22.01.2014 Views

Beata Staśkiewicz - Instytut Fizyki

Beata Staśkiewicz - Instytut Fizyki

Beata Staśkiewicz - Instytut Fizyki

SHOW MORE
SHOW LESS

Create successful ePaper yourself

Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.

Rys. IV a) Schemat (widok z boku) poszczególnych warstw metamateriału;<br />

b) obraz N wytworzonych warstw, widziany w mikroskopie elektronowym (rozmiar<br />

liniowy poszczególnych kostek to około 400 nm) (na podstawie [111]).<br />

Realizacja powyŜszej struktury to pierwszy krok wykonany w kierunku wytworzenie<br />

3D metamateriału fotonicznego, lecz uŜycie w tym przypadku metody EBL okazało<br />

się być zawodne. Zasadniczy problem wynikał z faktu ograniczenia całkowitej<br />

grubość struktury grubością próbkowanych e-wiązek. Całkowita osadzana grubość<br />

warstw powinna normalnie wynosić co najmniej 15–20% grubości warstwy oporowej<br />

(rys. V). Wartość ta zwykle nie przekracza 100 nm. Jak juŜ wcześniej wspomniano<br />

(przy wytwarzaniu 2D metamateriałów metodą EBL), otrzymanie próbki, której<br />

wysokośc jest większa od szerokość jest powaŜnym wyzwaniem technologicznym.<br />

93

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!