GDMS. Do badania tą metodą przygotowane były<br />
próbki wycięte z początków i końców monokryształów<br />
domieszkowanych tellurem, krzemem i cynkiem.<br />
Dla porównania przygotowane zostały również<br />
próbki z niedomieszkowanych monokryształów.<br />
Przeprowadzono kilka alternatywnych prób określania<br />
wielkości zanieczyszczeń oraz koncentracji<br />
celowo wprowadzanych domieszek m.in. metodą<br />
SIMS. Jest to metoda od dawna stosowana w przypadku<br />
monokryształów A 3 B 5 , jednak w tym przypadku<br />
otrzymać można jedynie jakościowy obraz<br />
zanieczyszczeń w postaci wykresów. Aby w pełni<br />
wykorzystać możliwości tej metody w przypadku<br />
GaSb należy przebadać kolejne próbki równolegle<br />
inną metodą dającą pewne wyniki (np. GDMS). Po<br />
porównaniu wyników dla różnych próbek zarówno<br />
niedomieszkowanych jak i domieszkowanych (przy<br />
różnych poziomach domieszkowania) będzie możliwe<br />
określanie koncentracji przynajmniej niektórych<br />
pierwiastków na podstawie badań metodą SIMS.<br />
3.2. Monokryształy niedomieszkowane<br />
Prawidłowy dobór materiałów wsadowych i parametrów<br />
technologicznych procesu najlepiej kontrolować<br />
porównując parametry niedomieszkowanych<br />
monokryształów GaSb otrzymanych w ramach wcześniejszych<br />
prac. W Tab. 2 przedstawione są parametry<br />
elektryczne kilku kryształów niedomieszkowanych<br />
(rezystywność, ruchliwość i koncentracja nośników),<br />
niektóre parametry technologiczne (naddatek antymonu,<br />
zawartość cząsteczek wody w B 2<br />
O 3<br />
i masa<br />
topnika) oraz położenie płytki pomiarowej (odległość<br />
od końca zarodzi) i temperatura pomiaru.<br />
Analizując wartości parametrów kryształów<br />
zamieszczone w Tab. 2 można potwierdzić istotną<br />
21
Domieszkowanie monokryształów antymonku galu na typ przewodnictwa n oraz p<br />
zależność ruchliwości nośników od czystości materiałów<br />
wsadowych i użytego topnika (zawartości<br />
wody w B 2<br />
O 3<br />
). Monokryształ Cz-12 wyciągnięty<br />
z użyciem nieco większej ilości wilgotnego topnika<br />
(1130 ppm) ma wyraźnie najniższą ruchliwość<br />
nośników (750 - 1105 cm 2 /Vs) mierzoną w 77 K.<br />
Stosując takie same materiały wsadowe i mniejszą<br />
ilość suchego topnika, po zoptymalizowaniu warunków<br />
technologicznych stwierdzono znaczny wzrost<br />
ruchliwości do 2330 - 2867 cm 2 /Vs. Do procesu<br />
Cz-25 użyty został antymon z końców wlewków<br />
po czyszczeniu strefowym. Koncentracja nośników<br />
mierzona w 300 K pogorszyła się w porównaniu<br />
z kryształem Cz-15 choć wciąż mieści się poniżej<br />
wartości 2 x 10 17 cm -3 . Wyraźniej widać wpływ<br />
gorszej czystości Sb w parametrach elektrycznych<br />
mierzonych w temperaturze 77 K. Zwłaszcza w końcowej<br />
części kryształu koncentracja nośników silnie<br />
wzrosła (niemal o rząd wielkości) i towarzyszy jej<br />
silne (dwukrotne) obniżenie ruchliwości. Świadczy<br />
to o obecności zanieczyszczeń o współczynniku segregacji<br />
mniejszym od 1. Takie pogorszenie wartości<br />
parametrów elektrycznych może mieć znaczenie<br />
nie tylko w niedomieszkowanych monokryształach<br />
GaSb, ale ma z pewnością znaczenie również<br />
w przypadku monokryształów domieszkowanych,<br />
zwłaszcza gdy mamy do czynienia z niskim poziomem<br />
domieszkowania.<br />
Tabela 2. Parametry elektryczne kilku niedomieszkowanych monokryształów GaSb.<br />
Table 2. Electrical parameters of undoped GaSb single crystals.<br />
<strong>Nr</strong><br />
Topnik<br />
Temp.<br />
[K]<br />
Płytka<br />
[mm]<br />
Koncentracja [cm -3 ]<br />
(środek-brzeg)<br />
Ruchliwość<br />
[cm 2 /Vs]<br />
Oporność<br />
[Ωcm]<br />
Cz-12<br />
22 g<br />
1130ppm<br />
300<br />
77<br />
22<br />
95<br />
22<br />
95<br />
(1,60-1,39) x 10 17 513-536<br />
(1,63-1,06) x 10 17 64-535<br />
(3,63-......) x 10 16<br />
750<br />
(......-7,47) x 10 15 1105<br />
(7,63-8,25) x 10 -2<br />
(6,00-1,10) x 10 -1<br />
2,29 x 10 -1<br />
7,56 x 10 -1<br />
Cz-15<br />
8 g<br />
330ppm<br />
300<br />
77<br />
11<br />
92<br />
11<br />
92<br />
(1,41-1,34) x 10 17 634-640<br />
(1,46-1,40) x 10 17 615-607<br />
(2,72-......) x 10 16 2330<br />
(......-1,68) x 10 16 2867<br />
(6,97-7,29) x 10 -2<br />
(6,94-7,34) x 10 -2<br />
9,86 x 10 -2<br />
1,29 x 10 -1<br />
Cz-25<br />
6 g<br />
230ppm<br />
300<br />
77<br />
14<br />
120<br />
14<br />
120<br />
(......-1,50) x 10 17<br />
597<br />
(1,90-1,85) x 10 17 571-586<br />
(......-2,08) x 10 16 2556<br />
(12,0-6,17) x 10 16 1049-1653<br />
6,97 x 10 -2<br />
(5,75-5,75) x 10 -2<br />
1,17 x 10 -1<br />
(4,97-6,16) x 10 -2<br />
Parametry technologiczne procesu mają ogromny<br />
wpływ na własności fizyczne otrzymywanych monokryształów.<br />
Dla pełnego zobrazowania zamieszczono<br />
na Rys. 2 zestawienie wyników dla niedomieszkowanych<br />
kryształów GaSb otrzymanych wcześniej<br />
[57]. Przy rozdzielonych procesach syntezy metodą<br />
Bridgman’a i krystalizacji metodą Czochralskiego<br />
(seria nr 1) uzyskiwano w 300 K wysoką koncentrację<br />
dziur (1,8 ÷ 5,5 x 10 17 cm -3 ) i dopiero zintegrowanie<br />
obu tych procesów i zastosowanie bardzo<br />
czystego wodoru umożliwiło obniżenie tej koncentracji<br />
o połowę (seria nr 2). Dalsza optymalizacja<br />
parametrów technologicznych pozwoliła na zejście<br />
poniżej 2 x 10 17 cm -3 (seria nr 3) przy jednoczesnym<br />
ograniczeniu rozrzutu wielkości parametrów, zarówno<br />
wzdłuż osi kryształu jak i na płytce.<br />
Drobnej poprawy będzie wymagała jeszcze<br />
koncentracja dziur mierzona na początku kryształu<br />
(w 77 K powinna być < 2 x 10 16 cm -3 ). Może być to<br />
związane z podwyższoną koncentracją arsenu widoczną<br />
w analizach GDMS na próbkach wyciętych<br />
z początkowych części kryształów. Trzeba zauważyć,<br />
że dużą koncentrację arsenu stwierdzono również<br />
w używanym do procesów antymonie. W związku<br />
z wysoką prężnością par arsen jest systematycznie<br />
wypłukiwany ze stopionego wsadu w trakcie procesu<br />
krystalizacji i w końcowej części kryształów jego<br />
koncentracja jest nawet 2 ÷ 3 rzędy wielkości niższa.<br />
W takim przypadku rozwiązaniem powyższego<br />
problemu będzie wygrzanie stopionego wsadu przez<br />
~ 10 godzin przed rozpoczęciem procesu monokrystalizacji.<br />
22
A. Mirowska, W. Orłowski<br />
4. DOMIESZKOWANIE GaSb NA<br />
TYP n ORAZ NA TYP p<br />
4.1. Domieszkowanie tellurem<br />
Rys. 2. Koncentracja dziur (300 K) w niedomieszkowanych<br />
monokryształach GaSb dla różnych warunków<br />
technologicznych: 1) synteza HB i krystalizacja CZ, 2)<br />
zintegrowany proces syntezy in-situ i monokrystalizacji<br />
CZ, 3) po wstępnej optymalizacji parametrów.<br />
Fig. 2. Holes concentration (300 K) in undoped GaSb single<br />
crystals for different technological conditions: 1) HB<br />
synthesis and CZ crystallization, 2) integrated process of<br />
in-situ synthesis and CZ crystallization, 3) after process<br />
parameters optimallization.<br />
W celu otrzymania monokryształów GaSb typu n<br />
przeprowadzono domieszkowanie tellurem w postaci<br />
Ga 2<br />
Te 3<br />
(zawartość wagowa telluru w Ga 2<br />
Te 3<br />
wynosi<br />
73,3%). Prężność par takiej domieszki jest znacząca,<br />
trzeba więc uwzględnić jej straty w czasie procesu,<br />
znacznie większe niż przy metodzie Czochralskiego<br />
z hermetyzacją cieczową stopionego wsadu. Podawana<br />
w literaturze maksymalna rozpuszczalność Te<br />
w stopionym GaSb wynosi 1,5 x 10 18 cm -3 i powyżej<br />
tej koncentracji tworzą się związki Te z Ga. Ponadto<br />
przy wyższej koncentracji domieszki znaczna jej<br />
część, choć wbudowuje się w kryształ, może pozostawać<br />
elektrycznie obojętna. Niewielki współczynnik<br />
segregacji telluru w GaSb oznacza, że należy się spodziewać<br />
dużego zróżnicowania wartości parametrów<br />
elektrycznych wzdłuż osi kryształów.<br />
Otrzymano monokryształy GaSb o orientacji<br />
domieszkowane Te przy różnej koncentracji<br />
domieszki (stosowano od 40 do 131 mg Te na<br />
kilogram wsadu) (Tab. 3). Stosowano podobne parametry<br />
technologiczne procesu wzrostu: naddatek<br />
Sb (1,1 ÷ 1,2) %, niewielką ilość (8 ÷ 9) g topnika<br />
o małej wilgotności (~ 230 ppm H 2<br />
O).<br />
Tabela 3. Parametry elektryczne monokryształów GaSb domieszkowanych tellurem.<br />
Table 3. Electrical parameters of GaSb single crystals doped with tellurium.<br />
<strong>Nr</strong><br />
Te [mg/<br />
kg]<br />
Te [cm -3 ] wg<br />
GDMS<br />
Temp.<br />
[K]<br />
Płytka<br />
[mm]<br />
Typ<br />
prz.<br />
Koncentracja [cm -3 ]<br />
(środek-brzeg)<br />
Ruchliwość<br />
[cm 2 /Vs]<br />
Oporność<br />
[Ωcm]<br />
Cz-16 40<br />
300<br />
1,25 x1 0 17<br />
9,18 x 10 17<br />
77<br />
15<br />
60<br />
96<br />
15<br />
60<br />
96<br />
p<br />
n<br />
n<br />
p<br />
n<br />
n<br />
413-385<br />
(2,22-2,08) x 10 16<br />
(3,18-6,23) x 10 17 2800-2730<br />
(3,48-3,03) x 10 16 2647-15<br />
1639<br />
(3,14-......) x 10 14<br />
(3,38-......) x10 17 3101<br />
(5,41-......) x10 16 2065<br />
(6,79-7,79) x 10 -1<br />
(0,68-60,0) x 10 -1<br />
(7,02-3,67) x 10 -3<br />
1,21 x 10 1<br />
5,59 x 10 -2<br />
5,95 x 10 -3<br />
Cz-17 62<br />
300<br />
77<br />
7<br />
110<br />
7<br />
110<br />
n<br />
n<br />
n<br />
n<br />
(1,19-0,79) x 10 17 3236-3036<br />
(1,36-1,45) x 10 18 2337-2305<br />
(2,04-1,32) x 10 17 9040-2363<br />
(1,43-1,67) x 10 18 4643-4933<br />
(1,60-2,61) x 10 -2<br />
(1,96-1,86) x 10 -3<br />
(3,38-20,0) x 10 -3<br />
(9,39-7,56) x 10 -4<br />
Cz-18 131<br />
300<br />
6,71 x 10 17<br />
3,14 x 10 18<br />
77<br />
7<br />
100<br />
7<br />
100<br />
n<br />
n<br />
n<br />
n<br />
(2,99-4,64) x 10 17 3337-3101<br />
(1,29-1,68) x 10 18 2537-2551<br />
(5,13-7,59) x 10 17 5713-6176<br />
(1,43-1,73) x 10 18 6688-7059<br />
(6,24-4,34) x 10 -3<br />
(1,91-1,45) x 10 -3<br />
(2,13-1,33) x 10 -3<br />
(6,53-5,10) x 10 -4<br />
23
Domieszkowanie monokryształów antymonku galu na typ przewodnictwa n oraz p<br />
Przy zastosowaniu minimalnej ilości (40 mg/kg)<br />
telluru będącego domieszką donorową wyraźnie<br />
daje o sobie znać zjawisko kompensacji rodzimych<br />
akceptorowych defektów punktowych. Początkowa<br />
część monokryształu Cz-16 posiada jeszcze typ p<br />
przewodnictwa, choć zmierzona koncentracja dziur<br />
jest już o rząd wielkości niższa (~ 2 x 10 16 cm -3 ) niż<br />
w kryształach niedomieszkowanych. Koniec tego<br />
monokryształu jest już typu n o koncentracji elektronów<br />
~ 5 x 10 17 cm -3 . Zmiana na typ n przewodnictwa<br />
wystąpiła po skrystalizowaniu ~ 50% wsadu. Jest to<br />
zjawisko powszechnie spotykane dla monokryształów<br />
GaSb o niskiej koncentracji domieszki donorowej<br />
jaką jest tellur. Charakterystyczna jest również<br />
duża niejednorodność parametrów elektrycznych na<br />
powierzchni płytki (związanych ze znaczną różnicą<br />
koncentracji telluru w centrum i na obrzeżach płytki)<br />
[43]. Kolejny monokryształ Cz-17 na całej długości<br />
