Universidade Estadual de Campinas Instituto de Qu´ımica ...

1.1.1 Os microssensores
História
Historicamente, o emprego do silício como substrato para a construção de um sensor
eletroquímico em escala miniaturizada, ocorreu pela primeira vez no final da década de
60 na Universidade de Stanford na Califórnia, com Wise e colaboradores 14 . O dispositivo
fabricado naquela ocasião era baseado em medidas amperométricas e fora especificamente
designado para medidas eletrofisiológicas. A inovação implementada por este consistiu na
fabricação e no uso de três microeletrodos de ouro, cuja largura e o comprimento eram de
0,2 mm e 5 mm, respectivamente, e as distâncias entre os eletrodos variavam entre 10 mm e
20 mm. Tais estruturas, foram construídas sobre lâminas de silício de 50 µm de espessura
utilizando as técnicas convencionais e já bem estabelecidas para a microfabricação na
época. Para tanto, técnicas de oxidação, litografia, corrosão e por fim evaporação do metal
sobre as áreas definidas previamente pela litografia, foram empregadas nesta seqüência
para a construção dos multieletrodos sobre a plataforma de silício, a qual posteriormente
foi então conectada a um circuito integrado equivalente, possibilitando assim com que o
desempenho do sensor fosse avaliado.
Quase na mesma época, na Universidade de Twenty, em Enschede na Holanda, um
outro tipo de sensor a base de silício e também em escala miniaturizada em comparação
aos existentes na época, foi desenvolvido. Este de fato, diferentemente do sensor de-
senvolvido por Wise e co-autores, foi construído baseado nos princípios elétricos de dis-
positivos eletrônicos sensíveis ao efeito de campo em sua superfície, que como proposto,
poderiam então monitorar eletricamente a detecção de espécies químicas e ou biológicas.
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