TRACTIUNE ELECTRICA
TRACTIUNE ELECTRICA
TRACTIUNE ELECTRICA
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
MICROSISTEME ELECTROMECANICE<br />
HARM (high-aspect-ratio micromachining) este o tehnologie de fabricaţie a<br />
MEMS ce implică microprelucrarea ca un prim pas, pentru obţinerea unei cavităţi<br />
cu o anumită configuraţie, urmată de formarea microstructurii prin injectarea de<br />
material în cavitatea respectivă.<br />
Substratul de PMMA<br />
Umplerea cavităţii<br />
Fotolitogravura<br />
Micropinionul<br />
Cavitatea obţinută<br />
2007-2008<br />
Etapele de realizare a unui micropinion utilizând<br />
tehnica LIGA.<br />
CET - CURS 9 38