był już typu n i miał koncentrację nośników mierzoną<br />
w temperaturze pokojowej powyżej 1 x 10 17 cm -3 .<br />
Analizując koncentrację nośników na płytkach<br />
z początku dwóch pierwszych kryształów można<br />
wnioskować, że koncentracja Te jest większa w centralnej<br />
części niż na obrzeżach płytki. W końcowej<br />
części wszystkie kryształy miały nieco wyższą koncentrację<br />
nośników (a tym samym domieszki) na<br />
brzegu płytki niż w części centralnej. Odwrotny rozkład<br />
koncentracji telluru na płytce z początku kryształu<br />
udało się uzyskać dopiero poprzez korektę parametrów<br />
wyciągania (prędkości obrotowej zarodzi<br />
i tygla) w początkowej części procesu o największej<br />
ilości domieszki w stopionym wsadzie, wynoszącej<br />
3,75 x 10 18 cm -3 (ponad dwukrotnie przekraczającej<br />
graniczną rozpuszczalność podawaną w literaturze).<br />
Pomimo trudniejszych warunków wyciągania udało<br />
się uzyskać wzrost monokrystaliczny. Co ciekawe,<br />
choć kryształy Cz-17 i Cz-18 różnią się znacznie<br />
(ponad 3-krotnie) koncentracją nośników mierzoną<br />
na początku kryształu, to końcowa koncentracja jest<br />
w obu przypadkach niemal identyczna i wynosi<br />
w temperaturze pokojowej ~ 1,5 x 10 18 cm -3 .<br />
Wydaje się, że niezmiernie trudno byłoby uzyskać<br />
wyższą koncentrację elektronów w przypadku<br />
domieszkowania tellurem. Wszystkie trzy monokryształy<br />
charakteryzują się wysoką ruchliwością,<br />
zarówno w temperaturze pokojowej jak i w 77 K.<br />
W celu dokładniejszego poznania mechanizmów<br />
domieszkowania antymonku galu tellurem<br />
przeprowadzono badania rzeczywistego rozkładu<br />
koncentracji domieszki (Te) wzdłuż osi kryształów<br />
przy różnych poziomach domieszkowania dzięki<br />
analizom GDMS. Do badań wybrano próbki<br />
z początków i końców monokryształów o minimalnej<br />
i maksymalnej ilości dodanej domieszki.<br />
24<br />
Porównanie koncentracji elektronów zmierzonej<br />
dzięki pomiarom hallowskim i koncentracji telluru<br />
oszacowanej dzięki analizom GDMS pokazuje<br />
Rys. 3. Przedstawione zostały rozkłady koncentracji<br />
elektronów w 300 K w funkcji położenia płytki pomiarowej<br />
(skrystalizowanej części wsadu). Symbole<br />
puste odpowiadają koncentracji nośników określonej<br />
z pomiarów hallowskich, zaś pełne koncentracji<br />
telluru zmierzonej metodą GDMS.<br />
Rys. 3. Rozkłady koncentracji elektronów w 300 K wzdłuż<br />
osi monokryształów GaSb domieszkowanych różną ilością<br />
Te na 1 kg wsadu (40 mg/kg, 62 mg/kg, 131 mg/kg).<br />
Zaznaczono miejsca pomiaru i koncentrację Te określono<br />
metodą GDMS (symbole pełne).<br />
Fig. 3. Carrier concentration in 300 K along GaSb single<br />
crystals doped with different doses of tellurium for 1 kg of<br />
charge (40 mg/kg, 62 mg/kg, 131 mg/kg). Marked points<br />
of measurement and adequate Te concentration estimated<br />
by GDMS (full symbols).<br />
Porównując zmianę koncentracji nośników spowodowaną<br />
domieszkowaniem GaSb (różnicę koncentracji<br />
nośników mierzonej dla kryształu domieszkowanego<br />
tellurem i kryształu niedomieszkowanego)<br />
z oszacowaną w kryształach koncentracją domieszki<br />
otrzymujemy wyraźną zależność (Rys. 4).<br />
Dla małej koncentracji telluru zmiana parametrów<br />
hallowskich jest niemal taka sama jak ilość<br />
wprowadzonej domieszki, lecz im więcej telluru jest
A. Mirowska, W. Orłowski<br />
w krysztale tym mniejsza jest zmiana koncentracji<br />
nośników.<br />
Rys. 4. Zmiana koncentracji nośników (z pomiarów hallowskich<br />
w 300 K) w funkcji koncentracji telluru określonej<br />
metodą GDMS.<br />
Fig. 4. Change of carrier concentration (from Hall measurements<br />
in 300 K) versus tellurium concentration estimated<br />
by GDMS.<br />
elektrycznie obojętny. Możliwe jest również tworzenie<br />
się wytrąceń w postaci Ga 2<br />
Te 3<br />
.<br />
Dla pełniejszego poznania zjawisk zachodzących<br />
w procesach domieszkowania GaSb konieczna jest<br />
kontynuacja rozpoczętych prac oraz wykonanie badań<br />
pozwalających na określenie jednorodności rozkładów<br />
koncentracji domieszek w otrzymywanych<br />
kryształach. Należy szczególnie dokładnie zbadać<br />
niejednorodność rozkładu parametrów (koncentracji<br />
nośników) przy niskim poziomie domieszkowania<br />
GaSb tellurem na typ n.<br />
4.2. Domieszkowanie krzemem<br />
W celu otrzymania monokryształów GaSb typu<br />
p jako domieszki użyto czystego krzemu w ilości od<br />
63 do 241 mg na kilogram wsadu. Istotnym okazał<br />
się sposób przygotowania domieszki krzemowej,<br />
bowiem zmierzona w otrzymanym krysztale koncen-<br />
Zależność ta widoczna jest jeszcze wyraźniej<br />
na kolejnym wykresie (Rys. 5). Aktywną częścią<br />
domieszki tellurowej nazwana została względna<br />
zmiana parametrów hallowskich, czyli koncentracji<br />
nośników w stosunku do koncentracji domieszki<br />
zmierzonej metodą GDMS. Widoczny jest bardzo<br />
silny spadek określonej w powyższy sposób aktywności<br />
telluru, z blisko 100% przy zastosowaniu<br />
minimalnej ilości domieszki, aż do 50% ze wzrostem<br />
koncentracji Te do poziomu ~ 4 x 10 18 cm -3 .<br />
Rys. 5. Aktywna elektrycznie część domieszki (z pomiarów<br />
hallowskich w 300 K) w funkcji koncentracji telluru<br />
określonej metodą GDMS.<br />
Fig. 5. Electrically active part of dopant (from Hall measurements<br />
in 300 K) versus tellurium concentration estimated<br />
by GDMS.<br />
Potwierdza to doniesienia literaturowe o zachowaniu<br />
się Te przy silnym domieszkowaniu. Tellur<br />
choć wbudowuje się w kryształ może pozostawać<br />
Rys. 6. Rozkłady koncentracji dziur w 300 K wzdłuż<br />
osi monokryształów GaSb:Si dla różnej masy domieszki<br />
w stosunku do masy wsadu (64 mg/kg przed korektą sposobu<br />
domieszkowania, 46 mg/kg, 67 mg/kg po korekcie,<br />
240 mg/kg). Zaznaczone miejsca pomiaru i odpowiadająca<br />
im koncentracja Si zostały określone metodą GDMS<br />
(symbole pełne).<br />
Fig. 6. Carrier concentration along GaSb:Si single crystals<br />
doped with different doses (64 mg/kg before the<br />
correction of doping method, 46 mg/kg, 67 mg/kg after<br />
the correction of doping, 240 mg/kg). Marked points of<br />
measurement t and Si concentration estimated by GDMS<br />
(full symbols).<br />
25
Domieszkowanie monokryształów antymonku galu na typ przewodnictwa n oraz p<br />
tracja nośników (5 x 10 17 cm -3 ) znacznie odbiegała od<br />
przewidywanej, co świadczyło o wyjątkowo niskiej<br />
efektywności, tzn. dużych stratach domieszki. Po<br />
korekcie procedury przygotowania domieszki, przy<br />
dokładnie takiej samej jej ilości, uzyskano koncentrację<br />
nośników o niemal rząd wielkości wyższą<br />
w krysztale Cz-21 (Rys. 6). Najwyższą koncentrację<br />
nośników zmierzono w krysztale Cz-20 i w temperaturze<br />
pokojowej wynosi ona ~ 2,7x10 19 cm -3 przy<br />
ruchliwości powyżej 200 cm 2 /Vs (Tab. 4). Stosowano<br />
naddatek Sb (0,8÷1,0) %, minimalną ilość (5 ÷ 6) g<br />
topnika o możliwie jak najmniejszej wilgotności<br />
(~ 230 ppm H 2<br />
O).<br />
W czasie wyciągania monokryształów GaSb:Si<br />
utrudnieniem było pojawianie się na powierzchni<br />
stopionego wsadu narastającej z upływem czasu warstwy<br />
(nalotu) pomimo idealnie czystej powierzchni<br />
na początku procesu. Jest ona związana z wytrąceniami<br />
krzemu (lub jego związków) i pojawia się<br />
nawet przy ilości Si w stopionym wsadzie rzędu<br />
6 x 10 18 cm -3 (występowała we wszystkich procesach)<br />
jako wynik reakcji krzemu ze stosowanym<br />
(choć w minimalnej ilości) topnikiem:<br />
3Si + 2B 2<br />
O 3<br />
--> 3SiO 2<br />
+ 4B (6)<br />
Potwierdza to również podwyższona koncentracja<br />
boru (nawet do 400 ppb) we wszystkich próbkach<br />
monokryształów GaSb domieszkowanych Si (w pozostałych<br />
jest poniżej 10 ppb). W końcowej fazie<br />
procesu wyciągania nalot pokrywał całkowicie powierzchnię<br />
stopionego GaSb. W razie konieczności,<br />
dla wyeliminowania zanieczyszczenia borem, trzeba<br />
będzie zrezygnować ze stosowania topnika.<br />
Tabela 4. Parametry elektryczne monokryształów GaSb domieszkowanych krzemem.<br />
Table 4. Electrical parameters of GaSb single crystals doped with silicon.<br />
<strong>Nr</strong><br />
Si<br />
[mg/kg]<br />
Cz-19 64<br />
Cz-20 240<br />
Si [cm -3 ]<br />
wg GDMS<br />
Temp.<br />
[K]<br />
300<br />
2,86 x10 17<br />
3,32 x10 17<br />
77<br />
2,01 x10 19 300<br />
3,14 x10 19<br />
Cz-21 67 300<br />
Cz-22 46<br />
300<br />
2,14 x10 18<br />
2,40 x10 18<br />
Płytka<br />
[mm]<br />
6<br />
99<br />
6<br />
99<br />
5<br />
91<br />
Typ<br />
prz.<br />
p<br />
p<br />
p<br />
p<br />
p<br />
p<br />
Koncentracja [cm -3 ]<br />
(środek-brzeg)<br />
Ruchliwość<br />
[cm 2 /Vs]<br />
(4,34-4,26) x10 17 535-522<br />
(5,01-4,91) x10 17 517-539<br />
(2,62-2,70) x10 17 777-749<br />
(3,48-3,74) x10 17 713-698<br />
(1,86-1,67) x10 19 228-237<br />
(2,74-2,62) x10 19 206-214<br />
Oporność<br />
[Ωcm]<br />
(2,69-2,80) x10 -2<br />
(2,41-2,36) x10 -2<br />
(3,04-3,09) x10 -2<br />
(2,52-2,39) x10 -2<br />
(1,48-1,57) x10 -3<br />
(1,10-1,11) x10 -3<br />
77 91 p (2,21-2,03) x10 19 323-378 (1,48-0,81) x10 -3<br />
77<br />
9<br />
114<br />
6<br />
101<br />
6<br />
101<br />
p<br />
p<br />
p<br />
p<br />
p<br />
p<br />
(3,85-3,64) x10 18 328-320<br />
(4,60-4,69) x10 18 303-313<br />
(2,09-2,16) x10 18 367-350<br />
(2,22-2,58) x10 18 340-310<br />
(2,04-2,31) x10 18 422-365<br />
(2,44-2,56) x10 18 386-355<br />
(4,94-5,34) x10 -3<br />
(4,48-4,26) x10 -3<br />
(8,12-8,25) x10 -3<br />
(8,29-7,89) x10 -3<br />
(7,24-7,39) x10 -3<br />
(6,62-6,86) x10 -3<br />
Na Rys. 6 przedstawione zostały rozkłady koncentracji<br />
dziur wzdłuż osi kryształów na podstawie<br />
pomiarów hallowskich oraz odpowiadające tym<br />
punktom pomiarowym koncentracje krzemu określone<br />
metodą GDMS. Niemal identyczne wartości<br />
koncentracji na początkach i końcach kryształów<br />
wskazują na wartość współczynnika segregacji<br />
niewiele mniejszą, prawie równą jedności (~ 0,82).<br />
Koncentracja nośników mierzona na początku i końcu<br />
kryształu różni się mniej niż 30%. Niewielkie<br />
są też różnice parametrów elektrycznych mierzone<br />
na próbkach z centralnej i brzegowej części płytki<br />
(~ 5%) (Tab. 4).<br />
26<br />
Na Rys. 7 przedstawiono zmianę koncentracji<br />
dziur (różnicę koncentracji mierzonej w kryształach<br />
domieszkowanych krzemem i w kryształach niedomieszkowanych)<br />
w funkcji koncentracji krzemu określonej<br />
metodą GDMS. Widać, że wartości te są niemal<br />
identyczne, co świadczy o prawie 100% aktywności<br />
elektrycznej wbudowanego w sieć krzemu.<br />
Wyraźniej widoczne jest to na Rys. 8, gdzie<br />
aktywna część domieszki to względna zmiana koncentracji<br />
dziur w stosunku do określonej metodą<br />
GDMS koncentracji krzemu. Dla niskiej koncentracji<br />
Si wynosi ona prawie 1, a dla większych koncentracji<br />
jest niewiele mniejsza i wynosi ~ 0,85 (dla<br />
~ 3 x 10 19 cm -3 ).
