Framtiden för svensk forskningsinfrastruktur – utkast - Vetenskapsrådet
Framtiden för svensk forskningsinfrastruktur – utkast - Vetenskapsrådet
Framtiden för svensk forskningsinfrastruktur – utkast - Vetenskapsrådet
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
<strong>utkast</strong> till långsiktig plan <strong>för</strong> infrastruktur, 9 maj 2006<br />
nätverk mellan de tre stora renrummen i Sverige, µ-Fab (www.myfab.se) De i nätverket<br />
ingående laboratorierna är Electrumlaboratoriet vid KTH (www.electrumlab.se).<br />
Ångströmlaboratoriet vid Uppsala universitet (www.angstrom.uu.se/msl) och<br />
Nanofabrikationslaboratoriet vid Chalmers (www.mc2.chalmers.se/mc2/nanolab). Nätverket<br />
leds av en oberoende styrelse som <strong>för</strong>delar de medel som finansiärerna av µ-Fab bidrar med,<br />
<strong>för</strong> närvarande 5 MSEK per år och finansiär.<br />
Avsikten med bildande av µ-Fab var och är att optimera användandet av renrummen i<br />
Sverige. Följande uppgifter har getts till nätverket.<br />
• Att erbjuda högkvalitativa renrum och expertis inom avancerad forskning till alla<br />
universitet i Sverige och under samma villkor som <strong>för</strong> värduniversiteten.<br />
• Möjliggöra ett ökat användande av renrum i <strong>svensk</strong> industri och bland<br />
branschforskningsinstitut.<br />
• Marknads<strong>för</strong>a nätverket.<br />
• Öka användandet av laboratorierna inom nya forskningsområden.<br />
• Erbjuda ett fullgott användarstöd.<br />
• Fördela ansvaret <strong>för</strong> olika teknologier inom mikro- och nanofabrikation mellan de tre<br />
laboratorierna baserat på styrkeområden <strong>för</strong> de tre universiteten.<br />
• Undvika duplicering av dyrbar utrustning.<br />
Ångströmlaboratoriet i Uppsala har en total yta av 2000 m 2 med olika grader av<br />
partikelkontroll. Processlaboratoriet tillhandahåller bland annat följande tjänster: våtkemi,<br />
diffusion och jonimplantation, litografi, torretsning, och tunnfilmprocesser. Laboratoriet har<br />
11 anställda.<br />
Nanofabrikationslaboratoriet vid Chalmers har 1240 m 2 som är klassat som renrum. Följande<br />
processtekniker finns tillgängliga: elektronstrålelitografi; tunnfilmsdeposition;<br />
plasmaprocesser; termiska processer; molekylstråleepitaxi (MBE) av III-V material.<br />
Nanofabrikationslaboratoriet har 17 anställda.<br />
Electrumlaboratoriet i Stockholm är ett renrumslaboratorium på 1300 m 2 med kompletta<br />
processlinor <strong>för</strong> komponentuveckling och tillverkning av en lång rad elektronik-, fotonik- and<br />
mikrosystemkomponeter i kisel och sammansatta halvledarmaterial. Electrumlaboratoriet har<br />
9 anställda.<br />
Verksamheten inom µ-Fab skall nu utvärderas i enlighet med de riktlinjer som antogs vid<br />
bildandet 2002. BG-2 avstår där<strong>för</strong> från mera detaljerade yttranden om verksamheten innan<br />
utvärderingen är gjord.<br />
Även inom ESFRI har behovet av renrum/nanolaboratorier uppmärksammats: ESFRI <strong>för</strong>eslår<br />
i sin rapport till EU-kommissionen ett nätverk PRINS (Pan-European Research<br />
Infrastructure for Nano-Structures) <strong>för</strong> att stödja nanoforskningen. Om Sverige skall<br />
kunna konkurrera inom PRINS kommer det att krävas väl fungerande renrum.<br />
Sida 30 av 88
Change language