Tehnologii mixte pentru micro/nano structuri si sisteme fotonice ... - IMT

More documents

Recommendations

Info

Dezvoltare procese tehnologice Dezvoltare procese tehnologice individualeProcese tehnologice pe SiTehnologia straturilor subtiriStraturi subtiri oxidiceProcese sol-gelPolmeriTehnologii de configurareNoi procese litograficePatternare cu laser Dezvoltare noi tehnici de proiectere/simulare Integrare procese mixteSimpozionul ”Rezultatele cercetarii romanesti in domeniul tehnologiilor informationale side comunicatii obtinute in cadrul Programului CEEX - Modulul 1” , Iunie 2008
Procese de microprelucrare materiale semiconductoareProcesare plachete SOI:corodare Si in plasma + corodare umeda SiO 2S-au experimentat si optimizat procese tehnologice de realizare microstructuri pentrucomponente si microsisteme fotonice (microoglinzi, membrane, cantilevere, ghidurioptice) prin microprelucrarea plachetelor de tip SOI („silicon on insulator”)s-a pus la punct procesul de corodare in plasma a siliciului pe noulechipament achizitionat;s-a optimizat procesul de corodare umeda a dioxidului de siliciupentru realizarea structurilor suspendate.Simpozionul ”Rezultatele cercetarii romanesti in domeniul tehnologiilor informationale side comunicatii obtinute in cadrul Programului CEEX - Modulul 1” , Iunie 2008
Page 1 and 2: Contract: 16 CEEX I 03 INFOSOC /200
Page 3 and 4: ObiectiveScop principal :Dezvoltare
Page 5: Management retea de laboratoare de
Page 9 and 10: Straturi subtiri Sol-gelFilme oxidi
Page 11 and 12: Straturi subtiri Sol-gelFilme oxidi
Page 13 and 14: Sraturi subtiri oxidiceMetode de de
Page 15 and 16: Tehnici de configurarePhotoresist (
Page 17 and 18: EBLRetele de difractie din PMMA :-p
Page 19 and 20: Tehnici de simulare/proiectare asis
Page 21 and 22: INTEGRARETehnologia siliciului + te
Page 23 and 24: Circuit fotonic integrat pentru int
Page 25 and 26: Fotodetector rapid cu raspuns spect
Page 27 and 28: ArticoleDiseminare1. P. Obreja, D.C
Page 29: Cooperari internationaleParticipare

Tehnologii mixte pentru micro/nano structuri si sisteme fotonice ... - IMT

Create successful ePaper yourself

Delete template?

Save as template?