A. Mirowska, W. Orłowski<br />
Rys. 7. Zmiana koncentracji nośników (z pomiarów hallowskich<br />
w 300 K) w funkcji koncentracji krzemu określonej<br />
metodą GDMS.<br />
Fig. 7. Change of carrier concentration (from Hall measurements<br />
in 300 K) versus silicon concentration estimated<br />
by GDMS.<br />
Rys. 8. Aktywna elektrycznie część domieszki (z pomiarów<br />
hallowskich w 300 K) w funkcji koncentracji krzemu<br />
określonej metodą GDMS.<br />
Fig. 8. Electrically active part of dopant (from Hall measurements<br />
in 300 K) versus silicon concentration estimated<br />
by GDMS.<br />
4.3. Domieszkowanie cynkiem<br />
Inną domieszką zastosowaną w celu otrzymania<br />
monokryształów GaSb typu p był cynk. Stosowany<br />
był w postaci metalicznej i dodawany bezpośrednio<br />
do wsadu przygotowanego do zintegrowanego procesu<br />
syntezy in-situ i monokrystalizacji (w ilości od<br />
52 do 205 mg/kg).<br />
Dla najmniejszej ilości domieszki (monokryształ<br />
Cz-24) uzyskano koncentrację dziur od 2,5 x 10 18 cm -3<br />
na początku kryształu do 2,0 x 10 18 cm -3 na jego<br />
końcu. Podobnie koncentracja cynku mierzona<br />
w tym krysztale była większa na początku niż na<br />
jego końcu, co świadczy o wartości współczynnika<br />
segregacji zdecydowanie powyżej jedności. Było<br />
to pewnym zaskoczeniem, jako że jedyna wartość<br />
tego parametru podawana w literaturze to 0,3. Przy<br />
większej ilości domieszki otrzymano monokryształ<br />
Cz-23 o niemal identycznych parametrach na obu<br />
końcach. Koncentracja dziur minimalnie rosła, natomiast<br />
koncentracja cynku minimalnie malała w porównaniu<br />
z początkiem kryształu. W tym przypadku<br />
współczynnik segregacji miał wartość ~ 1.<br />
Tendencja malejąca dla współczynnika segregacji<br />
znalazła potwierdzenie również w kolejnym<br />
procesie (Cz-26), w którym ilość dodanego cynku<br />
była największa. W tym przypadku jego wartość<br />
oszacowano na ~ 0,3, czyli taką jak podano w literaturze.<br />
W tym krysztale bardzo wyraźny był wzrost<br />
koncentracji dziur w końcowej części kryształu<br />
(1,4 - 0,7) x 10 19 cm -3 w porównaniu z mierzoną na<br />
jego początku (7,4 - 5,8) x 10 18 cm -3 . Jednocześnie<br />
widać było dużo większe różnice wartości parametrów<br />
na próbkach ze środków i brzegów płytek.<br />
Wyniki pomiarów parametrów elektrycznych<br />
otrzymanych kryształów przedstawione są w Tab. 5,<br />
natomiast rozkłady koncentracji dziur oraz zmierzone<br />
metodą GDMS koncentracje cynku zobrazowane<br />
zostały na Rys. 9. Oszacowany w tej pracy współczynnik<br />
segregacji cynku bardzo silnie zależy od<br />
koncentracji Zn w stopionym GaSb (maleje on od<br />
wartości ~ 1,5 do ~ 0,3 wraz ze wzrostem ilości<br />
dodanej do wsadu domieszki).<br />
Cechą wyraźnie różniącą procesy domieszkowania<br />
cynkiem od domieszkowania krzemem jest nie<br />
tylko silna zależność współczynnika segregacji od<br />
koncentracji domieszki. Drugą taką cechą jest wyraźna<br />
różnica pomiędzy koncentracją dziur (pomiary<br />
hallowskie), a odpowiadającą danym próbkom koncentracją<br />
domieszki z analiz GDMS (Rys. 10).<br />
Jeśli rozpatrzymy (podobnie jak w przypadku<br />
domieszkowania GaSb tellurem czy krzemem) zmianę<br />
koncentracji nośników (w tym przypadku dziur)<br />
spowodowaną domieszkowaniem monokryształów<br />
GaSb cynkiem stwierdzimy, że zmiana parametrów<br />
elektrycznych jest nawet dwukrotnie większa od<br />
koncentracji domieszki cynkowej w krysztale GaSb<br />
(Rys. 10). Wbudowaniu się każdego z atomów cynku<br />
w sieć krystaliczną musi więc towarzyszyć generacja<br />
dodatkowych defektów czynnych elektrycznie.<br />
Wyraźnie też widoczna jest różnica między<br />
próbkami pochodzącymi z początków i końców<br />
kryształów. Mechanizm aktywowania dodatkowych<br />
defektów jest tym silniejszy im większa ilość cynku,<br />
a także im bliżej końca rosnącego kryształu<br />
(Rys. 11).<br />
27
Domieszkowanie monokryształów antymonku galu na typ przewodnictwa n oraz p<br />
Tabela 5. Parametry elektryczne monokryształów GaSb domieszkowanych cynkiem.<br />
Table 5. Electrical parameters of GaSb single crystals doped with zinc.<br />
<strong>Nr</strong><br />
Zn<br />
[mg/kg]<br />
Zn [cm -3 ] wg<br />
GDMS<br />
Temp.<br />
[K]<br />
Płytka<br />
[mm]<br />
Typ<br />
prz.<br />
Koncentracja [cm -3 ]<br />
(środek-brzeg)<br />
Ruchliwość<br />
[cm 2 /Vs]<br />
Oporność<br />
[Ωcm]<br />
Cz23 124,5<br />
300<br />
3,11 x10 18<br />
2,90 x10 18<br />
77<br />
9<br />
116<br />
9<br />
116<br />
p<br />
p<br />
p<br />
p<br />
(5,43-5,43) x10 18 271-284<br />
(5,87-5,65) x10 18 272-260<br />
(5,25-4,96) x10 18 337-322<br />
(4,18-5,20) x10 18 380-348<br />
(4,25-4,04) x10 -3<br />
(3,91-4,25) x10 -3<br />
(3,53-3,91) x10 -3<br />
(3,93-3,45) x10 -3<br />
Cz-24 52,5<br />
300<br />
1,52 x10 18<br />
1,13 x10 18<br />
77<br />
7<br />
120<br />
7<br />
120<br />
p<br />
p<br />
p<br />
(2,70-2,39) x10 18 323-347<br />
(2,05-1-98) x10 18 350-359<br />
(3,07-2,77) x10 18 321-358<br />
(2,23-2,23) x10 18 410-336<br />
(7,16-7,55) x10 -3<br />
(8,71-8,77) x10 -3<br />
(6,32-6,30) x10 -3<br />
(6,82-8,34) x10 -3<br />
Cz-26 205<br />
300<br />
77<br />
13<br />
124<br />
13<br />
124<br />
p<br />
p<br />
p<br />
p<br />
(7,38-5,84) x10 18 263-343<br />
(14,4-7,04) x10 18 150-304<br />
(7,52-8,29) x10 18 324-296<br />
(6,98-8,53) x10 18 410-308<br />
(3,15-3,12) x10 -3<br />
(2,88-2,92) x10 -3<br />
(2,56-2,55) x10 -3<br />
(2,18-2,38) x10 -3<br />
Rys. 10. Zmiana koncentracji nośników (z pomiarów<br />
hallowskich w 300 K) w funkcji koncentracji cynku określonej<br />
metodą GDMS.<br />
Fig. 10. Change of carrier concentration (from Hall measurements<br />
in 300 K) versus zinc concentration estimated<br />
by GDMS.<br />
Rys. 9. Rozkłady koncentracji dziur w 300 K wzdłuż<br />
osi monokryształów GaSb:Zn dla różnej masy domieszki<br />
w stosunku do masy wsadu (125 mg/kg, 52,5 mg/kg,<br />
205 mg/kg). Zaznaczone miejsca pomiaru i odpowiadająca<br />
im koncentracja Zn są określone metodą GDMS (symbole<br />
pełne).<br />
Fig. 9. Carrier concentration along GaSb:Zn single crystals<br />
doped with different doses (125 mg/kg, 52,5 mg/kg,<br />
205 mg/kg). Marked points of measurement t and Zn<br />
concentration estimated by GDMS (full symbols).<br />
28<br />
Rys. 11. Liczba centrów akceptorowych generowanych przez 1 atom Zn (z pomiarów<br />
hallowskich w 300 K) w funkcji koncentracji cynku określonej metodą GDMS.<br />
Fig. 11. Quantity of positively charged defects generated by each Zn atom (from Hall<br />
measurements in 300 K) versus zinc concentration estimated by GDMS.
A. Mirowska, W. Orłowski<br />
Uwzględniając wyniki publikowanych badań<br />
[52] nad możliwymi mechanizmami dyfuzji cynku<br />
(podstawieniowy „kick-out” - równanie 1 i dysocjacyjny<br />
- równanie 2, opisane w rozdziale 2.2) można<br />
zaproponować kilka mechanizmów towarzyszących<br />
wbudowywaniu się atomów cynku podczas procesu<br />
krystalizacji. Pamiętając jednocześnie o możliwych<br />
rodzimych defektach punktowych (V Ga0<br />
, Ga i0<br />
, Ga i<br />
1+<br />
)<br />
uczestniczących w tych procesach otrzymujemy<br />
3 równania:<br />
Zn i<br />
1+<br />
↔ Zn Ga<br />
1-<br />
+ Ga i<br />
0<br />
+ 2 h -A- (7)<br />
Zn i<br />
1+<br />
+ V Ga<br />
0<br />
↔ Zn Ga<br />
1-<br />
+ 2 h -A- (8)<br />
Zn i<br />
1+<br />
↔ Zn Ga<br />
1-<br />
+ Ga i<br />
1+<br />
+ 1 h -B- (9)<br />
Zauważmy, że w dwóch pierwszych równaniach<br />
(oznaczonych literą A) wbudowaniu się każdego<br />
atomu cynku towarzyszy powstanie dwóch dziur,<br />
natomiast w równaniu oznaczonym literą B – jedna<br />
dziura.<br />
Można oszacować liczbę aktywnych elektrycznie<br />
defektów podczas wbudowywania się atomu<br />
Zn w podsieć galową jako 1< x
Domieszkowanie monokryształów antymonku galu na typ przewodnictwa n oraz p<br />
o koncentracji dziur od 2 x 10 18 cm -3 do 1 x 10 19 cm -3<br />
i ruchliwości 250 - 350 cm 2 /Vs (w 300 K).<br />
Dodatkowo dzięki porównaniu parametrów<br />
elektrycznych z wynikami analiz GDMS określono<br />
aktywną elektrycznie część domieszki (Te, Si, Zn)<br />
wbudowującej się w kryształ przy różnym poziomie<br />
domieszkowania. Oszacowane współczynniki segregacji<br />
dla telluru i krzemu w GaSb zgadzają się dość<br />
dobrze z wartościami podanymi w literaturze.<br />
W przypadku domieszkowania antymonku galu<br />
cynkiem zaobserwowano bardzo silną zależność<br />
współczynnika segregacji od koncentracji domieszki<br />
(ze wzrostem ilości cynku maleje od ~ 1,5 do ~ 0,3).<br />
Zaproponowane zostały mechanizmy generowania<br />
defektów akceptorowych towarzyszące domieszkowaniu<br />
cynkiem i omówiono ich udział w zależności<br />
od koncentracji domieszki (Zn).<br />
LITERATURA<br />
30<br />
[1] Tsang W.T., Chiu T. H., Kisker W., Ditzenberger J. A.:<br />
Molecular beem epitaxial growth of In 1-x<br />
Ga x<br />
As 1-y<br />
Sb y<br />
lattice matched to GaSb, Appl. Phys. Lett., 46, (1985),<br />
283-285<br />
[2] Lee H., York P.K., Menna R.J., Martinelli R.U.,<br />
Garbuzov D., Narayan S.Y.: 2,78µm InGaSb/Al-<br />
GaSb multiple quantum-well lasers with metastable<br />
InGaAsSb wells grown by molecular beem epitaxy,<br />
J. Cryst. Growth, 150, (1995), 1354-1357<br />
[3] Kim J. G., Shterengas L., Belenky G.L.: High-power<br />
room-temperature continous wave operation of 2,7<br />
and 2,8 µm In(Al)GaAsSb/GaSb diode lasers, Appl.<br />
Phys. Lett., 83, (2003), 1926-1928<br />
[4] Dutta P. S., Bhat H. L.: The physics and technology<br />
of gallium antimonide: an emerging optoelectronic<br />
material, J. Appl. Phys., 81, (1997), 5821-5870<br />
[5] Meinardi F., Parisini A., Tarricone L.: A study of the<br />
electrical properties controlled by residual acceptors<br />
in gallium antimonide, Semicond. Sci. Technol., 8,<br />
(1993), 1985-1922<br />
[6] Hakala M., Puska M.J., Nieminen R.M.: Native defects<br />
and self-diffusion in GaSb, J. Appl. Phys., 91,<br />
(2002), 4988-4994<br />
[7] Ling C.C., Lui M.K., Ma S.K., Chen X.D., Fung S.,<br />
Beling C.D.: Nature of the acceptor responsible for<br />
p-type conduction in liquid encapsulated Czochralski-grown<br />
undoped gallium antimonide, Appl. Phys.<br />
Lett., 85 (2004) 384-386<br />
[8] Lui M.K., Ling C.C.: Liquid encapsulated Czochralski<br />
grown undoped p-type gallium antimonide studied by<br />
temperature-dependent Hall measurement, Semicond.<br />
Sci. Technol., 20, (2005), 1157-1161<br />
[9] McAfee K.B., Gay D.M., Hozack R.S.,Laudise R.A.,<br />
Schwartz G., Sunder W.A.: Thermodynamic considerations<br />
in the synthesis and crystal growth of GaSb,<br />
J. Cryst. Growth, 76, (1986), 263-271<br />
[10] Sunder W.A., Barns R.L., Kometani T.Y., Parsey J.M.,<br />
Laudise R.A.: Czochralski growth and characterization<br />
of GaSb, J.Cryst.Growth, 78, (1986), 9-18<br />
[11] Moravec F.: Growth and characterization of GaSb<br />
single crystals, J. Cryst. Growth, 128, (1993),<br />
457-461<br />
[12] Mo P.G., Tan H.Z., Du L.X., Fan X.Q.: A novel technique<br />
for Czochralski growth of GaSb single crystals,<br />
J. Cryst. Growth, 126, (1993), 613-616<br />
[13] Watanabe A., Tanaka A., Sukegawa T.: GaSb solution<br />
growth by the solute feeding Czochralski method,<br />
J. Cryst. Growth, 128, (1993), 462-465<br />
[14] Oliveira C.E.M., de Carvalho M.M.G.: A simple technique<br />
for Czochralski growth of GaSb single crystals<br />
from scum-free melt, J. Cryst. Growth, 151, (1995),<br />
9-12<br />
[15] Katsui A., Uemura C.: LEC growth of GaSb single<br />
crystals using boric oxide, Jpn .J. Appl. Phys., 19,<br />
(1980), L318-L320<br />
[16] Katsui A., Uemura C.: GaSb single crystal growth<br />
in direction, Jpn. J. Appl. Phys., 21, (1982),<br />
1106<br />
[17] Kondo S., Miyazawa S.: Low dislocation density<br />
GaSb single crystals grown by LEC technique,<br />
J. Cryst. Growth, 56, (1982), 39-44<br />
[18] Miyazawa S., Kondo S., Naganuma M.: A novel<br />
encapsulant material for LEC growth of GaSb,<br />
J .Cryst. Growth, 49, (1980), 670-674<br />
[19] Cockayne B., Steward V.M., Brown G.T., MacEwan<br />
V.R. , Young M.I.: The Czochralski growth of gallium<br />
antimonide single crystals under reducing conditions,<br />
J. Cryst. Growth, 58, (1982), 267-272<br />
[20] Moravec F., Tomm Y.: LEC growth of GaSb single<br />
crystals using boric oxide, Cryst. Res. Technol., 22,<br />
(1987), K30-K33<br />
[21] Stepanek B., Sestakova V., Sestak J.: Analiza porównawcza<br />
