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Desenvolvimento de um sistema de troca automática do nozzle de ...

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Capítulo II – Tecnologia <strong>de</strong> corte por laser<br />

Laser <strong>de</strong> Excímeros<br />

O laser <strong>de</strong> excímeros foi inventa<strong>do</strong> em 1970 por Nikolai Basov, no Lebe<strong>de</strong>v Physical<br />

Institute em Moscovo. [2] A palavra excímero quer dizer excited dimer, isto é, dímeros<br />

excita<strong>do</strong>s que são moléculas diatómicas que só existem no esta<strong>do</strong> excita<strong>do</strong>. O meio<br />

activo <strong>de</strong>stes lasers é composto por gases raros, tais como o Kr, Xe, Ar, por <strong>um</strong> gás<br />

halogeneto e por hélio. Os gases nobres em condições normais não se associam a outros<br />

elementos, mas quan<strong>do</strong> são excita<strong>do</strong>s, por exemplo por <strong>de</strong>scarga eléctrica ou feixe <strong>de</strong><br />

electrões, os seus átomos ionizam-se. Estes iões quan<strong>do</strong> se juntam a moléculas neutras,<br />

como o cloro ou o flúor, formam moléculas ionizadas que são os dímeros excita<strong>do</strong>s,<br />

sen<strong>do</strong> que os dímeros mais típicos são o Fluoreto <strong>de</strong> Árgon, Fluoreto <strong>de</strong> Kripton e o<br />

Fluoreto <strong>de</strong> Xénon. Esta ligação é muito forte e dura apenas nanosegun<strong>do</strong>s, quebran<strong>do</strong>se<br />

quan<strong>do</strong> o gás nobre <strong>de</strong>ixa <strong>de</strong> estar excita<strong>do</strong>. Quan<strong>do</strong> se dá a quebra da ligação, os<br />

dímeros dissociam-se nas partículas fundamentais e libertam energia sobre a forma <strong>de</strong><br />

fotões, cuja energia é maior quanto maior o comprimento <strong>de</strong> onda.<br />

O laser <strong>de</strong> excímeros gera radiação ultravioleta com comprimentos <strong>de</strong> onda<br />

compreendi<strong>do</strong>s entre 0,193 e 0,351 micrómetros, consoante o meio activo, e é capaz <strong>de</strong><br />

gerar pulsos muito curtos e <strong>de</strong> elevada potência. Devi<strong>do</strong> ao pequeno comprimento <strong>de</strong><br />

onda, os fotões têm energia muito elevada e como tal os lasers <strong>de</strong> excímeros são capazes<br />

<strong>de</strong> remover material por processo fotoablativo, isto é, o material removi<strong>do</strong> não muda <strong>de</strong><br />

fase, diminuin<strong>do</strong>-se assim a zona termicamente afectada.<br />

Estes lasers são extremamente precisos e fornecem resulta<strong>do</strong>s <strong>de</strong> elevada qualida<strong>de</strong>,<br />

pelo que são utiliza<strong>do</strong>s em microfuração, microlitografia, marcação <strong>de</strong> materiais<br />

termicamente sensíveis, micromaquinagem, tratamento <strong>de</strong> superfícies e em aplicações<br />

médicas tais como a cirurgia ocular. [5]<br />

2.2.3.2 Lasers <strong>de</strong> esta<strong>do</strong> sóli<strong>do</strong><br />

Figura 2.9) Representação esquemática <strong>de</strong> <strong>um</strong> laser <strong>do</strong> tipo Slab. [6]<br />

Os lasers <strong>de</strong> esta<strong>do</strong> sóli<strong>do</strong> não usam gás como meio activo mas sim <strong>um</strong> material sóli<strong>do</strong><br />

cristalino. O material mais utiliza<strong>do</strong> é o cristal YAG (Yittri<strong>um</strong> Al<strong>um</strong>iniam Garnet)<br />

<strong>do</strong>pa<strong>do</strong> com iões <strong>de</strong> Neodímio (Nd 3+ ) ou <strong>de</strong> Itérbio (Yb 3+ ), que constituem a espécie<br />

activa. Os lasers <strong>de</strong> YAG <strong>do</strong>pa<strong>do</strong>s com Neodímio são <strong>de</strong>signa<strong>do</strong>s <strong>de</strong> Nd:YAG, e os<br />

<strong>do</strong>pa<strong>do</strong>s com Itérbio são chama<strong>do</strong>s <strong>de</strong> Yb:YAG.<br />

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