Tehnologii mixte pentru micro/nano structuri si sisteme fotonice ... - IMT

More documents

Recommendations

Info

Sraturi subtiri oxidiceS-au obtinut si caracterizat straturi subtiri transparente si conductive de:ZnO (metoda "spin coating“).ITO (metoda evaporarii termice in vid)Influenta naturii substratului asupra: (a) transmitantei; (b) reflectantei si indiceluide refractie pentru straturi subtiri de oxizi transparenti si conductivi.UAICSimpozionul ”Rezultatele cercetarii romanesti in domeniul tehnologiilor informationale side comunicatii obtinute in cadrul Programului CEEX - Modulul 1” , Iunie 2008
Sraturi subtiri oxidiceMetode de depunere: Reactive RF magnetron sputteringTiO2 Substrat de sticla incalzitla 250C; Amestec de Ar+O2 (0,1Pa) ;Gaz reactiv – oxigen (0,03 Pa) Puterea RF – 100W;SiO2Tinta de Ti Tinta Si (111); Amestec de Ar, O2; Timpul de depunere – 90 min., 120 min.Straturi subtiri de SiO2 si TiO2Grosimea – 200nm, 400nmFilmele subtiri sunt nanostructurate cunanocristale intr-o matrice amorfa;- Filmele de TiO2 sunt de tip anatas- Este evidenta influenta substratului;- Suprafata este neteda cu rugozitate medienanometricaSiO2/glass, RMS = 0,5nmTiO2/glass RMS =1,19 nmSimpozionul ”Rezultatele cercetarii romanesti in domeniul tehnologiilor informationale side comunicatii obtinute in cadrul Programului CEEX - Modulul 1” , Iunie 2008
Page 1 and 2: Contract: 16 CEEX I 03 INFOSOC /200
Page 3 and 4: ObiectiveScop principal :Dezvoltare
Page 5 and 6: Management retea de laboratoare de
Page 7 and 8: Procese de microprelucrare material
Page 9 and 10: Straturi subtiri Sol-gelFilme oxidi
Page 11: Straturi subtiri Sol-gelFilme oxidi
Page 15 and 16: Tehnici de configurarePhotoresist (
Page 17 and 18: EBLRetele de difractie din PMMA :-p
Page 19 and 20: Tehnici de simulare/proiectare asis
Page 21 and 22: INTEGRARETehnologia siliciului + te
Page 23 and 24: Circuit fotonic integrat pentru int
Page 25 and 26: Fotodetector rapid cu raspuns spect
Page 27 and 28: ArticoleDiseminare1. P. Obreja, D.C
Page 29: Cooperari internationaleParticipare

Tehnologii mixte pentru micro/nano structuri si sisteme fotonice ... - IMT

Create successful ePaper yourself

Delete template?

Save as template?