monokryształów GaSb otrzymanych różnymi<br />
metodami, Nieograniczeskie Mat., 29, (1993),<br />
1210-1215<br />
[22] Moravec F., Sestakova V., Stepanek B., Charvat V.:<br />
Crystal growth and dislocation structure of gallium<br />
antimonide, Cryst.Res.Technol., 24, (1989), 275-281<br />
[23] Dutta P.S., Sreedhar A.K., Bhat H.L., Dubey G.C.,<br />
Kumar V., Dieguez E., Pal U., Piqueras J.: Passivation<br />
of surface and bulk defects in p - GaSb by hydrogenated<br />
amorphous silicon treatment, J. Appl. Phys.,<br />
79, (1996), 3246-3252<br />
[24] Kitamura N., Kikuchi T., Kakehi M., Wada T.: Chemical<br />
depth profile of thermal oxide on GaSb using XPS<br />
method, Jpn. J. Appl. Phys., 23, (1984), 1534-1535<br />
[25] Mimkes J., Sestakova V., Nassr K M., Lubbers M.,<br />
Stepanek B.: Diffusion mobility and defect analysis<br />
in GaSb, J. Cryst. Growth, 187, (1998), 355-362
A. Mirowska, W. Orłowski<br />
[26] Dutta P.S., Ostrogsky A.: Nearly diffusion controlled<br />
segregation of tellurium in GaSb, J. Cryst. Growth,<br />
191, (1998), 904-908<br />
[27] Nakamura T., Nishinaga T., Ge P., Huo C.: Distribution<br />
of Te in GaSb grown by Bridgman technique<br />
under microgravity, J. Cryst. Growth, 211, (2000),<br />
441-445<br />
[28] Stepanek B., Sestakowa V., Hubik P., Smid V.,<br />
Charvat V.: Sulphur-doped GaSb single crystals,<br />
J. Cryst. Growth, 126, (1993), 617-620<br />
[29] Milvidskaya A.G., Polyakov A.Y., Kolchina G.P.,<br />
Milnes A.G., Govorkov A.V., Smirnov N.B., Tunitskaya<br />
I.V.: The properties of heavily compensated<br />
high resistivity GaSb crystals, Mat. Sci. Eng., B22,<br />
(1994), 279-282<br />
[30] Stepanek B., Sestakova V., Kristofik J.: Doping<br />
of GaSb single crystals with volatile elements,<br />
Cryst. Res. Technol., 29, (1994), 19-23<br />
[31] Sestakova V., Stepanek B.: Copper doping of GaSb<br />
single crystals, Mat. Sci. Eng., B28, (1994), 138-141<br />
[32] Stepanek B., Hubik P., Mares J.J., Kristofik J., Sestakova<br />
V., Pekarek L., Sestak J.: Manganese-doped<br />
GaSb single crystals grown by the Czochralski method,<br />
Semicond. Sci. Technol., 9, (1994), 1138-1142<br />
[33] Mares J.J., Hubik P., Kristofik J., Stepanek B., Sestakova<br />
V., Pekarek L.: Electrical properties of Mn-<br />
-doped GaSb, Mat .Sci. Eng., B28, (1994), 134-137<br />
[34] Stepanek B., Sestakova V., Jsestak, Lietner J.: Thermodynamic<br />
theory for GaSb single crystals doped<br />
with sulphur, Semicond. Sci. Technol., 9, (1994),<br />
341-344<br />
[35] Hubik P., Mares J.J., Kristofik J., Baraldi A., Ghezzi<br />
C., Parisini A.: Hall and photo-Hall effect measurements<br />
on sulphur-doped GaSb, Semicond. Sci.<br />
Technol., 10, (1995), 455-462<br />
[36] Vul’ A.Ya. Handbook Series on Semiconductor<br />
Parameters, vol.1, M.Levinshtein, S.Rumyantsev,<br />
M.Shur, ed., World Scientific, London 1996, 125-<br />
146<br />
[37] Hidalgo P., Mendez B., Piqueras J., Plaza J., Dieguez<br />
E.: Effect of erbium doping on the defect structure<br />
of GaSb crystals, Semicond. Sci. Technol., 13, (1998),<br />
1431-1433<br />
[38] Sestakova V., Stepanek B., Sestak J.: Te-doped GaSb<br />
crystals grown in ionized hydrogen atmosphere,<br />
J. Cryst. Growth, 181, (1997), 290-292<br />
[39] Stepanek B., Sestakova V.: Indium and nitrogen doping<br />
of GaSb single crystals, J. Cryst. Growth, 123,<br />
(1992), 306-308<br />
[40] Stepanek B., Sourek Z., Sestakova V., Sestak J.,<br />
Kub J.: Study of low Te-doped GaSb single crystals,<br />
J. Cryst. Growth, 135, (1994), 290-296<br />
[41] Dutta P.S., Prasad V., Bhat H.L.: Carrier compensation<br />
and scattering mechanisms in p-GaSb, J. Appl. Phys.,<br />
80, (1996), 2847-2853<br />
[42] Sestakova V., Stepanek B., Sestak J.: Te-doped GaSb<br />
crystals grown in ionized hydrogen atmosphere,<br />
J. Cryst. Growth, 181, (1997), 290-292<br />
[43] Stepanek B., Sourek Z., Sestakova V., Sestak J.,<br />
Kub J.: Study of low Te-doped GaSb single crystals,<br />
J. Cryst. Growth, 135, (1994), 290-296<br />
[44] Milnes A.G., Polyakov A.Y.: Review – Gallium antimonide<br />
device related properties, Solid-State Electr.,<br />
36, (1993), 803-818<br />
[45] Sestakova V., Stepanek B.: Doping of GaSb single<br />
crystals with various elements, J. Cryst. Growth, 146,<br />
(1995), 87-91<br />
[46] Dutta P.S., Ostrogorsky A.G.: Segregation of tellurium<br />
in GaSb single crystals and associated diffusion<br />
coefficient in the solute layer, J. Cryst. Growth, 197,<br />
(1999), 749-754<br />
[47] Velazquez-Hernandez R., Garcia-Rivera J., Rodriguez-Garcia<br />
M.E., Jimenez-Sandoval S., Mendoza-<br />
Alvarez J.G., Garcia J.A.: Photothermal, photocaccier<br />
and Raman characterization of Te-doped GaSb,<br />
J. Appl. Phys., 101, (2007), 023105<br />
[48] Serebryakov Y.A., Prokhorov I.A., Vlasov V.N.,<br />
Korobeynikova E.N., Zakharov B.G., Shul’pina I.L.,<br />
Marchenko M.P., Fryazinov I.V.: Concentration and<br />
structure inhomogeneities in GaSb(Si) single crystals<br />
grown at different heat and mass transfer conditions,<br />
J. Cryst. Growth, 304, (2007), 11-21<br />
[49] Sundaram V.S., Gruenbaum P.E.: Zinc diffusion in<br />
GaSb, J. Appl. Phys., 78, (1993), 3787-3789<br />
[50] Bracht H., Nicols S.P., Haller E.E., Silveira J.P.,<br />
Briones F.: Self-diffusion in 69 Ga 121 Sb/ 71 Ga 123 Sb<br />
isotope heterostructures, J. Appl. Phys., 89, (2001),<br />
5393-5399<br />
[51] Hidalgo P., Mendez B., Piqueras J., Dutta P.S.: Study<br />
of Zn diffusion in n-type GaSb cathodoluminescence<br />
and scanning tuneling spectroscopy, Mat. Sci. Eng.<br />
B80, (2001), 125-129<br />
[52] Sunder K., Bracht H., Nicols S.P., Haller E.E.: Zinc<br />
and gallium diffusion in gallium antimonide, Phys.<br />
Rev.B 75, (2007), 245210<br />
[53] Ling C.C., Fung S., Beling C.D., Huimin W.: Defect<br />
study of Zn-doped p-type gallium antimonide using<br />
positron lifetime spectroscopy, Phys. Rev.B, 64,<br />
(2001), 075201<br />
[54] Chroneos A., Bracht H.: Concentration of intrinsic<br />
defects and self-diffusion in GaSb, J. Appl. Phys.,<br />
104, (2008), 093714<br />
[55] Pfann W.G.: J. Metals, 194, (1952), 747<br />
[56] Tiller W.A., Jackson K.A., Rutter J.W., Chalmers B.,<br />
Acta Met., 1, (1953), 428<br />
[57] Mirowska A., Orłowski W., Bańkowska A., Hru,-<br />
ban A.: Dobór warunków wzrostu monokryształów<br />
antymonku galu w kierunku oraz metodą<br />
Czochralskiego, Mat. Elektron., 37/2, (2009),<br />
3-15<br />
31
Spaleniowa synteza granatu itrowo-glinowego domieszkowanego jonami neodymu<br />
DOPING GALLIUM ANTIMONIDE<br />
SINGLE CRYSTALS FOR n-TYPE<br />
AND p-TYPE CONDUCTIVITY<br />
SUMMARY<br />
Gallium antimonide (GaSb) single crystals with n-<br />
-type or p-type conductivity were grown by modified<br />
Czochralski method integrated with in-situ synthesis.<br />
The influence of technological parameters on doping<br />
process and its effectivity was investigated. Tellurium<br />
doped n-type GaSb single crystals were obtained with<br />
carrier concentration from 1 x 10 17 to 1 x 10 18 cm -3 . GaSb<br />
p-type single crystals were obtained with carrier concentration<br />
from 4 x 10 17 to 2 x 10 19 cm -3 (Si-doped) and from<br />
2 x 10 18 to 1 x 10 19 cm -3 (Zn-doped). Dopant concentration<br />
was estimated by GDMS analysis.<br />
Keywords: GaSb, Cz method, doping, Te, Si, Zn, dopant<br />
concentration, GDMS<br />
SPALENIOWA SYNTEZA GRANATU ITROWO-<br />
GLINOWEGO DOMIESZKOWANEGO JONAMI<br />
NEODYMU<br />
Sławomir Dyjak 1 , Stanisław Cudziło 1 , Agnieszka Szysiak 2<br />
1<br />
Wojskowa Akademia Techniczna, Wydział Nowych Technologii i Chemii<br />
00-908 Warszawa, ul. S. Kaliskiego 2, e-mail: slawomirdyjak@wp.pl<br />
2<br />
Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych, 01-919 Warszawa, ul. Wólczyńska 133<br />
e-mail: agnieszka.szysiak@itme.edu.pl<br />
Otrzymano nanoproszki granatu itrowo-glinowego domieszkowanego<br />
jonami neodymu (Nd:YAG) w wyniku redukcji<br />
azotanów glinu, itru i neodymu za pomocą glukozy, dekstryny<br />
lub skrobi, przebiegającej podczas ogrzewania wodnych<br />
roztworów tych substancji. Zbadano wpływ rodzaju i ilości<br />
reduktora oraz temperatury, w której prowadzono reakcję na<br />
skład chemiczny i fazowy oraz mikrostrukturę produktów.<br />
Zmierzono temperaturę w próbkach ogrzewanych w różnych<br />
warunkach, a uzyskane wyniki wykorzystano do ustalenia<br />
rodzaju, kolejności i intensywności procesów przebiegających<br />
w mieszaninie reagentów. W wyjściowym roztworze<br />
kationy metali są wiązane (koordynowane) przez grupy hydroksylowe<br />
węglowodanów, gwarantując równomierność ich<br />
przestrzennego rozkładu oraz ograniczenie zasięgu dyfuzji<br />
prekursorów tlenków. Amorficzne mieszane tlenki itrowo-<br />
-glinowe zanieczyszczone karboksylanami i węglanami są<br />
produktem termicznie inicjowanych reakcji utlenienia węglowodanów<br />
anionami azotanowymi. Czysty fazowo granat<br />
itrowo-glinowy krystalizuje podczas 2-godzinnej kalcynacji<br />
surowych produktów reakcji w temperaturze 900°C. Niezależnie<br />
od rodzaju reduktora uzyskano proszki YAG o średnim<br />
wymiarze krystalitów ~ 20 nm. Zwiększeniu jednorodności<br />
kształtów i rozmiarów cząstek oraz zmniejszeniu stopnia ich<br />
aglomeracji sprzyja użycie w syntezie nadmiaru reduktora.<br />
Korzystne jest zastosowanie w tej roli wielkocząsteczkowych<br />
węglowodanów o skomplikowanej strukturze przestrzennej,<br />
np. skrobi.<br />
Słowa kluczowe: Nd:YAG, nanoproszek, synteza spaleniowa<br />
32<br />
1. WPROWADZENIE<br />
Pierwsze próby uzyskania akcji laserowej w<br />
materiałach wytworzonych na drodze spiekania<br />
proszków granatu itrowo-glinowego (Y 3<br />
Al 5<br />
O 12<br />
) domieszkowanego<br />
jonami neodymu (Nd:YAG) podjęto<br />
pod koniec XX wieku [1 – 2]. W 1995 r., Akio Ikesue<br />
i in., wychodząc z proszków tlenków glinu, itru<br />
i neodymu (Al 2<br />
O 3<br />
, Y 2<br />
O 3<br />
i Nd 2<br />
O 3<br />
) o wielkości cząstek<br />
~ 50 μm i czystości powyżej 99,99 %, otrzymali<br />
wysoko przeźroczystą ceramikę Nd:YAG, której<br />
charakterystyki optyczne były zbliżone do monokryształu<br />
[3 - 5]. Autorzy ci ustalili, że niezbędnym<br />
warunkiem uzyskania ceramiki optycznej o wysokiej<br />
jakości jest użycie czystych fazowo, niezaglomerowanych<br />
proszków zawierających sferoidalne cząstki<br />
o rozmiarach submikronowych.<br />
Konwencjonalną metodą produkcji polikrystalicznych<br />
ceramik YAG jest reakcja w fazie stałej<br />
pomiędzy tlenkami bądź węglanami odpowiednich<br />
metali [6]. Substraty muszą być najpierw dokładnie<br />
rozdrobnione i wymieszane, a następnie poddane<br />
długotrwałemu spiekaniu w bardzo wysokich temperaturach<br />
(powyżej 1900 K). Podczas mechanicznej<br />
homogenizacji prekursorów wprowadzane są zanie-
S. Dyjak, S. Cudziło, A. Szysiak<br />
czyszczenia, a ponadto uzyskuje się proszki zawierające<br />
cząstki niejednorodne pod względem wymiarów<br />
i kształtów. Ograniczone możliwości utrzymania czystości<br />
chemicznej oraz manipulowania rozmiarami<br />
i kształtem ziaren, a także powstawanie niepożądanych<br />
faz o składzie Y 4<br />
Al 2<br />
O 9<br />
(YAM) i YAlO 3<br />
(YAP)<br />
są podstawowymi wadami tej metody.<br />
Chemiczne metody wykorzystujące wodne lub<br />
alkoholowe roztwory prekursorów tlenków metali są<br />
pozbawione tych wad [7]. Z racji ułatwionej dyfuzji<br />
jonów metali w roztworach, możliwe jest uzyskanie<br />
wysokiego stopnia przereagowania substratów, nawet<br />
gdy reakcje prowadzone są w niskich temperaturach.<br />
Szczególną zaletą jest łatwość kontroli składu<br />
fazowego i chemicznego gwarantująca możliwość<br />
wytwarzania złożonych tlenków (roztworów stałych)<br />
jednorodnych na poziomie molekularnym. Do tej<br />
klasy metod otrzymywania syntetycznych tlenków<br />
zalicza się: metodę zol-żel [8 - 10], metodę hydrotermalną<br />
[11], metodę współstrącania [12 - 14], metodę<br />
pirolizy płomieniowej [15] oraz niskotemperaturową<br />
syntezę spaleniową [6, 16 - 17].<br />
W metodzie hydrotermalnej żele tlenkowe ogrzewa<br />
się w obecności pary wodnej o ciśnieniu od<br />
1 do 100 MPa do 200-700°C. Tworzy się wówczas<br />
krystaliczny tlenek lub wodorotlenek; ten ostatni<br />
przekształca się podczas kalcynacji w niewysokiej<br />
temperaturze w drobnoziarnisty proszek tlenku [18].<br />
Autorzy pracy [11] otrzymali Tb:YAG wykorzystując<br />
