1 Úvod:

mikroskopy, které využívají k zobrazení vzorku těchto typů elektronů ve spojení
s rastrováním povrchu se nazývají rastrovací (řádkovací) elektronové mikroskopy.
Elektronový paprsek urychlený v elektrickém poli je velmi dobře stabilizován a může být
vychylován systémem elektromagnetických cívek v osách x, y. Povrch je postupným
vychylováním snímán řádek po řádku a takto je postupně skládán obraz vzorku (princip
známý z televize) – toto je princip rastrovací elektronové mikroskopie.
Sekundární elektrony (SE) jsou detekovány scintilačními detektory, jejichž katoda “odsává”
SE z prostoru nad vzorkem (rychlé, velmi energetické, odražené elektrony se tak do
scintilátoru nemohou dostat). Vznikající signál se převádí na zobrazovací jednotku a čím větší
je počet SE, tím světlejší bod dostáváme. SE se mohou dostat maximálně z hloubky několika
nanometrů, proto zobrazení SE přináší informaci pouze o povrchové vrstvě (obr. 2).
Obr.2 SEM zobrazení povrchu wolframového atomizátoru (obraz SE) po opakované
atomizaci vzorku s vysokým obsahem H2SO4.
Odražené elektrony, jejichž počet je závislý na protonovém čísle, jsou detekovány vždy
dvěma detektory a vzniklý obraz dává informaci o fázovém složení pevných vzorků. Fáze
s vyšším průměrným protonovým číslem odrážejí elektrony více a odpovídají jim tak na
obrazovce světlejší plochy (obr. 3).