taramalı elektron mikroskobu
taramalı elektron mikroskobu
taramalı elektron mikroskobu
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
TARİHSEL GELİİM<br />
<br />
Son yıllarda SEM lerde ortaya çıkan gelişmeler SEM in kullanım alanlarını<br />
genişletmiş ve malzeme analizinde artık birincil araç olarak kullanılmaya<br />
başlanmıştır. Son gelişmeler örneğin<br />
<br />
<br />
<br />
<br />
0.5kV hızlandırma geriliminin kullanılması-<br />
Bilgisayarların efektif kullanımı ile dijital resimleme, kolon ve hassas<br />
<strong>elektron</strong>ik kontroller<br />
EBSD ile oryantasyonların çıkarılması<br />
Düşük vakum altında biyolojik ve hassas numunelerin yüksek<br />
çözünürlükle incelenmesi vb..<br />
<br />
<br />
Elektron sayıcı- Everhart-Thornley detektör’ü, ilk defa Sir Charles Oatley<br />
önerilmiş ancak bugünlerde her firmanın neredeyse kendi geliştirdiği özel<br />
detektörler kullanılmaktadır.<br />
Si-Li X-ışını detektörlerinin dahada geliştirilmesi ile Malzeme analizleri<br />
daha hassas hala gelmiştir. Bunun en önemli kısmı kullanılan<br />
ekranlamanın daha düşük atom numaralı elementlerle yapılıp kalınlığının<br />
oldukca azaltılması SEM in analitik çözme kabiliyetinin artırılması ile<br />
sağlanmıştır.<br />
Bahar 2009
Change language