Katalog na rok 2012 w wersji PDF - ITME
Katalog na rok 2012 w wersji PDF - ITME
Katalog na rok 2012 w wersji PDF - ITME
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych<br />
Zakład Technologii Krzemu<br />
W laboratoriach Zakładu rozwinęliśmy różne technologie wytwarzania produktów krzemowych, takie jak CZ<br />
(metoda Czochralskiego), MCZ (magnetycz<strong>na</strong> metoda Czochralskiego), czy FZ (metoda beztyglowa). Oferujemy<br />
monokryształy i płytki krzemowe (różnych rodzajów) o średnicach od 50 do 150 mm – standardowe i<br />
po<strong>na</strong>dstandardowe. Dostarczamy płytki krzemowe bezpośrednio po cięciu, trawione oraz polerowane jedno- lub<br />
obustronnie, w zależności od potrzeb.<br />
Równolegle Zakład prowadzi badania jakości powierzchni płytek i warstw pod powierzchnią oraz <strong>na</strong>d<br />
technologiami wytwarzania płytek krzemowych, takimi jak: zastosowania płynnego wosku, metody adhezyjne,<br />
wybór mieszanek trawiących do trawienia krzemu, elimi<strong>na</strong>cja z powierzchni polerowanych płytek defektów typu<br />
„haze”, czy poprawa czystości krzemu w polerowanych płytkach do standardów światowych.<br />
Bada się także defekty typu „haze”, OSF, S-PITS oraz przydatność różnych materiałów do procesów<br />
geterowania wewnętrznego.<br />
W Zakładzie opracowano procesy technologiczne wytwarzania krzemu, w których:<br />
• osiągnięto kontrolowaną zawartość tlenu w monokryształach krzemu <strong>na</strong> poziomie 6,5 ÷ 8,7*10 17 atomów<br />
<strong>na</strong> cm 3 lub 8,7 ÷ 9,5 atomów <strong>na</strong> cm 3 oraz wdrożono oprogramowanie do automatycznej kontroli<br />
procesów wzrostu kryształów);<br />
• sterując warunkami topienia i przepływu argonu z<strong>na</strong>cząco ograniczono wpływ migracji węgla w krzemie<br />
podczas wzrostu kryształów (standardowa zawartość węgla w wytwarzanych monokryształach krzemu<br />
jest niższa niż 2,5*10 16 atomów <strong>na</strong> cm 3 );<br />
• uzyskuje się monokryształy Φ 1˝ , Φ2˝ i Φ3” o nietypowych orientacjach (, , , ,<br />
, , , , , );<br />
• polerowane płytki krzemowe o średnicach do Φ100 mm i grubościach >2000 µm charakteryzują się<br />
tolerancją grubości TTV i falistości