Nr. Proiect: 11 – 017 - IMT

Nr. Proiect: : 11 – 017CoordonatorInstitutul National de Cercetare - Dezvoltarepentru Microtehnologie (IMT- Bucuresti)Director proiectDr. Ing. . Ileana CERNICA

Universitatea Valahia TargovisteROM-QUARTZ S.AInstitutul Naţional de C&D pentruElectrochimie si Materie Condensată– INCEMC TimisoaraUniversitatea Politehnica Bucuresti(CCO, DCAE)Buget/cofinantare: 2 000 000 / 35 450 leiBuget/cofinantare: 2 000 000 / 35 450 leiAdresa webwebwww.imt.ro/piezosenz

Realizarea unui model experimental de detectie selectiva a concentratiilor substantelor poluante sau de risc ridicat(pesticide) utilizand microbalante QCM sau rezonatoare AT excitate in camp lateral. Modelul sesizeaza atat modificaride proprietati mecanice (masa, stres) cat si electrice (conductivitate) in filme nanostructurate selective chimic depusepe rezonator.Noutatea prezentata de proiect este legata de utilizarea unor lay-out-uri multielectrod, dispozitiv utilizand doua moduride vibratie, realizare de microbalante (QCM), utilizarea de noi materiale piezoelectrice avansate, dezvoltarea de noitehnici de asamblare 3D pentru senzori si de electronica de analiza semnal integrabila MCM cu senzorii.Industrie, agricultura, alimentatia, protectia mediului, sanatata. Se determina la nivel de nanoparticole, poluantii denatura anorganica si organica din diverse compozitii.Potential beneficiar: : ROM – QUARTZ S.A.

Documentare si studiu tehnologic. Formularea de ipoteze si analiza acestora15.12.2007 Buget de stat: 135 000 lei Cofinantare: 1 700 lei Achizitii realizate: 1. Tehnica de calcul pentru cercetare: 10 000 lei Precursori/ rezultate intermediareStudii si documentare privind ”the state of the art” in domeniul sistemelor integrate de detectie multiparametru. Studii si documentare privind "the state of the art" in domeniul materialelor piezoelectrice. Studii si documentare privind "the state of the art" in domeniul proiectarii senzorilor piezoelectrici• Analiza microsistemelor integrati piezoelectrici;• Formulare de ipoteze de lucru privind structuri, tehnologii, proiectare sistem;• Analiza tehnologiilor specifice de asamblare;• Formulare de ipoteze de lucru privind tehnologiile de asamblare sisteme si integrarea cuelectronica de analiza sistem;• Analiza si selectie substante senzitive;• Analiza tehnicilor de testare;• Analiza tehnicilor de detectie, monitorizare.

29.08.2008Simulare si experimentare tehnologica Buget de stat: 605 000 lei Cofinantare: 8 750 lei Achizitii realizate: 1. RTP- Echipament de procesare termica rapida: 87 000 lei Precursori/ rezultate intermediare2. Sistem de caracterizare micro si nanocomponente, testaremicrocipuri electronice: 65 000 lei3. Tehnica de calcul: 3 500 lei Proiectare senzori multiparametru pe substrat din cuart (SiO 2 )silangasit. Simulare si modelare senzori piezoelectrici multiparametru; Proiectare, modelare, simulare si experimentare procesetehnologice pentru fabricarea senzorilor piezoelectrici multiparametru; Experimente tehnologice de realizare a substantelor senzitive; Stabilirea preliminara a programelor de proces pentru proceseletehnologice individuale pentru realizarea microsenzorului pe substratpiezoelectric; Experimente tehnologice de asamblare MCM-3D a structurilor PIEZO Proiectare metode de caracterizare tehnologica si electrica; Proiectarea metodei de analiza semnal si a schemei electronice.Senzori individuali piezoelectrici multiparametru pecuart: frecventa de rezonanta 5 MHz; diametru cuart25, 4 mm; aria senzitiva 13,25 mm 2 ; grosimeacuartului 133 mm; rugozitatea 50 A pe ambele fete;metale depuse: CrAu (50 A Cr si 200 A Au); TiAu (50A Ti si 200 A Au) si TiPt (50 A Ti si 200 A Pt).Senzor piezoelectric pe cuart cuelectrozi din CrAu si cu unpolimer nanometrc depus pe elSenzori multiparametru din cuart cu electrozi din:CrAu; TiAu si TiPt; frecventa de oscilatie 5 MHz,diametrul 25,4 mm 2 , compatibili cu sistemele deoscilatie proiectateMultisenzor pe cuart (4 senzori conectatiindividual sau in retea) cu electrozi din CrAuAsamblarea 3D a multisenzorului din cuart

IMT- Bucuresti4 tineri – Andrei Ghiu, Alina Matei, Florian Pistritu,Vasilica SchiopuUniversitatea Valahia Targoviste5 tineri – Bute Oana, Bancuta Iulian,Dulama Oana, Gheboianu Anca, Let DorinINCEMC Timisoara4 tineri – Grozescu Ana-maria, LazauCarmen, Poenar Maria, Ratiu CorneliaUPB (CCO, DCAE)3 tineri – Dragulinescu Andrei,Mita Oana, Voinea Vlad

‣ Interne: 7 lucrari la conferinte, 2 carti‣ Internationale: 3 articole, 3 lucrari la conferinteBuletin pilotBuletin nr. 2