Plazma (<strong>iyon</strong>) Nitrürleme Yöntemi <strong>ve</strong> Malzeme Özellikleri Üzerindeki Etkisiyoluyla bir yada birbirine bağlı birkaç işlemle, amacauygun özellik değişmelerinin elde edilmesi şeklindetanımlanabilir. Bu tanımdan anlaşılacağı üzere; ısılişlem, parçaların belli bir sıcaklığa kadar ısıtılması, busıcaklıkta uygun bir süre bekletilmesi <strong>ve</strong> belli birprograma uygun olarak sıcaklığın oda sıcaklığınadüşürülmesi şeklinde üç kademede gerçekleştirilir.Nitrürasyon işleminin uygulanması sırasında dabenzer prosedür takip edilir.Nitrürasyonla yüzey sertleştirme işlemi ile çeliğekazandırılan özellikler şöyle sıralanabilir:1- Yüksek bir yüzey sertliği <strong>ve</strong> aşınmamuka<strong>ve</strong>meti,2- Temperlenmeye karşı yüksek direnç <strong>ve</strong>yüksek sıcaklık sertliği,3- Yüksek yorulma muka<strong>ve</strong>meti <strong>ve</strong> düşükyorulma çentik hassasiyeti,4- Paslanmaz olmayan çelikler için iyileşmişkorozyon direnci,5- Diğer yüzey sertleştirme yöntemlerine göreyüksek boyutsal kararlılık.Nitrürasyonla yüzey sertleştirme işleminde, çeliğinyüzeyine difüzyon ile azot <strong>ve</strong>rilerek, <strong>malzeme</strong>ninyüzeyindeki özellikler değiştirilir. Azotun atom çapıkarbona göre daha küçük olduğundan demir kafesinenüfuz etmesi daha kolay olur. Azotun alınması,yüksek sıcaklıklarda ostenitik katı çözeltisinde çokhızlı olur. Ancak azot bağlantılarının (nitrür) dışcidarda yığılması, yüzeyde kırılgan bir yapınınoluşmasına neden olur. Ayrıca; ostenit-ferritdönüşümünden dolayı hacim değişmesi de meydanagelir <strong>ve</strong> bu tabaka parçalanarak pul pul dökülür. Bunedenlerden dolayı azot, yüksek alaşımlı çelikler hariçostenitik yapıya değil, ferritik yapıya nüfuz ettirilir.Bu esnada, oldukça ince <strong>ve</strong> kırılgan bir yapı oluşur <strong>ve</strong>azot içeren bölgede nitrürler çökelir. Çökelmedeoluşan alaşım nitrürleri, martenzit sertliğinden de fazlasertliği olan bir tabaka meydana getirir.Kullanılabilir, kırılgan olmayan <strong>ve</strong> sert olan azotuzenginleştirilmiş yüzey tabakası, sadece ferritikbölgedeki azot difüzyonu ile sağlanabildiğinden,difüzyon sıcaklığının Ac 1 (ötektoid sıcaklığı)sıcaklığının altında olması zorunludur. Ancak azotelementinin bu sıcaklığı düşürdüğü de dikkatealınmalıdır. Azot-demir sisteminde ötektoid sıcaklığı590 0 C’dır. Bu noktanın üzerinde (ferrit+ostenitbölgesi) azot difüzyonu yapılacak olursa azotdifüzyonu ile birlikte sürekli <strong>ve</strong> artarak ferrit-ostenitdönüşümü olur. Bu durum yüzeyde kırılgan bir tabakaoluşmasına neden olur. Bu nedenle nitrürasyonuygulaması, yapıda ostenitin bulunmadığı düşüksıcaklıklarda yapılmalıdır.Alaşımsız <strong>ve</strong> düşük alaşımlı çeliklerde 590 0 C’ınaltındaki difüzyon sıcaklıklarında yüksek sertlikdeğerine ulaşılır, ancak sıcaklık düşük olduğundandifüzyonda yavaş olur. Ayrıca, düşük sıcaklıklardanitrürlerin çökelmesi çok ince olur. Difüzyonsıcaklığının düşüklüğü, çökelen nitrürlerle azotdifüzyonunun zorlaşması nedenlerinden dolayı,sementasyonda elde edilen sertleşme derinliklerineulaşılmak istenirse uzun süre beklemek gereklidir.