Doktorska disertacija - Prirodno

2. Teorijski deo
Za amorfne supstance , s r e d n j a d u ž i n a s l o b o d n o g p u t a e l e k t r o n a p o s m a t r a s e k l a s i n o ,
kao niz preskoka sa jednog na drugo stanje. Kao rezultat preskoka, u svakom momentu
vremena, elektron je lokalizovan oko jednog atoma. Takva lokalizacija, u p r i s u s t v u v e e g
broja jednakih (istorodnih) atoma, ne mora da postoji. Medjutim, ako se preskok vrši po
primesnim atomima onda nema kontinualnih prelaza, ve d i s k r e t n i h , z a k o j e j e p o t r e b n a v e a
k i n e t i k a e n e r g i j a . K a o p o s l e d i c a o v a k v o g s t a n j a e l e k t r o n a i m a m o o s e t n o s n i ž e
provodljivosti u amorfnim supstancijama ( P u r e n o v i , « 1978).
Prva teorijska istraživanja o p o n a š a n j a o b i n i h p r i m e s a t i p a d o n o r a itora l i au k c e p
amorfnim poluprovodnim materijalima uveo je Fischer (Gubanov, 1968). F l u k t u i r a j u i n i v o i
koji se javlaju kod amorfnih materijala s u , n a n e k i n a i n , a n a l o g n i d e f e k t n i m n i v o i m a
kristalne rešetke, tipa atomskih praznina ili atoma u intersticijskom položaju, ali bitno se
r a z l i k u j u o d p o s l e d n j i h u s l e d e e m : n i v o d e f e k t a u k r i s t a l u i m a d i s k r e t n i s p e k t a r
f l u k t u i r a j u i i m a n e p r e k i d n i sUzmimo p e k t a r . da se primesni atomi u amorfnoj supstanci
n a l a z e u i s t o m p o l o ž a j u k a o u k r i s t a l u , n e i z a z i vprestrojavanje a j u i b i t n i okolnih j e atoma.
Zbog toga š t o n e m a s t r o g o g r e d a u r a s p o r e d u a t o m a , m o g u n o s t p o m e r a n j a a t o m a o k o
d e f e k a t a j e z n a t n o v e a n e g o u k r i s t a l u . T r e b a l o b i o e k i v a t i d a e , u s l e d v e e g r a z d v a
susedna atoma ili jona, energija odbijanja biti znatno manja, što dovodi do sniženja
energetskog nivoa elektrona primesa. Verovatno da bi to moglo biti razlog za slabiju
j o n i z a c i j u p r i m e s a u a m o r f n i m p o l u p r o v o d n i k i m s u p s t a n c i j a m a . D a k l e , u s t r u k t u r
a m o r f n o g d e l a o k s i d n o g s l o j a l e g i r a j u e k o m p o, nmahom, e n t e s e nalaze u elementarnom
stanju.
2.3. Koncept mikrolegiranja
Mikrolegiranje je kao postupak najzastupljenije u mikroelektronskoj tehnologiji, n a r o i t o
u tehnologijama tankog filma, gde se izvodi putem jonske implantacije, hemijskom
depozicijom iz gasne faze i plazmahemijskim procesima. U drugim, konvencionalnim,
tehnologijama, mikrolegiranje se najviše primenjuje kod proizvoda od e l i k, abilo
da se želi
ostvariti otvrdnjavanje površine, da se poboljšaju o d r e đ e n e tehnološke osobine kod e l i n i h
limova, ili da se poboljšaju erozivno-abrazivne osobine. Druga široka oblast primene
mikrolegiranja i modifikovanja strukture se nalazi u oblasti elektrokatalize i katalize, gde se
prognoziraju i poboljšavaju kiselinsko-bazne osobine i proces razmene elektrona u
adsorpciono- k a t a l i t i kprocesima. i m Posebno je rasprostranjena primena mikrolegiranja kod
elektrodnih materijala, koji služe za konverziju hemijske u e l e k t r i nenergiju, u kao i kod
najsavremenijih elektrohemijskih procesa p r e i š a v a n voda j a u elektrohemijskim reaktorima
u kojima funkcionišu najsavremeniji elektrodni materijali. U poslednje vreme, mikrolegiranje
zauzima z n a a j n omesto
kod nanostrukturnih materijala, k e r a m i k i hnanokristalnih
prahova,
24