Beata Staśkiewicz - Instytut Fizyki

Rys. III Obraz uzyskany ze skaningowego mikroskopu elektronowego
przedstawiający próbkę wykonaną za pomocą techniki a) NIL; b) próbki struktury
„fishnet” z Ag(25 nm)–SiO x (35 nm)–Ag(25 nm) (na podstawie [113]).
Dla zakresu średniej podczerwieni metamateriał tworzyły uporządkowane
tablice skrzyŜowanych, symetrycznych rezonatorów (w kształcie litery L o
minimalnym rozmiarze 45 nm), wykazujących ujemne przenikalności dla fal o
długości λ≈ 3,7 µm oraz λ≈ 5,25 µm. Był to jak dotąd najmniejszy rozmiar struktury w
zakresie 100 nm – 45 nm dla bliskiej i średniej podczerwieni. Wcześniej metodę NIL
z powodzeniem wykorzystywano przy produkcji planarnych, chiralnych
metamateriałów fotonicznych w celu ich badania oraz jako zastosowanie do nowych
efektów polaryzacyjnych [111].
Od niedawna moŜliwa jest prostsza metoda NIL wytwarzania 2D struktur
metalicznych [111]. Technika ta w głównej mierze opiera się na wtłaczaniu gorącego
metalu (np. Al) przy udziale związków chemicznych jak SiC [111]. W takim
podejściu metalową nanostrukturę moŜna uzyskać bezpośrednio przez nadruk na
metalowych substratach, bez konieczności wykonywania dodatkowych czynności
produkcyjnych, co niewątpliwie upraszcza proces produkcji oraz znacząco wpływa na
obniŜenie kosztów wytwarzania.
E.43 Metody otrzymywania metamateriałów 3D
I Otrzymywanie struktur wielowarstwowych
Teoretyczny projekt struktury wielowarstwowej wykazującej ujemny
współczynnik załamania, ulegał stopniowym modyfikacjom, i został zrealizowany
przez grupę badawczą w Karlsruhe [115] w postaci układu zawierającego trzy
warstwy (aktualnie siedem), Próbki ze srebra wykonano za pomocą litografii wiązek
molekularnych, dodając osadzanie warstw metalowych i dielektrycznych, a proces
produkcyjny przebiegał analogicznie jak miało to miejsce w przypadku wytwarzania
pojedynczej warstwy metamateriału [109] (rys. IV). Wyniki uzyskane tą metodą (n’ =
− 1, λ ≈ 1,4 µm) były bliskie oczekiwaniom teoretycznym.
92