wodne roztwory azotanów (V) glinu i itru oraz<br />
chlorku terbu (TbCl 3<br />
), które mieszano z roztworem<br />
wodorotlenku potasu. Roztwór wprowadzano do<br />
gorącej komory reakcyjnej. Zmieniając warunki panujące<br />
w komorze, regulowano szybkość nukleacji<br />
i wzrostu kryształów, a tym samym ich wymiary.<br />
W efekcie otrzymano drobnoziarniste, jednofazowe<br />
cząstki Tb:YAG o wymiarach ~ 100 nm posiadające<br />
dobrze wykształcone powierzchnie.<br />
Metoda pirolizy natryskowej oparta jest na termicznym<br />
rozkładzie związków chemicznych pod<br />
wpływem wysokiej temperatury. Wodny roztwór<br />
prekursora przeprowadza się za pomocą atomizera<br />
w stan aerozolu, a ten z kolei wprowadza się do<br />
gorącej strefy pieca. Następuje wtedy szybkie odparowanie<br />
rozpuszczalnika i rozkład rozpuszczonej<br />
w nim soli. Uzyskane w ten sposób proszki zawierają<br />
sferoidalne cząstki zbudowane z trwale połączonych<br />
kryształów [7, 15, 19].<br />
Metoda strąceniowa [12 - 14] polega na wytrącaniu<br />
osadów uwodnionych tlenków, węglanów lub<br />
szczawianów z wodnych roztworów soli (np. azotanów,<br />
chlorków, siarczanów, tlenochlorków metali).<br />
Rozkład termiczny osadów podczas następczego<br />
prażenia prowadzi do powstania drobnoziarnistego<br />
proszku tlenku. Metody strąceniowe są bardzo<br />
wrażliwe na wahania pH, a ponadto proste mieszanie<br />
składników podczas dodawania odczynnika strącającego<br />
nie daje gwarancji dokładnej kontroli składu<br />
chemicznego z powodu skłonności do separacji<br />
strącających się związków. Ponadto niezbędna jest<br />
także operacja przemywania osadów, w trakcie której<br />
istnieje możliwość wypłukiwania komponentów<br />
prekursora, co uniemożliwia otrzymanie proszków<br />
o zakładanym składzie.<br />
W metodzie zol-żel [8 - 10, 20] surowcami są<br />
najczęściej alkoholany metali. Reakcje ich hydrolizy<br />
i następnie polikondensacji wywołują – przez<br />
zwiększanie rozmiarów cząstek – wzrost lepkości<br />
zolu i następczą koagulację cząstek z utworzeniem<br />
sztywnego żelu. W kolejnym etapie żel poddaje się<br />
procesowi suszenia w celu odparowania resztek<br />
rozpuszczalnika i produktów ubocznych kondensacji.<br />
Ostatecznym etapem jest obróbka cieplna, która<br />
prowadzi do zniszczenia polimeru (polialkoholanu)<br />
i powstania tlenku metalu. Do głównych wad klasycznej<br />
metody zol-żel należy zaliczyć dość drogie<br />
substraty oraz długi czas prowadzenia syntezy (składa<br />
się z kilku etapów), z czego żelowanie i starzenie<br />
się żelu pochłania najwięcej czasu.<br />
Niskotemperaturowa synteza spaleniowa LCS<br />
(low-temperature combustion synthesis) jest prostą<br />
i efektywną metodą za pomocą której w łatwy sposób<br />
otrzymuje się nanoproszki czystych lub złożonych<br />
tlenków metali [21]. Można wyróżnić dwie odmiany<br />
LCS, a mianowicie roztworową syntezę spaleniową<br />
SCS (solution combustion synhesis) oraz żelową<br />
syntezę spaleniową GCS (gel combustion synthesis)<br />
[22]. W pierwszej metodzie, roztwór wodny prekursora<br />
tlenku metalu (najczęściej azotan metalu)<br />
i paliwa ogrzewany jest w piecu komorowym w temperaturze<br />
~ 700 K, aż do momentu zainicjowania<br />
reakcji. W żelowej syntezie spaleniowej roztwór<br />
paliwa i utleniacza poddawany jest powolnemu<br />
ogrzewaniu w umiarkowanej temperaturze, tak aby<br />
wraz z ubywająca wodą roztwór zwiększał swoją<br />
lepkość do momentu, aż zmieni się w przeźroczysty<br />
żel. Tak otrzymaną galaretowatą kompozycję poddaje<br />
się gwałtownemu działaniu wysokiej temperatury, co<br />
doprowadza depozyt do samozapłonu. Jeżeli reakcja<br />
spalania nie jest kompletna, lub powstaje produkt<br />
amorficzny albo w niewłaściwej odmianie polimorficznej<br />
poddaje się go kalcynacji [23].<br />
Charakterystyczną cechą syntezy spaleniowej<br />
jest duża objętość gazów powstających w krótkim<br />
czasie podczas reakcji spalania. Ekspandujące gazy<br />
powodują spienianie się produktu i jego chłodzenie,<br />
a to ogranicza nadmierny wzrost cząstek i ich aglomerację<br />
(większa powierzchnia właściwa proszku).<br />
33
Spaleniowa synteza granatu itrowo-glinowego domieszkowanego jonami neodymu<br />
Ilość powstających gazów można regulować przez<br />
zmianę stosunku utleniacz-reduktor, bądź dodanie łatwo<br />
gazyfikujących się związków np. azotanu amonu<br />
(NH 4<br />
NO 3<br />
). Stosowanie rozpuszczalnych w wodzie<br />
soli pozwala na wymieszanie kationów na poziomie<br />
molekularnym, a tym samym na precyzyjną kontrolę<br />
składu chemicznego powstającego produktu. Stosunkowo<br />
wysoka temperatura (
S. Dyjak, S. Cudziło, A. Szysiak<br />
był wysokorozdzielczy licznik półprzewodnikowy<br />
Si[Li]. Warunki pracy lampy były ustalone na 40 kV<br />
i 35 mA. Pomiary dyfraktogramów prowadzono w<br />
zakresie kątów 2θ od 10º do 60º z krokiem 0,05º.<br />
Mikrostrukturę proszków YAG badano techniką<br />
wysokorozdzielczej skaningowej mikroskopii elektronowej<br />
za pomocą mikroskopu LEO 1530 Zeiss,<br />
pracującego przy napięciu 20 kV. Widma w podczerwieni<br />
zarejestrowano na spektrofotometrze Nicolet<br />
iS10 firmy ThermoScientific techniką jednokrotnego<br />
odbicia ATR. Analizy termograwimetryczne wykonano<br />
używając analizatora Labsys TG/DTA-DSC firmy<br />
SETARAM. Próbki ogrzewano od 20 do 1000°C<br />
z szybkością 10 C/min. Atmosferę pieca stanowił<br />
czysty azot podawany z szybkością 50 cm 3 /min.<br />
3. WYNIKI BADAŃ I ICH DYSKU-<br />
SJA<br />
3.1. Pomiar temperatury w próbce<br />
waniami czas trwania tych etapów ulega wyraźnemu<br />
skróceniu wraz z podwyższeniem temperatury pieca<br />
(Rys. 2).<br />
W kolejnym etapie (III) temperatura wzrasta do<br />
~ 120°C, a mieszanina reakcyjna wyraźnie gęstnieje<br />
i pieni się. Podczas tego etapu usuwane są resztki<br />
rozpuszczalnika (otoczki hydratacyjne) oraz woda<br />
koordynacyjnie związana z kationami metali. Ponadto<br />
najbardziej reaktywne grupy metylohydroksylowe<br />
węglowodanów ulegają utlenieniu (do grup<br />
aldehydowych i karboksylowych) w reakcji z anionami<br />
azotanowymi, ponieważ z próbki uwalniają<br />
się tlenki azotu.<br />
Krótkotrwały, zaledwie ~ 3 sekundowy etap<br />
IV (powiększony fragment wykresu na Rys. 1)<br />
rozpoczyna się w momencie gwałtownego skoku<br />
temperatury próbki do wartości T m1<br />
(~ 300°C). Jest<br />
to wynik szybkich, egzotermicznych reakcji utlenienia<br />
węglowodanów (i produktów ich wstępnego<br />
utlenienia) tlenem powstającym w wyniku termicznej<br />
dekompozycji pozostałych azotanów.<br />
Typowy wykres zmian temperatury mieszaniny<br />
reakcyjnej w funkcji czasu przedstawiono na Rys. 1.<br />
Pozwala on podzielić przebieg syntezy na osiem,<br />
następujących kolejno po sobie etapów.<br />
Rys. 2. Zmiany temperatury próbek D3 w funkcji czasu<br />
wstawianych do pieca wstępnie ogrzanego do temperatury:<br />
a) 300°C, b) 400°C, c) 500°C, d) 600°C.<br />
Fig. 2. Changes of D3 samples temperature versus time;<br />
calcinated in a preheated furnace at temperatures: a) 300°C,<br />
b) 400°C, c) 500°C, d) 600°C.<br />
Rys. 1. Zmiany temperatury próbki D3_500 (3 mole dekstryny<br />
na 8 moli azotanów) w funkcji czasu; ogrzewanej<br />
w piecu, w którym utrzymywano temperaturę 500°C.<br />
Fig. 1. Changes of D3_500 (3 mol of dextrin per 8 mol<br />
of nitrates) sample temperature versus time; calcinated in<br />
a furnace at 500°C.<br />
Bezpośrednio po wstawieniu próbki do pieca,<br />
temperatura roztworu liniowo zwiększa się do<br />
~ 100°C (etap I), a następnie pozostaje na tym poziomie<br />
przez czas niezbędny do odparowania wody<br />
w temperaturze wrzenia (etap II). Zgodnie z oczeki-<br />
Reakcje chemiczne w IV etapie przebiegają<br />
bez udziału gazów stanowiących atmosferę pieca<br />
i w znacznej mierze niezależnie od stosunku molowego<br />
paliwa i utleniaczy w wyjściowej mieszaninie.<br />
W dodatkowych testach stwierdzono, że końcowa<br />
(tzn. maksymalna: T m1<br />
) temperatura tego etapu nie<br />
ulegała zmianie gdy piec był wypełniony azotem<br />
lub tlenem zamiast powietrzem i nieregularnie oraz<br />
w granicach błędu pomiaru zmieniała się podczas<br />
spalania mieszanin zawierających 3, 4 lub 5 moli<br />
dekstryny na 8 moli azotanów metali.<br />
35
Spaleniowa synteza granatu itrowo-glinowego domieszkowanego jonami neodymu<br />
W piątym etapie procesu, także trwającym ~ 3 sekund,<br />
temperatura mieszaniny ulegała w każdym<br />
przypadku obniżeniu o 40-50°C. Jest to niewątpliwie<br />
wynik endotermicznych reakcji rozkładu nieprzereagowanych<br />
węglowodanów i produktów ich niecałkowitego<br />
utlenienia, np. aldehydów i związków<br />
karboksylowych. Analizy termograwimetryczne<br />
(Rys. 5) potwierdziły, że produkty reakcji prowadzonej<br />
w 300°C tracą część swej masy po ich ogrzaniu<br />
do temperatur przekraczających 300°C.<br />
Szósty etap to powrót do liniowego wzrostu<br />
temperatury próbki (od ~ 250 do ~ 400°C) wskutek<br />
wnikania strumienia ciepła z bezpośredniego<br />
otoczenia naczynia reakcyjnego. Po przekroczeniu<br />
400°C szybkość wzrostu temperatury próbki ulega<br />
spowolnieniu (etap VII). Świadczy to o zainicjowaniu<br />
endotermicznej termolizy produktów wcześniejszych<br />
reakcji, np. karboksylanów i wodorowęglanów<br />
metali. Powstające w tym etapie materiały węglowe<br />
ulegają zapłonowi i spalają się kosztem tlenu atmosferycznego<br />
kiedy temperatura próbki osiąga ~ 500°C<br />
(etap VIII). Efekty cieplne tych reakcji powodują<br />
ogrzanie próbki do ~ 820°C (T m2<br />
). Następnie próbka<br />
powoli schładza się do temperatury panującej w piecu,<br />
tzn. 500°C.<br />
W celu potwierdzenia sugerowanego scenariusza<br />
przebiegu ostatnich etapów syntezy, próbki D3<br />
ogrzewano w 500°C także w strumieniu azotu lub<br />
tlenu. Zmiany temperatury mieszaniny reakcyjnej<br />
w tych warunkach przedstawiono na Rys. 3.<br />
niezbicie świadczą o udziale tlenu atmosferycznego<br />
w VII etapie syntezy realizowanej w piecu ogrzanym<br />
do 500°C. Ogrzewanie próbek w strumieniu<br />
gazów skraca czas niezbędny do odparowania rozpuszczalnika<br />
(Rys. 3), ponieważ para wodna jest<br />
konwekcyjnie unoszona znad powierzchni wrzącego<br />
roztworu.<br />
Na Rys. 4. przedstawiono porównanie przebiegów<br />
temperatury w próbkach różniących się jedynie<br />
rodzajem reduktora. Uzyskane wyniki wskazują, że<br />
dekstryna jest najefektywniejszym reduktorem azotanów<br />
metali. W próbce D5_300 reakcje następujące<br />
bezpośrednio po odparowaniu rozpuszczalnika są<br />
najszybsze i najbardziej kompletne. Świadczy o tym<br />
największa szybkość wzrostu i największa wartość<br />
temperatury maksymalnej próbki po zakończeniu<br />
tego etapu syntezy (260°C).<br />
Rys. 4. Zmiany temperatury próbek zawierających różne<br />
reduktory: a) D5_300 – dekstrynę, b) S5_300 – skrobię,<br />
c) G5_300 - glukozę; ogrzewanych w 300°C, w powietrzu.<br />
Fig. 4. Temperature changes of samples containing different<br />
reducers: a) D3_500 – dextrin, b) S5_300 – starch,<br />
c) G5_300 - glucose; calcinated at 300°C in the air atmosphere.<br />
Rys. 3. Zmiany temperatury próbek D3_500 w funkcji<br />
czasu, ogrzewanych: a) w powietrzu, b) w strumieniu<br />
azotu, c) w strumieniu tlenu.<br />
Fig. 3. Changes of D3_500 samples temperature versus<br />
time, calcinated: a) in the air atmosphere, b) in nitrogen<br />
stream, c) in oxygen stream.<br />
W atmosferze azotu niemal zanika pik temperatury<br />
przypisywany reakcjom dopalania produktów<br />
termicznego rozkładu dekstryny, natomiast w obecności<br />
tlenu pik ten jest szerszy, a zapłon następuje<br />
w niższej temperaturze niż w powietrzu. Fakty te<br />
36<br />
Reasumując ten etap badań, można stwierdzić,<br />
że szybkie reakcje utleniania sacharydów azotanami<br />
metali rozpoczynają się już w temperaturze ~ 120°C,<br />
tzn. bezpośrednio po usunięciu wody z mieszaniny<br />
reakcyjnej. Efekt cieplny tych reakcji powoduje<br />
skokowy wzrost temperatury o 50-150°C, zależnie<br />
od rodzaju użytego reduktora (Rys. 4). Rzeczywisty<br />
przebieg reakcji istotnie różni się od zakładanego<br />
schematami (1) i (2). Przede wszystkim dotyczy<br />
to założenia, że aniony azotanowe redukowane są<br />
do azotu cząsteczkowego. Obecność tlenków azotu<br />
w gazach uwalnianych z mieszaniny reakcyjnej oznacza,<br />
