Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
42 Технические науки<br />
«<strong>Молодой</strong> <strong>учёный</strong>» . № 3 (50) . Март, 2013 г.<br />
Рис. 3. Атомно-силовые изображения образца 12CVDOK22, размер изображения:<br />
а) 0,8 мкм х 0,8 мкм; б) 0,4 мкм х 0,4 мкм<br />
– в потоке атмосферного воздуха в присутствии паров<br />
этанола;<br />
– в потоке атмосферного воздуха в присутствии паров<br />
воды;<br />
– в потоке атмосферного воздуха при освещении<br />
образца.<br />
Диагностирование сенсорных наноструктур синтезированных<br />
методом химического осаждения из паровой<br />
фазы, производилось с помощью спектроскопии адмиттанса<br />
в диапазоне частот от 1 Гц до 5 МГц. [16–18]<br />
Выявлено, что пленочные наноматериалы на основе<br />
диоксида олова и станната цинка, созданные на подложках<br />
окисленного кремния обладают чувствительностью<br />
к газам-реагентам при комнатной температуре в переменном<br />
электрическом поле.<br />
Данные спектроскопии импеданса можно интерпретировать<br />
2 – мя связанными R – CPE цепочками. При<br />
этом одну цепь можно связать объемом зерен, а вторую<br />
цепь – с областью характеризующую межзеренные границы<br />
металлооксидов. Показано, что можно управлять<br />
резистивно-емкостными свойствами образцов по причине<br />
различного дипольного момента анализируемых мо-<br />
лекул газов-реагентов, что можно использовать для увеличения<br />
чувствительности полупроводниковых газовых<br />
сенсоров [19–21] на основе металлооксидов. [22–25]<br />
Заключение<br />
Таблица 1. Параметры для релаксаторов<br />
В ходе выполнения работы на кафедре микро- и наноэлектроники<br />
была создана лабораторная установка, позволяющая<br />
создавать нанокомпозиты на основе двухкомпонентных<br />
систем, методом CVD, что позволит формировать<br />
наноструктурированные материалы различного функционального<br />
назначения, в том числе для сенсорных<br />
устройств, детектирующих восстанавливающие газы.<br />
При варьировании условий синтеза были получены<br />
образцы наноматериалов на основе металлооксидов. Показана<br />
возможность создания пленочных наноструктур на<br />
основе оксида олова, оксида цинка и станната цинка Выявлено,<br />
что дополнительный отжиг при температуре 600<br />
°С в атмосфере воздуха в течение 20 минут приводит к окислению<br />
SnO до SnO 2.<br />
Выявлено, что полученные материалы представляются<br />
собой корпускулярно-пористые системы, состоящие<br />
Атмосфера<br />
R1, МОм<br />
Образец 12CVDOK22 комнатная температура<br />
R2, МОм A1, нФ A2, нФ n1 n2 воздух 5 1,4 0,4 3,96 0,75 0,44<br />
увлажненный воздух 1,3 3,7 0,2 4,3 0,63 1<br />
ацетон 36,8 0,1 0,4 3,96 0,95 0,44<br />
Атмосфера<br />
R1, кОм<br />
Образец 12CVDOK11 температура 350 ˚С<br />
R2, кОм A1, нФ A2, нФ n1 n2 воздух 19,3 4,7 0,3 4,16 0,95 1<br />
спирт 4.1 2,5 0,4 3,93 0,99 0,5
Change language