Beata StaÅkiewicz - Instytut Fizyki
Beata StaÅkiewicz - Instytut Fizyki
Beata StaÅkiewicz - Instytut Fizyki
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
Technologia TPP umoŜliwia wytwarzanie wielu odosobnionych, bardzo dobrze<br />
przewodzących mikroobiektów i pozwala otrzymywać polimerowe mikrostruktury<br />
pokryte metalem, albo liczne odosobnione, izolowane obiekty polimerowe<br />
rozmieszczone na warstwach metalicznych [118]. Technika TTP oparta o nadruk<br />
laserowy jest obecnie jedną z najbardziej obiecujących metod w przyszłym<br />
wytwarzaniu 3D metamateriałów o duŜej powierzchni [117, 118].<br />
III Otrzymywanie złoŜonych struktur 3D<br />
Nanostruktury typu metal-dielektryk moŜna wytworzyć dzisiaj róŜnymi<br />
technologiami. Znaczną uwagę skupiły na sobie ostatnio dwie metody: nadruki<br />
za pomocą wiązek elektronowych (EBW) [119] oraz chemiczne osadzanie<br />
zogniskowanych wiązek jonowych (FIB-CVD) [119]. Metody te pozwalają<br />
otrzymywać 3D struktury, których nie moŜna uzyskać przy zastosowaniu<br />
dotychczasowych tradycyjnych technik, jak metody optyczne i litograficzne.<br />
Rys. VIII. a) obraz struktury multiwarstwej Ag-Au-Ag (uzyskany z mikroskopu sił<br />
atomowych) przygotowanej w procesie stereolitografii wiązek elektronowych;<br />
b) obraz (uzyskany ze skaningowego mikroskopu jonowego) struktury poprzecznego<br />
obwodu wykonanego techniką VIB-CVD (przewodzące druty zawierają Ga oraz W)<br />
(na podstawie [111]).<br />
Opisane techniki nanoprodukcji oferują jedyne w swoim rodzaju metody<br />
i procedury wytworzenia złoŜonych struktur 3D, jednakŜe ich stosowanie ograniczają<br />
właściwości stosowanych materiałów oraz długi czas wytwarzania.<br />
Ostatnio, dzięki zastosowaniu zmodyfikowanego procesu MEMS,<br />
wyprodukowano w Sandia National Labs [120], trójwymiarowy, wolframowy kryształ<br />
fotoniczny. Próbkę kryształu fotonicznego, którego szkielet tworzył dwutlenek<br />
krzemu wypełniono warstawami wolframu o grubości 500 nm.<br />
Produkcję mikrokomponentów moŜna wykonywać równieŜ przy zastosowaniu<br />
techniki LIGA. Nazwa jest akronimem odsyłającym do głównych kroków procesu<br />
produkcyjnego takich jak: głęboka litografia promieniowaniem X (deep X-ray<br />
lithography − DXRL), galwanoplastyka (electroforming) oraz modelowanie<br />
plastyczne (plastic moulding). Technologia ta stwarza moŜliwość masowej produkcji<br />
mikrokomponenetów, po znacznie obniŜonych kosztach. W Sandia National Labs<br />
uŜyto jej do produkcji 3D sieci fotonicznej [120].<br />
Przegląd innych zaawansowanych metod technologicznych otrzymywania<br />
mikrostrukturalnych trójwymiarowych metamateriałów znajduje się w pracy [111].<br />
96
Change language