że reduktory nie mogą ulegać całkowitemu wewnętrznemu<br />
utlenieniu. Produkty ich pirolizy spalają<br />
się dopiero w reakcjach z tlenem atmosferycznym,<br />
po ogrzaniu próbek do ~ 500°C (Rys. 3). Ponadto,
S. Dyjak, S. Cudziło, A. Szysiak<br />
powstające podczas utleniania węglowodanów kwasy<br />
karboksylowe i węglowe trwale łączą się z metalami<br />
tworząc sole, których rozkład rozpoczyna się powyżej<br />
400°C, a kończy w ~ 900°C (Rys. 5).<br />
3.2. Analizy termiczne produktów syntez<br />
Wyniki analiz termograwimetrycznych produktów<br />
wybranych syntez przedstawiono na Rys. 5.<br />
Rys. 6. Widma w podczerwieni produktów syntez D3_300<br />
i D5_300.<br />
Fig. 6. Infrared spectra of D3_300 and D5_300 syntheses<br />
products.<br />
Rys. 5. Krzywe termograwimetryczne produktów otrzymanych<br />
w wyniku ogrzewania mieszanin dekstryny z azotanami<br />
metali o symbolach: D3_300, D4_300, D5_300<br />
i D3_500.<br />
Fig. 5. Thermogravimetric curves of products of heating<br />
dextrin and nitrates mixtures with: D3_300, D4_300,<br />
D5_300 and D3_500 symbols.<br />
Przebieg krzywych termograwimetrycznych surowych<br />
produktów syntez realizowanych w piecu<br />
ogrzanym do 300°C potwierdza obecność substancji<br />
organicznych. Ubytek masy próbek w przedziale<br />
temperatur 300-500°C jest wynikiem termicznej<br />
destrukcji i gazyfikacji tych substancji. Ich zawartość<br />
zwiększa się wraz ze zwiększeniem ilości dekstryny<br />
w wyjściowej mieszaninie (D4_300, D5_300).<br />
Ogrzewanie mieszaniny reakcyjnej w 500°C<br />
(D3_500) zupełnie eliminuje organiczne zanieczyszczenia<br />
produktów. Jedyną pozostałością materiałów<br />
węglowych są wówczas węglany, których rozkład następuje<br />
powyżej 700°C. Warto zauważyć, że rosnąca<br />
ilość dekstryny zapobiega powstawaniu węglanów.<br />
W przypadku produktów syntezy D5_300 rozkład<br />
zanieczyszczeń kończy się już w ~ 550°C.<br />
3.3. Analizy spektrofotometryczne produktów<br />
syntez<br />
Widma w podczerwieni próbek produktów z syntez<br />
D3_300 i D5_300 (różniących się zawartością<br />
dekstryny w mieszaninie reakcyjnej) przedstawiono<br />
na Rys. 6.<br />
Szerokie pasmo absorpcji w zakresie 2500-<br />
-3500 cm -1 jest wynikiem drgań rozciągających<br />
powierzchniowych grup hydroksylowych. Absorpcja<br />
w tym zakresie widmowym zanika, jeżeli synteza<br />
przebiega w wyższej temperaturze: 500°C (Rys. 7).<br />
Intensywne pasma, których maksima występują<br />
przy 1635, 1430 i 1320 cm -1 pochodzą od asymetrycznych<br />
i symetrycznych drgań grup karboksylowych.<br />
Duża szerokość widmowa absorpcji tych<br />
grup wskazuje, że są one koordynowane zarówno<br />
mono- jak i didentnie [25]. W widmie próbki D5_300<br />
obecne jest pasmo z maksimum przy 1130 cm -1 ,<br />
odpowiadające drganiom rozciągającym wiązania<br />
C = O w cząsteczkach ditlenku węgla zaadsorbowanych<br />
na powierzchni tlenków metali. Taki sposób<br />
wiązania cząsteczek CO 2<br />
nazywany jest mostkowym<br />
lub węglanem organicznopodobnym [26].<br />
Rys. 7. Widma w podczerwieni produktów syntez D5_300,<br />
D3_500 i D5_500.<br />
Fig. 7. Infrared spectra of D5_300, D3_500 and D5_500<br />
syntheses products.<br />
W widmie produktów syntez prowadzonych<br />
w 500°C (Rys. 7) zanikają pasma absorpcji grup karboksylowych,<br />
pozostają natomiast pasma odpowiadające<br />
drganiom walencyjnym grup węglanowych<br />
37
Spaleniowa synteza granatu itrowo-glinowego domieszkowanego jonami neodymu<br />
(1535 i 1405 cm -1 ) [27]. Widma produktów reakcji<br />
w mieszaninach zawierających glukozę, dekstrynę<br />
lub skrobię są niemal identyczne, a zatem rodzaj<br />
użytego reduktora nie ma wpływu na skład i strukturę<br />
surowych produktów syntezy.<br />
Podczas kalcynacji produktów w 900°C rozkładają<br />
się także węglany, a amorficzne tlenki itrowo-<br />
-glinowe krystalizują w fazie YAG, czego dowodem<br />
jest obecność w widmie IR wąskich, intensywnych<br />
pasm absorpcji w zakresie 900 -500 cm -1 . Pasma 790<br />
i 690 cm -1 są charakterystyczne dla wiązań Al-O,<br />
natomiast pasma 720 i 560 cm -1 pochodzą od drgań<br />
wiązań Y-O w krysztale granatu [28] (Rys. 8).<br />
Rys. 8. Widmo w podczerwieni produktów syntezy<br />
D5_300 kalcynowanych w 900°C.<br />
Fig. 8. Infrared spectrum of D5_300 synthesis products<br />
calcinated at 900°C.<br />
Rys. 9. Widmo XRD produktów syntezy D3_300 kalcynowanych<br />
w 900°C.<br />
Fig. 9. The XRD diffraction pattern of D3_300 synthesis<br />
products calcinated at 900°C.<br />
stopnia aglomeracji proszków sprzyja użycie mieszanin<br />
zawierających co najmniej 3 mole reduktora<br />
na 8 moli azotanów metali oraz zastosowanie w tej<br />
roli skrobi lub dekstryny zamiast glukozy. Prawdopodobną<br />
przyczyną jest skomplikowana, przestrzenna<br />
struktura polisacharydów. Jony metali są w tym przypadku<br />
skutecznie separowane poprzez ich związanie<br />
na atomach tlenu grup hydroksylowych, równomiernie<br />
rozłożonych w łańcuchach glukozowych.<br />
Na Rys. 10 przedstawiono zdjęcia SEM potwierdzające<br />
powyższe spostrzeżenia.<br />
3.4. Analizy dyfraktometryczne produktów<br />
syntez<br />
Wyniki badań dyfraktometrycznych ostatecznie<br />
potwierdziły, że dwugodzinna kalcynacja w temperaturze<br />
900°C surowych produktów syntez pozwala<br />
uzyskać wolne od zanieczyszczeń i dobrze skrystalizowane<br />
nanoproszki granatu itrowo-glinowego<br />
(Rys. 9).<br />
Nie stwierdzono wpływu rodzaju i zawartości<br />
reduktora oraz temperatury prowadzenia reakcji<br />
(w badanym zakresie zmienności tych parametrów)<br />
na czystość chemiczną i fazową oraz rozmiary krystalitów.<br />
Rozmiary obszarów koherentnego rozpraszania<br />
(wyznaczone metodą Scherrera) zmieniały<br />
się od 18 do 23 nm. Są to wartości dwu- trzykrotnie<br />
mniejsze od średnich rozmiarów proszków YAG<br />
otrzymanych innymi metodami [11, 19, 29].<br />
3.5. Badania mikroskopowe produktów syntez<br />
Analiza zdjęć SEM uzyskanych proszków potwierdziła,<br />
że w każdym przypadku udało się uzyskać<br />
sferoidalne, submikronowe ziarna. Zmniejszeniu<br />
38<br />
S3_500<br />
S5_500
S. Dyjak, S. Cudziło, A. Szysiak<br />
Jedynie w przypadku syntezy w mieszaninie<br />
oznaczonej symbolem G2_300 otrzymano proszek<br />
w formie dużych płytkowych cząstek. Pozostałe<br />
produkty zawierały ziarna o wymiarach mniejszych<br />
od 1 μm zbudowane z krystalitów, których średni<br />
wymiar wynosił 20 ÷ 50 nm.<br />
4. WNIOSKI<br />
D3_500<br />
D3_300<br />
Ogrzewanie wodnych roztworów azotanów glinu,<br />
itru i neodymu (wziętych we właściwych proporcjach),<br />
oraz skrobi, dekstryny lub glukozy umożliwia<br />
otrzymanie jednofazowych proszków granatu<br />
itrowo-glinowego domieszkowanego neodymem za<br />
pomocą syntezy spaleniowej. Ziarna tych proszków<br />
mają submikronowe wymiary i są luźnymi aglomeratami<br />
krystalitów o średnicach ~ 20 nm. Najlepsze<br />
rezultaty osiągnięto stosując mieszaniny zawierające<br />
od 3 do 5 moli dekstryny lub skrobi na 8 moli azotanów<br />
metali i prowadząc reakcje w temperaturach<br />
z przedziału 300-500°C. Niezależnie od rodzaju<br />
reduktora i temperatury reakcji, surowe produkty<br />
wymagają ~ 2-godzinnej kalcynacji w temperaturze<br />
900-950°C, w celu całkowitego rozkładu powstających<br />
ubocznie karboksylanów i węglanów metali<br />
oraz krystalizacji-przemiany amorficznego złożonego<br />
tlenku w uporządkowaną krystaliczną fazę YAG.<br />
LITERATURA<br />
G3_500<br />
G2_300<br />
Rys. 10. Przykładowe zdjęcia SEM produktów syntez prowadzonych<br />
w różnych warunkach (S – skrobia, D - dekstryna,<br />
G – glukoza).<br />
Fig. 10. SEM images of products of syntheses conducted<br />
at different conductions (S - starch, D – dextrin, G – glucose).<br />
[1] de With G., van Dijk H.J.A.: Translucent Y 3<br />
Al 5<br />
O 12<br />
ceramics, Mater. Res. Bull., 19, (1984), 1669-1674<br />
[2] Sekita M., Haneda H., Yanagitani T., Shirasaki S.:<br />
Induced emission cross section of Nd:Y 3<br />
Al 5<br />
O 12<br />
ceramics,<br />
J. Appl. Phys., 67, (1990), 453-458<br />
[3] Ikesue A., Kinoshita T., Kamata K., Yoshida K.: Fabrication<br />
and optical properties of high-performance<br />
polycrystalline Nd:YAG ceramics for solid state<br />
lasers, J. Am. Ceram. Soc., 78, (1995), 1033-1040<br />
[4] Ikesue A.: Polycrystalline Nd:YAG ceramics lasers,<br />
Opt. Mater., 19, (2002), 183-187<br />
[5] Lu J., Ueda K., Yagi H., Yanagitani T., Akiyama Y.,<br />
Kaminskii A.: Neodymium doped yttrium aluminium<br />
garnet (Y 3<br />
Al 5<br />
O 12<br />
) nanocrystalline ceramics – a new<br />
generation of solid state laser and optical materials,<br />
J. Alloys Compd., 341, (2002), 220-225<br />
[6] Fu Y., Wen S., Hsu C.: Preparation and characterization<br />
of Y 3<br />
Al 5<br />
O 12<br />
: Ce and Y 2<br />
O 3<br />
:Eu phosphors<br />
powders by combustion process, J. Alloys Compd.,<br />
458, (2008), 318-322<br />
[7] Ru Y., Jie Q., Min L., Guoqiang L.: Synthesis of<br />
yttrium aluminium garnet (YAG) powder by homo-<br />
39
Spaleniowa synteza granatu itrowo-glinowego domieszkowanego jonami neodymu<br />
geneous precipitation combined with supercritical<br />
carbon dioxide or ethanol fluid drying, J. Eur. Ceram.<br />
Soc., 28, (2008), 2903-2914<br />
[8] Lipińska L., Lojko L., Kłos A., Ganschow S., Diduszko<br />
R., Ryba-Romanowski W., Pajączkowska A.:<br />
Nanopowders and crystals in (Y 1-x<br />
Nd x<br />
) 3<br />
Al 5<br />
O 12<br />
system:<br />
preparation and properties, J. Alloys Compd., 432,<br />
(2007), 177-182<br />
[9] Xia G., Zhou S., Zhang V, Wang S., Liu Y., Xu J.:<br />
Sol-gel combustion synthesis and luminescent properties<br />
of nanocrystalline YAG:Eu 3+ phosphors, J. Cryst.<br />
Growth, 285, (2005), 257-262<br />
[10] Qiu F., Pu X., Liu X., Pan Y., Guo J.: Thermal behavior<br />
of the YAG prekursor prepared by sol-gel combustion<br />
process, Ceram. Int., 31, (2005), 663-665<br />
[11] Hakuta Y., Seino K., Ura H., Adschiri T., Takizawa H.,<br />
Arai K.: Production of phosphor (YAG:Tb) fine<br />
particles by hydrothermal syhthesis in supercritical<br />
water, J. Mater. Chem., 9, (1999), 2671-2674<br />
[12] Caponetti E., Saladino M.L., Serra F., Enzo S.: Co-<br />
-precipitation synthesis of Nd:YAG nano-powders:<br />
the effect of Nd dopant addition with thermal treatment,<br />
J. Mater. Sci., 42, (2007), 4418-4427<br />
[13] Li X., Wang W.: Preparation of uniformly dispersed<br />
YAG ultrafine powders by co-precipitation method<br />
with SDS treatment, Powder Technol., 196, (2009),<br />
26-29<br />
[14] Liu M., Wang S. W., Zhang J., An L.Q., Chen L.D.:<br />
Upconversion luminescence of Y 3<br />
Al 5<br />
O 12<br />
(YAG):Yb 3+ ,<br />
Tm 3+ nanocrystals, Opt. Mater., 30, (2007), 370-374<br />
[15] Mancic L., Marinkovic K., Marinkovic B.A., Dramicanin<br />
M., Milosevic O.: YAG:Ce 3+ nanostructured<br />
particles obtained via spray pyrolisis of polymeric<br />
precursor solution, J. Eur. Ceram. Soc., 30, (2010),<br />
577-582<br />
[16] Fu Y.P.: Preparation of Y 3<br />
Al 5<br />
O 12<br />
:Eu powders by<br />
microwave-induced combustion process and their<br />
luminescent properties, J. Alloys Compd., 414, (2006),<br />
181-185<br />
[17] Xia G., Zhou S., Zhang J., Wang S., Xu J.: Solution<br />
combustion synthesis, structure and luminescence<br />
of Y 3<br />
Al 5<br />
O 12<br />
:Tb 3+ phosphors, J. Alloys Compd., 421,<br />
(2006), 294-297<br />
[18] Oshimura M., Byrappa K.: Hydrothermal processing<br />
of materials: past, present and future, J. Mater. Sci.,<br />
43, (2008), 2085-2103, Cabanas A., Li J., Blood P.,<br />
Chudoba T., Lajkowski W., Poliakoff M., Lester E.:<br />
Synthesis of nanoparticulate yttrium aluminium<br />
garnet In supercritical water-ethanol mixtures,<br />
J. Supercrit. Fluids, 40, (2007), 284-292<br />
[19] Mancic L., Milosevic O., Marinkovic B., da Silva<br />
Lopez M.de F., Rizzo F.: Rapid formation of high<br />
T c<br />
phase in Bi-Pb-Sr-Ca-Cu-O system, Physica C,<br />
341-348, (2000), 503-504<br />
[20] Veith M., Mathur, S., Kareiva A., Jilavi M.,<br />
Zimmer M., Huch V.: Low temperature synthesis<br />
of nanocrystalline Y 3<br />
Al 5<br />
O 12<br />
(YAG) and Ce-doped<br />
Y 3<br />
Al 5<br />
O 12<br />
via different sol-gel methods, J. Mater.<br />
Chem., 9, (1999), 3069-3079<br />
[21] Mukasyan A.S., Epstein P., Dinka P.: Solution combustion<br />
synthesis of nanomaterials, Proc. Comb. Inst.,<br />
