Beata Staśkiewicz - Instytut Fizyki

Ponadto ta metoda wytwarzania pozwala otrzymywać nieprostokątne ściany boczne
o kątach około 10˚ [109] (rys. V) względem normalnych do wszystkich boków
próbki.
Rys. V. Dwa moŜliwe sposoby wytworzenia wielowarstwy metalowo– dielektrycznej;
a) standardowe osadzanie [109] pozwala otrzymać końcowy trapezoidalny kształt
końcowej struktury o grubości nie większej niŜ 15-20% grubości warstwy
rezystywnej; b) zaproponowana wytrawiona struktura, zawierająca gruby stóg (grubą
stertę) warstw metalowo-dielektrycznych głęboko wytrawionych w celu otrzymania
3D płytki metamateriału (na podstawie [115]).
Grupa badawcza ze Stuttgartu [116] zasugerowała pomysł ominięcia problemu
związanego z uzyskiwaniem nieprostokątnych ścian bocznych oraz cienkich stosów
warstw materiałów o ujemnym współczynniku załamania. Według nich zrealizowanie
3D warstw takich materiałów dla zakresu optycznego, polegałoby na zastosowaniu
techniki warstwowej, podobnej do tej uŜytej podczas produkcji 3D kryształów
fotonicznych [116]. W przeprowadzonym eksperymencie wytworzono strukturę
czterowarstwowych, rozszczepionych rezonatorów kołowych (SSR-ów). Pojedynczą
warstwę SSR-a wyprodukowano przez naparowanie metalu, naświetlanie wiązkami
elektronowymi oraz wytrawianie metalu za pomocą wiązki jonów. PoniewaŜ
pojedynczych warstw SSR-ów nie moŜna seryjnie układać w warstwy, powierzchnie
warstw zawierających SSR-y spłaszczano, stosując procedurę planaryzacji
(chropowatość powierzchni kontrolowano z dokładnościa do 5 nm). Procedury
wytwarzania pojedynczych warstw, planaryzacji oraz bocznego ustawienia
późniejszych warstw, powtarzano kilkakrotnie, zyskując w ten sposób
czterowarstwową próbkę SSR-a [116] (rys. VI).
94