22.10.2013 Views

Publikácia v PDF formáte - Prírodovedecká fakulta - Univerzita ...

Publikácia v PDF formáte - Prírodovedecká fakulta - Univerzita ...

Publikácia v PDF formáte - Prírodovedecká fakulta - Univerzita ...

SHOW MORE
SHOW LESS

Create successful ePaper yourself

Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.

35<br />

Magdaléna Kadlečíková<br />

Obr.2. 30 Zariadenie na depozíciu tenkých diamantových vrstiev na<br />

Katedre mikroelektroniky, Fakulty elektrotechniky a informatiky<br />

Slovenskej technickej univerzity v Bratislave<br />

Magdaléna Kadlečíková<br />

Obr. 2. 31 Vnútorná časť reaktora vyššie zobrazeného zariadenia. Na obrázku<br />

vidno volfrámové vlákna na molybdénových držiakoch, na ktorých dochádza<br />

k pyrolýze uhľovodíkových plynov. Substrát pre depozíciu diamantových vrstiev<br />

sa nachádza na kovovom stolčeku pod vláknami

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!