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tocagem (portáteis) e ainda facilidade de automação. Além destes, uma outra carac- terística atrativa destes dispositivos eletroquímicos, é a sua capacidade de combinação e fabricação utilizando técnicas convencionais da indústria da microeletrônica, empregando para tanto substratos semicondutores como o silício, e abrindo assim, uma janela para a miniaturização e a integração destes com circuitos lógicos, permitindo a construção em massa de dispositivos portáteis para uma rápida análise de monitoramento in situ 11 . 1.1 A Miniaturização e os Microssistemas Devido a algumas características intrínsecas, como a estabilidade de seu óxido, o silício tornou-se ao longo dos últimos 60 anos o principal substrato para construção de dispositivos eletrônicos como diodos, transistores, capacitores e outros. Adicionalmente, o emprego do silício como substrato, juntamente com o desenvolvimento e o aperfeiçoamento de técnicas de litografia, possibilitou a construção de tais dispositivos em escala micro, sub-micro e atualmente nanométrica 12,13 . A importânciadosilício para a indústria da microeletrônica pode ser exemplificada pelo fato que na atualidade cerca de 75% dos dispositivos eletrônicos são fabricados utilizando- se silício monocristalino, sendo o restante dos dispositivos formados por outros materiais a base de semicondutores III-V, porém também sobre silício 12 . Todavia, a evolução nas tecnologias de miniaturização não ficaram somente restritas ao campo da microeletrônica, estendendo-se também a outras áreas e dando origem assim aos microssistemas. Estes, os quais como o próprio nome diz são materiais com dimensões micrométricas, possuem funções relacionadas à forma de sua microestrutura. Estes microssistemas podem combinar 6
diversos microcomponentes, otimizando-os como um sistema inteiro, de modo que este exerça uma ou diversas funções específicas, como é o caso dos circuitos integrados 12 . Devido a uma falta de padronização da nomenclatura, estes microsistemas apresentam atualmente diversos acrônimos. Na Europa por exemplo, estes são conhecidos como MST (Micro System Technologies), ou tecnologias para microssistemas. Esta éumade- nominação um tanto genérica de um conjunto de tecnologias para o desenvolvimento e integração de sensores e outras estruturas tridimensionais em escala micrométrica. Nos Estados Unidos da América, o termo preferido é MEMS (Micro ElectroMechanic Systems), ou seja, sistemas microeletromecânicos. Este termo embora um pouco mais restrito que microssistemas, é no entanto, baseado no acoplamento de pequenos dispositivos que in- tegram também pequenos componentes mecânicos e elétricos em um dado substrato de silício. Os japoneses por sua vez, preferem utilizar o termo micromáquinas em apologia a uma evolução natural da mecatrônica. Economicamente, a exemplo do início de mercado para a microeletrônica, a qual foi apontada como uma das mais revolucionantes tecnologias para os setores de informação e acabou realmente tornando-se no século passado uma base para a área computacional e das telecomunicações, abrangendo um mercado global de mais de 1 bilhão de dólares, os microssistemas são hoje considerados como uma das tecnologias mais promissoras para o século XXI. De fato, como mostrado na Figura 1.1, o prognóstico de mercado para estes entre 2004 e 2009 aponta para um crescimento anual de 16%, partindo de 12 bilhões de dólares em 2004 para 25 bilhões em 2009 13 . Novamente, o silício é o substrato amplamente empregado para estes. A escolha 7
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5. TRABALHOS FUTUROS • Como etapa
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Referências Bibliográficas [1] B.
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[14] K. D. Wise, J. B. Angell, A. S
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[77] T. Fujimoto, S. Terauchi, H. U
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[92] A. Poghossian, M. H. Abouzar,
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