Universidade Estadual de Campinas Instituto de Qu´ımica ...

tocagem (portáteis) e ainda facilidade de automação. Além destes, uma outra carac-
terística atrativa destes dispositivos eletroquímicos, é a sua capacidade de combinação e
fabricação utilizando técnicas convencionais da indústria da microeletrônica, empregando
para tanto substratos semicondutores como o silício, e abrindo assim, uma janela para a
miniaturização e a integração destes com circuitos lógicos, permitindo a construção em
massa de dispositivos portáteis para uma rápida análise de monitoramento in situ 11 .
1.1 A Miniaturização e os Microssistemas
Devido a algumas características intrínsecas, como a estabilidade de seu óxido, o silício
tornou-se ao longo dos últimos 60 anos o principal substrato para construção de dispositivos
eletrônicos como diodos, transistores, capacitores e outros. Adicionalmente, o emprego do
silício como substrato, juntamente com o desenvolvimento e o aperfeiçoamento de técnicas
de litografia, possibilitou a construção de tais dispositivos em escala micro, sub-micro e
atualmente nanométrica 12,13 .
A importânciadosilício para a indústria da microeletrônica pode ser exemplificada pelo
fato que na atualidade cerca de 75% dos dispositivos eletrônicos são fabricados utilizando-
se silício monocristalino, sendo o restante dos dispositivos formados por outros materiais
a base de semicondutores III-V, porém também sobre silício 12 . Todavia, a evolução nas
tecnologias de miniaturização não ficaram somente restritas ao campo da microeletrônica,
estendendo-se também a outras áreas e dando origem assim aos microssistemas. Estes,
os quais como o próprio nome diz são materiais com dimensões micrométricas, possuem
funções relacionadas à forma de sua microestrutura. Estes microssistemas podem combinar
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