Beata StaÅkiewicz - Instytut Fizyki
Beata StaÅkiewicz - Instytut Fizyki
Beata StaÅkiewicz - Instytut Fizyki
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
Rys. IV a) Schemat (widok z boku) poszczególnych warstw metamateriału;<br />
b) obraz N wytworzonych warstw, widziany w mikroskopie elektronowym (rozmiar<br />
liniowy poszczególnych kostek to około 400 nm) (na podstawie [111]).<br />
Realizacja powyŜszej struktury to pierwszy krok wykonany w kierunku wytworzenie<br />
3D metamateriału fotonicznego, lecz uŜycie w tym przypadku metody EBL okazało<br />
się być zawodne. Zasadniczy problem wynikał z faktu ograniczenia całkowitej<br />
grubość struktury grubością próbkowanych e-wiązek. Całkowita osadzana grubość<br />
warstw powinna normalnie wynosić co najmniej 15–20% grubości warstwy oporowej<br />
(rys. V). Wartość ta zwykle nie przekracza 100 nm. Jak juŜ wcześniej wspomniano<br />
(przy wytwarzaniu 2D metamateriałów metodą EBL), otrzymanie próbki, której<br />
wysokośc jest większa od szerokość jest powaŜnym wyzwaniem technologicznym.<br />
93