31, (2007), 1789-1795<br />
[22] Patil K.C., Saruna S.T., Mimani T.: Combustion synthesis:<br />
an update, Curr. Op. Solid State Mater. Sci.,<br />
6, (2002), 507-512<br />
[23] Biswas M., Prabhakaran K., Gokhale N.M., Sharma<br />
S.C.: Synthesis of nanocrystalline yttria doped ceria<br />
powder by urea-formaldehyde polymer gel auto-<br />
-combustion process, Mater. Res. Bull., 42, (2007),<br />
609-617<br />
[24] Mukasyan A.S., Dinka P. : Novel Approaches to<br />
Solution-Combustion Synthesis of Nanomaterials,<br />
Int. J.Self-Propag. High-Temp. Synth., 16, (2007),<br />
23-35<br />
[25] Kazuo Nakamoto: Infrared and Raman Spectra of<br />
Inorganic and Coordination Compounds, 4th Ed.<br />
Wiley, New York, 1986, 232, 253<br />
[26] Morterra C., Magnacca G.: A case study surface<br />
chemistry and surface structure of catalytic aluminas,<br />
as studied by vibrational spectroscopy of adsorbed<br />
species, Catal. Today, 27, (1996), 497-532<br />
[27] Veitch C. D.: Synthesis of polycrystalline yttrium iron<br />
garnet and yttrium aluminium garnet from organic<br />
precursors, J. Mater. Sci., 26, (1991), 6527-6532<br />
[28] Li J., Pan Y., Qiu F., Wu Y., Guo J.: Nanostructured<br />
Nd:YAG powders via gel combustion: the influence<br />
of citrate-to-nitrate ratio, Ceram. Int., 34, (2008),<br />
141-149<br />
[29] Li J., Pan Y., Qiu F., Wu Y., Liu W., Guo J.: Synthesis<br />
of nanosized Nd:YAG powders via gel combustion,<br />
Ceram. Int., 33, (2007), 1047-1052<br />
SOLUTION COMBUSTION SYN-<br />
THESIS OF Nd:YAG NANOPOW-<br />
DERS<br />
SUMMARY<br />
Nanostructured powders of yttrium aluminum<br />
garnet doped by neodymium (Nd:YAG) were obtained<br />
as a result of reaction of aluminum, yttrium and<br />
neodymium nitrates with glucose, dextrin or starch<br />
while heating aqueous solutions of the compounds.<br />
An influence of the kind and amount of carbohydrates<br />
(reducing agent) as well as temperature on the<br />
product composition and microstructure was invesigated.<br />
The temperatures of the reacting mixture were<br />
measured and the results were used to establish the<br />
40
S. <strong>ITME</strong> Dyjak, - wczoraj S. Cudziło, i dziśA.<br />
Szysiak<br />
type, sequence and intensity of the running processes.<br />
In the starting solution, carbohydrates trap the metal<br />
ions, what guarantees homogeneity of their space<br />
distribution and reduces the diffusion lengths of the<br />
oxide precursors. Amorphous aluminum yttrium oxides<br />
containing metal carboxylates and carbonates are<br />
the raw products of the reactions. They transform into<br />
monophase Nd:YAG crystallites during calcination at<br />
900 o C for 2 hours. Regardless the type of reducing<br />
agent, the crystallites are ca. 20 nm in diameter.<br />
The final powder particles are more homogenous in<br />
shape and size when an excess of carbohydrate with<br />
complicated, 3D structure is used, e.g. starch.<br />
Keywords: solution combustion synthesis, nanostructured<br />
powder, Nd:YAG<br />
INSTYTUT TECHNOLOGII MATERIAŁÓW<br />
ELEKTRONICZNYCH (<strong>ITME</strong>) –WCZORAJ I DZIŚ<br />
Laboratorium Charakteryzacji Materiałów Wysokiej Czystości (Z-1)<br />
Wanda Sokołowska 1<br />
1<br />
Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych, ul. Wólczyńska 133, 01-919 Warszawa<br />
e-mail: wanda.sokolowska@itme.edu.pl<br />
Badanie składu chemicznego stanowiło w <strong>ITME</strong><br />
zawsze istotny element prac naukowo-badawczych<br />
związanych z opracowywaniem technologii nowych<br />
materiałów, zapewniający oznaczanie pierwiastków<br />
podstawowych, celowo wprowadzanych domieszek,<br />
a także zanieczyszczeń. Na przestrzeni lat opracowano<br />
kilkaset metod analitycznych.<br />
Tradycje obecnego Laboratorium Charakteryzacji<br />
Materiałów Wysokiej Czystości (Z-1) sięgają<br />
lat sześćdziesiątych: początkowo w Przemysłowym<br />
Instytucie Elektroniki, następnie w Ośrodku Naukowo-Produkcyjnym<br />
Materiałów Półprzewodnikowych<br />
i obecnie w Instytucie Technologii Materiałów<br />
Elek tronicznych. Wydzielony z PIE Zakład Analiz<br />
Chemicznych, kierowany wówczas przez mgr Janinę<br />
Witkowską ulegał wielu przekształceniom w czasie,<br />
gdy kierowali nim kolejno: mgr Czesław Jaworski,<br />
dr Andrzej Ramsza i dr Krzysztof Kalinowski. Od<br />
roku 1992 kierownikiem zakładu jest dr inż. Wanda<br />
Sokołowska<br />
Efektem prac własnych prowadzonych w Laboratorium<br />
jest opracowanie metod oznaczania<br />
składu chemicznego wielu materiałów laserowych,<br />
piezoelektrycznych, podłożowych dla nadprzewodników<br />
wysokotemperaturowych, monokryształów<br />
tlenkowych, kompozytów, szkieł technicznych<br />
i optycznych oraz wielu innych materiałów złożonych.<br />
W badaniach stosowano metody analityczne,<br />
klasyczne oraz instrumentalne. Możliwości charakteryzacji<br />
materiałów przez Laboratorium są na tyle<br />
różnorodne i uniwersalne, że stanowią ofertę nie<br />
tylko dla środowiska związanego z elektroniką, ale<br />
z usług jego korzystają również liczne przedsiębiorstwa<br />
i placówki badawcze.<br />
Laboratorium jest wyposażone w aparaturę pomiarowo-badawczą.<br />
Posiada: spektrometr ICP-OES z<br />
plazmowym źródłem wzbudzenia firmy Jobin Yvon,<br />
spektrofotometr UV/VIS firmy Secomam, spektrografy:<br />
pryzmatyczny i siatkowe firmy Zeiss, a ostatnio<br />
Labotarium wzbogaciło się o nowoczesny spektrometr<br />
absorpcji atomowej Sollar M6 firmy Thermo z możliwością<br />
pracy w wariancie atomizacji płomieniowej<br />
(FAAS), jak również atomizacji elektrotermicznej z<br />
użyciem pieca grafitowego (GFAAS).<br />
Badanie większości materiałów wymaga przeprowadzenia<br />
próbki do postaci roztworu i zastosowania<br />
kilku technik instrumentalnych. Laboratorium<br />
posiada dwa urządzenia pracujące pod normalnym<br />
ciśnieniem i wysokociśnieniowe umożliwiające<br />
przeprowadzenie próbek do roztworu. Ustalenie<br />
warunków roztwarzania jest na ogół procesem czasochłonnym,<br />
nie gwarantującym w każdym przypadku<br />
wyniku pozytywnego. Agresywne warunki<br />
pracy (mieszaniny silnych kwasów nieorganicznych,<br />
wysoka temperatura i ciśnienie) powodują często<br />
uszkodzenie elementów aparatury (odkształcenie<br />
naczyń pomiarowych, niszczenie obudowy czujnika<br />
temperatury, przegrzanie).<br />
Oprócz analizy składu chemicznego materiałów<br />
Laboratorium prowadzi prace związane z ochroną<br />
41
Spaleniowa synteza granatu itrowo-glinowego domieszkowanego <strong>ITME</strong> jonami - wczoraj neodymu i dziś<br />
środowiska. Działalność <strong>ITME</strong> w zakresie ochrony<br />
środowiska określona jest przez podstawowe akty<br />
prawne: ustawę z dnia 27 kwietnia 2001: prawo<br />
ochrony środowiska (Dz. U. <strong>Nr</strong> 25/2008, poz. 150<br />
z późniejszymi zmianami) i ustawa o odpadach<br />
(Dz.U. <strong>Nr</strong> 39/2007, poz.251 z późniejszymi zmianami).<br />
Oprócz ww. ustaw należy wymienić także<br />
ustawę z dnia 18 lipca 2001 r.: prawo wodne (Dz.<br />
U. <strong>Nr</strong> 239/2005, poz. 2019 z późniejszymi zmianami),<br />
ustawę z dnia 11 maja 2001 r. o opakowaniach<br />
i odpadach opakowaniowych (Dz.U. <strong>Nr</strong> 63/2001,<br />
poz. 638 z późniejszymi zmianami). Zgodnie z tymi<br />
ustawami „...jednostki organizacyjne są obowiązane<br />
do zapewnienia ochrony środowiska oraz eliminowania<br />
lub ograniczania uciążliwości szkodliwych<br />
dla środowiska...”. Realizując te ustawy Instytut<br />
posiada niezbędne decyzje władz administracyjnych<br />
i samorządowych.<br />
Laboratorium wykonuje pomiary zawartości<br />
substancji toksycznych na stanowiskach pracy oraz<br />
substancji lotnych emitowanych do atmosfery prowadzonych<br />
w <strong>ITME</strong>. Laboratorium wykonuje analizy<br />
wody i ścieków, prowadzi gospodarkę odpadami oraz<br />
przygotowuje dokumentację dla organów administracji<br />
państwowej i samorządowej.<br />
W wyniku prac badawczych i technologicznych,<br />
emitowane są do atmosfery niewielkie ilości takich<br />
substancji jak: arsen, arsenowodór, fosforowodór,<br />
chlorowodór, dwutlenek azotu i aceton. Dopuszczalne<br />
wielkości emisji zanieczyszczeń gazowych dla<br />
<strong>ITME</strong> zostały określone na podstawie opracowania<br />
pt: „Operat ochrony powietrza atmosferycznego dla<br />
źródeł zlokalizowanych na terenie obiektów przy ul.<br />
Wólczyńskiej 133 w Warszawie, użytkowanych Przez<br />
Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych”.<br />
W związku z upływem terminu ważności Decyzji<br />
Wojewody Warszawskiego WOŚ-III-7643/86/98 z<br />
dnia 29 grudnia 1998 roku na wprowadzanie do<br />
powietrza gazów i pyłów ze źródeł zlokalizowanych<br />
na terenie <strong>ITME</strong>, opracowano w roku 2006 i przesłano<br />
do Urzędu Miasta wniosek o wydanie nowego<br />
pozwolenia.<br />
Decyzją nr 748/OŚ/2007 z dnia 11.05.2007 r.<br />
Prezydent m.st. W-wy umorzył postępowanie o wydanie<br />
pozwolenia na emitowanie gazów i pyłów do<br />
powietrza z instalacji zlokalizowanej na terenie przy<br />
ul.Wólczyńskiej 133. W uzasadnieniu stwierdzono,<br />
że Instytut nie prowadzi działalności produkcyjnej,<br />
a jedynie prace badawcze które są prowadzone<br />
z wykorzystaniem zgłoszonych dygestoriów. Ponieważ<br />
zgodnie z ustawą „Prawo ochrony środowiska”<br />
instytucje mają obowiązek składania sprawozdań<br />
z korzystania ze środowiska. Laboratorium takie<br />
sprawozdania (2 razy w roku) wysyła. W zbiorczym<br />
42<br />
zestawie informacji , w obliczeniach wykorzystywane<br />
są wartości emisji zawarte w propozycji wniosku<br />
o pozwolenie.<br />
W Laboratorium prowadzone są również prace<br />
dotyczące gospodarki odpadami. Wynikiem procesów<br />
obróbki mechanicznej i chemicznej materiałów wytwarzanych<br />
i stosowanych w <strong>ITME</strong>, powstają odpady<br />
do których również należy zaliczyć zużyty sprzęt<br />
komputerowy. W wyniku obróbki mechanicznej<br />
powstają odpady zaliczane do grupy odpadów niebezpiecznych<br />
i innych niż niebezpieczne (Dz. U. <strong>Nr</strong><br />
112, poz. 1206, katalog odpadów).W skład odpadów<br />
niebezpiecznych wytwarzanych w <strong>ITME</strong> wchodzą:<br />
przepracowane oleje maszynowe i hydrauliczne po<br />
wymianie w urządzeniach, odpadowe oleje z obróbki<br />
metali zawierające związki półprzewodnikowe typu<br />
A 3<br />
B 5<br />
– stałe, nierozpuszczalne, fosforki indu i galu<br />
oraz arsenek galu, szlamy z obróbki metali zawierające<br />
oleje, przepracowane chłodziwo, przepracowane<br />
rozpuszczalniki, chemikalia zawierające substancje<br />
niebezpieczne, czyściwo, zużyte świetlówki oraz zużyte<br />
urządzenia elektryczne i elektroniczne.W skład<br />
odpadów innych niż niebezpieczne wchodzą: odpady<br />
z obróbki mechanicznej materiałów, zużyte chemikalia<br />
nie zawierające substancji niebezpiecznych oraz<br />
zużyte urządzenia elektryczne i elektroniczne.<br />
Sprawę gospodarki wodno-ściekowej regulują<br />
umowy z Cemat’70 (umowa nr 2119 z 9 listopada<br />
1987 r. z późniejszymi zmianami) W roku 2006 Cemat<br />
zgodnie z rozporządzeniem Ministra Środowiska<br />
w sprawie substancji szczególnie szkodliwych dla<br />
środowiska wodnego, których wprowadzanie w ściekach<br />
przemysłowych do urządzeń kanalizacyjnych<br />
wymaga uzyskania pozwolenia wodnoprawnego<br />
(Dz. U. <strong>Nr</strong> 233/2005, poz. 1988 z późniejszymi<br />
zmianami) wystąpił do prezydenta m.st. Warszawy<br />
o takie pozwolenie dla całego terenu ul.Wólczyńskiej<br />
133. Laboratorium brało udział w opracowaniu<br />
Operatu wodnoprawnego. Wydział Ochrony Środowiska<br />
dla Dzielnicy Bielany i Mazowiecki Wojewódzki<br />
Inspektorat Ochrony Środowiska są uprawnione<br />
do przeprowadzania w <strong>ITME</strong> kontroli w zakresie<br />
przestrzegania przepisów prawa ochrony środowiska.<br />
W roku 2005 odbyły się 2 takie kontrole.<br />
Od roku 1999 Zakład Z-1 pod nazwą Laboratorium<br />
Charakteryzacji Materiałów Wysokiej Czystości<br />
posiada certyfikat akredytacji nr AB 267 wydany<br />
przez Polskie Centrum Badań i Certyfikacji (obecnie:<br />
Polskie Centrum Akredytacji - PCA) w zakresie<br />
oznaczania zanieczyszczeń w wodzie i ściekach<br />
oraz oznaczania w powietrzu takich substancji jak<br />
arsenowodór, fosforowodór i tlenki azotu. Posiadanie<br />
certyfikatu świadczy o wysokich kompetencjach<br />
personelu Laboratorium.