Şekil 1’de 500 0 C nitrürasyon sıcaklığında zamanabağlı olarak elde edilen nüfuz derinliği <strong>ve</strong>rilmiştir [1].Yüksek sıcaklıklara çıkıldığında, aynı süreler içindaha fazla sertlik elde edilebilir. Ancak çok uzunişlem sürelerinde sertlikte azalma olur. Örneğin 20saatlik nitrürasyon süresi için 500 0 C’de 0,3 mm’liknitrürasyon derinliğine ulaşılırken 550 0 C’de 0,45mm’lik nitrürasyon derinliğine ulaşılmaktadır. Ancakbu durumda sertlik 100-200 Vickers Sertlik Değerikadar azalır. Daha yüksek sıcaklıklara çıkıldığındasertlik azalması daha fazla <strong>ve</strong> ferritin ostenitedönüşme tehlikesi daha büyüktür.Zaman (saat)807060504030201000 0,2 0,4 0,6 0,8 1Nitrürasyon Derinliği (mm)Şekil 1. Zamana Bağlı Olarak Nitrürasyon DerinliğiGaz, banyo <strong>ve</strong> <strong>iyon</strong> (<strong>plazma</strong>) nitrürasyon olmak üzeredeğişik nitrürasyon teknikleri vardır.Gaz nitrasyon yöntemiyle çok sert nitrür tabakalarıoluşturmak mümkündür. Çok sert nitrürler;alüminyum, titan, molibden, vanadyum <strong>ve</strong> kromla500±10 o C sıcaklıklarda elde edilebilir. Ancak busıcaklıklar difüzyonu olumsuz yönde etkilediğinden,çok derin nüfuz derinliklerine ulaşmak zordur.Difüzyon hızı düşük olduğundan, işlem için gerekensürede oldukça fazladır. Gaz nitrasyonda, azot içerengaz olarak genellikle amonyak (NH 3 ) kullanılır.Parçalar, kontrol atmosferli gaz sızdırmaz fırıniçerisinde 500-520 o C kadar yavaş yavaş ısıtılır.Gerekli işlem süresi sonunda, parça tekrar yavaş yavaşsoğutulur. Nitrasyondan önce, yüzey tabakasındaoksitlenmiş, karbonu azalmış, yağlı bir durumolmamalıdır.Banyo nitrasyon, yüksek miktarda siyanat içerensiyanürlü tuz banyolarında yapılır. Bu ortamda,ÖZDEMİR, ERTEN42
Plazma (<strong>iyon</strong>) Nitrürleme Yöntemi <strong>ve</strong> Malzeme Özellikleri Üzerindeki Etkisiyüksek sıcaklıklarda siyanürden (CN) karbonayrışmasına benzer olarak, düşük sıcaklıklarda azotayrıştırılarak çeliğe <strong>ve</strong>rilir. Banyo nitrasyonun gaznitrasyona göre üstün tarafı, banyo nitrasyonunda 500o C gibi düşük sıcaklıklarda daha yüksek sertliğeulaşılabilmesi <strong>ve</strong> küçük nüfuz derinliklerinde, eşitderinliğe daha kısa sürede ulaşılabilmesidir.Parçaların tuz banyolarına daldırılıp alınması da, gazfırınlarındaki nirtasyona nazaran daha kolaydır.Ayrıca koruyucu kaplama yapılmaksızın, bölgeselolarak kısmi daldırma yapılarak, bölgesel nitrasyonyapılabilir. Ancak dezavantajı, hızlı ısınma nedeniyledaha çok deformasyon tehlikesi oluşma ihtimalininolmasıdır. Hız çeliklerinin dışında, banyo nitrasyonudaha az kullanılır. Daha çok, yüksek aşınmadayanımlı yüzey elde etmek <strong>ve</strong>ya değişken zorlanmahallerinde yüksek sürekli dayanım oluşturmak içintercih edilir. Banyo nitrasyon % 25-50 siyanür <strong>ve</strong> %50 siyanat içeren siyanür banyolarında yapılır. Banyosıcaklığı genellikle 500-580 o C arasındadır. Nitrasyonsüresi, normal olarak 2 saattir. Nitrasyon sonrasıparçalar suda ani olarak soğutulurlar. Büyükgerilmelerin oluşmasını engellemek için 80 o C’yekadar ısıtılmış banyolarda kullanılabilir. Bazıdurumlarda havada soğutma da uygulanabilir. Bunitrasyon yöntemi özellikle aşınmaya karşı dayanımınyüksek olması istenilen yerlerde tercih edilen biryöntemdir.3. PLAZMA (İYON) NİTRÜRLEMEÇeliklerin yüzeylerine azot <strong>ve</strong>rilerek uygulanannitrürasyon işleminde uygulama süresinin çok uzunolması, bu sürenin kısaltılması yönünde araştırmacılarısürekli meşgul etmiştir. Yapılan araştırmalarsonucunda, 1960’lı yıllardan itibaren endüstriyelanlamda kullanım alanı bulan <strong>plazma</strong> nitrürasyon yadadiğer ismiyle <strong>iyon</strong> nitrürleme yöntemi geliştirilmiştir.Plazma nitrürasyon yönteminde azot difüzyonu, metalyüzeyinde <strong>ve</strong> yüzeye çok yakın bölgede termokimyasalreaks<strong>iyon</strong>larla gerçekleştirilir. Azotdifüzyonuyla teşekkül eden nitrürler <strong>ve</strong> <strong>malzeme</strong>ninözelliklerine etkisi, alışılmış diğer nitrürasyonyöntemlerinde olduğu gibidir. Termo-kimyasalreaks<strong>iyon</strong>ların oluşması için gerekli azot, azot gazınınya da azot içeren bir gaz <strong>ve</strong>ya gaz karışımının yüksekgerilimli doğru akım ile <strong>iyon</strong>lara ayrıştırması ile eldeedilmektedir. Bu yöntemde gaz olarak genellikle azotyada amonyak kullanılmaktadır. Nitrür partiküllerininoluşması için gerekli olan aktifleşme enerjisi ise, fırıncidarı ile parça arasında oluşturulan yüksek gerilim ileazot <strong>ve</strong>rilecek parçaya doğru ivmelendirilen <strong>iyon</strong>larınparça yüzeyini bombardımanı sonucunda açığaçıkmaktadır.