Tehnologii mixte pentru micro/nano structuri si sisteme fotonice ... - IMT

More documents

Recommendations

Info

Procese de microprelucrare materiale semiconductoareStructuri suspendate realizate pe plachete SOI(IMT)ghid de unda dinsiliciu- latime 2µmmicro-oglinda mobilacu latura de 50 µmpentru “free spaceinterconnections”Simpozionul ”Rezultatele cercetarii romanesti in domeniul tehnologiilor informationale side comunicatii obtinute in cadrul Programului CEEX - Modulul 1” , Iunie 2008
Straturi subtiri Sol-gelFilme oxidice si hibride in sistemul SiO 2 -TiO 2 dopate cupamanturi rare - Er 2 O 3 depuse pe siliciu oxidat si configurate (umedsau in plasma) pentru obtinerea de circuite fotoniceSamplePrecursorROH------------------------------------------------Σ precursorRaport molarH2O------------------------------------------------Σ precursorcatalizator------------------------------------------------Σ precursorpHExperimentalconditionT 0 Ct (h)1Si(OC 2H 5) 4+Ti(OC 2H 5) 4+ErCl 39.11.850.01743503Metoda de depunere: dip coating, viteza de scoatere 5cm/min.spin coating - 2500 rpm.substrat: plachete Si oxidatTratament pentru densificare: 900°C cu rata de crestere atemperaurii 5°C/minICF + IMTSimpozionul ”Rezultatele cercetarii romanesti in domeniul tehnologiilor informationale side comunicatii obtinute in cadrul Programului CEEX - Modulul 1” , Iunie 2008
Page 1 and 2: Contract: 16 CEEX I 03 INFOSOC /200
Page 3 and 4: ObiectiveScop principal :Dezvoltare
Page 5 and 6: Management retea de laboratoare de
Page 7: Procese de microprelucrare material
Page 11 and 12: Straturi subtiri Sol-gelFilme oxidi
Page 13 and 14: Sraturi subtiri oxidiceMetode de de
Page 15 and 16: Tehnici de configurarePhotoresist (
Page 17 and 18: EBLRetele de difractie din PMMA :-p
Page 19 and 20: Tehnici de simulare/proiectare asis
Page 21 and 22: INTEGRARETehnologia siliciului + te
Page 23 and 24: Circuit fotonic integrat pentru int
Page 25 and 26: Fotodetector rapid cu raspuns spect
Page 27 and 28: ArticoleDiseminare1. P. Obreja, D.C
Page 29: Cooperari internationaleParticipare

Tehnologii mixte pentru micro/nano structuri si sisteme fotonice ... - IMT

Create successful ePaper yourself

Delete template?

Save as template?