TRACTIUNE ELECTRICA
TRACTIUNE ELECTRICA
TRACTIUNE ELECTRICA
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
MICROSISTEME ELECTROMECANICE<br />
Metode de prelucrare a microsistemelor electromecanice<br />
SM (surface micromachining) implică acţiunea la suprafaţa substratului-suport,<br />
utilizându-l ca fundaţie.<br />
Substrat suport<br />
Depunerea unui<br />
strat de polimer<br />
Depunerea unui<br />
strat de oxid<br />
Etapele de realizare a unei microgrinzi.<br />
Forma finala<br />
2007-2008 CET - CURS 9 37