1 Úvod:
1 Úvod:
1 Úvod:
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
Obr.3 SEM fázového složení wolframového atomizátoru (obraz odražených elektronů) po 100<br />
atomizačních cyklech. Obraz detekuje vznik nehomogenit uvnitř materiálu.<br />
Do oblasti elektronové mikroskopie patří i metoda prozařovací elektronové mikroskopie TEM<br />
(Transmission Electron Microscopy). Prozařovací elektronové mikroskopy využívají<br />
k zobrazení vzorku prošlých elektronů. Metoda TEM se používá při analýzách velmi tenkých<br />
vzorků.<br />
3 Rozdělení elektronových mikroskopů:<br />
Elektronová mikroskopie je provozována v mnoha režimech, z nichž nejvýznamnější jsou:<br />
1. transmisní elektronová mikroskopie (TEM), kdy se "prozařuje" celý vzorek najednou<br />
a detekují se elektrony na fluorescenčním stínítku po průchodu vzorkem. Je zřejmé, že<br />
vzorek musí být dostatečně tenký (ultratenké řezy asi 50 nm), aby elektrony nebyly<br />
vzorkem zcela pohlceny. Při vysokých urychlovacích napětích (několik set kV) se<br />
rozlišení této varianty při splnění dalších podmínek blíží rozlišení jednotlivých atomů<br />
(HRTEM - TEM s vysokým rozlišením);<br />
2. skenovací (rovněž známá pod názvem rastrovací) elektronová mikroskopie (REM).<br />
Metoda se používá nejčastěji pro zobrazení "tlustých" vzorků. Primární elektronový<br />
paprsek skenuje (rastruje) povrch vzorku řádek po řádku synchronně s elektronovým<br />
paprskem v pozorovací obrazovce. Podle režimu zobrazení se tak bod po bodu vytváří<br />
celkový obraz. Z každého bodu jsou primárním svazkem vybuzeny signály, které<br />
přináší užitečné informace o topografii (sekundární elektrony * ), materiálovém složení<br />
(zpětně odražené elektrony ** ) případně chemickém složení (charakteristické rtg.<br />
záření *** ) analyzovaného vzorku;<br />
3. STEM je metodou kombinující oba předchozí režimy (transmisní i rastrovací);<br />
4. rastrovací elektronové mikroskopy s volitelným vakuem (environmentální) jsou<br />
určeny pro biologické aplikace, kdy je možné pozorovat biologické vzorky in vivo,<br />
tedy v původním stavu. Vakuový systém tohoto elektronového mikroskopu umožňuje<br />
ponechat v preparátové komoře přirozené prostředí biologických vzorků (dostatečnou<br />
relativní vlhkost) při tlacích nad 660 Pa (tlak trojného bodu vody);<br />
*<br />
) Sekundární elektrony jsou elektrony uvolněné po dopadu primárního svazku, avšak mají<br />
mnohem menší energii (asi 50 eV). Mohou být uvolněny některými nepřímými procesy.<br />
Sekundární elektrony jsou uvolňovány z tenké povrchové vrstvy a přináší perfektní informaci<br />
o povrchové topografii (prostorový obraz s velkou hloubkou ostrosti).<br />
**<br />
) Zpětně odražené elektrony mají energii srovnatelnou s energií primárního elektronového<br />
svazku. Vystupují z větší hloubky (řádově desítky mikrometrů) a přináší tedy informaci<br />
o lokálních změnách materiálu. Hovoříme o materiálovém kontrastu.<br />
*** ) Charakteristické rentgenové záření je buzeno vysokoenergetickými elektronovými svazky<br />
a nese informaci o chemickém složení. Detekcí rtg. záření buď s rozkladem podle energie<br />
(polovodičové detektory) nebo vlnové délky (krystalové detektory) je možná kvalitativní i