Katalog na rok 2012 w wersji PDF - ITME

Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
Zakład Technologii Krzemu
W laboratoriach Zakładu rozwinęliśmy różne technologie wytwarzania produktów krzemowych, takie jak CZ
(metoda Czochralskiego), MCZ (magnetyczna metoda Czochralskiego), czy FZ (metoda beztyglowa). Oferujemy
monokryształy i płytki krzemowe (różnych rodzajów) o średnicach od 50 do 150 mm – standardowe i
ponadstandardowe. Dostarczamy płytki krzemowe bezpośrednio po cięciu, trawione oraz polerowane jedno- lub
obustronnie, w zależności od potrzeb.
Równolegle Zakład prowadzi badania jakości powierzchni płytek i warstw pod powierzchnią oraz nad
technologiami wytwarzania płytek krzemowych, takimi jak: zastosowania płynnego wosku, metody adhezyjne,
wybór mieszanek trawiących do trawienia krzemu, eliminacja z powierzchni polerowanych płytek defektów typu
„haze”, czy poprawa czystości krzemu w polerowanych płytkach do standardów światowych.
Bada się także defekty typu „haze”, OSF, S-PITS oraz przydatność różnych materiałów do procesów
geterowania wewnętrznego.
W Zakładzie opracowano procesy technologiczne wytwarzania krzemu, w których:
• osiągnięto kontrolowaną zawartość tlenu w monokryształach krzemu na poziomie 6,5 ÷ 8,7*10 17 atomów
na cm 3 lub 8,7 ÷ 9,5 atomów na cm 3 oraz wdrożono oprogramowanie do automatycznej kontroli
procesów wzrostu kryształów);
• sterując warunkami topienia i przepływu argonu znacząco ograniczono wpływ migracji węgla w krzemie
podczas wzrostu kryształów (standardowa zawartość węgla w wytwarzanych monokryształach krzemu
jest niższa niż 2,5*10 16 atomów na cm 3 );
• uzyskuje się monokryształy Φ 1˝ , Φ2˝ i Φ3” o nietypowych orientacjach (, , , ,
, , , , , );
• polerowane płytki krzemowe o średnicach do Φ100 mm i grubościach >2000 µm charakteryzują się
tolerancją grubości TTV i falistości