Beata Staśkiewicz - Instytut Fizyki

Rys.2.4. Schematyczne przedstawienie systemu MOVPE( na podstawie [22])
Technika MOVPE nie wymaga skomplikowanej aparatury, aby moŜna ją
było wykonać. Wymagany jest przede wszystkim szczelny reaktor i grzanie
indukcyjne lub radiacyjne (lampy halogenowe) grafitowej podstawy podłoŜa.
WaŜne zalety tej metody to przede wszystkim:
• mała czułość na zmiany temperatury procesu;
• łatwość sterowania składem osadzanej warstwy;
• moŜliwość otrzymywania jednorodnych struktur na duŜych
powierzchniach;
Głównie te czynniki zadecydowały o tym, Ŝe w technologii MOVPE stosunkowo
prosto moŜna otrzymać wielowarstwowe heterostruktury o poŜądanych
parametrach, aŜ do wielokrotnych studni kwantowych włącznie.
2.3 Właściwości supersieci półprzewodnikowych
Właściwości supersieci róŜnią się od właściwości półprzewodników wchodzących
w jej skład [7]. W efekcie kwantowego efektu rozmiarowego – w wyniku
nakładania się funkcji falowych poszczególnych studni, moŜliwemu dzięki małej
grubości barier – w paśmie przewodnictwa i walencyjnym, powstają podpasma 3 .
Zmieniając szerokość warstw (poprzez zmianę szerokości przerw energetycznych
oraz grubości barier i studni) moŜna wpływać na połoŜenie i rozmiary podpasm,
regulować wielkość przerw wzbronionych oraz masy efektywne nośników.
3
W literaturze często spotyka się równieŜ termin minipasma lub subpasma. W supersieciach
periodycznych istnieje moŜliwość obliczenia energii minipasm kilkoma sposobami. MoŜna to uczynić
stosując metodę ciasnego wiązania bądź teŜ dokonać rachunku w sposób ścisły. Oba sposoby prowadzą
do uzyskania przybliŜonych wzorów na energię minipasm zaleŜną od liczb: q – numeruje stany
w obrębie minipasma i ma sens wektora falowego; j – numeruje kolejne minipasma [7].
15