Estruturas de barreira dupla de PbTe/PbEuTe ... - mtc-m17:80 - Inpe

As máscaras utilizadas para deposição de Au são mostradas na Figura 5.11. No lado esquerdoestá representada a máscara utilizada para o topo da mesa e no lado direito a destinada à base.As partes em branco representam as áreas vazadas de modo a permitir a deposição de Ausobre a amostra de BD. As máscaras possibilitam a fabricação de 9 estruturas mesa em cadapastilha de 15x15 mm 2 , sendo 4 delas com diâmetro de 1 mm e área de 7,85x10 -3 cm 2 e 5 comdiâmetro de 0,3 mm e área de 7,07x10 -4 cm 2 . A identificação dos dois tipos de dispositivosserá feita utilizando-se a letra P, para os dispositivos de área menor, e G, para os dispositivosde área maior, na terminação da identificação das amostras de BD.A deposição de Au foi realizada no sistema de evaporação por feixe de elétrons, Eletron BeamEdwards Auto 306. Para isso, foram fabricados porta-amostras especificamente desenhadospara esta finalidade. A parte anterior do porta-substrato contém um sistema mola que, emcontato com a parte da pastilha não depositada, pressiona o filme contra a máscara. Cadaporta-substrato contém uma máscara específica. Dois porta-substrato estão representados naFigura 5.12.(a) (b) (c)FIGURA 5.12 – Fotografias dos porta-substrato com as máscaras utilizadas para deposição deAu. A foto (a) mostra a parte frontal do porta-substrato com a máscara paradeposição no topo da mesa. Em (b) encontra-se a visão anterior do portasubstratocom o sistema de molas para fixação e a máscara para deposição nabase da mesa. A foto (c) mostra a visão lateral do aparato com a estrutura emU deslocada.110