Şekil 2’de <strong>plazma</strong> nitrürasyon yönteminingerçekleştirildiği sistemin şematik resmi <strong>ve</strong>rilmiştir.Plazma nitrürleme sistemi; vakum fırını, gaz dağıtımsistemi <strong>ve</strong> elektrik güç kaynağı olmak üzere üç anadonanımdan meydana gelmektedir. Güç kaynağınınkapasitesi, nitrürasyon yapılacak yüzey alanınabağlıdır. 400-800 V arasında doğru akım alınabilentransformatörlerde akım yoğunluğu 1 mA/cm 2seviyesindedir. Gaz jeneratöründe üretilen gazdaN 2 /H 2 oranı genellikle % 2 ile % 25 aralığındadeğişmektedir. Vakum pompası 1-10 torr basınçaralığında çalışabilmektedir. Nitrürasyon işlemisırasında yüzeyin sıcaklığı ölçülmektedir.Nitrürasyon yapılacak parçanın yüzeyi yağ <strong>ve</strong>kirlerden temizlendikten sonra, vakum fırınına katot(negatif) olacak şekilde yerleştirilir. Fırın duvarlarıanot (pozitif) görevi yapar. Fırın 0,01 mbar basıncınakadar bir rotasyon pompası ile vakuma alınır. Fırınduvarları ile iş parçası arasında 100-1500 V arasındabir doğru akım uygulandıktan sonra, fırın içerisineazot yada amonyak gazı, fırın basıncı 1-10 mbardüzeyine gelene kadar yavaş yavaş <strong>ve</strong>rilir.Başlangıçta 1000 V değerine kadar yükselen gerilimfarkı, artan gaz miktarı ile azalarak 600-700 Vcivarında istenilen basınç <strong>ve</strong> sıcaklık sağlandığındasabit duruma gelir. Bu sırada, <strong>iyon</strong>laşmış gazın akkorışını, katotik pozisyonda olan iş parçasını tamamensarmış <strong>ve</strong> parıltılı boşalım adı <strong>ve</strong>rilen ayrışmış gaza ait<strong>iyon</strong>ların parça yüzeyine bombardımanı başlamıştır.Bu <strong>iyon</strong> bombardımanı ile iş parçasında mükemmelbir yüzey temizliği sağlanır. Nitrürasyon için gerekliazot difüzyonu ise, difüzyon için gerekli sıcaklığaulaşıldığında başlar.Plazma nitrürasyon uygulanan yüzeylerde elde edilensertlik profili, diğer nitrürasyon yöntemlerine benzer.Ancak gerek yüzeyde gerekse yüzeye yakınbölgelerde, işlem daha düşük sıcaklıklardagerçekleştiği için daha yüksek yüzey sertlikleri eldeedilebilir. Benzer nedenden dolayı, ölçü değişimi <strong>ve</strong>deformasyon en az <strong>iyon</strong> nitrürasyon yöntemindemeydana gelir. Ayrıca nitrürasyon uygulanmışyüzeyde geçiş bölgesinin çok ince olması yorulmadayanımının artmasına katkıda bulunur.Plazma nitrürasyon yönteminin, diğer nitrürasyonyöntemlerine göre sağladığı üstünlükler şöylesıralanabilir:a- Sadece iş parçasının ısıtılması nedeniyleenerji tasarrufu sağlanır <strong>ve</strong> ısıl <strong>ve</strong>rimyüksektir.b- İşlem süresi açısından değerlendirmeyapıldığında; diğer nitrürasyon yöntemlerinegöre aynı sıcaklık <strong>ve</strong> derinlik için işlemsüresi yaklaşık %50-70 daha kısadır.c- İşlem sırasında ölçü değişimi <strong>ve</strong> deformasyonriski minimum düzeydedir.d- Düşük basınçlarda çalışıldığında gaztasarrufu sağlanabilir.e- Sert <strong>ve</strong> daha az kırılgan bir yüzey eldeedildiği için, yüzey bitirme işlemlerine dahaaz gereksinim duyulur.f- Nitrürasyon yapılmak istenilmeyenyüzeylerin mekanik olarak izolasyonumümkündür.ÖZDEMİR, ERTEN43