Streszczenia artykułów pracowników <strong>ITME</strong> Spaleniowa synteza granatu itrowo-glinowego domieszkowanego jonami neodymu<br />
W Laboratorium wdrożony jest system zarządzania<br />
zgodny z międzynarodową normą PN-EN<br />
ISO/IEC 17025 „Ogólne wymagania dotyczące kompetencji<br />
laboratoriów badawczych i wzorcujących”.<br />
Norma ta zawiera wymagania, jakie powinny spełnić<br />
instytujące ubiegające się o certyfikat stwierdzający,<br />
że posiadają wymagane one kompetencje techniczne<br />
i stosowane są w nich odpowiednie systemy zarządzania.<br />
Akredytacja udzielana była początkowo na<br />
okresy trzyletnie, a obecnie na okresy czteroletnie.<br />
Po tym czasie Laboratorium ma prawo występowania<br />
z wnioskiem o przedłużenie akredytacji, względnie o<br />
rozszerzenie jej zakresu o dodatkowe badania.<br />
Dyrektora Instytutu i Kierownika Laboratorium<br />
obowiązuje Kontrakt <strong>Nr</strong> AB 267 podpisany z PCA,<br />
ustalający zasady współpracy oraz prawa i obowiązki<br />
stron wynikające z udzielonej akredytacji. Laboratorium<br />
ma prawo posługiwania się znakiem akredytacji<br />
w dokumentach związanych z akredytowaną<br />
działalnością. W okresie ważności certyfikatu PCA<br />
sprawuje nadzór nad akredytowanym Laboratorium i<br />
przeprowadza audyty kontrolne w odstępach nie krótszych<br />
niż 12 miesięcy. W przypadku stwierdzenia niespełnienia<br />
przez Laboratorium zasad kontraktu, PCA<br />
może zawiesić lub cofnąć certyfikat akredytacji.<br />
System zarządzania Laboratorium opisany jest<br />
w 21 rozdziałach Księgi Jakości, procedurach ogólnych<br />
i badawczych oraz w instrukcjach. Utrzymanie<br />
systemu zarządzania nakłada na akredytowane<br />
laboratorium określony, ustalony procedurami i instrukcjami<br />
tryb postępowania. Dotyczy on zarówno<br />
wykonywania określonych badań, jak również aktualizację<br />
i nowelizację dokumentów. Częstotliwość<br />
wykonywania poszczególnych form kontroli regulują<br />
instrukcje jakości (IJ), procedury ogólne (PO), procedury<br />
badawcze (PB), instrukcje wzorcowania (IW),<br />
instrukcje sprawdzania (IP).<br />
Polskie Centrum Akredytacji w dniu 3 lutego<br />
2007 roku dokonało oceny działalności Laboratorium.<br />
Laboratorium roz poczęło 3 cykl akredytacji: od<br />
10 marca 2007 do 11 marca 2011 roku. Pozytywna<br />
ocena i 3 cykl akredytacji obliguje Laboratorium<br />
do systematycznej kontroli działalności objętej<br />
zakresem akredytacji. Jest to warunek utrzymania<br />
i uzyskania przedłużenia na kolejne lata certyfikatu<br />
akredytacji.<br />
LITERATURA<br />
[1] Jeleński A., Żero T.: Instytut Technologii Materiałów<br />
Elektronicznych – Wczoraj i dziś. Materiały Elektroniczne,<br />
37, 4, (2009), 34-37<br />
STRESZCZENIA ARTYKUŁÓW PRACOWNIKÓW <strong>ITME</strong><br />
57<br />
Fe Mössbauer spectroscopy of radiation damaged<br />
samarskites and gadolinites<br />
Malczewski D. 1 , Grabias Agnieszka 2 , Dercz G. 3<br />
1<br />
Faculty of Earth Sciences, University of Silesia, ul.<br />
Będzińska 60, 41-200 Sosnowiec<br />
2<br />
Institute of Electronic Materials Technology, ul.<br />
Wólczyńska 133, 01-919 Warszawa<br />
3<br />
Institute of Materials Science, University of Silesia, ul.<br />
Bankowa 12, 40-007 Katowice<br />
Hyperfine Interact, 195, (2010), 85-91<br />
We report the results of 57 Fe Mössbauer spectroscopy,<br />
gamma-ray spectrometry and X-ray diffraction<br />
of two fully metamict samarskites and two partially<br />
metamict gadolinites. The absorbed α-dose for these<br />
minerals are found to range from 3.6 x 10 15 α-decay/mg<br />
for one of the gadolinite samples to 7.7 x<br />
10 17 α-decay/mg one of the samarskite samples. The<br />
Mössbauer spectra of samarskites and gadolinites<br />
show increasing line widths of the Fe 2+ doublets with<br />
absorbed α-dose. We also observe that the increase in<br />
average quadrupole splitting of the Fe 2+ components<br />
correlates better with absorbed α-dose from 232 Th<br />
than with total α-dose.<br />
Judd--Ofelt analysis and optically stimulated<br />
two-photon absorption of Yb 3+ -doped NdAl 3<br />
(BO 3<br />
) 4<br />
single crystals<br />
Majchrowski A. 1 , Kłosowicz S. 1 , Jaroszewicz L. R. 1 ,<br />
Świrkowicz Marek 2 , Kityk I. V. 3 , Piasecki M. 4 , Brik<br />
M. G. 5<br />
1<br />
Institute of Applied Physics, Military University of<br />
Technology, ul. Kaliskiego 2, 00-908 Warszawa<br />
2<br />
Institute of Electronic Materials Technology, ul. Wólczyńska<br />
133, 01-919 Warszawa<br />
3<br />
Electrical Engineering Department, Częstochowa<br />
Tech nological University, Al. Armii Krajowej 17/19,<br />
Częstochowa<br />
4<br />
Institute of Physics, J. Długosz University, Al. Armii<br />
Krajowej 13/15, Częstochowa<br />
5<br />
Institute of Physics, University of Tartu, Rio 142, Tartu<br />
51014, Estonia<br />
Journal of Alloys and Compounds, 491, (2010), 26-29<br />
43
Spaleniowa synteza granatu itrowo-glinowego Streszczenia domieszkowanego artykułów pracowników jonami neodymu <strong>ITME</strong><br />
NdAl 3<br />
(BO 3<br />
) 4<br />
single crystals with different concentrations<br />
of Yb 3+ were grown using the top seeded<br />
solution growth method. The absorption spectra<br />
of the grown samples were recorded at room temperature<br />
and analyzed using the standard Judd-Ofelt<br />
theory. Influence of Yb 3+ concentration on the Nd 3+<br />
absorption properties was studied. Variation of the<br />
Nd 3+ oscillator strengths with changing Yb 3+ concentration<br />
suggests significant role of the Yb-Nd energy<br />
transfer in the formation of the absorption spectra.<br />
Following the absorption spectra we illuminated the<br />
investigated crystals at 532 nm absorption line to<br />
observe the changes of the two-photon absorption<br />
(TPA). We observed substantial increase of the TPA<br />
with the increased power of the illuminating laser<br />
which was proportional to the Yb contents.<br />
Crystal growth and Judd-Ofelt analysis of novel<br />
Yb-doped RbNd(WO 4<br />
) 2<br />
single crystals<br />
Majchrowski A. 1, Jaroszewicz L. R. 1 , Świrkowicz<br />
Marek 2 , Miedziński R. 3 , Piasecki M 3 , Kityk I. V. 4 ,<br />
Wojciechowski A. 4 , Brik M. G. 5<br />
1<br />
Institute of Applied Physics, Military University of<br />
Technology, ul. Kaliskiego 2, 00-908 Warszawa<br />
2<br />
Institute of Electronic Materials Technology, ul. Wólczyńska<br />
133, 01-919 Warszawa<br />
3<br />
Electrical Engineering Department, Częstochowa<br />
Technological University, Al. Armii Krajowej 17/19,<br />
Częstochowa<br />
4<br />
Institute of Physics, J. Długosz University, Al. Armii<br />
Krajowej 13/15, Częstochowa<br />
5<br />
Institute of Physics, University of Tartu, Rio 142, Tartu<br />
51014, Estonia<br />
Materials Letters, 64 (2010), 295-297<br />
RbNd(WO 4<br />
) 2<br />
single crystals with different concentrations<br />
of Yb 3+ have been grown using the top<br />
seeded solution growth, Room-temperature absorption<br />
spectra were assigned on the basis of the Dieke’s<br />
diagram for Nd 3+ ion and analyzed by means of the<br />
standard Judd-Ofelt theory. It was shown that the<br />
increase of the Yb 3+ concentration and corresponding<br />
decrease of the Nd 3+ concentration leads to the<br />
increase of the corresponding Judd-Ofelt intensity<br />
parameters, which suggests significant contribution<br />
of the Yb-Nd energy transfer in the formation of the<br />
absorption spectra.<br />
Effect of cation doping on lattice and grain<br />
boundary diffusion in superplastic yttria-stabilized<br />
tetragonal zirconia<br />
Boniecki Marek 1 , Natanzon Yuriy 2 , Łodziana<br />
Zbigniew 2, 3<br />
1<br />
Institute of Electronic Materials Technology, ul. Wólczyńska<br />
133, 01-919 Warszawa<br />
44<br />
2<br />
The Henryk Niewodniczański Institute of Nuclear<br />
Physics Polish Academy of Science, ul. Radzikowskiego<br />
152, 31-242 Kraków<br />
3<br />
Department of Environment, Energy and Mobility<br />
EPMA, 8600 Dübendorf, Switzerland<br />
Journal of European Ceramic Society, 30, (2010, 657-<br />
668<br />
Lattice diffusion coefficients D 1<br />
and grain boundary<br />
diffusion D gb<br />
coefficients of hafnium were studied<br />
for 0.5 and 1 mol% cation-doped yttria-stabilized<br />
tetragonal zirconia at the temperature range from<br />
1283 to 1510 o C. The diffusion profiles were determined<br />
by two experimental techniques: secondary<br />
ion mass spectroscopy and electron microprobe<br />
analysis. Additionally the first principle calculations<br />
of the electronic states of Zr 4+ , dopant cations and<br />
O 2- anions and elastic properties in 3Y-TZP were<br />
performed. Superplastic strain rate versus stress and<br />
inverse temperature was also measured. For 1 mol%<br />
doped samples the significant increase of the grain<br />
boundary diffusion and superplastic strain rate was<br />
observed. Correlations between the calculated ionic<br />
net charges and D gb<br />
indicate that enhancement of<br />
D gb<br />
was caused by the reduction of ionic bonding<br />
strength between metal cation and oxygen anion in<br />
zirconia. The new constitutive equation for superplastic<br />
flow of ytria-stabilized tetragonal zirconia<br />
ceramics was obtained.<br />
Growth rate and thickness uniformity of epitaxial<br />
graphene<br />
Strupiński Włodzimierz 1 , Drabińska A. 2 , Bożek R. 3 ,<br />
Borysiuk Jolanta 1,2 , Wysmołek A. 2 , Stępniewski R. 2 ,<br />
Kościewicz Kinga 1 , Caban Piotr 1 , Korona K. 2 , Grodecki<br />
Kacper 1,2 , Geslin Pierre-Antoine 3 , Baranowski<br />
Jacek M. 1,2<br />
1<br />
Institute of Electronic Materials Technology, ul. Wólczyńska<br />
133, 01-919 Warszawa<br />
2<br />
Institute of Experimental Physics, University of Warsaw,<br />
ul. Hoża 69, 00-681 Warszawa<br />
3<br />
Ecole Nationale Supérieure des Mines, 158 cours Fauriel<br />
4203 St. Etienne, France<br />
Materials Science Forum, 645-648, (2010), 569-572<br />
The paper provides a deeper understanding of<br />
key-parameters of epitaxial graphene growth techniques<br />
on SiC. At 1600 o C, the graphene layer is<br />
continuous and covers a large area of the substrate.<br />
Significant differences in the growth rate could be<br />
observed for different reactor pressures and the polarity<br />
of SiC substrates as well as for the substrate<br />
miscut and surface quality. In addition, graphene<br />
thickness uniformity and mechanism of ridges creation<br />
was examined.