Beata Staśkiewicz - Instytut Fizyki

Rys. VI Obraz uzyskany ze skaningowego mikroskopu elektronowego
przedstawiający pole emisyjne czterowarstwowej struktury SSR-a; a) widok
normalny; b) widok powiększony, ukośny (na podstawie [111]).
Kolejnym sposobem uzyskania 3D wielowarstwowego materiału
o ujemnym współczynniku załamania, moŜe posłuŜyć proces oparty o głębokie
anizotropowe wytrawianie.
Wytwarza się najpierw płaszczyznę złoŜoną z przemiennych warstw metalu
i dielektryków o poŜądanej grubości, następnie wykonuje się głębokie wytrawianie
uŜywając maskę zawierającą stosowne kształty (wzory) próbki, która jest
otrzymywana stosownym procesem litograficznym. (rys. VI). Metoda ta wymaga
zastosowania trudnych materiałów i procesów wytwarzania, włączając w to staranny
dobór, masek odpornych na procesy wytrawiania oraz optymalizacji procesów
trawienia zarówno warstw metalu jak i warstw dielektrycznych.
II Technika fotopolimeryzacji dwu-fotonowej (TTP)
Techniki tej dość często uŜywano przez ostatnie kilka lat do wytwarzaniu 3D
próbek metamateriałów [117], poniewaŜ jest znacznie szybsza od standardowej,
polegającej na uŜyciu pojedynczej wiązki światła laserowego do obróbki matrycy
polimerowej i nadaje się do implementacji do produkcji układów o wysokim stopniu
integracji. Technika ta wykorzystuje nieliniowy wielofotonowy proces obróbki
do polimeryzacji materiału.
Zaproponowana metoda umoŜliwia równoczesny nadruk więcej niŜ 700
struktur polimerowych o jednakowych wymiarach geometrycznych. Metalizację
struktur osiągnięto za pomocą osadzania cienkich warstw zawierających małe
cząsteczki srebra (rys. VII).
Rys. VII Obraz uzyskany ze skaningowego mikroskopu elektronowego
przedstawiający strukturę otrzymana technologią TTP.
a) Wolnostojąca struktura zbudowana z elementarnych sześcianów, których objętości
wypełnia powietrze, połączonych w pary o wysokości ~ 4,6 µm;
b) Powleczona srebrem polimerowa struktura zbudowana z sześciennych kostek (patrz
powiększenie z rys. a) (o rozmiarze 2 µm) z mikroskopową spręŜyną na powierzchni
(wewnętrzna średnica spręŜyny wynosi około 700 nm) (na podstawie [111]).
95