21.07.2013 Views

TRACTIUNE ELECTRICA

TRACTIUNE ELECTRICA

TRACTIUNE ELECTRICA

SHOW MORE
SHOW LESS

Create successful ePaper yourself

Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.

MICROSISTEME ELECTROMECANICE<br />

HARM (high-aspect-ratio micromachining) este o tehnologie de fabricaţie a<br />

MEMS ce implică microprelucrarea ca un prim pas, pentru obţinerea unei cavităţi<br />

cu o anumită configuraţie, urmată de formarea microstructurii prin injectarea de<br />

material în cavitatea respectivă.<br />

Substratul de PMMA<br />

Umplerea cavităţii<br />

Fotolitogravura<br />

Micropinionul<br />

Cavitatea obţinută<br />

2007-2008<br />

Etapele de realizare a unui micropinion utilizând<br />

tehnica LIGA.<br />

CET - CURS 9 38

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!