GaAs, InP, GaN
GaAs, InP, GaN
GaAs, InP, GaN
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Lateralna epitaksja<br />
(ELOG-Lateral Epitaxial Overgrowth)<br />
dyslokacje<br />
w warstwie<br />
buforowej<br />
jamki trawienia<br />
okno wzrostu<br />
bufor<br />
szafir<br />
ELOG<br />
maska<br />
Model filtrowania dyslokacji w układach<br />
warstwowych o dużym niedopasowaniu<br />
sieciowym<br />
bufor<br />
<strong>GaN</strong>/szafir:<br />
– gęstość dyslokacji przenikających ELOG<br />
10 8-11 cm -2<br />
10 6 cm -2