09.09.2014 Views

Toyo Tanso Karbon Grafit Ürünleri

Create successful ePaper yourself

Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.

PERMA KOTE Ürünler<br />

PERMA KOTE , son derece saflaştırılmış izotropik grafitin <strong>Toyo</strong> <strong>Tanso</strong>'ya özel Kimyasal Buharla Çökeltme (CVD) prosesi<br />

kullanılarak ince bir silikon karbür katmanıyla kaplanmasıyla oluşturulan bir üründür.<br />

■■PERMA KOTE Karakteristiği<br />

●●Silikon karbür katmanının mükemmel oksidasyon<br />

direnci, korozyon direnci ve kimyasal direnci<br />

bulunmaktadır.<br />

●●Silikon karbür katmanı, yüksek sıcaklıklarda kararlıdır<br />

ve son derece serttir.<br />

●●<strong>Grafit</strong> partiküllerinin ayrılmasını ve saçılmasını ve<br />

grafit sübstrattan gaz ve empüritelerin emisyonunu<br />

önler.<br />

●●Hem grafit sübstrat hem de silikon karbür katmanı<br />

yüksek saflıktadır.<br />

●●Hem grafit sübstrat hem de silikon karbür katmanının<br />

yüksek termal iletkenliği ve mükemmel ısı dağıtım<br />

özellikleri bulunmaktadır.<br />

●●Malzeme, çatlamalar ve delaminasyon oluşmayacak<br />

şekilde tasarlanmıştır.<br />

PERMA KOTE Yüzey SEM<br />

100 µm<br />

■■Kaplama Kalınlığı<br />

Standart kalınlığı 120 μm'dir; ancak bu değer 20 ila 500 μm arasında<br />

değiştirilebilir.<br />

■■Uygulama<br />

●●Silikon epitaksiyal büyüme için susseptörler<br />

●●Tek kristal silikon üretim ekipmanı<br />

●●MOCVD susseptörleri<br />

●●Isıtıcılar<br />

●●Isı yayıcılar<br />

●●Oksidasyona dirençli bileşenler<br />

Yüzey İşleme <strong>Ürünleri</strong><br />

Silikon Epitaksiyal Büyüme Sistemi<br />

Bu katalogdaki hiçbir bilgi, <strong>Toyo</strong> <strong>Tanso</strong>'nun önceden onayı olmadan kullanılamaz veya çoğaltılamaz.<br />

56

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!