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Figura 1.1: Prognóstico de mercado para produtos de natureza MST/MEMS entre os anos de 2004 e 2009. Outros referem-se a microreatores, micromotores, microbombas e afins. deste como plataforma é decorrente dentre motivos que variam desde seu preço, até sua abundância e excelentes propriedades mecânicas, elétricas e químicas. Mas o principal motivo desta escolha é ainda devido a sua capacidade de integração com circuitos lógicos. Entre as grandes vantagens desta integração, está omododeprodução em massa destes dispositivos, o qual permite a fabricação de grandes quantidades destes componentes, re- duzindo assim seu custo final. Além disto, como observado através da Figura 1.1 uma conseqüência natural é a interdiscipliniariedade criada por tais sistemas, fomentando assim a criatividade para o desenvolvimento de novos dispositivos capazes de se adequarem a uma ampla gama de aplicações e mercados. Como exemplos, cita-se os sensores físicos, químicos, térmicos, magnéticoseópticos. Em alguns casos os microssistemas podem apresentar biocompatibilidade, permitindo desta maneira a fabricação de biochips, com aplicações em medicina e biologia. 8
1.1.1 Os microssensores História Historicamente, o emprego do silício como substrato para a construção de um sensor eletroquímico em escala miniaturizada, ocorreu pela primeira vez no final da década de 60 na Universidade de Stanford na Califórnia, com Wise e colaboradores 14 . O dispositivo fabricado naquela ocasião era baseado em medidas amperométricas e fora especificamente designado para medidas eletrofisiológicas. A inovação implementada por este consistiu na fabricação e no uso de três microeletrodos de ouro, cuja largura e o comprimento eram de 0,2 mm e 5 mm, respectivamente, e as distâncias entre os eletrodos variavam entre 10 mm e 20 mm. Tais estruturas, foram construídas sobre lâminas de silício de 50 µm de espessura utilizando as técnicas convencionais e já bem estabelecidas para a microfabricação na época. Para tanto, técnicas de oxidação, litografia, corrosão e por fim evaporação do metal sobre as áreas definidas previamente pela litografia, foram empregadas nesta seqüência para a construção dos multieletrodos sobre a plataforma de silício, a qual posteriormente foi então conectada a um circuito integrado equivalente, possibilitando assim com que o desempenho do sensor fosse avaliado. Quase na mesma época, na Universidade de Twenty, em Enschede na Holanda, um outro tipo de sensor a base de silício e também em escala miniaturizada em comparação aos existentes na época, foi desenvolvido. Este de fato, diferentemente do sensor desenvolvido por Wise e co-autores, foi construído baseado nos princípios elétricos de dispositivos eletrônicos sensíveis ao efeito de campo em sua superfície, que como proposto, poderiam então monitorar eletricamente a detecção de espécies químicas e ou biológicas. 9
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5. TRABALHOS FUTUROS • Como etapa
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Referências Bibliográficas [1] B.
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[14] K. D. Wise, J. B. Angell, A. S
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[31] A. Huczko, Template-based synt
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[45] S. R. Ekanayake, M. B. Cortie,
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[60] F. Patolsky, G. Zheng, O. Hayd
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[77] T. Fujimoto, S. Terauchi, H. U
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[92] A. Poghossian, M. H. Abouzar,
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