07.02.2015 Views

taramalı elektron mikroskobu

taramalı elektron mikroskobu

taramalı elektron mikroskobu

SHOW MORE
SHOW LESS

Create successful ePaper yourself

Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.

EDS-WDS<br />

KARILATIRILMASI<br />

<br />

EDS<br />

<br />

Z≥4 olan elementleri<br />

belirleyebilir.<br />

<br />

WDS<br />

<br />

Z≥4 olan elementleri<br />

belirleyebilir.<br />

<br />

<br />

<br />

Çözünürlük 70-130 eV<br />

Aynı anda birçok elementi<br />

belirleyebilir. (Paralel teknik)<br />

SEM ve TEM ile birlikte<br />

kullanılabilir.<br />

Tipik olarak tarama için 2-3<br />

dk yeterlidir.<br />

<br />

<br />

<br />

<br />

Çözünürlük 2-20 eV<br />

Elementler seri halde (ardışık<br />

olarak) belirlenir. Ancak<br />

çözünürlük oldukça yüksek.<br />

Yüksek oranda x-ışını<br />

oluşumuna ihtiyaç vardır. Bu<br />

yüzden dolayı TEM ile<br />

kullanılması zordur.<br />

Tipik olarak tarama saatler<br />

sürer.<br />

Bahar 2009

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!